JP2012247336A5 - 物理量検出器の製造方法、物理量検出器 - Google Patents

Description

［適用例１］本適用例にかかる物理量検出器の製造方法は、平板枠状のベース部と、該
ベース部の内側に配置され、一方の端部が継ぎ手部を介して前記ベース部に接続された平
板状の可動部と、前記ベース部と前記可動部とに前記継ぎ手部を跨いで架け渡された物理
量検出素子と、を備えた物理量検出器の製造方法であって、前記ベース部と、前記継ぎ手
部と、前記可動部と、該可動部の自由端としての他方の端部側に設けられ、前記ベース部
と前記可動部とをつなぐ連結部と、を一体で形成する工程と、前記物理量検出素子を前記
ベース部と前記可動部とに架け渡して固定する工程と、前記連結部を切断する工程と、を
有することを特徴とする。また他の態様では、可動部と、可動部の一端に接続され且つ前記可動部の外縁から間隙をあけて設けられた延出部分を備えたベース部と、前記可動部と前記ベース部の前記延出部分とをつなぐ連結部と、を形成する工程と、前記可動部に物理量検出素子を設ける工程と、前記連結部を切断する工程と、を有することを特徴とする。

［適用例２］上記適用例にかかる物理量検出器の製造方法において、前記物理量検出素
子を設ける工程の後に、前記連結部を切断する工程を行うことが好ましい。

［適用例３］上記適用例にかかる物理量検出器の製造方法において、前記連結部は、前記可動部および前記ベース部の前記延出部分の少なくとも一方よりも薄く形成されることを特徴とすることが好ましい。

［適用例４］上記適用例にかかる物理量検出器の製造方法において、前記連結部は、片
面のみを加工して前記可動部および前記ベース部の前記延出部分の少なくとも一方よりも薄く形成されることが好ましい。

［適用例５］上記適用例にかかる物理量検出器の製造方法において、前記連結部は、幅が括れている括れ部を有しているように形成することが好ましい。

［適用例６］上記適用例にかかる物理量検出器の製造方法において、前記可動部および前記ベース部の前記延出部分の少なくとも一方において、平面視で外縁が窪んでいる窪み部分を備え、前記連結部は前記窪み部分に接続されることが好ましい。

［適用例７］上記適用例にかかる物理量検出器の製造方法において、前記ベース部の前記延出部分は、前記可動部の外縁を囲うように設けられ、前記連結部は、前記可動部の中心線に沿って形成されることが好ましい。

Claims (8)

1. 可動部と、可動部の一端に接続され且つ前記可動部の外縁から間隙をあけて設けられた延出部分を備えたベース部と、前記可動部と前記ベース部の前記延出部分とをつなぐ連結部と、を形成する工程と、
   前記可動部に物理量検出素子を設ける工程と、
   前記連結部を切断する工程と、
   を有することを特徴とする物理量検出器の製造方法。
2. 請求項１に記載の物理量検出器の製造方法において、
   前記物理量検出素子を設ける工程の後に、前記連結部を切断する工程を行うことを特徴とする物理量検出器の製造方法。
3. 請求項１または請求項２に記載の物理量検出器の製造方法において、
   前記連結部は、前記可動部および前記ベース部の前記延出部分の少なくとも一方よりも薄く形成されることを特徴とする物理量検出器の製造方法。
4. 請求項３に記載の物理量検出器の製造方法において、
   前記連結部は、片面のみを加工して前記可動部および前記ベース部の前記延出部分の少なくとも一方よりも薄く形成されることを特徴とする物理量検出器の製造方法。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の物理量検出器の製造方法において、
   前記連結部は、幅が括れている括れ部を有していることを特徴とする物理量検出器の製造方法。
6. 請求項５に記載の物理量検出器の製造方法において、
   前記可動部および前記ベース部の前記延出部分の少なくとも一方において、平面視で外縁が窪んでいる窪み部分を備え、
   前記連結部は前記窪み部分に接続されることを特徴とする物理量検出器の製造方法。
7. 請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の物理量検出器の製造方法において、
   前記ベース部の前記延出部分は、前記可動部の外縁を囲うように設けられ、
   前記連結部は、前記可動部の中心線に沿って形成されることを特徴とする物理量検出器の製造方法。
8. 可動部と、
   可動部の一端に接続され且つ前記可動部の外縁から間隙をあけて設けられた延出部分を備えたベース部と、
   前記可動部上に設けられた物理量検出素子と、を備え、
   前記可動部および前記ベース部の前記延出部分の少なくとも一方には、平面視で外縁が窪んでいる窪み部分を備えていることを特徴とする物理量検出器。