JP2012232313A - Laser beam machining apparatus - Google Patents

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JP2012232313A JP2011100520A JP2011100520A JP2012232313A JP 2012232313 A JP2012232313 A JP 2012232313A JP 2011100520 A JP2011100520 A JP 2011100520A JP 2011100520 A JP2011100520 A JP 2011100520A JP 2012232313 A JP2012232313 A JP 2012232313A
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Sakae Takasaki
栄 高嵜
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser beam machining apparatus capable of improving an operating efficiency by eliminating the time required for movement between the carrying-in and carrying-out units, and of simultaneously confirming and taking in the operating conditions in the carrying-in and carrying-out units.SOLUTION: The laser beam machining apparatus comprises: a laser beam machine; a carrying-in section composed of a carrying-in side stacker for stacking workpieces before processing, the adsorption pad frames with provided adsorption pads and of the same number as the workpieces and the carrying-in side workpiece-placing tables temporarily holding the workpiece and having the number of pieces less by one than the workpieces; and a carrying-out section composed of a carrying-in side stacker for stacking workpieces after processing, the adsorption pad frames that are the same as the above, and the carrying-out side workpiece-placing tables that are the same as the above. The carrying-in and carrying-out sections are vertically disposed, and the carrying-in side and carrying-out side stackers are aligned in one direction to the laser beam machine.

Description

本発明は、複数のワークを載置する為のテーブルと複数のレーザ照射部とを有するレーザ加工機と、ワークをテーブルに搬入出するための搬入出装置と、を備え、複数のワークを同時に搬入し、加工し、搬出するレーザ加工装置に関する。   The present invention includes a laser processing machine having a table for placing a plurality of workpieces and a plurality of laser irradiation units, and a loading / unloading device for loading / unloading the workpieces onto / from the table. The present invention relates to a laser processing apparatus that carries in, processes, and carries out.

複数のプリント基板などのワークを同時にレーザ加工する場合、従来のレーザ加工装置としては、レーザ加工機本体と、単一のワークの供給側ストッカと、単一のワークの排出ストッカと、ワークを一時的に保持するワーク載置台を有する供給側移動装置および排出側移動装置と、で構成され、複数のワークを同時に供給し、同時に加工し、同時に排出する処理を行う際に、ワーク載置台にワークを一時的に保持することで、供給ストッカおよび排出ストッカをそれぞれ単一として装置設置面積を縮小することが知られている(特許文献1)。   When laser processing multiple workpieces such as printed circuit boards at the same time, conventional laser processing equipment includes a laser processing machine body, a single workpiece supply side stocker, a single workpiece discharge stocker, and a workpiece temporarily. A supply-side moving device and a discharge-side moving device having a workpiece mounting table that holds the workpiece, and when supplying a plurality of workpieces simultaneously, processing them simultaneously, and discharging them simultaneously, the workpiece is placed on the workpiece mounting table. It is known that the apparatus installation area is reduced by temporarily holding the supply stocker and the discharge stocker (Patent Document 1).

特開2005−297007JP 2005-297007 A

しかしながら、特許文献1の技術では、ワークの搬入装置と搬出装置がレーザ加工機本体の両側に配置され、搬入装置で作業者がワークの供給作業を行った後回収作業を行うべく搬出装置へ移動しなければならないので、作業効率が低下した。一方、搬入装置と搬出装置が別々に配置されているためにワーク加工時に搬入装置と搬出装置での作業状況を同時に確認、把握することが難しかった。   However, in the technique of Patent Document 1, the work carry-in device and the carry-out device are arranged on both sides of the main body of the laser processing machine, and the worker moves to the carry-out device to perform the collection work after the work is performed by supplying the work with the carry-in device. Work efficiency has been reduced. On the other hand, since the carry-in device and the carry-out device are separately arranged, it is difficult to simultaneously confirm and grasp the work status of the carry-in device and the carry-out device during workpiece processing.

本発明の目的は、上記した課題を解決し、搬入装置と搬出装置との間の移動時間をなくして作業効率を向上でき、搬入装置と搬出装置での作業状況を同時に確認、把握できるレーザ加工装置を提供することにある。   The object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, improve the work efficiency by eliminating the movement time between the carry-in device and the carry-out device, and can confirm and grasp the work status in the carry-in device and the carry-out device at the same time. To provide an apparatus.

上記課題を解決するため、本発明は、水平面上の一軸方向であるX方向に並べて配置された複数のワークを前記X方向および前記水平面上で前記X方向に直交するY方向へ移動自在なXYテーブルと、前記XYテーブルが載置されたベッドと、前記複数のワークの上方で前記X方向に並べて配置された前記複数のワークと同数のレーザユニットと、を有するレーザ加工機と、加工前のワークを積載する搬入側ストッカと、吸着パッドが設けられた前記複数のワークと同数の吸着パッドフレームと、ワークを一時的に保持しておき前記複数のワークより1つ少ない個数の搬入側ワーク載置台と、から構成された搬入部と、加工後のワークを積載する搬出側ストッカと、吸着パッドが設けられた前記複数のワークと同数の吸着パッドフレームと、ワークを一時的に保持しておき前記複数のワークより1つ少ない個数の搬出側ワーク載置台と、から構成された搬出部と、を備え、前記搬入部と前記搬出部を上下に配置し、前記搬入側ストッカと前記搬出側ストッカを前記レーザ加工機に対して一方向に並べて配置したことを特徴とする。   In order to solve the above problems, the present invention provides an XY that can freely move a plurality of workpieces arranged side by side in the X direction, which is a uniaxial direction on a horizontal plane, in the X direction and the Y direction perpendicular to the X direction on the horizontal plane. A laser processing machine having a table, a bed on which the XY table is placed, and the same number of laser units as the plurality of workpieces arranged in the X direction above the plurality of workpieces; A loading-side stocker for loading workpieces, the same number of suction pad frames as the plurality of workpieces provided with suction pads, and a number of loading-side workpieces that are temporarily held by the workpiece and are one less than the plurality of workpieces A loading unit composed of a table, a carry-out side stocker for loading the processed workpiece, and the same number of suction pad frames as the plurality of workpieces provided with suction pads; An unloading unit configured to temporarily hold a workpiece and the number of unloading-side work platforms that is one less than the plurality of workpieces, and the loading unit and the unloading unit are arranged vertically. The carry-in side stocker and the carry-out side stocker are arranged in one direction with respect to the laser processing machine.

本発明により、搬入部と搬出部を上下に配置し、搬入側ストッカと搬出側ストッカを前記レーザ加工機に対して一方向に並べて配置したので、搬入部と搬出部との間の作業者の移動時間をなくして作業効率を向上でき、搬入部と搬出部での作業状況を同時に確認、把握できる。   According to the present invention, the carry-in part and the carry-out part are arranged one above the other, and the carry-in side stocker and the carry-out side stocker are arranged side by side with respect to the laser processing machine, so that the operator between the carry-in part and the carry-out part Work time can be improved by eliminating travel time, and the work status at the loading and unloading sections can be confirmed and grasped simultaneously.

本発明に係るレーザ加工装置の全体構成図である。1 is an overall configuration diagram of a laser processing apparatus according to the present invention. 本発明に係るレーザ加工機を説明する図である。It is a figure explaining the laser beam machine concerning the present invention. 本発明に係るレーザ加工の全体工程を表すフローチャートである。It is a flowchart showing the whole process of the laser processing which concerns on this invention. 本発明に係るワーク搬入工程を表すフローチャートである。It is a flowchart showing the workpiece carrying-in process which concerns on this invention. 本発明に係るレーザ加工工程を表すフローチャートである。It is a flowchart showing the laser processing process which concerns on this invention. 本発明に係るワーク搬出工程を表すフローチャートである。It is a flowchart showing the workpiece carrying-out process which concerns on this invention. 本発明に係るワーク搬入時のワークおよび吸着パッドの位置を表す図である。(a)は正面図、(b)は平面図。It is a figure showing the position of the workpiece | work and suction pad at the time of the workpiece | work delivery concerning this invention. (A) is a front view, (b) is a plan view. 本発明に係るレーザ加工時のワークの位置を表す図である。It is a figure showing the position of the workpiece | work at the time of the laser processing which concerns on this invention. 本発明に係るワーク搬出時のワークおよび吸着パッドの位置を表す図である。(a)は正面図、(b)は平面図。It is a figure showing the position of the workpiece | work and suction pad at the time of the workpiece | work carrying out based on this invention. (A) is a front view, (b) is a plan view.

以下、図面を参照しながら本発明に係る実施の形態を実施例に沿って説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は本発明の実施形態に係るレーザ加工装置の全体構成図である。同図において、レーザ加工装置は、ワーク105に孔や溝をレーザ加工するレーザ加工機101と、未加工のワーク105をレーザ加工機101へ供給し加工されたワーク105を排出する搬入出装置102と、から構成される。レーザ加工機101は、載置された複数(図では2個)のワーク105をX方向(紙面に対して左右方向)及びY方向(紙面に対して垂直方向)に移動自在なXYテーブル106と、XYテーブル106上に固定されワークを吸着又は解放する真空吸着テーブル(図示を省略)と、ワーク105に対してレーザ光を照射する複数(図では2個)のレーザユニット104a、レーザユニット104bと、レーザユニット104aおよびレーザユニット104bを設けた門型のコラム103と、XYテーブル106が設置されたベッド107と、前記レーザ加工機101及び後述する搬入出装置102を制御する制御装置119を備えてなる。   FIG. 1 is an overall configuration diagram of a laser processing apparatus according to an embodiment of the present invention. In the figure, a laser processing apparatus includes a laser processing machine 101 that laser-processes holes and grooves in a work 105, and a carry-in / out apparatus 102 that supplies an unprocessed work 105 to the laser processing machine 101 and discharges the processed work 105. And. The laser beam machine 101 includes an XY table 106 that can move a plurality of (two in the drawing) workpieces 105 mounted in the X direction (left and right direction with respect to the paper surface) and the Y direction (perpendicular direction with respect to the paper surface). A vacuum suction table (not shown) that is fixed on the XY table 106 and sucks or releases the workpiece, and a plurality (two in the drawing) of laser units 104a and laser units 104b that irradiate the workpiece 105 with laser light. A portal column 103 provided with a laser unit 104a and a laser unit 104b, a bed 107 provided with an XY table 106, and a control device 119 for controlling the laser processing machine 101 and a carry-in / out device 102 described later. Become.

一方、搬入出装置102は、搬入部と搬出部とで構成される。搬入部は、ワーク105を吸着又は解放する吸着パッド112が複数設けられた吸着パッドフレーム111a及び吸着パッドフレーム111bと、吸着パッドフレーム111aを上昇下降させるためのリフタ110aと、吸着パッドフレーム111bを上昇下降させるためのリフタ110bと、リフタ110a及びリフタ110bが底面に固定されたスライダ109と、スライダ109を指示する搬入側のガイドレール108と、ワーク105を一時的に保持しておく搬入側載置台113aと、複数のワーク105が積載された上下テーブル114aを上下方向に移動自在な搬入側ストッカ115と、を備えてなる。リフタ110aと110bはそれぞれ独立に上昇下降させることができる。搬出部は、ワーク105を吸着又は解放する吸着パッド112が複数設けられた吸着パッドフレーム111c及び吸着パッドフレーム111dと、吸着パッドフレーム111cを上昇下降させるためのリフタ110cと、吸着パッドフレーム111dを上昇下降させるためのリフタ110dと、リフタ110c及びリフタ110dが側面に固定されたスライダ117と、スライダ117を指示する搬入側のガイドレール116と、ワーク105を一時的に保持しておく搬入側載置台113bと、複数のワーク105が積載された上下テーブル114bを上下方向に移動自在な搬出側ストッカ118と、を備えてなる。ガイドレール108は、最大20kgの重量物を搬送可能なので、吸着パッドフレーム及びリフタ(例えば、合計重量6kg程度)を2組取付けたスライダ109を片持ちで保持できX方向に移動自在である。したがって、ガイドレール108をガイドレール116のような両持ちでスライダ117を保持する場合よりも短くできるので、加工が終わったワーク105を搬入部の横を上昇させてから搬出側ワーク載置台113bおよび搬出側ストッカ118へ移動させることができる。   On the other hand, the carry-in / out device 102 includes a carry-in unit and a carry-out unit. The carry-in unit lifts the suction pad frame 111a and the suction pad frame 111b provided with a plurality of suction pads 112 for sucking or releasing the workpiece 105, the lifter 110a for raising and lowering the suction pad frame 111a, and the suction pad frame 111b. Lifter 110b for lowering, slider 109 with lifter 110a and lifter 110b fixed to the bottom surface, loading-side guide rail 108 for pointing to slider 109, and loading-side mounting table for temporarily holding workpiece 105 113a and a loading-side stocker 115 that is movable in the vertical direction on an upper and lower table 114a on which a plurality of workpieces 105 are loaded. The lifters 110a and 110b can be raised and lowered independently. The carry-out unit raises the suction pad frame 111c and the suction pad frame 111d provided with a plurality of suction pads 112 for sucking or releasing the workpiece 105, the lifter 110c for raising and lowering the suction pad frame 111c, and the suction pad frame 111d. Lifter 110d for lowering, slider 117 with lifter 110c and lifter 110d fixed to the side surface, loading-side guide rail 116 that points to slider 117, and loading-side mounting table that temporarily holds workpiece 105 113b, and an unloading side stocker 118 that can move up and down on an upper and lower table 114b on which a plurality of workpieces 105 are loaded. Since the guide rail 108 can transport a heavy object of a maximum of 20 kg, the slider 109 having two sets of suction pad frames and lifters (for example, a total weight of about 6 kg) can be held in a cantilever manner and is movable in the X direction. Accordingly, the guide rail 108 can be made shorter than the case where the slider 117 is held by both ends of the guide rail 116, so that the workpiece 105 that has been processed is moved up the side of the loading portion, and then the unloading side workpiece mounting table 113b and It can be moved to the carry-out side stocker 118.

搬入出装置102は、搬入部と搬出部を上下に配置し、搬入側ストッカ115と搬出側ストッカ118をレーザ加工機101に対して一方向に並べて配置している。そのため、搬入部と搬出部との間の作業者の移動時間をなくして作業効率を向上でき、搬入部と搬出部での作業状況を同時に確認、把握できる。   The carry-in / out device 102 has a carry-in section and a carry-out section arranged one above the other, and a carry-in stocker 115 and a carry-out stocker 118 are arranged in one direction with respect to the laser processing machine 101. Therefore, it is possible to improve the work efficiency by eliminating the movement time of the worker between the carry-in part and the carry-out part, and to confirm and grasp the work status in the carry-in part and the carry-out part at the same time.

なお、搬入側ストッカ115と搬出側ストッカ118を共通としてストッカを単一とした場合、ワーク105をレーザ加工機101で一度に加工される枚数のみ単一のストッカに載置しなければ未加工のワーク105の上に加工後のワーク105が積載されてしまうために加工後のワーク105を未加工のワーク105と分別して単一のストッカから取出さなければならなかった。一方、通常、レーザ加工機101で一度に加工される枚数以上のワーク105を1ロットとして加工するため、単一のストッカへのワーク105の載置及び取出しを複数回行わなければならなかった。したがって、作業者の作業効率が低下した。本発明では、搬入側ストッカ115と搬出側ストッカ118を別々に設けたので、1ロットのワーク105の搬入側ストッカ115への載置及び搬出側ストッカ118からの取出しをそれぞれ1回とすることができる。また、搬入側ストッカ115と搬出側ストッカ118を別々に設けたので、未加工ワーク105のXYテーブル106への搬入工程中に加工後のワーク105を搬出側ストッカ118から取出し、加工後のワーク105のXYテーブル106からの搬出工程中にワーク105を搬入側ストッカ118へ載置することができる。しかるに、作業効率を向上させることが可能である。   In addition, when the carrying-in stocker 115 and the carrying-out stocker 118 are common and the stocker is single, the workpiece 105 is not processed unless it is placed on the single stocker by the number of workpieces 105 processed at a time by the laser processing machine 101. Since the processed workpiece 105 is loaded on the workpiece 105, the processed workpiece 105 must be separated from the unprocessed workpiece 105 and taken out from a single stocker. On the other hand, in general, in order to process one or more workpieces 105 that are processed at a time by the laser processing machine 101, it is necessary to place and extract the workpieces 105 on a single stocker a plurality of times. Therefore, the work efficiency of the worker has been reduced. In the present invention, since the carry-in side stocker 115 and the carry-out side stocker 118 are provided separately, it is possible to place one lot of the work 105 on the carry-in side stocker 115 and take out from the carry-out side stocker 118 once. it can. Further, since the loading-side stocker 115 and the unloading-side stocker 118 are provided separately, the processed workpiece 105 is taken out from the unloading-side stocker 118 during the loading process of the unprocessed workpiece 105 to the XY table 106, and the processed workpiece 105 is processed. The workpiece 105 can be placed on the loading-side stocker 118 during the unloading process from the XY table 106. However, work efficiency can be improved.

図2は、本発明の実施形態に係るレーザ加工機を説明する図である。レーザユニット104aは、ミラー204aと1対のガルバノスキャナ205a及びfθレンズ206aとから構成され、レーザユニット104bは、ミラー204bと1対のガルバノスキャナ205b及びfθレンズ206bとから構成されている。レーザ発振器201から出力されたレーザ光は、音響光学素子202により光路を交互に変更されてミラー203a、204aを介してガルバノスキャナ205aに、ミラー203b、204bを介してガルバノスキャナ205bにそれぞれ入射される。そして、ガルバノスキャナ205a、205bによりXY方向に位置決めされ、fθレンズ206aまたはfθレンズ206bを通過して、それぞれワーク105を加工する。   FIG. 2 is a diagram for explaining a laser processing machine according to an embodiment of the present invention. The laser unit 104a includes a mirror 204a, a pair of galvano scanners 205a and an fθ lens 206a, and the laser unit 104b includes a mirror 204b and a pair of galvano scanners 205b and an fθ lens 206b. The laser light output from the laser oscillator 201 is alternately changed in optical path by the acousto-optic device 202 and is incident on the galvano scanner 205a via the mirrors 203a and 204a, and is incident on the galvano scanner 205b via the mirrors 203b and 204b. . Then, the workpiece 105 is positioned in the XY direction by the galvano scanners 205a and 205b, passes through the fθ lens 206a or the fθ lens 206b, and processes the workpiece 105 respectively.

図3〜図6は本発明に係る動作を表すフローチャートであり、制御装置119にプログラムされている。   3 to 6 are flowcharts showing operations according to the present invention, which are programmed in the control device 119.

図3において、まず、搬入工程に移行し加工するためのワーク105をXYテーブル106へ載置する(ステップS301)。次に、加工工程に移行しワーク105をレーザ加工した後(ステップS302)、加工されたワーク105を回収側基板ストッカ123へ搬出する(ステップS303)。その後、次に加工するワーク105があれば再び搬入動作を繰り返し、加工するワーク105が無くなった時点で本発明に係る一連の動作を終了する(ステップS304)。   In FIG. 3, first, the workpiece 105 to be transferred to the carrying-in process is placed on the XY table 106 (step S <b> 301). Next, the process shifts to the machining step and the workpiece 105 is laser machined (step S302), and then the machined workpiece 105 is carried out to the collection side substrate stocker 123 (step S303). Thereafter, if there is a workpiece 105 to be processed next, the carry-in operation is repeated again, and the series of operations according to the present invention is terminated when there is no workpiece 105 to be processed (step S304).

次に、搬入工程の詳細を図4および図7を用いて説明する。搬入工程を示すフローチャートを図4に、ワーク105を搬入してXYテーブル106上へ載置させたときの正面図を図7(a)に、平面図を図7(b)にそれぞれ示す。ステップS401で上下テーブル114aを上昇させる(ステップS401)。その後、吸着パッドフレーム111bを、下降させてワーク105を吸着させ(ステップS402)、上昇させて搬入側ワーク載置台113a上方に移動させ(ステップS403)、下降させて搬入側ワーク載置台113a上にワーク105を載置させ(ステップS404)、上昇させて搬入側ストッカ115上方に移動させる(ステップS405)。吸着パッドフレーム111a及び吸着パッドフレーム111bを下降させ、搬入側ワーク載置台113aに載置されたワーク105を吸着パッドフレーム111aに、搬入側ストッカ115に積載されているワーク105を吸着パッドフレーム111bに、それぞれ吸着させる(ステップS406)。吸着パッドフレーム111a及び吸着パッドフレーム111bを、上昇させた後XYテーブル106上方に移動させ(ステップS407)、下降させてXYテーブル106上にワーク105を載置させた後、再び上昇させて搬入開始位置に移動させて(ステップS408)、搬入動作を終了する。   Next, details of the carrying-in process will be described with reference to FIGS. 4 and 7. FIG. 4 is a flowchart showing the loading process, FIG. 7A is a front view when the work 105 is loaded and placed on the XY table 106, and FIG. 7B is a plan view. In step S401, the upper and lower tables 114a are raised (step S401). Thereafter, the suction pad frame 111b is lowered to suck the workpiece 105 (step S402), and is lifted to move above the loading-side workpiece mounting table 113a (step S403), and is lowered to be on the loading-side workpiece mounting table 113a. The workpiece 105 is placed (step S404), and the workpiece 105 is raised and moved above the loading-side stocker 115 (step S405). The suction pad frame 111a and the suction pad frame 111b are lowered, the workpiece 105 placed on the loading-side workpiece mounting table 113a is placed on the suction pad frame 111a, and the workpiece 105 loaded on the loading-side stocker 115 is placed on the suction pad frame 111b. , Each is adsorbed (step S406). The suction pad frame 111a and the suction pad frame 111b are lifted and then moved to the upper position of the XY table 106 (step S407). After being lowered and placed on the XY table 106, the workpiece 105 is lifted again and then started to be carried in. The position is moved (step S408), and the carry-in operation is terminated.

図5は加工工程を示すフローチャートを、図8はワーク105を加工位置へ移動させたときの平面図をそれぞれ示す。XYテーブルを駆動し加工位置へワーク105を移動させる(ステップS501)。次に、ワーク105のレーザ加工を開始し(ステップS502)、加工終了(ステップS503)した後、XYテーブル106を駆動し搬出位置へワーク105を移動させ(ステップS508)、加工動作を終了する。   FIG. 5 is a flowchart showing the machining process, and FIG. 8 is a plan view when the workpiece 105 is moved to the machining position. The XY table is driven to move the workpiece 105 to the machining position (step S501). Next, laser machining of the workpiece 105 is started (step S502), and after machining is finished (step S503), the XY table 106 is driven to move the workpiece 105 to the carry-out position (step S508), and the machining operation is finished.

搬出動作を図6および図9を用いて説明する。搬出工程を示すフローチャートを図6に、ワーク105を吸着パッド111cおよび111dに吸着させたときの正面図を図9(a)に、平面図を図9(b)にそれぞれ示す。吸着パッドフレーム111c及び吸着パッドフレーム111dを、ワーク105上方へ移動させ(ステップS601)、降下させてワーク105を吸着させた後上昇させ(ステップS602)、吸着パッドフレーム111cを搬出側ワーク載置台113b上方へ、吸着パッドフレーム111dを搬出側ストッカ118上方へそれぞれ移動させた後、下降させてワークを搬出側ワーク載置台113bおよび搬出側ストッカ118へ載置させる(ステップS603)。その後、吸着パッドフレーム111cおよび吸着パッドフレーム111dを上昇させ、吸着パッドフレーム111dを搬出側ワーク載置台113b上方に移動させた後降下させてワーク105を吸着させ(ステップS604)、吸着パッドフレーム111dを、上昇させ搬出側ストッカ118上方に移動させた後降下させてワーク105を搬出側ストッカ118上へ載置させ(ステップS605)、上昇させた後搬出開始位置へ移動させ(ステップS609)、搬出動作を終了する。   The carry-out operation will be described with reference to FIGS. FIG. 6 is a flowchart showing the unloading process, FIG. 9A is a front view when the work 105 is attracted to the suction pads 111c and 111d, and FIG. 9B is a plan view. The suction pad frame 111c and the suction pad frame 111d are moved above the workpiece 105 (step S601), lowered to suck the workpiece 105 and then lifted (step S602), and the suction pad frame 111c is moved to the unloading side workpiece mounting table 113b. The suction pad frame 111d is moved upward above the carry-out side stocker 118, and then lowered to place the work on the carry-out side work placing table 113b and the carry-out side stocker 118 (step S603). Thereafter, the suction pad frame 111c and the suction pad frame 111d are raised, the suction pad frame 111d is moved above the carry-out side work mounting table 113b, and then lowered to suck the work 105 (step S604). Then, the workpiece 105 is lowered and then moved down to place the workpiece 105 on the carry-out side stocker 118 (step S605), and after being raised, moved to the unloading start position (step S609) and carried out. Exit.

上記実施例では、X方向でレーザ加工機101に近い側に搬入部が、遠い側に搬出部がそれぞれ配置されているが、レーザ加工機101に近い側を搬出部、遠い側を搬出部として上記搬入工程と搬出工程の制御対象を切り換えても良い。   In the above embodiment, the carry-in part is arranged on the side close to the laser processing machine 101 in the X direction, and the carry-out part is arranged on the far side, but the side close to the laser processing machine 101 is the carry-out part and the far side is the carry-out part. You may switch the control object of the said carrying-in process and a carrying-out process.

また、ワーク105を2個同時に加工することを説明してきたが、吸着パッドフレームおよびレーザユニットをワーク105と同数、ワーク載置台をワーク105より1つ少ない個数とすることにより、3個以上のワーク105を加工することが可能である。   In addition, it has been described that two workpieces 105 are processed at the same time. However, the number of suction pad frames and laser units is the same as the number of workpieces 105, and the number of workpiece mounting bases is one less than that of workpieces 105. 105 can be processed.

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく種々の変形が可能で有り、特許請求の範囲に記載された技術思想に含まれる技術的事項の全てが本発明の対象となる。   It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible, and all technical matters included in the technical idea described in the scope of claims are the subject of the present invention.

101 レーザ加工機
102 搬入出装置
103 門型コラム
104a、104b レーザユニット
105 ワーク
106 XYテーブル
107 ベッド
108、116 ガイドレール
109、117 スライダ
110a、110b、110c、110d リフタ
111a、111b、111c、111d 吸着パッドフレーム
112 吸着パッド
113a 搬入側ワーク載置台
113b 搬出側ワーク載置台
114a、114b 上下テーブル
115 搬入側ストッカ
118 搬出側ストッカ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 Laser processing machine 102 Carry-in / out apparatus 103 Portal column 104a, 104b Laser unit 105 Work 106 XY table 107 Bed 108,116 Guide rail 109,117 Slider 110a, 110b, 110c, 110d Lifter 111a, 111b, 111c, 111d Adsorption pad Frame 112 Suction pad 113a Loading-side workpiece mounting table 113b Loading-side workpiece mounting table 114a, 114b Upper and lower tables
115 Loading side stocker 118 Loading side stocker

Claims (1)

水平面上の一軸方向であるX方向に並べて配置された複数のワークを前記X方向および前記水平面上で前記X方向に直交するY方向へ移動自在なXYテーブルと、前記XYテーブルが載置されたベッドと、前記複数のワークの上方で前記X方向に並べて配置された前記複数のワークと同数のレーザユニットと、を有するレーザ加工機と、
加工前のワークを積載する搬入側ストッカと、吸着パッドが設けられた前記複数のワークと同数の吸着パッドフレームと、ワークを一時的に保持しておき前記複数のワークより1つ少ない個数の搬入側ワーク載置台と、から構成された搬入部と、
加工後のワークを積載する搬出側ストッカと、吸着パッドが設けられた前記複数のワークと同数の吸着パッドフレームと、ワークを一時的に保持しておき前記複数のワークより1つ少ない個数の搬出側ワーク載置台と、から構成された搬出部と、を備え、
前記搬入部と前記搬出部を上下に配置し、
前記搬入側ストッカと前記搬出側ストッカを前記レーザ加工機に対して一方向に並べて配置したことを特徴とするレーザ加工装置。
An XY table on which a plurality of workpieces arranged side by side in the X direction, which is a uniaxial direction on a horizontal plane, is movable in the X direction and a Y direction perpendicular to the X direction on the horizontal plane, and the XY table are placed A laser beam machine having a bed and the same number of laser units as the plurality of workpieces arranged in the X direction above the plurality of workpieces;
A loading-side stocker for loading workpieces before processing, the same number of suction pad frames as the plurality of workpieces provided with suction pads, and a number of workpieces that are temporarily held and one less than the plurality of workpieces. A loading part composed of a side workpiece mounting table;
An unloading side stocker for loading workpieces after processing, the same number of suction pad frames as the plurality of workpieces provided with suction pads, and a number of workpieces that are temporarily held by the workpiece and one less than the plurality of workpieces A side work placing table, and a carry-out unit composed of:
The carry-in part and the carry-out part are arranged up and down,
The laser processing apparatus, wherein the carry-in side stocker and the carry-out side stocker are arranged in one direction with respect to the laser processing machine.
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