JP2012230367A - フォトマスク用基板、フォトマスク及びパターン転写方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1主表面に転写用パターンを形成してフォトマスクとなすためのフォトマスク用基板であって、四角形状である第1主表面上の、転写用パターンの形成されるパターン領域の外であって、第1主表面の対向する二辺の近傍に、露光機がフォトマスクを保持するときに保持部材が当接する当接面を含む保持領域を有し、保持領域は、保持領域内の平坦度指数Fsxとし、保持領域外の平坦度指数Fexとしたとき、Fsx≦Fexを満たす。
【選択図】図2
Description
第1主表面に転写用パターンを形成してフォトマスクとなすためのフォトマスク用基板であって、
四角形状である前記第1主表面上の、前記転写用パターンの形成されるパターン領域の外であって、前記第1主表面の対向する二辺の近傍に、露光機が前記フォトマスクを保持するときに保持部材が当接する当接面を含む保持領域を有し、
前記保持領域は、該保持領域内の2点であって、前記二辺と直交する直線上にある、P(mm)離間した、任意の2点の高低差がZsx(μm)であるときの〔Zsx/P〕を平坦度指数Fsxとし、該保持領域外の2点であって、前記二辺と直交する直線上にある、P(mm)離間した、任意の2点の高低差がZex(μm)であるときの〔Zex/P〕を平坦度指数Fexとしたとき、Fsx≦Fexを満たす
フォトマスク用基板が提供される。
第1主表面に転写用パターンを形成してフォトマスクとなすためのフォトマスク用基板であって、
四角形状である前記第1主表面上の、前記転写用パターンの形成されるパターン領域の外であって、前記第1主表面の対向する二辺の近傍に、露光機が前記フォトマスクを保持するときに保持部材が当接する当接面を含む保持領域を有し、
前記保持領域は、該保持領域内の2点であって、前記二辺と直交する直線上にある、P(mm)離間した任意の2点の高低差がZsx(μm)であるときの〔Zsx/P〕を平坦度指数Fsxとしたとき、Fsx≦0.08を満たす
フォトマスク用基板が提供される。
前記保持領域は、前記第1主表面上で、前記二辺のそれぞれから10mm離間した直線と、50mm離間した直線とにそれぞれ挟まれた、前記二辺に平行な帯状の領域である
第1又は2の態様に記載のフォトマスク用基板が提供される。
前記離間距離Pが、5≦P≦15(mm)を満たす
第1〜3のいずれかの態様に記載のフォトマスク用基板が提供される。
第1主表面に転写用パターンを形成してフォトマスクとなすためのフォトマスク用基板であって、
四角形状である前記第1主表面上の、前記転写用パターンの形成されるパターン領域の外であって、前記第1主表面の対向する二辺の近傍に、露光機が前記フォトマスクを保持するときに保持部材が当接する当接面を含む保持領域を有し、
前記保持領域は、
該保持領域内の2点であって、前記二辺と直交する直線上にある、P(mm)離間した、任意の2点の高低差がZsx(μm)であるときの〔Zsx/P〕を平坦度指数Fsxとしたとき、Fsx≦0.08を満たすとともに、
該保持領域内の2点であって、前記二辺と平行な直線上にある、P(mm)離間した、任意の2点の高低差がZsy(μm)であるときの〔Zsy/P〕を平坦度指数Fsyとしたとき、Fsy≦0.08を満たす
フォトマスク用基板が提供される。
前記第1主表面が長方形であり、前記保持領域は、前記第1主表面上の、前記パターン領域の外であって、前記第1主表面の対向する長辺のそれぞれの近傍に、前記長辺に平行な帯状の領域として設けられる
第1〜5のいずれかの態様に記載のフォトマスク用基板が提供される。
第1主表面に転写用パターンを形成してフォトマスクとなすためのフォトマスク用基板であって、
四角形状である前記第1主表面上の、前記転写用パターンの形成されるパターン領域の外であって、前記第1主表面の四辺のそれぞれの近傍に、露光機が前記フォトマスクを保持するときに保持部材が当接する当接面を含む保持領域を有し、
前記保持領域は、該保持領域各々について、該保持領域内の2点であって、前記四辺のうち近傍のひとつと直交する直線上にある、P(mm)離間した任意の2点の高低差がZsa(μm)であるときの〔Zsa/P〕を平坦度指数Fsaとしたとき、Fsa≦0.08を満たし、かつ、
前記保持領域の各々は、近傍の前記四辺のひとつから10mm離間した直線と、50mm離間した直線とに挟まれた、近傍の前記四辺のひとつに平行な帯状の領域である
フォトマスク用基板が提供される。
前記フォトマスク用基板の厚さがT(mm)であるとき、前記第1主表面の、前記保持領域内における平坦度指数Fsxが、Fsx≦(1/T)×3.0を満たす
第1〜6のいずれかの態様に記載のフォトマスク用基板が提供される。
前記保持領域内の前記2点の高低における相互関係は、前記二辺と直交する方向において前記2点の位置にかかわらず、変わらない
第2〜6のいずれかの態様に記載のフォトマスク用基板が提供される。
第1主表面に転写用パターンを形成してフォトマスクとなすためのフォトマスク用基板であって、
前記第1主表面の裏面にある四角形状の第2主表面上で、前記第2主表面の対向する二辺の近傍に、露光機が前記フォトマスクを保持するときに保持部材が当接する当接面を含む裏面保持領域を有し、
前記裏面保持領域は、該裏面保持領域内の2点であって、前記二辺と直交する直線上にある、P(mm)離間した、任意の2点の高低差がZbsx(μm)であるときの〔Zbsx/P〕を平坦度指数Fbsxとしたとき、Fbsx≦0.08を満たす
フォトマスク用基板が提供される。
前記裏面保持領域は、前記第2主表面上で、対向する二辺のそれぞれから10mm離間した直線と、50mm離間した直線とに挟まれた、前記二辺に平行な帯状の領域である
第10の態様に記載のフォトマスク用基板が提供される。
第1主表面に転写用パターンを形成してフォトマスクとなすためのフォトマスク用基板であって、
前記第1主表面の裏面にある四角形状の第2主表面上で、前記第2主表面の四辺のそれぞれの近傍に、露光機が前記フォトマスクを保持するときに保持部材が当接する当接面を含む裏面保持領域を有し、
前記裏面保持領域は、該裏面保持領域各々について、該裏面保持領域内の2点であって、前記四辺のうち近傍のひとつと直交する直線上にある、P(mm)離間した任意の2点の高低差がZbsa(μm)であるときの〔Zbsa/P〕を平坦度指数Fbsaとしたとき、Fbsa≦0.08を満たし、かつ、
前記裏面保持領域の各々は、近傍の前記四辺のひとつから10mm離間した直線と、50mm離間した直線とに挟まれた、近傍の前記四辺のひとつに平行な帯状の領域である
フォトマスク用基板が提供される。
第1〜12のいずれかの態様に記載のフォトマスク用基板を用い、前記フォトマスク用基板の第1主表面に形成された光学膜に、所望のパターニングを施し、転写用パターンとなしたフォトマスクが提供される。
近接露光用である第13の態様に記載のフォトマスクが提供される。
カラーフィルタ製造用である第13又は14の態様に記載のフォトマスクが提供される。
フォトマスクの有する転写用パターンを、プロキシミティ露光機を用いて、被転写体に転写するパターン転写方法において、
第13〜15のいずれかの態様に記載のフォトマスクを、前記プロキシミティ露光機の保持部材が前記フォトマスクの保持領域に当接するように保持し、露光する
パターン転写方法が提供される。
以下に、本発明の一実施形態について説明する。
まず、液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタの製造工程について、図1〜図3を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係るカラーフィルタの製造工程の概略を例示するフロー図である。図2(a)は、本実施形態に係るカラーフィルタの製造工程において近接露光を行う様子を例示する側面図であり、図3(b)はその平面図である。図3(a)は、本実施形態に係るフォトマスクの平面構成を例示する平面図であり、図3(b)は、その変形例を例示する平面図である。
まず、透光性樹脂やガラス等からなる透光性基材11を用意し、透光性基材11の一主表面上に遮光材膜12を形成し、遮光材膜12上にレジスト膜13を形成する(図1(a))。
続いて、ブラックマトリックス層12pが形成された透光性基材11の一主表面上に、例えば感光性樹脂材料からなる赤レジスト膜14を形成する(図1(f))。
続いて、緑フィルタ層15p及び青フィルタ層16pの形成を赤フィルタ層14pの形成と同様に行い、ブラックマトリックス層12pに区切られた透光性基材11の一主表面上へ赤フィルタ層14p、緑フィルタ層15p、青フィルタ層16p等のカラーフィルタ層を形成する工程を終了する(図1(j))。
その後、図示しないがブラックマトリックス層12p、赤フィルタ層14p、緑フィルタ層15p、青フィルタ層16p等のカラーフィルタ層の上面を覆うようにITO膜を形成して透明電極とし、カラーフィルタ10の製造を終了する。
上述したように、従来、近接露光を行うと、当接面103,203近傍(例えば図2(b)のパターン領域105のうち、保持部材503が当接する当接面103,203を含む保持領域104に近い領域)における転写用パターン112p,212pの転写精度、すなわち、保持領域104の近傍におけるブラックマトリックス層12pやカラーフィルタ層の座標精度が、保持領域104から離れた領域(例えば図2(b)のパターン領域105の中心部)のそれに比べて異なる傾向を示し、特異な劣化傾向を示すことがあった。特に、細線化の進んだ、微細なカラーフィルタ用マスクにおいて、この座標精度のわずかな劣化傾向が問題となることが見出された。
第1主表面に転写用パターンを形成してフォトマスクとなすための、フォトマスク用基板であって、
四角形状である前記第1主表面上の、前記転写用パターンの形成されるパターン領域の外であって、前記第1主表面の対向する二辺の近傍に、露光機が前記フォトマスクを保持するときに保持部材が当接する当接面を含む保持領域を有し、
前記保持領域は、前記保持領域内、および前記保持領域外のそれぞれの平坦度指数をFsx及びFexとしたとき、Fsx≦Fexを満たすフォトマスク用基板を用いてフォトマスクを製造することにより、パターンの転写性、座標精度を大幅に改善する。
四角形状である前記第1主表面上の、前記転写用パターンの形成されるパターン領域の外であって、前記第1主表面の対向する二辺の近傍に、露光機が前記フォトマスクを保持するときに保持部材が当接する当接面を含む保持領域を有し、
前記保持領域は、
該保持領域内の2点であって、前記二辺と直交する直線上にある、P(mm)離間した、任意の2点の高低差がZsx(μm)であるときの〔Zsx/P〕を平坦度指数Fsxとしたとき、Fsx≦0.08を満たすとともに、
該保持領域内の2点であって、前記二辺と平行な直線上にある、P(mm)離間した、任意の2点の高低差がZsy(μm)であるときの〔Zsy/P〕を平坦度指数Fsyとしたとき、Fsy≦0.08を満たすフォトマスク用基板である。
以下に、本実施形態に係るフォトマスクの製造方法について、図5、図6を参照しながら説明する。図5は、本実施形態に係るフォトマスクの製造工程を例示するフロー図である。図6は、レーザ光を入射することで平坦度を測定する様子を例示する模式図である。なお、以下の説明では、ブラックマトリックス形成用の第1フォトマスク100を製造する場合を例に挙げて説明するが、カラーフィルタ層形成用の第2〜第4フォトマスクの製造も、第1フォトマスク100の製造と同様に行うことができる。
まず、フォトマスク用基板としての透明基板101を用意する(図5(a))。なお、図3(a)にも例示したように、透明基板101は、平面視が長方形の板状であり、その寸法は、例えば長辺L1が600〜1400mm、短辺L2が500〜1300mm、厚さTが5〜13mm程度とすることができる。透明基板101は、例えば石英(SiO2)ガラスや、SiO2,Al2O3,B2O3,RO,R2O等を含む低膨張ガラス等から構成することができる。透明基板101の主表面(図5(a)では上側の面)には、上述の転写用パターン112pの形成予定領域が設けられている。また、転写用パターン112pの形成予定領域の外側であって、透明基板101の外周を構成する対向する二辺(本実施形態では長辺L1)のそれぞれの近傍には、長辺L1にそれぞれ平行な一対の帯状の保持領域104が設けられている。これは、露光機500に透明基板101をセットしたときに、露光機500の保持部材503と当接する当接面103を含む領域である。例えば、保持領域104は、第1フォトマスク100の外周を構成する対向する長辺(L1)のそれぞれから10mm離間した直線と、長辺(L1)のそれぞれから50mm離間した直線とに挟まれた、長辺(L1)にそれぞれ平行な一対の幅40mmの帯状の領域として構成することができる。
続いて、透明基板101の第1主表面上に、例えばCrを主成分とする光学膜としての遮光膜112を形成する(図5(b))。遮光膜112は、例えばスパッタリングや真空蒸着等の手法により形成することができる。遮光膜112の厚さは、露光機500の照射光を遮るのに十分な厚さであって、例えば100〜120nm程度とすることができる。なお、遮光膜112の上面には、例えばCrO等を主成分とする反射防止層を形成することが好ましい。また、遮光膜112は、保持領域104上には形成しなくてもよい。
続いて、レーザ描画機等によりレジスト膜113に描画露光を行い、レジスト膜113の一部を感光させる。その後、スプレー方式等の手法により現像液をレジスト膜113に供給して現像し、遮光膜112の一部を覆うレジストパターン113pを形成する(図5(c))。
本実施形態による効果を以下に例示する。
dmax(最大ずれ量)=T/2*sinθ
dmax(μm):上記最大ずれ量
Z(μm):2点の高低差、
P(mm):2点の離間距離、
T(mm):基板厚み
とすると、
dmax(0.15μm)=(T×103)/2*sinθ
=T/2*Z/P
Z=3.0/T(μm)
T=5mmとすると、Z=0.6μm
ここで、P=12mmに変更すると、Z=0.72μm
平坦度指数F(=Z/P)≦0.08であるから、十分な転写精度を得られる。発明者等の検討によると、上記観点より、平坦度指数F(=Z/P)≦0.08であれば、転写精度として上述の用途に良好に用いることができることがわかった。尚、このようなフォトマスク用基板を製造するにあたり、研磨能力、研磨時間を考慮すると、0.01≦Fであることが好ましい。これは、後述の、Fsxのほか、Fxy、Fsa、Fbsx、Fbsy、Fbsaにも同様にあてはまる。
以上、本発明の実施の形態を具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
第1主表面に転写用パターンを形成してフォトマスクとなすための、フォトマスク用基板であって、
四角形状である前記第1主表面上の、前記転写用パターンの形成されるパターン領域の外であって、前記第1主表面の四辺のそれぞれの近傍に、露光機が前記フォトマスクを保持するときに保持部材が当接する当接面を含む保持領域を有し、
前記保持領域は、該保持領域各々について、該保持領域内の2点であって、前記四辺のうち近傍のひとつと直交する直線上にある、P(mm)離間した任意の2点の高低差がZsa(μm)であるときの〔Zsa/P〕を平坦度指数Fsaとしたとき、Fsa≦0.08を満たし、かつ、
前記保持領域の各々は、近傍の前記四辺のひとつから10mm離間した直線と、50mm離間した直線とに挟まれた、近傍の前記四辺のひとつに平行な帯状の領域であるフォトマスク用基板を用いる。これにより、上記と同様の効果を有するフォトマスクを得ることができる。
露光機には、フォトマスクのパターンが形成された第1主表面の裏面側となる、第2主表面に保持部材が当接し、吸着保持するなどして、フォトマスクを固定する機構を利用するものがある。このような態様に適合するためには、以下のフォトマスク用基板が有用である。
第1主表面に転写用パターンを形成してフォトマスクとなすための、フォトマスク用基板であって、
前記第1主表面の裏面にある四角形状の第2主表面上で、前記第2主表面の対向する二辺の近傍に、露光機が前記フォトマスクを保持するときに保持部材が当接する当接面を含む裏面保持領域を有し、
前記裏面保持領域は、該裏面保持領域内の2点であって、前記二辺と直交する直線上にある、P(mm)離間した、任意の2点の高低差がZbsx(μm)であるときの〔Zbsx/P〕を平坦度指数Fbsxとしたとき、Fbsx≦0.08を満たすフォトマスク用基板を用いる。これにより、上記と同様の効果を有するフォトマスクを得ることができる。
更に、上記直線と垂直方向において、P(mm)離間した、任意の2点の高低差がZbsy(μm)であるときの〔Zbsy/P〕を平坦度指数Fbsyとしたとき、0.01≦Fbsy≦0.08とすると尚好ましい。更に、Fbsy≦(1/T)×3.0であることがより好ましい。
前記第1主表面の裏面にある四角形状の第2主表面上で、前記第2主表面の四辺のそれぞれの近傍に、露光機が前記フォトマスクを保持するときに保持部材が当接する当接面を含む裏面保持領域を有し、
前記裏面保持領域は、該裏面保持領域各々について、該裏面保持領域内の2点であって、前記四辺のうち近傍のひとつと直交する直線上にある、P(mm)離間した任意の2点の高低差がZbsa(μm)であるときの〔Zbsa/P〕を平坦度指数Fbsaとしたとき、Fbsa≦0.08を満たすフォトマスク用基板を用いる。これにより、上記と同様の効果を有するフォトマスクを得ることができる。
101 透明基板
103 当接面
104 保持領域
105 パターン領域
112p 転写用パターン
200 第2フォトマスク
201 透明基板
203 当接面
212p 転写用パターン
500 露光機
503 保持部材
Claims (16)
- 第1主表面に転写用パターンを形成してフォトマスクとなすためのフォトマスク用基板であって、
四角形状である前記第1主表面上の、前記転写用パターンの形成されるパターン領域の外であって、前記第1主表面の対向する二辺の近傍に、露光機が前記フォトマスクを保持するときに保持部材が当接する当接面を含む保持領域を有し、
前記保持領域は、該保持領域内の2点であって、前記二辺と直交する直線上にある、P(mm)離間した、任意の2点の高低差がZsx(μm)であるときの〔Zsx/P〕を平坦度指数Fsxとし、該保持領域外の2点であって、前記二辺と直交する直線上にある、P(mm)離間した、任意の2点の高低差がZex(μm)であるときの〔Zex/P〕を平坦度指数Fexとしたとき、Fsx≦Fexを満たす
ことを特徴とするフォトマスク用基板。 - 第1主表面に転写用パターンを形成してフォトマスクとなすためのフォトマスク用基板であって、
四角形状である前記第1主表面上の、前記転写用パターンの形成されるパターン領域の外であって、前記第1主表面の対向する二辺の近傍に、露光機が前記フォトマスクを保持するときに保持部材が当接する当接面を含む保持領域を有し、
前記保持領域は、該保持領域内の2点であって、前記二辺と直交する直線上にある、P(mm)離間した任意の2点の高低差がZsx(μm)であるときの〔Zsx/P〕を平坦度指数Fsxとしたとき、Fsx≦0.08を満たす
ことを特徴とするフォトマスク用基板。 - 前記保持領域は、前記第1主表面上で、前記二辺のそれぞれから10mm離間した直線と、50mm離間した直線とにそれぞれ挟まれた、前記二辺に平行な帯状の領域であることを特徴とする請求項1又は2に記載のフォトマスク用基板。
- 前記離間距離Pが、5≦P≦15(mm)を満たす
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のフォトマスク用基板。 - 第1主表面に転写用パターンを形成してフォトマスクとなすためのフォトマスク用基板であって、
四角形状である前記第1主表面上の、前記転写用パターンの形成されるパターン領域の外であって、前記第1主表面の対向する二辺の近傍に、露光機が前記フォトマスクを保持するときに保持部材が当接する保持領域を有し、
前記保持領域は、
該保持領域内の2点であって、前記二辺と直交する直線上にある、P(mm)離間した、任意の2点の高低差がZsx(μm)であるときの〔Zsx/P〕を平坦度指数Fsxとしたとき、Fsx≦0.08を満たすとともに、
該保持領域内の2点であって、前記二辺と平行な直線上にある、P(mm)離間した、任意の2点の高低差がZsy(μm)であるときの〔Zsy/P〕を平坦度指数Fsyとしたとき、Fsy≦0.08を満たす
ことを特徴とするフォトマスク用基板。 - 前記第1主表面が長方形であり、前記保持領域は、前記第1主表面上の、前記パターン領域の外であって、前記第1主表面の対向する長辺のそれぞれの近傍に、前記長辺に平行な帯状の領域として設けられる
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のフォトマスク用基板。 - 第1主表面に転写用パターンを形成してフォトマスクとなすためのフォトマスク用基板であって、
四角形状である前記第1主表面上の、前記転写用パターンの形成されるパターン領域の外であって、前記第1主表面の四辺のそれぞれの近傍に、露光機が前記フォトマスクを保持するときに保持部材が当接する当接面を含む保持領域を有し、
前記保持領域は、該保持領域各々について、該保持領域内の2点であって、前記四辺のうち近傍のひとつと直交する直線上にある、P(mm)離間した任意の2点の高低差がZsa(μm)であるときの〔Zsa/P〕を平坦度指数Fsaとしたとき、Fsa≦0.08を満たし、かつ、
前記保持領域の各々は、近傍の前記四辺のひとつから10mm離間した直線と、50mm離間した直線とに挟まれた、近傍の前記四辺のひとつに平行な帯状の領域である
ことを特徴とするフォトマスク用基板。 - 前記フォトマスク用基板の厚さがT(mm)であるとき、前記第1主表面の、前記保持領域内における平坦度指数Fsxが、Fsx≦(1/T)×3.0を満たす
ことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のフォトマスク用基板。 - 前記保持領域内の前記2点の高低における相互関係は、前記二辺と直交する方向において前記2点の位置にかかわらず、変わらない
ことを特徴とする請求項2〜6のいずれかに記載のフォトマスク用基板。 - 第1主表面に転写用パターンを形成してフォトマスクとなすためのフォトマスク用基板であって、
前記第1主表面の裏面にある四角形状の第2主表面上で、前記第2主表面の対向する二辺の近傍に、露光機が前記フォトマスクを保持するときに保持部材が当接する当接面を含む裏面保持領域を有し、
前記裏面保持領域は、該裏面保持領域内の2点であって、前記二辺と直交する直線上にある、P(mm)離間した、任意の2点の高低差がZbsx(μm)であるときの〔Zbsx/P〕を平坦度指数Fbsxとしたとき、Fbsx≦0.08を満たす
ことを特徴とするフォトマスク用基板。 - 前記裏面保持領域は、前記第2主表面上で、対向する二辺のそれぞれから10mm離間した直線と、50mm離間した直線とに挟まれた、前記二辺に平行な帯状の領域であることを特徴とする請求項10に記載のフォトマスク用基板。
- 第1主表面に転写用パターンを形成してフォトマスクとなすためのフォトマスク用基板であって、
前記第1主表面の裏面にある四角形状の第2主表面上で、前記第2主表面の四辺のそれぞれの近傍に、露光機が前記フォトマスクを保持するときに保持部材が当接する当接面を含む裏面保持領域を有し、
前記裏面保持領域は、該裏面保持領域各々について、該裏面保持領域内の2点であって、前記四辺のうち近傍のひとつと直交する直線上にある、P(mm)離間した任意の2点の高低差がZbsa(μm)であるときの〔Zbsa/P〕を平坦度指数Fbsaとしたとき、Fbsa≦0.08を満たし、かつ、
前記裏面保持領域の各々は、近傍の前記四辺のひとつから10mm離間した直線と、50mm離間した直線とに挟まれた、近傍の前記四辺のひとつに平行な帯状の領域である
ことを特徴とするフォトマスク用基板。 - 請求項1〜12のいずれかに記載のフォトマスク用基板を用い、前記フォトマスク用基板の第1主表面に形成された光学膜に、所望のパターニングを施し、転写用パターンとなした
ことを特徴とするフォトマスク。 - 近接露光用であることを特徴とする請求項13に記載のフォトマスク。
- カラーフィルタ製造用であることを特徴とする請求項13又は14に記載のフォトマスク。
- フォトマスクの有する転写用パターンを、プロキシミティ露光機を用いて、被転写体に転写するパターン転写方法において、
請求項13〜15のいずれかに記載のフォトマスクを、前記プロキシミティ露光機の保持部材が前記フォトマスクの保持領域に当接するように保持し、露光することを特徴とするパターン転写方法。
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