JP2012231598A - 振動波モータ - Google Patents

振動波モータ Download PDF

Info

Publication number
JP2012231598A
JP2012231598A JP2011098195A JP2011098195A JP2012231598A JP 2012231598 A JP2012231598 A JP 2012231598A JP 2011098195 A JP2011098195 A JP 2011098195A JP 2011098195 A JP2011098195 A JP 2011098195A JP 2012231598 A JP2012231598 A JP 2012231598A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wave motor
pressure
contact surfaces
vibration wave
vibrator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2011098195A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5709631B2 (ja
Inventor
Satoshi Tsuchiya
聡司 土屋
Takao Mori
敬夫 森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2011098195A priority Critical patent/JP5709631B2/ja
Publication of JP2012231598A publication Critical patent/JP2012231598A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5709631B2 publication Critical patent/JP5709631B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

【課題】振動波モータを使用する際の熱対策を実施する環境に対応し、振動波モータの構成部品間における温度分布の差を抑制できる振動波モータを提供する。
【解決手段】電気−機械エネルギー変換素子が接合された弾性体を有する振動子と、前記振動子と接触する移動体を備え、前記振動子と前記移動体とが加圧部材により加圧されて複数の接触面を構成しており、
前記電気−機械エネルギー変換素子への電気信号の印加により前記複数の接触面に生じる運動によって前記移動体を摩擦駆動し、該複数の接触面による複数の駆動力を共通の出力軸により出力させる振動波モータであって、
前記摩擦駆動によって発生する発熱量を前記複数の接触面間で異なるように調整可能に構成されている。
【選択図】 図1

Description

本発明は、振動子に移動体を接触させ摩擦駆動するいわゆる振動波モータに関し、振動波モータの熱対策技術に関するものである。
振動波モータは低速・大トルクなどの特徴から、例えば一眼レフカメラの撮影レンズにおけるオートフォーカスの駆動用モータとして実用化されているが、近年、さらに大出力化が求められている。
このような課題に対し、特許文献1や特許文献2では、複数の振動子と複数の移動体を組み合わせることで大出力を得る振動波モータが提案されている。
特開2001−016875号公報 特開2003−047263号公報
しかしながら、上記従来技術では、振動波モータを使用する際の熱対策を実施する環境によっては、振動波モータの構成部品間における温度分布の差が大きくなり、振動波モータの耐久性の低下を招くことがあった。
これらについて、特許文献1や特許文献2のように、2つの振動子と2つの移動体を備え、振動子と移動体が2つの接触面を形成する振動波モータを例に取って説明する。
このような振動波モータにおいて、2つの接触面が置かれる環境は必ずしも同じとは限らない。
冷却ファンを当てることが困難であったり、熱がこもりやすいことにより局所的に放熱性が悪化することがある。
このような場合、放熱上不利な方に置かれた接触面に近い構成部品が、その機能を劣化させるほどに異常に昇温してしまう。この異常昇温は、振動波モータの性能に影響し、耐久性の低下を招いてしまうこととなる。
本発明は、上記課題に鑑み、振動波モータを使用する際の熱対策を実施する環境に対応して振動波モータの構成部品間における温度分布の差を抑制でき、局所的な異常昇温による耐久性低下の抑制を図ることが可能となる振動波モータの提供を目的とする。
本発明の振動波モータは、電気−機械エネルギー変換素子が接合された弾性体を有する振動子と、前記振動子と接触する移動体を備え、前記振動子と前記移動体とが加圧部材により加圧されて複数の接触面を構成しており、
前記電気−機械エネルギー変換素子への電気信号の印加により前記複数の接触面に生じる運動によって前記移動体を摩擦駆動し、該複数の接触面による複数の駆動力を共通の出力軸により出力させる振動波モータであって、
前記摩擦駆動によって発生する発熱量を前記複数の接触面間で異なるように調整可能に構成されていることを特徴とする。
本発明によれば、振動波モータを使用する際の熱対策を実施する環境に対応して振動波モータの構成部品間における温度分布の差を抑制でき、局所的な異常昇温による耐久性低下の抑制を図ることが可能となる振動波モータを実現することができる。
本発明の実施例1における振動波モータの構成を説明する断面図。 本発明の実施例1の変形例1における振動波モータの構成を説明する断面図。 本発明の実施例1の変形例2における振動波モータの構成を説明する断面図。 本発明の実施例1の変形例3における振動波モータの構成を説明する断面図。 本発明の実施例1の変形例4における振動波モータの構成を説明する断面図。 本発明の実施例1の変形例5における振動波モータの構成を説明する断面図。 本発明の実施例2における振動波モータの構成を説明する断面図。 本発明の実施例2の変形例4における振動波モータの構成を説明する断面図。 本発明の実施例2の変形例5における振動波モータの構成を説明する断面図。
本発明を実施するための形態を、以下の実施例により説明する。
[実施例1]
実施例1として、本発明を適用した振動波モータの構成例について説明する。本実施例の電気−機械エネルギー変換素子が接合された弾性体を有する振動子と、前記振動子と接触する移動体を備え、前記振動子と前記移動体とが加圧部材により加圧されて複数の接触面を構成している。
そして、この電気−機械エネルギー変換素子への電気信号の印加により複数の接触面に生じる楕円運動によって複数の接触面により前記移動体を摩擦駆動し、該複数の接触面による複数の駆動力を共通の出力軸により出力させる。
具体的には、本実施例の振動波モータは、図1に示されているように、第1の部品群100aと第2の部品群100b、振動子固定部材109、出力軸201により構成されている。
第1および第2の部品群100a、100bは、それぞれ振動子101a、101b、移動体104a、104b、加圧部材107a、107b、加圧ばね固定部材108a、108b、ケース110a、110b、軸受111a、111bから構成される。
第1の部品群100aと第2の部品群100bは、振動子固定部材109を挟んで対称な関係である。
まず、第1の部品群100aについて説明する。
振動子101aは、圧電素子103aが接合された金属からなる弾性体102aにより円環状に構成されている。圧電素子103aは、電気量を機械量に変換する電気−機械エネルギー変換素子である。振動子101aは振動子固定部材109に固定される。
振動子固定部材109には、軸受111aを備えるケース110aが取りつけられている。
振動子固定部材109とケース110aは、振動子101a、移動体104a、加圧部材107a、加圧ばね固定部材108aを囲っている。ケース110aには放熱性向上のために図示しない通気口が設けられている。
移動体104aは、それぞれ金属からなる振動減衰部材105aと摩擦部材106aにより円環状に構成されている。
摩擦部材106aは断面がL字形状をしている。移動体104aの摩擦部材106aの先端は振動子101aに接触しており、第1の接触面を形成する。
第1の接触面は、板ばねである加圧部材107aにより加圧されている。
加圧部材107aは、加圧ばね固定部材108aに固定されている。加圧ばね固定部材108aは出力軸201に固定されている。
つぎに、第2の部品群について説明する。
第2の部品群100bは第1の部品群100aと振動子固定部材109を挟んで対称な構成である。第2の部品群は、振動子101b、移動体104b、加圧部材107b、加圧ばね固定部材108b、ケース110b、軸受111bで構成されており、第1の部品群100aと同じ形状である。
第2の部品群100bは、第1の部品群100aと共通の振動子固定部材109および出力軸201に固定されている。ケース110bには放熱性向上のために図示しない通気口が設けられている。
ここで、振動波モータの2つの接触面の加圧調整方法について説明する。
振動波モータの出力軸201は、外力が働かない状態では、加圧部材107a、107bの加圧力が釣り合ったところに位置する。
そこに、振動子固定部材109を支持し、図1に図示する矢印の向きの外力を出力軸201に与え、第2のケース110b側から第1のケース110a側に出力軸201を変位させる。
すると、第2の加圧部材107bの撓みは大きくなり、第1の加圧部材107aの撓みは小さくなる。
この状態で、出力軸201と第1の軸受111aを、第1のケース110aの外側で加圧調整部材202により固定する。加圧調整部材202はEリングが考えられる。
これにより、第1の部品群100a内の第1の接触面の加圧力が第2の部品群100b内の第2の接触面の加圧力よりも小さくなり、これらの接触面間で異ならせることができる。
出力軸201の固定位置までのずれ量、つまり、加圧調整部材202を出力軸201に取り付ける位置は、設定すべき第1と第2の接触面の加圧力の差と、加圧部材107a、107bのばね剛性から定められる。
このような振動波モータの駆動原理について説明する。
振動子101a、101bの圧電素子103a、103bへの交流信号の印加により、振動子101a、101bの移動体104a、104bとの接触面に楕円運動を生じさせ、移動体104a、104bをそれぞれ摩擦駆動するように構成される。
移動体104a、104bは同一方向に回転し、回転出力は、加圧部材107a、107b、加圧ばね固定部材108a、108bを介して共通の出力軸201に伝えられる。
以上に説明した本実施例の効果について説明する。
振動波モータを摩擦駆動した場合に、2つの接触面の加圧力の差に起因して、第2の接触面と比較し、第1の接触面における摩擦力が小さくなり、摩擦による発熱量が小さくなる。
これにより、第2の部品群100bと比較し、第1の部品群100aの自己発熱による温度上昇が小さくなる。
このような形態の振動波モータを図1に示すように装置筐体203に取り付ける場合、装置筐体203に囲われた側では冷却ファンなどの熱対策の実施が困難である。
そこで、自己発熱による温度上昇が小さい第1の部品群100aを放熱上不利な位置に配置し、自己発熱による温度上昇が大きい第2の部品群100bを放熱上有利な位置に配置することにより、振動波モータ全体の温度分布の差を抑制することができる。
このように、摩擦駆動によって発生する発熱量を前記複数の接触面間で異なるように調整可能に構成することで、振動波モータの構成部材の局所的な異常昇温による耐久性低下を改善した振動波モータを実現することができる。
図1に示す本実施例の変形例を説明する。
変形例1を説明する。
本実施例の振動波モータ駆動中に、2つの接触面の加圧力を積極的に随時変化させることで、周辺環境の変化に随時対応することができる。具体的には、図2のように、加圧調整用圧電素子(加圧調整用部材)205を備えた出力軸201を用い、圧電素子205に通電することで出力軸201の軸方向位置を変化させて、2つの接触面の加圧力を同時に変化させる方法が考えられる。
より具体的には、摩擦駆動中のモータ温度及び/又は周辺環境の温度を検知する温度検知センサを構成する。
そして、この温度検知センサの検知結果に基づいて加圧調整用圧電素子205を作動させ出力軸201を軸方向に変位させるようにした構成を採ることができる。また、本変形例では、出力軸の軸方向変位手段として、圧電素子を挙げたが、それに限らない。他の手段として、磁歪素子や空気圧アクチュエータ等が考えられる。
変形例2を説明する。
本実施例では、振動波モータの出力軸201の固定方法として、加圧調整部材202を用いる方法を説明した。
変形例として、図3に示すように、振動波モータを装置筐体203に取り付けた後、被駆動体204と出力軸201を連結する際に、出力軸201の位置を、第1および第2の接触面の加圧力が等しくなる位置からずらして固定する方法が考えられる。
変形例3を説明する。
本実施例では、2つの接触面の加圧力を、出力軸201の固定位置により同時に調整する例を説明した。変形例として、図4に示すように、出力軸201を第1と第2の部品群100a、100bの間で軸方向に拘束し、第1と第2の接触面の加圧力を独立に調整する振動波モータが考えられる。
変形例4を説明する。本実施例では、2つの振動子101a、101bと、2つの移動体104a、104bを備える振動波モータの例を説明したが、この構成に限らず、複数の接触面を持ち、複数の加圧の方向が対向した振動波モータであればどのような構成でもよい。
例えば、変形例として、図5に示すような1つの振動子101と、2つの移動体104a、104bを備える振動波モータや、図6に示すような2つの振動子101a、101bと、1つの移動体104を備える振動波モータが挙げられる。図6に示す振動波モータにおいては、加圧部材107a、107bは弾性体102a、102bと一体化されている。
変形例5を説明する。
本実施例では、回転型の振動波モータの例を説明したが、この構成に限らず、複数の接触面を持ち、複数の加圧の方向が対向した振動波モータであれば直動型の振動波モータでもよい。
変形例6を説明する。
本実施例では、振動子の接触面が楕円運動することによって移動体を駆動する振動波モータの例を説明したが、この構成に限られない。例えば、振動子の接触面が往復運動し、移動体を突っつく(例えば伸縮運動により一方向に複数回押す運動)ことで移動体を駆動する振動波モータでもよい。
変形例7を説明する。
本実施例では、摩擦駆動中の複数の接触面の発熱量を調整する方法として、加圧力を調整する方法を説明したが、この方法に限られない。例えば、摩擦駆動中の接触面の滑り量や滑り速度を複数の接触面で異なるようにしておくことで、複数の接触面の発熱量を調整することができる。
[実施例2]
実施例2として、実施例1とは異なる形態の振動波モータの構成例について説明する。
実施例1では、変形例も含め、複数の接触面における加圧の方向が対向した振動波モータを説明した。実施例2では、複数の接触面における加圧の方向が同一である場合を説明する。
本実施例の振動波モータは、図7に示すように、第1の部品群と第2の部品群が平行に重なって構成される。
振動波モータは、2つの接触面を形成し、加圧部材107a、107bによる接触面の加圧の方向は同一である。
振動波モータの2つの接触面の加圧調整方法について説明する。
本実施例の振動波モータは、2つの接触面の加圧力を異ならせる方法として、実施例1のように、出力軸201に外力を与えて変位させ、出力軸201の位置を固定するだけでは不十分である。
さらに、第1と第2の加圧部材107a、107bにばね剛性の異なるものを使用する必要がある。
それにより、出力軸201に外力を与え、軸方向に変位させることで第1と第2の接触面の加圧力を異ならせることができる。
出力軸201に外力が働かない状態で、第1と第2の接触面の加圧力が等しい場合について説明する。
振動波モータの2つの接触面の加圧調整するためには、出力軸201に外力を与え、第2のケース110b側から第1のケース110a側に変位させる。
すると、第1および第2の加圧部材107a、107bの撓み量は両方とも増加するが、ばね剛性の差により2つの接触面の加圧力に差が発生する。
ばね剛性の大きい加圧部材に加圧される接触面の加圧力が大きくなる。
この位置で、出力軸201の第1のケース110aの外側に加圧調整部材202を固定する。加圧調整部材202はEリングが考えられる。
出力軸201の固定位置、つまり、加圧調整部材202の取り付ける位置は、設定すべき第1と第2の接触面の加圧力の差と、第1と第2の加圧ばねのばね剛性から定められる。
以上の本実施例の効果について説明する。
第1の加圧部材107aのばね剛性が、第2の加圧部材107bのばね剛性よりも小さい場合について説明する。
第1の接触面の加圧力は第2接触面の加圧力よりも小さくなる。振動波モータを摩擦駆動した場合に、第2の接触面と比較し、加圧力の低い第1の接触面における摩擦力が小さくなり、発熱量が小さくなる。つまり、第2の部品群100bと比較し、第1の部品群100aの温度上昇が小さくなる。
このような形態の振動波モータを図1に示すように装置筐体203に取り付ける場合、装置筐体203に囲われた側では冷却ファンなどの熱対策の実施が困難である。
そこで、自己発熱による温度上昇が小さい第1の部品群100aを放熱上不利な位置に配置し、自己発熱による温度上昇が大きい第2の部品群100bを放熱上有利な位置に配置することにより、振動波モータ全体の温度分布の差を抑制することができる。
これにより、振動波モータの構成部材の局所的な異常昇温による耐久性低下を改善した振動波モータを実現することができる。
図7に示す本実施例の変形例を説明する。
変形例1を説明する。
本実施例の振動波モータの駆動中に接触面の加圧力を積極的に随時変化させることで、振動波モータの駆動中に周辺環境が変化に対応することができる。
具体的には、出力軸201と被駆動体204の間に加圧調整用圧電素子205を挟み、圧電素子205に通電することで出力軸201の軸方向位置を変化させて、2つの接触面の加圧力を同時に変化させる方法が考えられる。
より具体的には、摩擦駆動によって複数の接触面に発生する発熱による温度及び/又は周辺環境の温度を検知する温度検知センサを構成する。
そして、この温度検知センサの検知結果に基づいて加圧調整用圧電素子205を作動させ出力軸201を軸方向に変位させるようにした構成を採ることができる。また、本変形例では、出力軸の軸方向変位手段として、圧電素子を挙げたが、それに限られない。他の手段として、磁歪素子や空気圧アクチュエータ等が考えられる。
変形例2を説明する。
本実施例では、振動波モータの出力軸201の固定方法として、加圧調整部材202を用いる方法を説明した。
変形例として、振動波モータを装置筐体203に取り付けた後、被駆動体204と出力軸201を固定する際に、出力軸201の位置を、第1および第2の接触面の加圧力が等しくなる位置からずらして固定する方法が挙げられる。
変形例3を説明する。
本実施例では、ばね剛性が異なる2つの加圧部材107a、107bを使用し、且つ出力軸の位置を外力により変位させることで2つの接触面の加圧力を異ならせる方法を説明した。
変形例として、ばね剛性が等しい2つの加圧部材107a、107bを用い、予め2つの加圧部材107a、107bの撓み量を異ならせておく方法が考えられる。
変形例4を説明する。
本実施例では、2つの振動子101a、101bと2つの移動体104a、104bを備える振動波モータを説明したが、この構成に限らず、複数の加圧の方向が同一である振動波モータであればどのような構成でもよい。
変形例として、図8に示すように、1つの振動子101に対し2つの移動体104a、104bを持ち、2つの移動体104a、104bの軌道が同心円状である構成が挙げられる。
変形例5を説明する。
図9に示すように、本実施例の変形例4を、1つの振動子101に対し同心円状に配置された2つの移動体104a、104bを持つ部品群を第1部品群とし、振動子固定部材を中心に対称に折り返した構成も考えられる。
この場合では1つの振動子と4つの移動体104a、104b、104c、104dを持ち、4つの接触面の加圧の方向が対向と同一のものが混在している。
この場合でも、4つの接触面の加圧力を全て同一にしておかないことにより、本発明の効果が得られる。
変形例6を説明する。
本実施例では、回転型の振動波モータの例を説明したが、この構成に限らず、複数の接触面を持ち、複数の加圧の方向が同一である振動波モータであれば直動型の振動波モータでもよい。
変形例7を説明する。
本実施例では振動子の接触面が楕円運動することによって移動体を駆動する振動波モータの例を説明したが、この構成に限らず、振動子の接触面が往復運動し、移動体を突っつくことで移動体を駆動する振動波モータでもよい。
変形例8を説明する。
本実施例では、摩擦駆動中の複数の接触面の発熱量を調整する方法として、加圧力を調整する方法を説明したが、この方法に限らない。例えば、摩擦駆動中の接触面の滑り量や滑り速度を複数の接触面で異なるようにしておくことで、複数の接触面の発熱量を調整することができる。
100a、100b:部品群
101、101a、101b:振動子
102、102a、102b:弾性体
103、103a、103b:圧電素子
104、104a、104b、104c、104d:移動体
105、105a:振動減衰部材
106、106a:摩擦部材
107、107a、107b:加圧部材
108、108a、108b:加圧ばね固定部材
109:振動子固定部材
110、110a、110b:ケース
111、111a、111b:軸受
201:出力軸
202:加圧調整部材
203:装置筐体

Claims (6)

  1. 電気−機械エネルギー変換素子が接合された弾性体を有する振動子と、前記振動子と接触する移動体を備え、前記振動子と前記移動体とが加圧部材により加圧されて複数の接触面を構成しており、
    前記電気−機械エネルギー変換素子への電気信号の印加により前記複数の接触面に生じる運動によって前記移動体を摩擦駆動し、該複数の接触面による複数の駆動力を共通の出力軸により出力させる振動波モータであって、
    前記摩擦駆動によって発生する発熱量を前記複数の接触面間で異なるように調整可能に構成されていることを特徴とする振動波モータ。
  2. 前記加圧部材による加圧力を調整する加圧調整部材を備え、
    前記加圧調整部材は、前記複数の接触面間の加圧力を調整することによって、前記発熱量を調整可能に構成されていることを特徴とする請求項1に記載の振動波モータ。
  3. 1つの前記振動子及び2つの前記移動体あるいは2つの前記振動子及び1つの前記移動体と、これらをそれぞれ加圧する2つの前記加圧部材と、を備え、
    前記2つの加圧部材は前記共通の出力軸に連結され、前記出力軸の軸方向への変位によって前記2つの加圧部材の加圧力が同時に調整可能に構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の振動波モータ。
  4. 前記摩擦駆動中のモータ温度及び/又は周辺環境の温度を検知する温度検知センサと、
    前記温度検知センサの検知結果に基づいて検知された温度によって前記出力軸を軸方向に変位させる加圧調整用部材と、
    を有することを特徴とする請求項3に記載の振動波モータ。
  5. 前記2つの加圧部材は、前記振動子と前記移動体との接触面における加圧の方向が対向するように設けられていることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の振動波モータ。
  6. 前記2つの加圧部材は、前記振動子と前記移動体との接触面における加圧の方向が同一となるように設けられていることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の振動波モータ。
JP2011098195A 2011-04-26 2011-04-26 振動波モータ Expired - Fee Related JP5709631B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011098195A JP5709631B2 (ja) 2011-04-26 2011-04-26 振動波モータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011098195A JP5709631B2 (ja) 2011-04-26 2011-04-26 振動波モータ

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015043887A Division JP5980361B2 (ja) 2015-03-05 2015-03-05 振動波モータ、および電子機器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012231598A true JP2012231598A (ja) 2012-11-22
JP5709631B2 JP5709631B2 (ja) 2015-04-30

Family

ID=47432647

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011098195A Expired - Fee Related JP5709631B2 (ja) 2011-04-26 2011-04-26 振動波モータ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5709631B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015053766A (ja) * 2013-09-05 2015-03-19 キヤノン株式会社 超音波モータを用いたリニア駆動ユニット
JP2016046472A (ja) * 2014-08-26 2016-04-04 京セラ株式会社 圧電アクチュエータおよびこれを備えたスピーカー

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01177875A (ja) * 1987-12-29 1989-07-14 Aisin Seiki Co Ltd 超音波モータ
JPH06113571A (ja) * 1992-09-30 1994-04-22 Sharp Corp 超音波モータ装置およびそれを備えたディスク装置
JPH11220894A (ja) * 1997-10-27 1999-08-10 Fanuc Ltd 両面駆動超音波モータ
JP2001268955A (ja) * 2000-03-22 2001-09-28 Nikon Corp 振動モータ、位置決め装置および振動モータの制御方法
JP2008259266A (ja) * 2007-04-02 2008-10-23 Nikon Corp 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01177875A (ja) * 1987-12-29 1989-07-14 Aisin Seiki Co Ltd 超音波モータ
JPH06113571A (ja) * 1992-09-30 1994-04-22 Sharp Corp 超音波モータ装置およびそれを備えたディスク装置
JPH11220894A (ja) * 1997-10-27 1999-08-10 Fanuc Ltd 両面駆動超音波モータ
JP2001268955A (ja) * 2000-03-22 2001-09-28 Nikon Corp 振動モータ、位置決め装置および振動モータの制御方法
JP2008259266A (ja) * 2007-04-02 2008-10-23 Nikon Corp 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015053766A (ja) * 2013-09-05 2015-03-19 キヤノン株式会社 超音波モータを用いたリニア駆動ユニット
JP2016046472A (ja) * 2014-08-26 2016-04-04 京セラ株式会社 圧電アクチュエータおよびこれを備えたスピーカー

Also Published As

Publication number Publication date
JP5709631B2 (ja) 2015-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9705426B2 (en) Ultrasonic motor and lens apparatus including the same
JP5814543B2 (ja) 駆動装置、レンズ鏡筒及びレンズ鏡筒を有する光学機器
CN106849743B (zh) 基于压电纤维的粘滑直线驱动器
JP2022533483A (ja) 可変焦点アセンブリ
JP5387811B2 (ja) 駆動装置の駆動方法
JP2006330054A (ja) レンズ鏡胴
JP2006330053A (ja) レンズ鏡胴
US10120178B2 (en) Vibration drive device in which separation between members by external force is suppressed, lens barrel, image pickup apparatus, and stage device
US20170207725A1 (en) Vibration-type actuator that moves vibrating body and driven body relatively to each other, and electronic apparatus
US7808153B2 (en) Inertial drive actuator
JP5086337B2 (ja) 圧電式リニアモーター
JP2017127127A5 (ja)
Shafik et al. Piezoelectric motor technology: A review
JP5709631B2 (ja) 振動波モータ
JP2005057907A (ja) 駆動装置
CN102067004A (zh) 振动促动器、具有该振动促动器的透镜镜筒及相机
JP5980361B2 (ja) 振動波モータ、および電子機器
CN113272701B (zh) 光学设备用致动器以及具备光学设备用致动器的镜头镜筒
JP5218045B2 (ja) 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラシステム及び振動アクチュエータの駆動方法
WO2011055427A1 (ja) 駆動装置
JP6632283B2 (ja) 振動波モータ、カメラ及びレンズ鏡筒
JP2009050142A (ja) 駆動装置
CN113671772B (zh) 一种单相压电驱动的可变光阑装置
JP6465587B2 (ja) 振動子ユニット、振動型アクチュエータ及び撮像装置
JP6497964B2 (ja) 振動型アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラおよび制御方法

Legal Events

Date Code Title Description
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20131212

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140425

TRDD Decision of grant or rejection written
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20150130

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150203

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150303

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5709631

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees