JP2009092973A - 積層フォトスペーサー付きカラーフィルタ - Google Patents
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Abstract
【課題】スリット露光を用いて形成したストライプ状の着色画素22を有するカラーフィルタであって、少なくともストライプ状の積層部1層を積層した構造よりなる積層フォトスペーサー付きカラーフィルタを提供する。
【解決手段】積層フォトスペーサーはブラックマトリックス21上に設けられており、少なくともストライプ状の積層部1層を積層した構造、少なくともストライプ状の積層部1層とドット状の積層部1層を積層した構造、ストライプ状の積層部2層とドット状の積層部よりなること。
【選択図】図2
【解決手段】積層フォトスペーサーはブラックマトリックス21上に設けられており、少なくともストライプ状の積層部1層を積層した構造、少なくともストライプ状の積層部1層とドット状の積層部1層を積層した構造、ストライプ状の積層部2層とドット状の積層部よりなること。
【選択図】図2
Description
本発明は、積層フォトスペーサー付きカラーフィルタに関するものであり、特に、スリット露光を用いて形成したストライプ状の着色画素を有するカラーフィルタであって、少なくともストライプ状の積層部1層を積層した構造の積層フォトスペーサー付きカラーフィルタに関する。
図6は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。また、図7は、図6に示すカラーフィルタのX−X’線における断面図である。
図6、及び図7に示すように、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタは、ガラス基板(40)上にブラックマトリックス(41)、着色画素(42)、及び透明導電膜(43)が順次に形成されたものである。
図6、及び図7はカラーフィルタを模式的に示したもので、着色画素(42)は12個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角17インチの画面に数百μm程度の着色画素が多数個配列されている。
図6、及び図7に示すように、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタは、ガラス基板(40)上にブラックマトリックス(41)、着色画素(42)、及び透明導電膜(43)が順次に形成されたものである。
図6、及び図7はカラーフィルタを模式的に示したもので、着色画素(42)は12個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角17インチの画面に数百μm程度の着色画素が多数個配列されている。
液晶表示装置の多くに用いられている、上記構造のカラーフィルタの製造方法としては、先ず、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成し、次に、このブラックマトリックスのパターンに位置合わせして着色画素を形成し、更に透明導電膜を位置合わせして形成するといった方法が広く用いられている。
ブラックマトリックス(41)は、遮光性を有するマトリックス状のものであり、着色画素(42)は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有するものであり、透明導電膜(43)は、透明な電極として設けられたものである。
ブラックマトリックス(41)は、遮光性を有するマトリックス状のものであり、着色画素(42)は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有するものであり、透明導電膜(43)は、透明な電極として設けられたものである。
ブラックマトリックス(41)は、着色画素(42)間のマトリックス部(41A)と、着色画素(42)が形成された領域(表示部)の周辺部を囲む額縁部(41B)とで構成されている。ブラックマトリックスは、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。
ガラス基板上へのブラックマトリックスの形成は、例えば、ガラス基板(40)上に金属薄膜を形成し、この金属薄膜をフォトエッチングすることによって形成するといった方法がとられている。
或いは、ガラス基板(40)上に、ブラックマトリックス形成用の黒色フォトレジストを用いてフォトリソグラフィ法によってブラックマトリックス(41)を形成するといった方法がとられている。
或いは、ガラス基板(40)上に、ブラックマトリックス形成用の黒色フォトレジストを用いてフォトリソグラフィ法によってブラックマトリックス(41)を形成するといった方法がとられている。
また、着色画素(42)の形成は、このブラックマトリックスが形成されたガラス基板上に、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型の着色フォトレジストを用いて塗布膜を設け、この塗布膜への露光、現像によって着色画素を形成するといった方法がとられている。また、透明導電膜(43)の形成は、ブラックマトリックス、着色画素が形成されたガラス基板上に、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。
図6、及び図7に示すカラーフィルタは、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタとして基本的な機能を備えたものである。液晶表示装置は、このようなカラーフィルタを内
蔵することにより、フルカラー表示が実現し、その応用範囲が飛躍的に広がり、液晶カラーTV、ノート型PCなど液晶表示装置を用いた多くの商品が創出された。
蔵することにより、フルカラー表示が実現し、その応用範囲が飛躍的に広がり、液晶カラーTV、ノート型PCなど液晶表示装置を用いた多くの商品が創出された。
多様な液晶表示装置の開発、実用に伴い、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタには、上記基本的な機能に付随して、例えば、1)保護層(オーバーコート層)、2)半透過型液晶表示装置に用いるカラーフィルタにおける透明部、3)透過表示の領域と反射表示の領域を通過する光の位相をそろえるための光路差調整層、4)カラーフィルタの反射表示の領域への光散乱層、5)スペーサー機能を有するフォトスペーサー(突起部)、6)液晶の配向制御を行う配向制御突起、などの種々な機能が付加されるようになった。
例えば、スペーサー機能に於いては、従来、基板間にギャップを形成するために、スペーサーと呼ばれるガラス又は合成樹脂の透明球状体粒子(ビーズ)を散布している。
このスペーサーは透明な粒子であることから、画素内に液晶と一諸にスペーサーが入っていると、黒色表示時にスペーサーを介して光がもれてしまい、また、液晶材料が封入されている基板間にスペーサーが存在することによって、スペーサー近傍の液晶分子の配列が乱され、この部分で光もれを生じ、コントラストが低下し表示品質に悪影響を及ぼす、などの問題を有していた。
このスペーサーは透明な粒子であることから、画素内に液晶と一諸にスペーサーが入っていると、黒色表示時にスペーサーを介して光がもれてしまい、また、液晶材料が封入されている基板間にスペーサーが存在することによって、スペーサー近傍の液晶分子の配列が乱され、この部分で光もれを生じ、コントラストが低下し表示品質に悪影響を及ぼす、などの問題を有していた。
このような問題を解決する技術として、感光性樹脂を用い、フォトリソグラフィ法により、例えば、画素間のブラックマトリックスの位置にスペーサー機能を有するフォトスペーサー(突起部)を形成する方法が開発された。
図8(a)は、このような液晶表示装置用カラーフィルタの部分断面図である。
また、図8(b)は部分平面図である。図8(b)におけるX−X線での断面が図8(a)に相当する。図8(a)、(b)に示すように、液晶表示装置用カラーフィルタ(7)は、ガラス基板(40)上にブラックマトリックス(41)、着色画素(42)、及び透明導電膜(43)が順次に形成され、ブラックマトリックス(41)上方の透明導電膜(43)上にスペーサー機能を有する突起部としてのフォトスペーサー(44)が形成されている。
図8(a)は、このような液晶表示装置用カラーフィルタの部分断面図である。
また、図8(b)は部分平面図である。図8(b)におけるX−X線での断面が図8(a)に相当する。図8(a)、(b)に示すように、液晶表示装置用カラーフィルタ(7)は、ガラス基板(40)上にブラックマトリックス(41)、着色画素(42)、及び透明導電膜(43)が順次に形成され、ブラックマトリックス(41)上方の透明導電膜(43)上にスペーサー機能を有する突起部としてのフォトスペーサー(44)が形成されている。
このフォトスペーサー(44)の平面形状はドット状であり、感光性樹脂を用いて形成された単層フォトスペーサーである。このような液晶表示装置用カラーフィルタ(7)を用いた液晶表示装置には、フォトスペーサー(44)が画素内を避けた位置に形成されているので、上記コントラストの改善がみられる。
この液晶表示装置用カラーフィルタ(7)を製造する際には、図6に示すカラーフィルタを作製した後に、図8に示すフォトスペーサー(44)を形成する。すなわち、フォトスペーサーを形成する1工程が追加され所望する仕様のカラーフィルタを製造することになる。
この液晶表示装置用カラーフィルタ(7)を製造する際には、図6に示すカラーフィルタを作製した後に、図8に示すフォトスペーサー(44)を形成する。すなわち、フォトスペーサーを形成する1工程が追加され所望する仕様のカラーフィルタを製造することになる。
これに対し、図9(a)、(b)は、基本となるカラーフィルタにフォトスペーサーを設けたカラーフィルタの他の例の部分断面図、部分平面図であるが、このフォトスペーサーは積層構造となっている。フォトスペーサーを構成する複数の層を着色画素の形成と同時に形成することによって、フォトスペーサーを形成するための上記追加する1工程を低減させ、フォトスペーサーを設けたカラーフィルタを廉価に製造することができる。
図9に示すように、このカラーフィルタは、ガラス基板(40)上にブラックマトリックス(41)、着色画素(42)、積層フォトスペーサー(Ps−1)が形成されたものである。この積層フォトスペーサー(Ps−1)の平面形状は、図8に示すフォトスペーサー(44)と同様にドット状である。
この他の例として示す積層フォトスペーサー(Ps−1)は、ブラックマトリックス(41)上の第一色目の赤色ドットパターン(P1)と、第二色目の緑色ドットパターン(P2)と、第三色目の青色ドットパターン(P3)を積層した構成である。
この他の例として示す積層フォトスペーサー(Ps−1)は、ブラックマトリックス(41)上の第一色目の赤色ドットパターン(P1)と、第二色目の緑色ドットパターン(P2)と、第三色目の青色ドットパターン(P3)を積層した構成である。
第一色目の赤色ドットパターン(P1)は、第一色目の赤色着色画素(42R)とは連続しておらず独立したパターンであるが、赤色着色画素(42R)の形成と同時に形成されたものである。緑色ドットパターン(P2)及び青色ドットパターン(P3)も同様に独立したパターンであり、各々の着色画素の形成と同時に形成されたものである。従って、フォトスペーサーを形成するための前記追加工程は不要なものとなる。尚、図9において、着色画素(42)上に設けられる透明導電膜は省略してある。
また、図10(a)、(b)は、積層フォトスペーサーの他の第2例を示す部分断面図、部分平面図である。この積層フォトスペーサー(Ps−2)は、図9に示す積層フォトスペーサー(Ps−1)上に上部パターン(P4)を設けたものである。この上部パターン(P4)は、例えば、配向制御突起(図示せず)の形成と同時に形成されたものである。この積層フォトスペーサー(Ps−2)も図9に示す積層フォトスペーサー(Ps−1)と同様に、平面形状はドット状である。
一方、カラーフィルタを大量に製造する際には、一基の液晶表示装置に対応したサイズのカラーフィルタを大サイズのガラス基板に多面付けした状態で製造することが多い。例えば、対角17インチのカラーフィルタを650mm×850mm程度の大サイズのガラス基板に4面付けして製造する。
この際の露光は、ガラス基板のサイズと略同程度のサイズのマスク基板に、例えば、対角17インチのカラーフィルタを形成するためのマスクパターンが4面付けされたフォトマスクを用いて露光する方法が広く採用されている。4面付けされたマスクパターンの4画面全体を1回の露光で一括して行う、所謂、一括露光法である。
この際の露光は、ガラス基板のサイズと略同程度のサイズのマスク基板に、例えば、対角17インチのカラーフィルタを形成するためのマスクパターンが4面付けされたフォトマスクを用いて露光する方法が広く採用されている。4面付けされたマスクパターンの4画面全体を1回の露光で一括して行う、所謂、一括露光法である。
この一括露光法において、露光装置内では、ガラス基板にフォトマスクが密着することによって生じるキズを防止するため、また、フォトマスクに塵埃が付着した際に画素が欠陥となってしまうのを防止するためフォトレジストが塗布されたガラス基板と、略ガラス基板大のフォトマスクとは、例えば、80μm程度の間隙を保ってのプロキシミティ(近接)露光を行っている。
この際の多面付けは、例えば、パターンである着色画素の膜厚、仕上がりサイズなどが同一仕様の、つまり、同一品種のカラーフィルタを多面付けする。そして、その製造にあたっては、面間のバラツキが発生しないように、各工程で配慮を施し製造を行う。
すなわち、大サイズのガラス基板に、マスクパターンが多面付けされたフォトマスクを用いた1回の露光を行い、続いて一括した現像処理を行うといった、この一括露光法による製造方法は、フォトリソグラフィ法によりカラーフィルタを製造する際の製造方法としては、廉価に大量にカラーフィルタを製造することのできる優れた製造方法といえる。
すなわち、大サイズのガラス基板に、マスクパターンが多面付けされたフォトマスクを用いた1回の露光を行い、続いて一括した現像処理を行うといった、この一括露光法による製造方法は、フォトリソグラフィ法によりカラーフィルタを製造する際の製造方法としては、廉価に大量にカラーフィルタを製造することのできる優れた製造方法といえる。
しかしながら、マスクサイズの大型化によるコスト高と、マスクの自重による撓みの問題の解決のため、ガラス基板のサイズが、例えば、730mm×920mm程度の第4世代からは、露光方式は一括露光法から1軸ステップ露光方式が採用され始め、また、ガラス基板のサイズが、例えば、1000mm×1200mm程度の第5世代からは、XY(2軸)ステップ露光方式(所謂、ステップ・アンド・リピート方式)に移行している。
図11は、XYステップ露光方式によりカラーフィルタを製造する際のステップ露光の一例を説明する平面図である。
図11に示す例は、大サイズのガラス基板(50)に、第1露光〜第6露光の6回の露光が行われた例である。第1露光から数えて5回のステップ移動毎に、第2露光以降の各露光が行われたものである。符号(1Ex〜6Ex)は、各々第1露光〜第6露光の領域を
表している。
図11に示す例は、大サイズのガラス基板(50)に、第1露光〜第6露光の6回の露光が行われた例である。第1露光から数えて5回のステップ移動毎に、第2露光以降の各露光が行われたものである。符号(1Ex〜6Ex)は、各々第1露光〜第6露光の領域を
表している。
図12(a)、(b)は、図11中、白矢印で示す方向からのY−Y線での断面図である。図11及び図12に示すように、露光ステージ(60)上に載置されたガラス基板(50)の上方に、フォトマスク(PM)が配置されている。フォトマスク(PM)は露光装置内で固定されており、X、Y、Z軸方向には移動しないようになっている。フォトマスク(PM)の下方の露光ステージ(60)は、ガラス基板(50)を載置した状態でXY(2軸)のステップ移動を行うようになっている。また、Z軸方向での昇降が自在になっている。
ステップ移動とは、図11及び図12中、符号(Py)で示すように、露光ステージ(60)の、Y軸方向での露光の1領域分(1ピッチ)の移動を指している。また、X軸方向では、符号(Px)で示すように、露光ステージ(60)の、X軸方向での露光の1領域分(1ピッチ)の移動を指している。
図12(a)は、ガラス基板(50)上に塗布されたフォトレジストの塗膜(54)に、フォトマスク(PM)を介した第1露光が行われた直後の状態を表したものである。フォトマスク(PM)の膜面(Y軸面)と塗膜(54)との間には近接露光の間隔(G1)が設定されている。塗膜(54)中に斜線で示す部分が第1露光(1Ex)の領域を表している。
図12(b)は、露光ステージ(60)が図12(a)の位置から、図12中、Y軸左方へステップ移動をし、第2露光が行われた状態を表している。符号(2Ex)は、第2露光の領域を表している。
図12(b)は、露光ステージ(60)が図12(a)の位置から、図12中、Y軸左方へステップ移動をし、第2露光が行われた状態を表している。符号(2Ex)は、第2露光の領域を表している。
このようなステップ露光方式への移行によって、マスクサイズの大型化によるコスト高は抑制され、自重による撓みの問題は解決された。
しかしながら、ガラス基板のサイズが、例えば、1500mm×1800mm程度の第6世代、或いは、例えば、2100mm×2400mm程度の第8世代へと更に大型化へと移行するのに伴い、マスクサイズの大型化も付随し、コスト高と、撓みの問題が再燃している。
しかしながら、ガラス基板のサイズが、例えば、1500mm×1800mm程度の第6世代、或いは、例えば、2100mm×2400mm程度の第8世代へと更に大型化へと移行するのに伴い、マスクサイズの大型化も付随し、コスト高と、撓みの問題が再燃している。
そこで、ガラス基板のサイズが更に大型化へと移行した際の、付随するマスクのコスト高を回避するために、マスクサイズを更に大型にすることなく、カラーフィルタを製造すべく、様々な露光方式が試みられている。
図13は、スリット露光方式によりカラーフィルタを製造する際のスリット露光の一例を説明する平面図である。図13に示す例は、大サイズのガラス基板(50)に第1露光と第2露光の2回の露光が行われる例である。図14(a)、(b)は、図13のX−X線での断面図である。図14(a)は第1露光が開始される状態を、また、(b)は第1露光が終了した状態を表したものである。
図13、図14に示すように、露光ステージ(60)上に載置されたガラス基板(50)の上方にフォトマスク(PM2)が配置されている。フォトマスク(PM2)は露光装置内で固定されており、X、Y、Z軸方向には移動しないようになっている。フォトマスク(PM2)の下方の露光ステージ(60)は、ガラス基板(50)を載置した状態で、図中、X軸方向に等速で移動するようになっている。また、Y軸方向ではステップ移動を行うようになっている。
フォトマスク(PM2)には、その上方の光源(図示せず)からの光をガラス基板(50)上の塗膜(54)に照射するスリットが、その長手方向をY軸と平行にして設けられている。スリット露光方式とは、露光ステージ(60)を移動(X軸方向)させながら、ガラス基板(50)の塗膜(54)上に、このフォトマスク(PM2)のスリットを介した光を連続して照射しマスクサイズを更に大型にすることなく、X軸方向に長く、大面積の露光を可能とする方式である。
図14(a)は、ガラス基板(50)上に塗布されたフォトレジストの塗膜(54)にフォトマスク(PM2)のスリットを介した第1露光が開始される状態を表したものである。また、(b)は第1露光が終了した状態を表したものである。図14中、白太矢印で示すように、露光ステージ(60)を図中左方へ移動(X軸方向)させながら、フォトマスク(PM2)のスリットを介した連続した露光を与え、図14(b)中、斜線で示す第1露光を終了する。第2露光は図14に示すステップ移動(Py)を露光ステージ(60)に与えた後に行われる。
図15は、スリット露光に用いられるフォトマスク(PM2)の一例におけるスリットを拡大して示す平面図である。このフォトマスク(PM2)は、ネガ型フォトレジストに対応した例である。
図15に示すように、スリットの長手方向(Ls)はY軸と平行であり、この長手方向(Ls)に多数個の開口部(51)が配設されている。開口部(51)以外の部分は遮光部(52)となっている。フォトマスク(PM2)の下方では、図15中、白太矢印で示す方向に露光ステージ(60)を移動(X軸方向)させながら、開口部(51)を透過した光をガラス基板(50)上の塗膜(54)を連続して照射する。尚、符号(Ws)はスリット幅、符号(Pi)は開口部(51)のピッチ、符号(Wi)は開口部(51)の幅を表している。
図15に示すように、スリットの長手方向(Ls)はY軸と平行であり、この長手方向(Ls)に多数個の開口部(51)が配設されている。開口部(51)以外の部分は遮光部(52)となっている。フォトマスク(PM2)の下方では、図15中、白太矢印で示す方向に露光ステージ(60)を移動(X軸方向)させながら、開口部(51)を透過した光をガラス基板(50)上の塗膜(54)を連続して照射する。尚、符号(Ws)はスリット幅、符号(Pi)は開口部(51)のピッチ、符号(Wi)は開口部(51)の幅を表している。
図16は、露光後の現像処理によって得られたストライプパターンの一例を示す平面図である。図16に示すように、ガラス基板(50)上にピッチ(Pi)、幅(Wi)のストライプパターン、例えば、ストライプ状の着色画素(22)が形成される。
図17は、このようなスリット露光によって製造されたカラーフィルタの一例を示す説明図である。図17に示すように、このカラーフィルタは、ブラックマトリックス(21)が形成されたガラス基板上に、赤色、緑色、青色の着色画素(22R、22G、22B)が形成された状態のものである。
各色の着色画素は、各々が図17中、X軸方向に画素間で途切れず、連続したストライプ状のものである。また、Y軸方向には、その各々のストライプ状の着色画素の列が、赤色、緑色、青色の順に繰り返し配設されている。すなわち、スリット露光方式が好適に適用された例である。
尚、図17は、説明上、図16を90度回転させた図としている。
各色の着色画素は、各々が図17中、X軸方向に画素間で途切れず、連続したストライプ状のものである。また、Y軸方向には、その各々のストライプ状の着色画素の列が、赤色、緑色、青色の順に繰り返し配設されている。すなわち、スリット露光方式が好適に適用された例である。
尚、図17は、説明上、図16を90度回転させた図としている。
上記のように、スリット露光を用いたカラーフィルタの製造方法は、ガラス基板のサイズが更に大型に移行した際に、マスクのサイズを更に大型にせずに、むしろ、マスクのサイズを小型にしてカラーフィルタを製造することが可能な技法といえる。
しかしながら、スリット露光を用いた際には、前記図9、図10に示す、平面形状がドット状の積層フォトスペーサー(Ps−1、Ps−2)を形成しようとしても、スリット露光では形成できるパターンがストライプ状のパターンに制約されるので、平面形状がドット状の積層フォトスペーサーを形成することはできないといった問題がある。
特開2001−201750号公報
特開平4−318816号公報
しかしながら、スリット露光を用いた際には、前記図9、図10に示す、平面形状がドット状の積層フォトスペーサー(Ps−1、Ps−2)を形成しようとしても、スリット露光では形成できるパターンがストライプ状のパターンに制約されるので、平面形状がドット状の積層フォトスペーサーを形成することはできないといった問題がある。
本発明は、上記問題を解決するためになされたものあり、スリット露光を用いて形成したストライプ状の着色画素を有するカラーフィルタであって、少なくともストライプ状の積層部1層を積層した積層フォトスペーサーが設けられている積層フォトスペーサー付きカラーフィルタを提供することを課題とするものである。
本発明は、積層フォトスペーサー付きカラーフィルタにおいて、前記積層フォトスペーサーが他の層に、少なくともストライプ状の積層部1層を積層した構造よりなることを特徴とする積層フォトスペーサー付きカラーフィルタである。
また、本発明は、積層フォトスペーサー付きカラーフィルタにおいて、前記積層フォトスペーサーが少なくともストライプ状の積層部1層とドット状の積層部1層を積層した構造よりなることを特徴とする積層フォトスペーサー付きカラーフィルタである。
また、本発明は、積層フォトスペーサー付きカラーフィルタにおいて、前記積層フォトスペーサーがストライプ状の積層部2層とドット状の積層部よりなることを特徴とする積層フォトスペーサー付きカラーフィルタである。
また、本発明は、積層フォトスペーサー付きカラーフィルタにおいて、前記積層フォトスペーサーが下より、ドット状の積層部/ストライプ状の積層部/ストライプ状の積層部よりなることを特徴とする積層フォトスペーサー付きカラーフィルタである。
また、本発明は、積層フォトスペーサー付きカラーフィルタにおいて、前記積層フォトスペーサーが下より、ストライプ状の積層部/ドット状の積層部/ストライプ状の積層部よりなることを特徴とする積層フォトスペーサー付きカラーフィルタである。
また、本発明は、積層フォトスペーサー付きカラーフィルタにおいて、前記積層フォトスペーサーが下より、ストライプ状の積層部/ストライプ状の積層部/ドット状の積層部よりなることを特徴とする積層フォトスペーサー付きカラーフィルタである。
また、本発明は、前記積層フォトスペーサーの上にギャップ調整層を積層することを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の積層フォトスペーサー付きカラーフィルタである。
本発明は、積層フォトスペーサー付きカラーフィルタにおいて、積層フォトスペーサーが他の層に、少なくともストライプ状の積層部1層を積層した構造、或いは少なくともストライプ状の積層部1層とドット状の積層部1層を積層した構造、或いはストライプ状の積層部2層とドット状の積層部よりなるので、スリット露光を用いて形成したストライプ状の着色画素を有するカラーフィルタであって、廉価な積層フォトスペーサー付きカラーフィルタとなる。
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図1は、本発明による積層フォトスペーサー付きカラーフィルタにおける積層フォトスペーサーの第1例を拡大して示す説明図である。図1(a)は部分断面図、(b)は部分平面図である。図1(b)のX−X線での断面が図1(a)に相当する。
図1(a)、(b)に示すように、この第1例の積層フォトスペーサー(Ps−11)は
、ブラックマトリックス(21)上に設けられている。スリット露光により形成したストライプ状の第1色目の赤色着色画素(22R)の延長部(E11)と、隣接するストライプ状の第2色目の緑色着色画素(22G)の延長部(E21)とで2層の積層部(S1)を構成している。この2層の積層部(S1)と平面形状がドット状の層(D11)とで、本発明における積層フォトスペーサー(Ps−11)が構成されている。
図1は、本発明による積層フォトスペーサー付きカラーフィルタにおける積層フォトスペーサーの第1例を拡大して示す説明図である。図1(a)は部分断面図、(b)は部分平面図である。図1(b)のX−X線での断面が図1(a)に相当する。
図1(a)、(b)に示すように、この第1例の積層フォトスペーサー(Ps−11)は
、ブラックマトリックス(21)上に設けられている。スリット露光により形成したストライプ状の第1色目の赤色着色画素(22R)の延長部(E11)と、隣接するストライプ状の第2色目の緑色着色画素(22G)の延長部(E21)とで2層の積層部(S1)を構成している。この2層の積層部(S1)と平面形状がドット状の層(D11)とで、本発明における積層フォトスペーサー(Ps−11)が構成されている。
このドット状の層(D11)は、第3色目の青色着色画素(図示せず)の形成時に青色着色画素の形成と同時に平面形状をドット状に形成したドット状のパターンである。このドット状の層(D11)は、スリット露光によりよらず、前記図12に示すフォトマスクのように、ドットの形成に対応したパターンがフォトマスク上に設けられたフォトマスクを用いて形成したものである。
この第1例の積層フォトスペーサー(Ps−11)は、最上層がドット状になっているので、前記図9、図10に示す積層フォトスペーサーと同様な機能を有している。
この第1例の積層フォトスペーサー(Ps−11)は、最上層がドット状になっているので、前記図9、図10に示す積層フォトスペーサーと同様な機能を有している。
図2は、本発明による積層フォトスペーサー付きカラーフィルタにおける積層フォトスペーサーの第2例を拡大して示す説明図である。図2(a)、(b)に示すように、この第2例の積層フォトスペーサー(Ps−12)は、ブラックマトリックス(21)上に設けられている。スリット露光により形成したストライプ状の第1色目の赤色着色画素(22R)の延長部(E11)と、隣接するストライプ状の第2色目の緑色着色画素(22G)の延長部(E21)とで2層の積層部(S1)を構成している。
また、最上層として、配向制御突起の形成に用いる材料と同一の材料で、配向制御突起の形成と同時に形成されたドット状のギャップ調整層部(D12)が設けられている。このドット状のギャップ調整層部(D12)を形成する際のフォトマスクは、第1例におけるドット状の層(D11)と同様に、スリット露光によりよらず、ドットの形成に対応したパターンがフォトマスク上に設けられたフォトマスクを用いて形成したものである。
上記2層の積層部(S1)とギャップ調整層部(D12)との間には、ストライプ状の第3色目の青色パターン(Sp1)が設けられている。
上記2層の積層部(S1)とギャップ調整層部(D12)との間には、ストライプ状の第3色目の青色パターン(Sp1)が設けられている。
図3は、本発明における積層フォトスペーサーの第3例を拡大して示す説明図である。図3(a)、(b)に示すように、この第3例の積層フォトスペーサー(Ps−13)においては、2層の積層部(S2)は、スリット露光により形成したストライプ状の第1色目の赤色着色画素(22R)の延長部(E11)と、ストライプ状の第2色目の緑色パターン(Sp2)とで構成している。また、最上層として、配向制御突起の形成に用いる材料と同一の材料で、配向制御突起の形成と同時に形成されたギャップ調整層部(D12)が設けられている。また、2層の積層部(S2)とギャップ調整層部(D12)との間には、ストライプ状の第3色目の青色着色画素(22B)の延長部(E31)が設けられている。
図4は、本発明による積層フォトスペーサー付きカラーフィルタにおける積層フォトスペーサーの第4例を拡大して示す説明図である。図4(a)、(b)に示すように、この第4例の積層フォトスペーサー(Ps−14)においては、2層の積層部(S3)は、ストライプ状の第1色目の赤色パターン(Sp3)と、スリット露光により形成したストライプ状の第2色目の緑色着色画素(22G)の延長部(E21)とで構成している。また、最上層として、配向制御突起の形成に用いる材料と同一の材料で、配向制御突起の形成と同時に形成されたギャップ調整層部(D12)が設けられている。また、2層の積層部(S3)とギャップ調整層部(D12)との間には、スリット露光により形成したストライプ状の第3色目の青色着色画素(22B)の延長部(E31)が設けられている。
図5は、本発明による積層フォトスペーサー付きカラーフィルタにおける積層フォトス
ペーサーの第5例を拡大して示す説明図である。図5(a)、(b)に示すように、この第5例の積層フォトスペーサー(Ps−15)は、ブラックマトリックス上に設けられている。スリット露光により形成したストライプ状の第1色目の赤色着色画素(22R)の延長部(E11)と、隣接するストライプ状の第2色目の緑色着色画素(22G)の延長部(E21)とで2層の積層部(S1)を構成している。
ペーサーの第5例を拡大して示す説明図である。図5(a)、(b)に示すように、この第5例の積層フォトスペーサー(Ps−15)は、ブラックマトリックス上に設けられている。スリット露光により形成したストライプ状の第1色目の赤色着色画素(22R)の延長部(E11)と、隣接するストライプ状の第2色目の緑色着色画素(22G)の延長部(E21)とで2層の積層部(S1)を構成している。
最上層として、配向制御突起の形成に用いる材料と同一の材料で、配向制御突起の形成と同時に形成されたギャップ調整層部(D12)が設けられている。また、2層の積層部(S1)とギャップ調整層部(D12)との間には、第3色目の青色着色画素(図示せず)の形成時に青色着色画素の形成と同時に平面形状をドット状に形成したドット状の層(D11)が設けられている。このドット状の層(D11)はストライプ状でないために、液晶の塗布性が良好なものとなる。
上記のように、本発明における積層フォトスペーサーにおいては、いずれも、少なくともストライプ状の積層部1層を積層した構造よりなるので、フォトスペーサーとしての機能を十分に有し、且つ廉価な積層フォトスペーサー付きカラーフィルタとなる。
7・・・液晶表示装置用カラーフィルタ
22R、22G、22B・・・赤色、緑色、青色着色画素
40、50・・・ガラス基板
41・・・ブラックマトリックス
42・・・着色画素
43・・・透明導電膜
44・・・フォトスペーサー
51・・・開口部
52・・・遮光部
54・・・塗膜
60・・・露光ステージ
D11・・・ドット状の層
D12・・・ドット状のギャップ調整層部
E11、E21、E31・・・着色画素の延長部
1Ex〜6Ex・・・第1露光〜第6露光の領域
PM、PM2・・・フォトマスク
Ps−1、Ps−2・・・積層フォトスペーサー
Ps−11〜Ps−15・・・本発明における積層フォトスペーサー
S1、S2、S3・・・2層の積層部
Sp1、Sp2、Sp3・・・ストライプ状の各色パターン
22R、22G、22B・・・赤色、緑色、青色着色画素
40、50・・・ガラス基板
41・・・ブラックマトリックス
42・・・着色画素
43・・・透明導電膜
44・・・フォトスペーサー
51・・・開口部
52・・・遮光部
54・・・塗膜
60・・・露光ステージ
D11・・・ドット状の層
D12・・・ドット状のギャップ調整層部
E11、E21、E31・・・着色画素の延長部
1Ex〜6Ex・・・第1露光〜第6露光の領域
PM、PM2・・・フォトマスク
Ps−1、Ps−2・・・積層フォトスペーサー
Ps−11〜Ps−15・・・本発明における積層フォトスペーサー
S1、S2、S3・・・2層の積層部
Sp1、Sp2、Sp3・・・ストライプ状の各色パターン
Claims (7)
- 積層フォトスペーサー付きカラーフィルタにおいて、前記積層フォトスペーサーが他の層に、少なくともストライプ状の積層部1層を積層した構造よりなることを特徴とする積層フォトスペーサー付きカラーフィルタ。
- 積層フォトスペーサー付きカラーフィルタにおいて、前記積層フォトスペーサーが少なくともストライプ状の積層部1層とドット状の積層部1層を積層した構造よりなることを特徴とする積層フォトスペーサー付きカラーフィルタ。
- 積層フォトスペーサー付きカラーフィルタにおいて、前記積層フォトスペーサーがストライプ状の積層部2層とドット状の積層部よりなることを特徴とする積層フォトスペーサー付きカラーフィルタ。
- 積層フォトスペーサー付きカラーフィルタにおいて、前記積層フォトスペーサーが下より、ドット状の積層部/ストライプ状の積層部/ストライプ状の積層部よりなることを特徴とする積層フォトスペーサー付きカラーフィルタ。
- 積層フォトスペーサー付きカラーフィルタにおいて、前記積層フォトスペーサーが下より、ストライプ状の積層部/ドット状の積層部/ストライプ状の積層部よりなることを特徴とする積層フォトスペーサー付きカラーフィルタ。
- 積層フォトスペーサー付きカラーフィルタにおいて、前記積層フォトスペーサーが下より、ストライプ状の積層部/ストライプ状の積層部/ドット状の積層部よりなることを特徴とする積層フォトスペーサー付きカラーフィルタ。
- 前記積層フォトスペーサーの上にギャップ調整層を積層することを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の積層フォトスペーサー付きカラーフィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007264126A JP2009092973A (ja) | 2007-10-10 | 2007-10-10 | 積層フォトスペーサー付きカラーフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007264126A JP2009092973A (ja) | 2007-10-10 | 2007-10-10 | 積層フォトスペーサー付きカラーフィルタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009092973A true JP2009092973A (ja) | 2009-04-30 |
Family
ID=40665010
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007264126A Pending JP2009092973A (ja) | 2007-10-10 | 2007-10-10 | 積層フォトスペーサー付きカラーフィルタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009092973A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011242716A (ja) * | 2010-05-21 | 2011-12-01 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ及び液晶表示装置 |
-
2007
- 2007-10-10 JP JP2007264126A patent/JP2009092973A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2011242716A (ja) * | 2010-05-21 | 2011-12-01 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ及び液晶表示装置 |
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