JP2012220681A - ズームレンズ、撮像装置、ズームレンズの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ゴーストやフレアをより低減させ、高い結像性能を有する大画角のズームレンズ、撮像装置、ズームレンズの製造方法の提供。
【解決手段】物体側から順に、負屈折力の前群Ｇｎと、正屈折力の後群Ｇｐとを有し、後群Ｇｐは、物体側から順に、正レンズＬａと、物体側に凹面を向けた負レンズＬｂと、負レンズと正レンズとの接合正レンズＬｃと、正レンズと負レンズとの接合レンズＬｄとを有し、さらに、正レンズＬａよりも物体側に配置されており、正の屈折力を有し、無限遠物体から近距離物体への合焦のために物体側から像面側へ移動する合焦レンズ群Ｇｆを有し、前群Ｇｎと後群Ｇｐとの間の空気間隔を変化させることによって変倍を行い、所定の条件式を満足し、前群Ｇｎにおける光学面のうち少なくとも１面に、ウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含む反射防止膜が設けられている。
【選択図】図１

Description

本発明は、デジタル一眼レフカメラ、フィルムカメラ、ビデオカメラ等の撮影光学系に好適なズームレンズ、撮像装置、ズームレンズの製造方法に関する。

従来、大画角を有するズームレンズが提案されている（例えば、特許文献１参照）。また近年、このような大画角を有するズームレンズに対しては、収差性能だけではなく、光学性能を損なう要因の一つであるゴーストやフレアに関する要求も厳しさを増しており、そのためレンズ面に施される反射防止膜にもより高い性能が要求され、要求に応えるべく多層膜設計技術や多層膜成膜技術も進歩を続けている（例えば、特許文献２参照）。

特開２００４−２１２２３号公報 特開２０００−３５６７０４号公報

しかしながら、上述のような従来のレトロフォーカス型のズームレンズにおいて高性能化を図ろうとすれば、後群の構成の複雑化や、レンズ枚数が増加する傾向があった。また、当該後群は、一般に所謂変形トリプレット型又はエルノスター型の構成が一般的で、特に大きな負の屈折力を有するレンズを備えることとなるため、偏芯敏感度が高くなりやすく、レンズの組み立て性に欠ける課題があった。それと同時に、このようなズームレンズにおける光学面からは、ゴーストやフレアとなる反射光が発生しやすいという課題もあった。
そこで本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、小型で、レンズ枚数が少なく、諸収差を良好に補正し、ゴーストやフレアをより低減させ、高い結像性能を有する大画角のズームレンズ、撮像装置、ズームレンズの製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために本発明は、
物体側から順に、負の屈折力を有する前群と、正の屈折力を有する後群とを有し、
前記後群は、物体側から順に、正レンズＬａと、物体側に凹面を向けた負レンズＬｂと、負レンズと正レンズとの接合正レンズＬｃと、正レンズと負レンズとの接合レンズＬｄとを有し、さらに、前記正レンズＬａよりも物体側に配置されており、正の屈折力を有し、無限遠物体から近距離物体への合焦のために物体側から像面側へ移動する合焦レンズ群Ｇｆを有し、
前記前群と前記後群との間の空気間隔を変化させることによって変倍を行い、
以下の条件式を満足し、
前記前群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成されていることを特徴とするズームレンズを提供する。
０．０００＜Ｆｗ／（−Ｆｂ）＜１．０００
ただし、
Ｆｗ：広角端状態における無限遠物体合焦時の前記ズームレンズ全系の焦点距離
Ｆｂ：前記後群内の前記負レンズＬｂの焦点距離

また本発明は、
前記ズームレンズを有することを特徴とする撮像装置を提供する。

また本発明は、
物体側から順に、負の屈折力を有する前群と、正の屈折力を有する後群とを有するズームレンズの製造方法であって、
前記後群が、物体側から順に、正レンズＬａと、物体側に凹面を向けた負レンズＬｂと、負レンズと正レンズとの接合正レンズＬｃと、正レンズと負レンズとの接合レンズＬｄとを有し、さらに、前記正レンズＬａよりも物体側に、正の屈折力を有し、無限遠物体から近距離物体への合焦のために物体側から像面側へ移動する合焦レンズ群Ｇｆを有するようにし、
前記ズームレンズが以下の条件式を満足するようにし、
前記前群と前記後群との間の空気間隔を変化させることによって変倍を行い、
前記前群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成されていることを特徴とするズームレンズの製造方法を提供する。
０．０００＜Ｆｗ／（−Ｆｂ）＜１．０００
ただし、
Ｆｗ：広角端状態における無限遠物体合焦時の前記ズームレンズ全系の焦点距離
Ｆｂ：前記後群内の前記負レンズＬｂの焦点距離

本発明によれば、小型で、レンズ枚数が少なく、諸収差を良好に補正し、ゴーストやフレアをより低減させ、高い結像性能を有する大画角のズームレンズ、撮像装置、ズームレンズの製造方法を提供することができる。

本願の第１実施例に係るズームレンズのレンズ構成を示す断面図である。 （ａ）、（ｂ）、及び（ｃ）はそれぞれ、本願の第１実施例に係るズームレンズの広角端状態における無限遠物体合焦時の諸収差、中間焦点距離状態における無限遠物体合焦時の諸収差、及び望遠端状態における無限遠物体合焦時の諸収差を示す図である。 本願の第１実施例に係るズームレンズのレンズ構成を示す断面図であって、入射した光線が第１番目のゴースト光発生面と第２番目のゴースト光発生面で反射する様子の一例を説明する図である。 本願の第２実施例に係るズームレンズのレンズ構成を示す断面図である。 （ａ）、（ｂ）、及び（ｃ）はそれぞれ、本願の第２実施例に係るズームレンズの広角端状態における無限遠物体合焦時の諸収差、中間焦点距離状態における無限遠物体合焦時の諸収差、及び望遠端状態における無限遠物体合焦時の諸収差を示す図である。 本願の第３実施例に係るズームレンズのレンズ構成を示す断面図である。 （ａ）、（ｂ）、及び（ｃ）はそれぞれ、本願の第３実施例に係るズームレンズの広角端状態における無限遠物体合焦時の諸収差、中間焦点距離状態における無限遠物体合焦時の諸収差、及び望遠端状態における無限遠物体合焦時の諸収差を示す図である。 本願の第４実施例に係るズームレンズのレンズ構成を示す断面図である。 （ａ）、（ｂ）、及び（ｃ）はそれぞれ、本願の第４実施例に係るズームレンズの広角端状態における無限遠物体合焦時の諸収差、中間焦点距離状態における無限遠物体合焦時の諸収差、及び望遠端状態における無限遠物体合焦時の諸収差を示す図である。 本願の第５実施例に係るズームレンズのレンズ構成を示す断面図である。 （ａ）、（ｂ）、及び（ｃ）はそれぞれ、本願の第５実施例に係るズームレンズの広角端状態における無限遠物体合焦時の諸収差、中間焦点距離状態における無限遠物体合焦時の諸収差、及び望遠端状態における無限遠物体合焦時の諸収差を示す図である。 本願のズームレンズを備えたカメラの構成を示す図である。 本願のズームレンズの製造方法を示す図である。 反射防止膜の層構造の一例を示す説明図である。 反射防止膜の分光特性を示すグラフである。 変形例に係る反射防止膜の分光特性を示すグラフである。 変形例に係る反射防止膜の分光特性の入射角度依存性を示すグラフである。 従来技術で作成した反射防止膜の、分光特性を示すグラフである。 従来技術で作成した反射防止膜の、分光特性の入射角度依存性を示すグラフである。

以下、本願のズームレンズ、撮像装置、ズームレンズの製造方法について説明する。
本願のズームレンズは、物体側から順に、負の屈折力を有する前群と、正の屈折力を有する後群とを有し、前記後群は、物体側から順に、正レンズＬａと、物体側に凹面を向けた負レンズＬｂと、負レンズと正レンズとの接合正レンズＬｃと、正レンズと負レンズとの接合レンズＬｄとを有し、さらに、前記正レンズＬａよりも物体側に配置されており、正の屈折力を有し、無限遠物体から近距離物体への合焦のために物体側から像面側へ移動する合焦レンズ群Ｇｆを有し、前記前群と前記後群との間の空気間隔を変化させることによって変倍を行い、以下の条件式（１）を満足することを特徴とする。
（１） ０．０００＜Ｆｗ／（−Ｆｂ）＜１．０００
ただし、
Ｆｗ：広角端状態における無限遠物体合焦時の前記ズームレンズ全系の焦点距離
Ｆｂ：前記後群内の前記負レンズＬｂの焦点距離

一般に、大画角を有するレトロフォーカス型のズームレンズにおいて、マスターレンズ群である後群の構成は、主点とバックフォーカスの関係より、物体側から順に、正レンズ、正レンズ、負レンズ、及び正レンズを有するレンズ構成を基本とした変形トリプレット型又はエルノスター型が主流であった。しかしながら、斯かる後群は正レンズで発生した収差を負レンズで打ち消す手法をとるため、偏芯、レンズ厚、及び空気間隔の各々の敏感度が高くなる傾向にあった。このような現象は、特に、口径が比較的大きなズームレンズや、マスターレンズ群である後群の屈折力が大きいズームレンズにおいて顕著であった。
そこで本願のズームレンズは、この点を改善するために、物体側から順に、正レンズ群、正レンズ、負レンズ、接合正レンズ、及び接合レンズを有するレンズ構成を後群の基本とすることで、中央の負レンズの屈折力を小さくすることに成功している。これにより、前記敏感度の低減を実現することができ、さらに球面収差、コマ収差、像面湾曲、及び非点収差を良好に補正することが可能となり、小型で良好な光学性能を有する大画角のズームレンズを達成することができる。

上記条件式（１）は、後群内の負レンズＬｂの焦点距離の大きさ、即ち負レンズＬｂの屈折力を規定する条件式である。
本願のズームレンズの条件式（１）の対応値が上限値を上回ると、負レンズＬｂの焦点距離の絶対値が小さくなる、即ち負レンズＬｂの負の屈折力が大きくなることを意味する。この場合、球面収差が補正過剰になってしまうため好ましくない。また、偏芯敏感度も増加してしまうため好ましくない。
なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１）の上限値を０．９００とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１）の上限値を０．８００とすることがより好ましく、これによって良好な収差補正を行うことが可能となる。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１）の上限値を０．７００とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１）の上限値を０．６００とすることがより好ましい。また、本願の効果を最大限に発揮するために、条件式（１）の上限値を０．５００とすることがより好ましい。

一方、本願のズームレンズの条件式（１）の対応値が下限値を下回ると、負レンズＬｂの焦点距離の絶対値が大きくなる、即ち負レンズＬｂの負の屈折力が著しく小さくなる、又は負レンズＬｂが正の屈折力を有するようになることを意味する。この場合、球面収差が補正不足になり、特に接合正レンズＬｃと接合レンズＬｄに収差補正の負担がかかってしまう。そして結果的には、コマ収差、像面湾曲、及び非点収差が悪化することとなってしまうため好ましくない。
なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１）の下限値を０．００５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１）の下限値を０．０１０とすることがより好ましく、これによって諸収差をより良好に補正することができる。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１）の下限値を０．０２０とすることがより好ましい。また、本願の効果を最大限に発揮するために、条件式（１）の下限値を０．０３０とすることがより好ましい。

また、本願のズームレンズは、前群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、この反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでいる。このように構成することで、本実施形態にかかるズームレンズは、物体からの光が光学面で反射されて生じるゴーストやフレアを低減することができ、高い結像性能を達成することができる。

また、本願のズームレンズは、前記反射防止膜は多層膜であり、前記ウェットプロセスで形成された層は、多層膜を構成する層のうち最も表面の層であることが好ましい。このようにすれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより小さくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。

また、本願のズームレンズは、前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をｎｄとしたとき、屈折率ｎｄが１．３０以下であることが好ましい。このようにすれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより小さくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。

また、本願のズームレンズは、前群において反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることが好ましい。前群における光学面のうち開口絞りから見て凹形状のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願のズームレンズは、前群において反射防止膜が設けられた、開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることが好ましい。前群における光学面のうち開口絞りから見て凹形状の像面側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願のズームレンズは、前記像面側のレンズ面は、最も物体側のレンズにおけるレンズ面であることが好ましい。前群の最も物体側のレンズにおいて開口絞りから見て凹形状の像面側のレンズ面にゴースト光が発生し易いため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願のズームレンズは、前群において反射防止膜が設けられた、開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることが好ましい。前群における光学面のうち開口絞りから見て凹形状の物体側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願のズームレンズは、前群において反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体から見て凹形状のレンズ面であることが好ましい。前群における光学面のうち物体から見て凹形状のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願のズームレンズでは、前群において反射防止膜が設けられた、物体から見て凹形状のレンズ面は、最も物体側のレンズから像面側に２番目のレンズの、物体側のレンズ面であることが好ましい。前群において最も物体側のレンズから像面側に２番目のレンズの、物体側レンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願のズームレンズでは、前群において反射防止膜が設けられた、物体から見て凹形状のレンズ面は、最も物体側のレンズから像面側に３番目のレンズの、物体側のレンズ面であることが好ましい。前群において最も物体側のレンズから像面側に３番目のレンズの、物体側レンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願のズームレンズでは、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、最も物体側のレンズにおける像面側のレンズ面であり、かつ開口絞りから見て凹形状のレンズ面と、最も物体側のレンズから像面側に３番目のレンズにおける物体側のレンズ面であり、かつ物体側から見て凹形状のレンズ面とであることが好ましい。前群において最も物体側のレンズにおける像面側のレンズ面であり、かつ開口絞りから見て凹形状のレンズ面と、最も物体側のレンズから像面側に３番目のレンズにおける物体側のレンズ面であり、かつ物体側から見て凹形状のレンズ面とにゴースト光が発生し易いため、このような光学面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

なお、本願のズームレンズでは、反射防止膜は、ウェットプロセスに限らず、ドライプロセス等により形成しても良い。この際、反射防止膜は屈折率が１．３０以下となる層を少なくとも１層含むようにすることが好ましい。反射防止膜が、屈折率が１．３０以下となる層を少なくとも１層含むようにすることで、反射防止膜をドライプロセス等で形成しても、ウェットプロセスを用いた場合と同様の効果を得ることができる。なおこの時、屈折率が１．３０以下になる層は、多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることが好ましい。

また、本願のズームレンズは、以下の条件式（２）を満足することが望ましい。
（２） ０．００００＜Ｆｗ／|Ｆｄ|＜１．００
ただし、
Ｆｗ：広角端状態における無限遠物体合焦時の前記ズームレンズ全系の焦点距離
Ｆｄ：前記後群内の前記接合レンズＬｄの焦点距離

条件式（２）は、後群内の接合レンズＬｄの焦点距離の大きさ、即ち接合レンズＬｄの屈折力を規定する条件式である。
本願のズームレンズの条件式（２）の対応値が上限値を上回ると、接合レンズＬｄの焦点距離の絶対値が小さくなる、即ち接合レンズＬｄの屈折力が大きくなることを意味する。この場合、球面収差、コマ収差、及び変倍によるコマ収差の変動が増加してしまうため好ましくない。また、像面湾曲と非点収差も悪化してしまうため好ましくない。
なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２）の上限値を０．８０とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２）の上限値を０．５０とすることがより好ましく、これによって諸収差の補正が有利になる。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２）の上限値を０．３０とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２）の上限値を０．２０とすることがより好ましい。また、本願の効果を最大限に発揮するために、条件式（２）の上限値を０．１０とすることがより好ましい。

一方、本願のズームレンズの条件式（２）の対応値が下限値を下回ると、接合レンズＬｄの焦点距離の絶対値が大きくなる、即ち接合レンズＬｄの屈折力が著しく小さくなることを意味する。この場合、接合レンズＬｄの収差の補正能力が極端に低下し、接合正レンズＬｃの収差補正の負担が増加してしまう。そして結果的に、コマ収差の画角による変位、及び変倍によるコマ収差の変動が増加してしまうため好ましくない。
なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２）の下限値を０．０００５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２）の下限値を０．００１０とすることがより好ましく、これによってコマ収差等の諸収差の補正に有利となる。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２）の下限値を０．００１５とすることがより好ましい。また、本願の効果を最大限に発揮するために、条件式（２）の下限値を０．００３０とすることがより好ましい。

また、本願のズームレンズは、以下の条件式（３）を満足することが望ましい。
（３） ０．００５＜Ｆｗ／Ｆｃ＜１．０００
ただし、
Ｆｗ：広角端状態における無限遠物体合焦時の前記ズームレンズ全系の焦点距離
Ｆｃ：前記後群内の前記接合正レンズＬｃの焦点距離

条件式（３）は、後群内の接合正レンズＬｃの焦点距離の大きさ、即ち接合正レンズＬｃの屈折力を規定する条件式である。
本願のズームレンズの条件式（３）の対応値が上限値を上回ると、接合正レンズＬｃの焦点距離が小さくなる、即ち接合正レンズＬｃの屈折力が大きくなることを意味する。この場合、球面収差、及び変倍によるコマ収差の変動が増加してしまうため好ましくない。また、像面湾曲と非点収差も悪化してしまうため好ましくない。
なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（３）の上限値を０．８００とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（３）の上限値を０．５００とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（３）の上限値を０．３００とすることがより好ましい。また、本願の効果を最大限に発揮するために、条件式（３）の上限値を０．２００とすることがより好ましい。

一方、本願のズームレンズの条件式（３）の対応値が下限値を下回ると、接合正レンズＬｃの焦点距離が大きくなる、即ち接合正レンズＬｃの屈折力が著しく小さくなる、又は接合正レンズＬｃが負の屈折力を有するようになることを意味する。この場合、接合レンズＬｄに収差補正の負担が増加してしまう。そして結果的に、コマ収差の画角による変位、及び変倍によるコマ収差の変動が増加してしまうため好ましくない。
なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（３）の下限値を０．０１０とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（３）の下限値を０．０３０とすることがより好ましく、これによって諸収差をより良好に補正することができる。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（３）の下限値を０．０５０とすることがより好ましい。また、本願の効果を最大限に発揮するために、条件式（３）の下限値を０．０７０とすることがより好ましい。

また、本願のズームレンズは、以下の条件式（４）を満足することが望ましい。
（４） ０．００５＜Ｆｗ／Ｆｆ＜１．０００
ただし、
Ｆｗ：広角端状態における無限遠物体合焦時の前記ズームレンズ全系の焦点距離
Ｆｆ：前記後群内の前記合焦レンズ群Ｇｆの焦点距離

条件式（４）は、後群内の合焦レンズ群Ｇｆの焦点距離の大きさ、即ち合焦レンズ群Ｇｆの屈折力を規定する条件式である。
本願のズームレンズの条件式（４）の対応値が上限値を上回ると、合焦レンズ群Ｇｆの焦点距離が小さくなる、即ち合焦レンズ群Ｇｆの正の屈折力が大きくなることを意味する。したがって、球面色収差、軸上色収差、及び望遠端状態におけるコマ収差が悪化してしまうため好ましくない。
なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（４）の上限値を０．８００とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（４）の上限値を０．７００とすることがより好ましく、これによって諸収差の補正が有利になる。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（４）の上限値を０．５００とすることがより好ましい。また、本願の効果を最大限に発揮するために、条件式（４）の上限値を０．３００とすることがより好ましい。

一方、本願のズームレンズの条件式（４）の対応値が下限値を下回ると、合焦レンズ群Ｇｆの焦点距離が大きくなる、即ち合焦レンズ群Ｇｆの正の屈折力が著しく小さくなる、又は合焦レンズ群Ｇｆが負の屈折力を有するようになることを意味する。この場合、合焦レンズ群Ｇｆが合焦レンズ群としての役割を果たせなくなり、合焦レンズ群Ｇｆの合焦のための移動量が増大し、本願のズームレンズ全体が大型化してしまうため好ましくない。また結果的に、球面色収差、軸上色収差、及び望遠端状態におけるコマ収差が悪化してしまうため好ましくない。
なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（４）の下限値を０．０１０とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（４）の下限値を０．０３０とすることがより好ましく、これによって諸収差をより良好に補正することができる。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（４）の下限値を０．０４０とすることがより好ましい。また、本願の効果を最大限に発揮するために、条件式（４）の下限値を０．０５０とすることがより好ましい。

また、本願のズームレンズは、以下の条件式（５）を満足することが望ましい。
（５） ０．００≦（ｒ２＋ｒ１）／（ｒ２−ｒ１）＜３０．００
ただし、
ｒ１：前記後群内の前記負レンズＬｂの物体側のレンズ面の曲率半径
ｒ２：前記後群内の前記負レンズＬｂの像側のレンズ面の曲率半径

条件式（５）は、後群内の負レンズＬｂの形状因子（Ｑファクター）を規定する条件式である。この条件式（５）は、負レンズＬｂが、物体側のレンズ面の曲率半径と像面側のレンズ面の曲率半径とが同じである所謂等ｒの両凹形状から、物体側に凹面を向けたメニスカス形状になることを意味している。そして条件式（５）は、負レンズＬｂが、等ｒの両凹形状以外では、必ず物体側のレンズ面の曲率が像面側のレンズ面の曲率よりも大きくなることを意味している。
したがって、本願のズームレンズの条件式（５）の対応値が上限値を上回ると、負レンズＬｂの形状が著しいメニスカス形状になる。この場合、球面色収差、コマ収差、及び像面湾曲の変倍による変動が悪化してしまうため好ましくない。
なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（５）の上限値を２５．００とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（５）の上限値を２０．００とすることがより好ましく、これによって諸収差の補正が有利になる。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（５）の上限値を１０．００とすることがより好ましい。また、本願の効果を最大限に発揮するために、条件式（５）の上限値を８．００とすることがより好ましい。

一方、本願のズームレンズの条件式（５）の対応値が下限値を下回ると、負レンズＬｂの物体側のレンズ面の曲率が像面側のレンズ面の曲率よりも小さくなること意味する。この場合、敏感度が増加し、結果的にコマ収差と球面収差が悪化してしまうため好ましくない。
なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（５）の下限値を０．１０とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（５）の下限値を０．２０とすることがより好ましく、これによって諸収差をより良好に補正することができる。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（５）の下限値を０．３０とすることがより好ましい。また、本願の効果を最大限に発揮するために、条件式（５）の下限値を０．４０とすることがより好ましい。

また、本願のズームレンズは、前記後群内の前記接合レンズＬｄが正の屈折力を有すると、コマ収差を良好に補正することができる。
また、本願のズームレンズは、前記後群内の前記接合レンズＬｄが負の屈折力を有すると、歪曲収差を良好に補正することができる。
また、本願のズームレンズは、前記後群内の前記合焦レンズ群Ｇｆが正又は負の屈折力を有する接合レンズを少なくとも有することが望ましい。この構成により、特に望遠端状態におけるコマ収差と球面収差を良好に補正することができる。
また、本願の撮像装置は、上述した構成のズームレンズを備えたことを特徴とする。これにより、小型で、レンズ枚数が少なく、諸収差を良好に補正し、高い結像性能を有する大画角の撮像装置を実現することができる。

また、本願のズームレンズの製造方法は、物体側から順に、負の屈折力を有する前群と、正の屈折力を有する後群とを有するズームレンズの製造方法であって、前記後群が、物体側から順に、正レンズＬａと、物体側に凹面を向けた負レンズＬｂと、負レンズと正レンズとの接合正レンズＬｃと、正レンズと負レンズとの接合レンズＬｄとを有し、さらに、前記正レンズＬａよりも物体側に、正の屈折力を有し、無限遠物体から近距離物体への合焦のために物体側から像側へ移動する合焦レンズ群Ｇｆを有するようにし、前記ズームレンズが以下の条件式（１）を満足するようにし、前記前群と前記後群との間の空気間隔を変化させることによって変倍を行い、前記前群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成されることを特徴とする。
（１） ０．０００＜Ｆｗ／（−Ｆｂ）＜１．０００
ただし、
Ｆｗ：広角端状態における無限遠物体合焦時の前記ズームレンズ全系の焦点距離
Ｆｂ：前記後群内の前記負レンズＬｂの焦点距離
斯かる本願のズームレンズの製造方法により、小型で、レンズ枚数が少なく、諸収差を良好に補正し、ゴーストやフレアをより低減させ、高い結像性能を有する大画角のズームレンズを製造することができる。

以下、本願の数値実施例に係るズームレンズを添付図面に基づいて説明する。
（第１実施例）
図１は、本願の第１実施例に係るズームレンズの構成を示す断面図である。
本実施例に係るズームレンズは、物体側から順に、負の屈折力を有する前群Ｇｎと、正の屈折力を有する後群Ｇｐとから構成されている。
前群Ｇｎは、物体側から順に、負の屈折力を有しており像面Ｉ側に凹面を向けた両側非球面負メニスカスレンズＬ１１と、両凹形状の負レンズＬ１２と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１３との接合負レンズと、両凸形状の正レンズＬ１４とからなる。

後群Ｇｐは、物体側から順に、正の屈折力を有する合焦レンズ群Ｇｆと、開口絞りＳと、正の屈折力を有する正レンズ群Ｇｒとからなる。
合焦レンズ群Ｇｆは、無限遠物体から近距離物体への合焦のために物体側から像面Ｉ側へ移動するレンズ群であって、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ２１と両凸形状の正レンズＬ２２との接合正レンズのみからなる。
正レンズ群Ｇｒは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬａと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬｂと、両凹形状の負レンズと両凸形状の正レンズとの接合正レンズＬｃと、両凸形状の正レンズと像面Ｉ側に凸面を向けた負メニスカスレンズとの接合負レンズＬｄとからなる。
また、本実施例に係るズームレンズでは、前群Ｇｎと後群Ｇｐとの間の空気間隔を変化させることによって、広角端状態から望遠端状態への変倍を行う。なお、図１中の矢印は、広角端状態から望遠端状態への変倍時の前群Ｇｎ及び後群Ｇｐの移動軌跡を示している。

本第１実施例に係るズームレンズは、前群Ｇｎの負メニスカスレンズＬ１１の像面Ｉ側のレンズ面と、両凹形状の負レンズＬ１２の物体側レンズ面に、後述する反射防止膜が形成されている。

以下の表１に、本実施例に係るズームレンズの諸元値を掲げる。
表１において、Ｆは焦点距離、ＢＦはバックフォーカスを示す。
[面データ]において、面番号は物体側から数えたレンズ面の順番、ｒはレンズ面の曲率半径、ｄはレンズ面の間隔、ｎｄはｄ線（波長λ＝５８７．６ｎｍ）に対する屈折率、νｄはｄ線（波長λ＝５８７．６ｎｍ）に対するアッベ数をそれぞれ示している。また、物面は物体面、可変は可変の面間隔、(絞りＳ)は開口絞りＳ、像面は像面Ｉをそれぞれ示している。なお、曲率半径ｒ＝∞は平面を示している。また、面番号の左側に付された米印「＊」は非球面を示している。
［非球面データ］には、［面データ］に示した非球面について、その形状を次式で表した場合の円錐係数と非球面係数を示す。
Ｘ（ｙ）＝（ｙ^２／ｒ）／[１＋｛１−κ（ｙ^２／ｒ^２）｝^１／２]
＋A4×ｙ^４＋A6×ｙ^６＋A8×ｙ^８＋A10×ｙ^１０＋A12×ｙ^１２
ここで、光軸に垂直な方向の高さをｙ、高さｙにおける光軸方向の変位量をＸ（ｙ）、基準球面の曲率半径（近軸曲率半径）をｒ、円錐係数をκ、ｎ次の非球面係数をAnとする。なお、「E-n」は「×10^-n」を示し、例えば「1.234E-05」は「1.234×10^−５」を示す。

［各種データ］において、ＦＮＯはＦナンバー、ωは半画角（単位：度）、Ｙは像高、ＴＬは光学系全長、Σｄは最も物体側のレンズ面（第１面）から最も像側のレンズ面までの距離、βは撮影倍率、ｄ0は物体面から第１面までの距離、ｄi（i：整数）は第ｉ面の可変の面間隔をそれぞれ示す。なお、1-POSは広角端状態における無限遠物体合焦時、2-POSは中間焦点距離状態における無限遠物体合焦時、3-POSは望遠端状態における無限遠物体合焦時、4-POSは広角端状態における有限距離物体合焦時、5-POSは中間焦点距離状態における有限距離物体合焦時、6-POSは望遠端状態における有限距離物体合焦時、7-POSは広角端状態における最短撮影距離物体合焦時、8-POSは中間焦点距離状態における最短撮影距離物体合焦時、9-POSは望遠端状態における最短撮影距離物体合焦時をそれぞれ示す。
ここで、表１に掲載されている焦点距離Ｆ、曲率半径ｒ、及びその他長さの単位は一般に「ｍｍ」が使われる。しかしながら光学系は、比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるため、これに限られるものではない。
なお、以上に述べた表１の符号は、後述する各実施例の表においても同様に用いるものとする。

（表１）第１実施例
[面データ]
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
物面 ∞
＊1) 27.6095 2.0000 1.744430 49.52
＊2) 10.4613 13.4130 1.000000
3) -91.8404 2.0000 1.816000 46.63
4) 20.9975 5.0000 1.603420 38.02
5) 46.4047 2.0000 1.000000
6) 34.9634 4.5000 1.717360 29.52
7) -145.3428 可変 1.000000
8) 43.3884 1.0000 1.788000 47.38
9) 16.6939 3.0000 1.497820 82.56
10) -179.2154 可変 1.000000
11) (絞りＳ) ∞ 0.7000 1.000000
12) 18.7726 3.0000 1.516800 64.12
13) -48.4517 5.4164 1.000000
14) -24.9329 6.0000 1.755000 52.29
15) -43.6855 2.0000 1.000000
16) -60.8893 1.0000 1.755000 52.29
17) 18.0968 5.0000 1.518230 58.89
18) -17.6009 0.1000 1.000000
19) 312.1189 5.5000 1.497820 82.56
20) -12.3197 1.0000 1.834810 42.72
21) -39.7672 ＢＦ 1.000000
像面 ∞

［非球面データ］
第１面
κ ＝ -3.0300
A4 ＝ 2.51696E-06
A6 ＝ 1.97213E-09
A8 ＝ 9.53579E-13
A10 ＝ -4.10542E-15
A12 ＝ 0.0000

第２面
κ ＝ 0.3010
A4 ＝ -5.11743E-06
A6 ＝ 2.38317E-08
A8 ＝ -4.77560E-10
A10 ＝ 3.04666E-12
A12 ＝ -0.43400E-14

［各種データ］
ズーム比 1.77

1-POS 2-POS 3-POS
Ｆ 16.48 〜 24.00 〜 29.10
ＦＮＯ 4.67 〜 5.39 〜 5.88
ω 53.47 〜 41.61 〜 36.17°
Ｙ 21.60 〜 21.60 〜 21.60
ＴＬ 129.75 〜 125.92 〜 127.84
Σｄ 91.47 〜 76.11 〜 70.21
ＢＦ 38.28 〜 49.81 〜 57.63

1-POS 2-POS 3-POS 4-POS 5-POS 6-POS
Ｆ＆β 16.48000 24.00000 29.10000 -0.03333 -0.03333 -0.03333
ｄ0 ∞ ∞ ∞ 473.9082 700.5201 854.0684
ｄ7 22.83725 7.48076 1.58270 25.12741 9.41676 3.34451
ｄ10 6.00001 6.00001 6.00001 3.70985 4.06401 4.23820
ＢＦ 38.28373 49.81133 57.62926 38.28373 49.81133 57.62926

7-POS 8-POS 9-POS
β -0.05668 -0.08173 -0.09992
ｄ0 270.2495 274.0784 272.1586
ｄ7 26.69585 12.12987 6.71209
ｄ10 2.14141 1.35090 0.87062
ＢＦ 38.28373 49.81133 57.62926

［レンズ群データ］
群 始面 Ｆ
Ｇｎ 1 -22.95412
Ｇｆ 8 270.27515
Ｇｒ 12 38.38092

［条件式対応値］
（１） Ｆｗ／（−Ｆｂ） ＝ 0.1847
（２） Ｆｗ／|Ｆｄ| ＝ 0.07311
（３） Ｆｗ／Ｆｃ ＝ 0.10804
（４） Ｆｗ／Ｆｆ ＝ 0.06097
（５） （ｒ２＋ｒ１）／（ｒ２−ｒ１） ＝ 3.659

図２（ａ）、図２（ｂ）、及び図２（ｃ）はそれぞれ、本願の第１実施例に係るズームレンズの広角端状態における無限遠物体合焦時の諸収差、中間焦点距離状態における無限遠物体合焦時の諸収差、及び望遠端状態における無限遠物体合焦時の諸収差を示す図である。
各収差図において、ＦＮＯはＦナンバー、Ｙは像高、ｄはｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）、ｇはｇ線（λ＝４３５．８ｎｍ）をそれぞれ示す。なお、球面収差図では最大口径に対応するＦナンバーの値を示し、非点収差図及び歪曲収差図では像高の最大値をそれぞれ示している。また、非点収差図において実線はサジタル像面、点線はメリジオナル像面を示し、コマ収差図における実線はメリジオナルコマ収差を示す。なお、以下に示す各実施例の収差図においても、本実施例と同様の符号を用いる。
各諸収差図より、本実施例に係るズームレンズは、球面収差、像面湾曲、非点収差、及びコマ収差を含む諸収差が良好に補正されていることがわかる。

本願ズームレンズにおける、ゴースト発生原因の一例について図３を参照して説明する。
図３において、物体側からの光線ＢＭが図示のようにズームレンズに入射すると、両凹形状の負レンズＬ１２における物体側のレンズ面（第１番目のゴースト光発生面でありその面番号は３）で反射し、その反射光は負メニスカスレンズＬ１１における像面Ｉ側のレンズ面（第２番目のゴースト光発生面でありその面番号は２）で再度反射して像面Ｉに到達し、ゴーストを発生させてしまう。なお、第１番目のゴースト光発生面３は、物体から見て凹形状のレンズ面、第２番目のゴースト光発生面２は開口絞りから見て凹形状のレンズ面である。このような面に、より広い波長範囲で広入射角に対応した反射防止膜を形成することで、ゴーストを効果的に低減させることができる。

（第２実施例）
図４は、本願の第２実施例に係るズームレンズの構成を示す断面図である。
本実施例に係るズームレンズは、物体側から順に、負の屈折力を有する前群Ｇｎと、正の屈折力を有する後群Ｇｐとから構成されている。
前群Ｇｎは、物体側から順に、両側非球面メニスカスレンズＬ１１と、複合型非球面正レンズＬ１２と、両凹形状の負レンズＬ１３と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１４との接合負レンズと、両凸形状の正レンズＬ１５とからなる。
両側非球面メニスカスレンズＬ１１は、負の屈折力を有し中心から周辺へ向かうにつれて負の屈折力が小さくなる形状を有しており、像面Ｉ側に凹面を向けている。
複合型非球面正レンズＬ１２は、合成で正の屈折力を有し中心から周辺へ向かうにつれて負の屈折力に転じる形状を有しており、樹脂部とガラスレンズとの複合によりなる。

後群Ｇｐは、物体側から順に、正の屈折力を有する合焦レンズ群Ｇｆと、開口絞りＳと、正の屈折力を有する正レンズ群Ｇｒとからなる。
合焦レンズ群Ｇｆは、無限遠物体から近距離物体への合焦のために物体側から像面Ｉ側へ移動するレンズ群であって、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ２１と両凸形状の正レンズＬ２２との接合正レンズのみからなる。
正レンズ群Ｇｒは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬａと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬｂと、両凹形状の負レンズと両凸形状の正レンズとの接合正レンズＬｃと、像面Ｉ側に凸面を向けた正メニスカスレンズと像面Ｉ側に凸面を向けた負メニスカスレンズとの接合正レンズＬｄとからなる。
また、本実施例に係るズームレンズでは、前群Ｇｎと後群Ｇｐとの間の空気間隔を変化させることによって、広角端状態から望遠端状態への変倍を行う。なお、図４中の矢印は、広角端状態から望遠端状態への変倍時の前群Ｇｎ及び後群Ｇｐの移動軌跡を示している。

本第２実施例に係るズームレンズは、前群Ｇｎの負メニスカスレンズＬ１１の像面Ｉ側のレンズ面と、正レンズＬ１２の物体側レンズ面に、後述する反射防止膜が形成されている。

以下の表２に、本実施例に係るズームレンズの諸元値を掲げる。

（表２）第２実施例
[面データ]
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
物面 ∞
＊1) 120.0323 3.0000 1.744430 49.53
＊2) 14.8111 11.0000 1.000000
3) 320.0965 3.0000 1.516800 64.12
4) 70.0000 1.0000 1.553890 38.09
＊5) -993.8663 4.5000 1.000000
6) -56.5907 2.0000 1.816000 46.63
7) 17.0196 7.0000 1.603420 38.02
8) 73.8459 0.1000 1.000000
9) 32.4760 5.0000 1.717360 29.52
10) -157.9244 可変 1.000000
11) 23.8096 1.0000 1.795000 45.30
12) 15.6593 3.0000 1.497820 82.56
13) -1090.6220 可変 1.000000
14) (絞りＳ) ∞ 0.7000 1.000000
15) 26.3980 2.5000 1.497820 82.56
16) -79.3224 4.6000 1.000000
17) -39.5467 8.0000 1.744000 44.79
18) -162.0229 2.0000 1.000000
19) -92.3426 1.0000 1.755000 52.29
20) 20.8016 5.0000 1.518230 58.89
21) -21.0542 0.1000 1.000000
22) -344.4872 5.5000 1.497820 82.56
23) -13.5094 1.0000 1.834810 42.72
24) -31.7192 ＢＦ 1.000000
像面 ∞

［非球面データ］
第１面
κ ＝ 12.7063
A4 ＝ 2.52869E-07
A6 ＝ 5.51300E-10
A8 ＝ 4.77913E-13
A10 ＝ -3.07832E-16
A12 ＝ -0.49549E-19

第２面
κ ＝ -0.0947
A4 ＝ -6.70196E-06
A6 ＝ -1.78783E-08
A8 ＝ -5.15142E-12
A10 ＝ -4.83366E-14
A12 ＝ 0.21367E-15

第５面
κ ＝ 0.00000
A4 ＝ 2.50710E-05
A6 ＝ 2.09871E-08
A8 ＝ 1.63612E-10
A10 ＝ -1.20936E-13
A12 ＝ -0.17594E-14

［各種データ］
ズーム比 1.77
1-POS 2-POS 3-POS
Ｆ 16.48 〜 24.00 〜 29.10
ＦＮＯ 4.41 〜 5.29 〜 5.88
ω 53.27 〜 41.72 〜 35.932°
Ｙ 21.60 〜 21.60 〜 21.60
ＴＬ 138.15 〜135.51 〜138.24
Σｄ 99.84 〜 84.47 〜 78.57
ＢＦ 38.31 〜 51.04 〜 59.67
1-POS 2-POS 3-POS 4-POS 5-POS 6-POS
Ｆ＆β 16.48000 24.00000 29.10000 -0.03333 -0.03333 -0.03333
ｄ0 ∞ ∞ ∞ 470.1967 697.5176 851.2221
ｄ10 22.83854 7.47382 1.57260 23.82277 8.14376 2.14016
ｄ13 6.00001 6.00001 6.00001 5.01578 5.33006 5.43245
ＢＦ 38.31325 51.03766 59.66724 38.31325 51.03766 59.66724

7-POS 8-POS 9-POS
β -0.08858 -0.12836 -0.15853
ｄ0 161.8482 164.4885 161.7602
ｄ10 25.46251 10.04579 4.25456
ｄ13 3.37604 3.42803 3.31805
ＢＦ 38.31325 51.03766 59.66724

［レンズ群データ］
群 始面 Ｆ
Ｇｎ 1 -21.85385
Ｇｆ 11 65.79150
Ｇｒ 15 59.98221

［条件式対応値］
（１） Ｆｗ／（−Ｆｂ） ＝ 0.2278
（２） Ｆｗ／|Ｆｄ| ＝ 0.005215
（３） Ｆｗ／Ｆｃ ＝ 0.1105
（４） Ｆｗ／Ｆｆ ＝ 0.2505
（５） （ｒ２＋ｒ１）／（ｒ２−ｒ１） ＝ 1.646

図５（ａ）、図５（ｂ）、及び図５（ｃ）はそれぞれ、本願の第２実施例に係るズームレンズの広角端状態における無限遠物体合焦時の諸収差、中間焦点距離状態における無限遠物体合焦時の諸収差、及び望遠端状態における無限遠物体合焦時の諸収差を示す図である。
各諸収差図より、本実施例に係るズームレンズは、球面収差、像面湾曲、非点収差、及びコマ収差を含む諸収差が良好に補正されていることがわかる。

（第３実施例）
図６は、本願の第３実施例に係るズームレンズの構成を示す断面図である。
本実施例に係るズームレンズは、物体側から順に、負の屈折力を有する前群Ｇｎと、正の屈折力を有する後群Ｇｐとから構成されている。
前群Ｇｎは、物体側から順に、両側非球面メニスカスレンズＬ１１と、複合型非球面正レンズＬ１２と、両凹形状の負レンズＬ１３と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１４との接合負レンズと、両凸形状の正レンズＬ１５とからなる。
両側非球面メニスカスレンズＬ１１は、負の屈折力を有し中心から周辺へ向かうにつれて負の屈折力が小さくなる形状を有しており、像面Ｉ側に凹面を向けている。
複合型非球面正レンズＬ１２は、合成で正の屈折力を有し中心から周辺へ向かうにつれて負の屈折力に転じる形状を有しており、樹脂部とガラスレンズとの複合によりなる。

後群Ｇｐは、物体側から順に、正の屈折力を有する合焦レンズ群Ｇｆと、開口絞りＳと、正の屈折力を有する正レンズ群Ｇｒとからなる。
合焦レンズ群Ｇｆは、無限遠物体から近距離物体への合焦のために物体側から像面Ｉ側へ移動するレンズ群であって、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ２１と両凸形状の正レンズＬ２２との接合正レンズのみからなる。
正レンズ群Ｇｒは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬａと、両凹形状の負レンズＬｂと、両凹形状の負レンズと両凸形状の正レンズとの接合正レンズＬｃと、両凸形状の正レンズと像面Ｉ側に凸面を向けた負メニスカスレンズとの接合負レンズＬｄとからなる。
また、本実施例に係るズームレンズでは、前群Ｇｎと後群Ｇｐとの間の空気間隔を変化させることによって、広角端状態から望遠端状態への変倍を行う。なお、図６中の矢印は、広角端状態から望遠端状態への変倍時の前群Ｇｎ及び後群Ｇｐの移動軌跡を示している。

本第３実施例に係るズームレンズは、前群Ｇｎの負メニスカスレンズＬ１１の像面Ｉ側のレンズ面と、両凸形状の正レンズＬ１５の物体側レンズ面に、後述する反射防止膜が形成されている。

以下の表３に、本実施例に係るズームレンズの諸元値を掲げる。

（表３）第３実施例
[面データ]
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
物面 ∞
＊1) 82.7358 3.0000 1.744430 49.52
＊2) 14.1379 9.0000 1.000000
3) 75.5790 3.0000 1.516800 64.12
4) 40.0000 0.5000 1.553890 38.09
＊5) 83.8029 6.0000 1.000000
6) -77.5324 2.0000 1.816000 46.63
7) 17.4612 6.5000 1.603420 38.02
8) 70.9358 1.0500 1.000000
9) 34.6649 5.0000 1.717360 29.52
10) -214.0325 可変 1.000000
11) 27.4177 1.0000 1.788000 47.38
12) 15.1887 3.0000 1.497820 82.56
13) -218.1559 可変 1.000000
14) (絞りＳ) ∞ 0.7000 1.000000
15) 23.2434 2.8000 1.487490 70.45
16) -45.2239 4.6270 1.000000
17) -39.0084 8.0000 1.755000 52.29
18) 114.1192 2.0000 1.000000
19) -94.3568 1.0000 1.755000 52.29
20) 26.8051 5.0000 1.518230 58.89
21) -18.1493 0.1000 1.000000
22) 471.7364 5.5000 1.497820 82.56
23) -12.7396 1.0000 1.834810 42.72
24) -33.4851 ＢＦ 1.000000
像面 ∞

［非球面データ］
第１面
κ ＝ 4.0103
A4 ＝ 1.16908E-06
A6 ＝ 4.58987E-10
A8 ＝ 4.52741E-14
A10 ＝ -7.38248E-16
A12 ＝ 0.0000

第２面
κ ＝ -0.0638
A4 ＝ -7.94597E-07
A6 ＝ -5.98169E-09
A8 ＝ 2.11786E-11
A10 ＝ -5.51429E-14
A12 ＝ 0.81892E-16

第５面
κ ＝ -5.6064
A4 ＝ 2.51241E-05
A6 ＝ 2.20702E-08
A8 ＝ 5.50134E-11
A10 ＝ -1.42359E-13
A12 ＝ -0.72010E-15

［各種データ］
ズーム比 1.77
1-POS 2-POS 3-POS
Ｆ 16.48 〜 24.00 〜 29.10
ＦＮＯ 4.42 〜 5.28 〜 5.87
ω 53.20 〜 41.29 〜 35.96°
Ｙ 21.60 〜 21.60 〜 21.60
ＴＬ 137.91 〜135.13 〜137.77
Σｄ 99.62 〜 84.25 〜 78.35
ＢＦ 38.29 〜 50.88 〜 59.41

1-POS 2-POS 3-POS 4-POS 5-POS 6-POS
Ｆ＆β 16.48000 24.00000 29.10000 -0.03333 -0.03333 -0.03333
ｄ0 ∞ ∞ ∞ 471.3609 698.1959 851.7729
ｄ10 22.83872 7.47624 1.57589 23.82393 8.20492 2.20852
ｄ13 6.00001 6.00001 6.00001 5.01479 5.27133 5.36738
ＢＦ 38.29175 50.87810 59.41406 38.29175 50.87810 59.41406

7-POS 8-POS 9-POS
β -0.12195 -0.17557 -0.21797
ｄ0 112.0925 114.8687 112.2331
ｄ10 26.43169 11.27028 5.64318
ｄ13 2.40704 2.20597 1.93272
ＢＦ 38.29175 50.87810 59.41406

［レンズ群データ］
群 始面 Ｆ
Ｇｎ 1 -21.97176
Ｇｆ 11 82.35563
Ｇｒ 15 52.85072

［条件式対応値］
（１） Ｆｗ／（−Ｆｂ） ＝ 0.4376
（２） Ｆｗ／|Ｆｄ| ＝ 0.001919
（３） Ｆｗ／Ｆｃ ＝ 0.2208
（４） Ｆｗ／Ｆｆ ＝ 0.2001
（５） （ｒ２＋ｒ１）／（ｒ２−ｒ１） ＝ 0.4905

図７（ａ）、図７（ｂ）、及び図７（ｃ）はそれぞれ、本願の第３実施例に係るズームレンズの広角端状態における無限遠物体合焦時の諸収差、中間焦点距離状態における無限遠物体合焦時の諸収差、及び望遠端状態における無限遠物体合焦時の諸収差を示す図である。
各諸収差図より、本実施例に係るズームレンズは、球面収差、像面湾曲、非点収差、及びコマ収差を含む諸収差が良好に補正されていることがわかる。

（第４実施例）
図８は、本願の第４実施例に係るズームレンズの構成を示す断面図である。
本実施例に係るズームレンズは、物体側から順に、負の屈折力を有する前群Ｇｎと、正の屈折力を有する後群Ｇｐとから構成されている。
前群Ｇｎは、物体側から順に、両側非球面メニスカスレンズＬ１１と、複合型非球面正レンズＬ１２と、両凹形状の負レンズＬ１３と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１４との接合負レンズと、両凸形状の正レンズＬ１５とからなる。
両側非球面メニスカスレンズＬ１１は、負の屈折力を有し中心から周辺へ向かうにつれて負の屈折力が小さくなる形状を有しており、像面Ｉ側に凹面を向けている。
複合型非球面正レンズＬ１２は、合成で正の屈折力を有し中心から周辺へ向かうにつれて負の屈折力に転じる形状を有しており、樹脂部とガラスレンズとの複合によりなる。

後群Ｇｐは、物体側から順に、正の屈折力を有する合焦レンズ群Ｇｆと、開口絞りＳと、正の屈折力を有する正レンズ群Ｇｒとからなる。
合焦レンズ群Ｇｆは、無限遠物体から近距離物体への合焦のために物体側から像面Ｉ側へ移動するレンズ群であって、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合負レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２３とからなる。
正レンズ群Ｇｒは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬａと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬｂと、両凹形状の負レンズと両凸形状の正レンズとの接合正レンズＬｃと、像面Ｉ側に凸面を向けた正メニスカスレンズと像面Ｉ側に凸面を向けた負メニスカスレンズとの接合負レンズＬｄとからなる。
また、本実施例に係るズームレンズでは、前群Ｇｎと後群Ｇｐとの間の空気間隔を変化させることによって、広角端状態から望遠端状態への変倍を行う。なお、図８中の矢印は、広角端状態から望遠端状態への変倍時の前群Ｇｎ及び後群Ｇｐの移動軌跡を示している。

本第４実施例に係るズームレンズは、前群Ｇｎの負メニスカスレンズＬ１１の像面Ｉ側のレンズ面と、正メニスカスレンズＬ１４の像面Ｉ側のレンズ面に、後述する反射防止膜が形成されている。

以下の表４に、本実施例に係るズームレンズの諸元値を掲げる。

（表４）第４実施例
[面データ]
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
物面 ∞
＊1) 153.3543 3.0000 1.744430 49.53
＊2) 15.3606 11.0000 1.000000
3) 236.8320 3.0000 1.516800 64.12
4) 70.0000 1.0000 1.553890 38.09
＊5) 3985.5156 4.5000 1.000000
6) -67.6319 2.0000 1.816000 46.63
7) 15.1899 7.5000 1.603420 38.02
8) 43.3750 0.1000 1.000000
9) 27.7464 5.5000 1.717360 29.52
10) -157.9244 可変 1.000000
11) 49.1344 1.0000 1.804000 46.58
12) 16.8331 2.5000 1.516800 64.12
13) 146.9875 0.1000 1.000000
14) 25.6591 2.5000 1.497820 82.56
15) 599.0698 可変 1.000000
16) (絞りＳ) ∞ 0.7000 1.000000
17) 29.3063 2.5000 1.497820 82.56
18) -61.3653 4.6000 1.000000
19) -50.5351 8.0000 1.744000 44.79
20) -67.6742 2.0000 1.000000
21) -79.7962 1.0000 1.755000 52.29
22) 18.3139 5.0000 1.518230 58.89
23) -20.4715 0.1000 1.000000
24) -60.2074 5.5000 1.497820 82.56
25) -12.2737 1.0000 1.834810 42.72
26) -31.7192 ＢＦ 1.000000
像面 ∞

［非球面データ］
第１面
κ ＝ 13.2493
A4 ＝ 1.31283E-06
A6 ＝ 1.06752E-09
A8 ＝ 1.38001E-13
A10 ＝ -8.11754E-16
A12 ＝ 0.10966E-17

第２面
κ ＝ -0.2095
A4 ＝ -5.86923E-06
A6 ＝ -7.67156E-09
A8 ＝ -1.78993E-11
A10 ＝ -5.48129E-14
A12 ＝ 0.28144E-15

第５面
κ ＝ 0.0000
A4 ＝ 2.47964E-05
A6 ＝ 2.84299E-08
A8 ＝ 1.25579E-10
A10 ＝ -1.72740E-13
A12 ＝ -0.21040E-14

［各種データ］
ズーム比 1.77
1-POS 2-POS 3-POS
Ｆ 16.48 〜 24.00 〜 29.10
ＦＮＯ 4.35 〜 5.14 〜 5.68
ω 53.12 〜 41.82 〜 36.38°
Ｙ 21.60 〜 21.60 〜 21.60
ＴＬ 141.21 〜140.02 〜143.41
Σｄ 102.95 〜 88.69 〜 83.22
ＢＦ 38.26 〜 51.33 〜 60.20

1-POS 2-POS 3-POS 4-POS 5-POS 6-POS
Ｆ＆β 16.48000 24.00000 29.10000 -0.03333 -0.03333 -0.03333
ｄ0 ∞ ∞ ∞ 471.1267 698.0278 851.5633
ｄ10 22.85014 8.59216 3.11601 23.72910 9.20066 3.63146
ｄ15 6.00001 6.00001 6.00001 5.12105 5.39151 5.48457
ＢＦ 38.26242 51.33188 60.19547 38.26242 51.33188 60.19547

7-POS 8-POS 9-POS
β -0.12479 -0.18187 -0.22726
ｄ0 108.7874 109.9760 106.5885
ｄ10 26.14974 11.89568 6.59818
ｄ15 2.70041 2.69648 2.51784
ＢＦ 38.26242 51.33188 60.19547

［レンズ群データ］
群 始面 Ｆ
Ｇｎ 1 -20.77230
Ｇｆ 11 69.36596
Ｇｒ 17 62.45782

［条件式対応値］
（１） Ｆｗ／（−Ｆｂ） ＝ 0.04921
（２） Ｆｗ／|Ｆｄ| ＝ 0.1469
（３） Ｆｗ／Ｆｃ ＝ 0.08016
（４） Ｆｗ／Ｆｆ ＝ 0.2376
（５） （ｒ２＋ｒ１）／（ｒ２−ｒ１） ＝ 6.897

図９（ａ）、図９（ｂ）、及び図９（ｃ）はそれぞれ、本願の第４実施例に係るズームレンズの広角端状態における無限遠物体合焦時の諸収差、中間焦点距離状態における無限遠物体合焦時の諸収差、及び望遠端状態における無限遠物体合焦時の諸収差を示す図である。
各諸収差図より、本実施例に係るズームレンズは、球面収差、像面湾曲、非点収差、及びコマ収差を含む諸収差が良好に補正されていることがわかる。

（第５実施例）
図１０は、本願の第５実施例に係るズームレンズの構成を示す断面図である。 本実施例に係るズームレンズは、物体側から順に、負の屈折力を有する前群Ｇｎと、正の屈折力を有する後群Ｇｐと、固定群Ｇｓとから構成されている。
前群Ｇｎは、物体側から順に、両側非球面メニスカスレンズＬ１１と、複合型非球面正レンズＬ１２と、両凹形状の負レンズＬ１３と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１４との接合負レンズと、両凸形状の正レンズＬ１５とからなる。
両側非球面メニスカスレンズＬ１１は、負の屈折力を有し中心から周辺へ向かうにつれて負の屈折力が小さくなる形状を有しており、像面Ｉ側に凹面を向けている。
複合型非球面正レンズＬ１２は、合成で正の屈折力を有し中心から周辺へ向かうにつれて負の屈折力に転じる形状を有しており、樹脂部とガラスレンズとの複合によりなる。

後群Ｇｐは、物体側から順に、正の屈折力を有する合焦レンズ群Ｇｆと、開口絞りＳと、正の屈折力を有する正レンズ群Ｇｒとからなる。
合焦レンズ群Ｇｆは、無限遠物体から近距離物体への合焦のために物体側から像面Ｉ側へ移動するレンズ群であって、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ２１と両凸形状の正レンズＬ２２との接合正レンズのみからなる。
正レンズ群Ｇｒは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬａと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬｂと、両凹形状の負レンズと両凸形状の正レンズとの接合正レンズＬｃと、像面Ｉ側に凸面を向けた正メニスカスレンズと像面Ｉ側に凸面を向けた負メニスカスレンズとの接合正レンズＬｄとからなる。
固定群Ｇｓは、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３１のみからなる。
また、本実施例に係るズームレンズでは、前群Ｇｎと後群Ｇｐとの間の空気間隔を変化させることによって、広角端状態から望遠端状態への変倍を行う。なお、固定群Ｇｓの位置は、変倍に際して固定である。また、図１０中の矢印は、広角端状態から望遠端状態への変倍時の前群Ｇｎ及び後群Ｇｐの移動軌跡を示している。

本第５実施例に係るズームレンズは、前群Ｇｎの負メニスカスレンズＬ１１の像面Ｉ側のレンズ面と、両凹形状の負レンズＬ１３の物体側レンズ面に、後述する反射防止膜が形成されている。

以下の表５に、本実施例に係るズームレンズの諸元値を掲げる。

（表５）第５実施例
[面データ]
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
物面 ∞
＊1) 120.0323 3.0000 1.744430 49.53
＊2) 14.8111 11.0000 1.000000
3) 320.0965 3.0000 1.516800 64.12
4) 70.0000 1.0000 1.553890 38.09
＊5) -993.8663 4.5000 1.000000
6) -56.5907 2.0000 1.816000 46.63
7) 17.0196 7.0000 1.603420 38.02
8) 73.8459 0.1000 1.000000
9) 32.4760 5.0000 1.717360 29.52
10) -157.9244 可変 1.000000
11) 23.8096 1.0000 1.795000 45.30
12) 15.6593 3.0000 1.497820 82.56
13) -1090.6220 可変 1.000000
14) (絞りＳ) ∞ 0.7000 1.000000
15) 26.3980 2.5000 1.497820 82.56
16) -79.3224 4.6000 1.000000
17) -39.5467 8.0000 1.744000 44.79
18) -162.0229 2.0000 1.000000
19) -92.3426 1.0000 1.755000 52.29
20) 20.8016 5.0000 1.518230 58.89
21) -21.0542 0.1000 1.000000
22) -344.4872 5.5000 1.497820 82.56
23) -13.5094 1.0000 1.834810 42.72
24) -31.7192 可変 1.000000
25) -100.0000 2.0000 1.516800 64.12
26) -107.0000 ＢＦ 1.000000
像面 ∞

［非球面データ］
第１面
κ ＝ 12.7063
A4 ＝ 2.52869E-07
A6 ＝ 5.51300E-10
A8 ＝ 4.77913E-13
A10 ＝ -3.07832E-16
A12 ＝ -0.49549E-19

第２面
κ ＝ -0.0947
A4 ＝ -6.70196E-06
A6 ＝ -1.78783E-08
A8 ＝ -5.15142E-12
A10 ＝ -4.83366E-14
A12 ＝ 0.21367E-15

第５面
κ ＝ 0.00000
A4 ＝ 2.50710E-05
A6 ＝ 2.09871E-08
A8 ＝ 1.63612E-10
A10 ＝ -1.20936E-13
A12 ＝ -0.17594E-14

［各種データ］
ズーム比 1.77
1-POS 2-POS 3-POS
Ｆ 16.48 〜 24.00 〜 29.10
ＦＮＯ 4.49 〜 5.33 〜 5.93
ω 52.73 〜 41.73 〜 36.33°
Ｙ 21.60 〜 21.60 〜 21.60
ＴＬ 139.69 〜136.93 〜139.40
Σｄ 102.78 〜100.03 〜102.50
ＢＦ 36.90 〜 36.90 〜 36.90

1-POS 2-POS 3-POS 4-POS 5-POS 6-POS
Ｆ＆β 16.48000 24.00000 29.10000 -0.03333 -0.03333 -0.03333
ｄ0 ∞ ∞ ∞ 479.0879 697.4475 851.1518
ｄ10 22.83854 8.08582 2.08111 23.80535 8.75458 2.64698
ｄ13 5.94351 5.94351 5.94351 4.97670 5.27476 5.37764
ｄ24 1.00000 12.99953 21.47140 1.00000 12.99953 21.47140
ＢＦ 36.90477 36.90477 36.90477 36.90477 36.90477 36.90477

7-POS 8-POS 9-POS
β -0.09092 -0.12930 -0.15949
ｄ0 160.3132 163.0664 160.5992
ｄ10 25.48445 10.67259 4.77187
ｄ13 3.29760 3.35675 3.25276
ｄ24 1.00000 12.99953 21.47140
ＢＦ 36.90477 36.90477 36.90477

［レンズ群データ］
群 始面 Ｆ
Ｇｎ 1 -21.85385
Ｇｆ 11 65.79150
Ｇｒ 15 59.98221
Ｇｓ 25 -3276.74607

［条件式対応値］
（１） Ｆｗ／（−Ｆｂ） ＝ 0.2278
（２） Ｆｗ／|Ｆｄ| ＝ 0.005215
（３） Ｆｗ／Ｆｃ ＝ 0.1105
（４） Ｆｗ／Ｆｆ ＝ 0.2505
（５） （ｒ２＋ｒ１）／（ｒ２−ｒ１） ＝ 1.646

図１１（ａ）、図１１（ｂ）、及び図１１（ｃ）はそれぞれ、本願の第５実施例に係るズームレンズの広角端状態における無限遠物体合焦時の諸収差、中間焦点距離状態における無限遠物体合焦時の諸収差、及び望遠端状態における無限遠物体合焦時の諸収差を示す図である。
各諸収差図より、本実施例に係るズームレンズは、球面収差、像面湾曲、非点収差、及びコマ収差を含む諸収差が良好に補正されていることがわかる。

ここで、本願のズームレンズに用いられる反射防止膜（多層広帯域反射防止膜とも言う）について説明する。図１４は、反射防止膜の膜構成の一例を示す図である。この反射防止膜１０１は７層からなり、レンズ等の光学部材１０２の光学面に形成される。第１層１０１ａは真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムで形成されている。また、この第１層１０１ａの上に更に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第２層１０１ｂが形成される。さらに、この第２層１０１ｂの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第３層１０１ｃが形成され、この第３層１０１ｃの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第４層１０１ｄが形成される。またさらに、この第４層１０１ｄの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第５層１０１ｅが形成され、この第５層１０１ｅの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第６層１０１ｆが形成される。

そして、このようにして形成された第６層１０１ｆの上に、ウェットプロセスによりフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる第７層１０１ｇが形成されて本実施形態の反射防止膜１０１が形成される。第７層１０１ｇの形成には、ウェットプロセスの一種であるゾル−ゲル法を用いている。ゾル−ゲル法とは、原料を混合することにより得られたゾルを、加水分解・重縮合反応などにより流動性のないゲルとし、このゲルを加熱・分解して生成物を得る方法であり、光学薄膜の作製においては、光学部材の光学面上に光学薄膜材料ゾルを塗布し、乾燥固化によりゲル膜とすることで膜を生成することができる。なお、ウェットプロセスとして、ゾル−ゲル法に限らず、ゲル状態を経ないで固体膜を得る方法を用いるようにしてもよい。

このように、この反射防止膜１０１の第１層１０１ａ〜第６層１０１ｆまではドライプロセスである電子ビーム蒸着により形成され、最上層である第７層１０１ｇは、フッ酸／酢酸マグネシウム法で調製したゾル液を用いるウェットプロセスにより以下の手順で形成されている。まず、予めレンズの成膜面（上述の光学部材１０２の光学面）に真空蒸着装置を用いて第１層１０１ａとなる酸化アルミニウム層、第２層１０１ｂとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層、第３層１０１ｃとなる酸化アルミニウム層、第４層１０１ｄとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層、第５層１０１ｅとなる酸化アルミニウム層、第６層１０１ｆとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層を順に形成する。そして、蒸着装置より光学部材１０２を取り出した後、フッ酸／酢酸マグネシウム法により調製したゾル液にシリコンアルコキシドを加えたものをスピンコート法により塗布することにより、第７層１０１ｇとなるフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる層を形成する。フッ酸／酢酸マグネシウム法によって調製される際の反応式を以下の式（ａ）に示す。

（ａ） ２ＨＦ＋Ｍｇ（ＣＨ3ＣＯＯ）2→ＭｇＦ2＋２ＣＨ3ＣＯＯＨ

この成膜に用いたゾル液は、原料混合後、オートクレーブで１４０℃、２４時間高温加圧熟成処理を施した後、成膜に用いられる。この光学部材１０２は、第７層１０１ｇの成膜終了後、大気中で１６０℃、１時間加熱処理して完成される。このようなゾル−ゲル法を用いることにより、大きさが数ｎｍから数十ｎｍの粒子が空隙を残して堆積することにより第７層１０１ｇが形成される。

このようにして形成された反射防止膜１０１を有する光学部材の光学的性能について図１５に示す分光特性を用いて説明する。

本実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材（レンズ）は、以下の表６に示す条件で形成されている。ここで表６は、基準波長をλとし、基板の屈折率（光学部材）が１．６２、１．７４及び１．８５について反射防止膜１０１の各層１０１ａ（第１層）〜１０１ｇ（第７層）の光学膜厚をそれぞれ求めたものである。なお、表６では、酸化アルミニウムをAl2O3、酸化チタンと酸化ジルコニウム混合物をZrO2＋TiO2、フッ化マグネシウムとシリカの混合物をMgF2＋SiO2とそれぞれ表している。

（表６）
物質 屈折率 光学膜厚 光学膜厚 光学膜厚
媒質 空気 1
第７層 MgF2＋SiO2 1.26 0.268λ 0.271λ 0.269λ
第６層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.057λ 0.054λ 0.059λ
第５層 Al2O3 1.65 0.171λ 0.178λ 0.162λ
第４層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.127λ 0.13λ 0.158λ
第３層 Al2O3 1.65 0.122λ 0.107λ 0.08λ
第２層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.059λ 0.075λ 0.105λ
第１層 Al2O3 1.65 0.257λ 0.03λ 0.03λ
基板の屈折率 1.62 1.74 1.85

図１５は、表６において基準波長λを５５０ｎｍとして反射防止膜１０１の各層の光学膜厚を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を表している。

図１５から、基準波長λを５５０ｎｍで設計した反射防止膜１０１を有する光学部材は、光線の波長が４２０ｎｍ〜７２０ｎｍの全域で反射率を０．２％以下に抑えられることが判る。また、表６において基準波長λをｄ線（波長５８７．６ｎｍ）として各光学膜厚を設計した反射防止膜１０１を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図１５に示す基準波長λが５５０ｎｍの場合とほぼ同等の分光特性を有する。

次に、本反射防止膜の変形例について説明する。この反射防止膜は５層からなり、表６と同様、以下の表７で示される条件で基準波長λに対する各層の光学膜厚が設計される。本変形例では、第５層の形成に前述のゾル−ゲル法を用いている。

（表７）
物質 屈折率 光学膜厚 光学膜厚
媒質 空気 1
第５層 MgF2＋SiO2 1.26 0.275λ 0.269λ
第４層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.045λ 0.043λ
第３層 Al2O3 1.65 0.212λ 0.217λ
第２層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.077λ 0.066λ
第１層 Al2O3 1.65 0.288λ 0.290λ
基板の屈折率 1.46 1.52

図１６は、表７において、基板の屈折率が１．５２及び基準波長λを５５０ｎｍとして各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示している。図１６から本変形例の反射防止膜は、光線の波長が４２０ｎｍ〜７２０ｎｍの全域で反射率が０．２％以下に抑えられることがわかる。なお、表７において基準波長λをｄ線（波長５８７．６ｎｍ）として各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図１６に示す分光特性とほぼ同等の特性を有する。

図１７は、図１６に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が３０度、４５度、６０度の場合の分光特性をそれぞれ示す。なお、図１６、図１７には表７に示す基板の屈折率が１．４６の反射防止膜を有する光学部材の分光特性が図示されていないが、基板の屈折率が１．５２とほぼ同等の分光特性を有していることは言うまでもない。

また比較のため、図１８に、従来の真空蒸着法などのドライプロセスのみで成膜した反射防止膜の一例を示す。図１８は、表７と同じ基板の屈折率１．５２に以下の表８で示される条件で構成される反射防止膜を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示す。また、図１９は、図１８に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が３０度、４５度、６０度の場合の分光特性をそれぞれ示す。

（表８）
物質 屈折率 光学膜厚
媒質 空気 1
第７層 MgF2 1.39 0.243λ
第６層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.119λ
第５層 Al2O3 1.65 0.057λ
第４層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.220λ
第３層 Al2O3 1.65 0.064λ
第２層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.057λ
第１層 Al2O3 1.65 0.193λ
基板の屈折率 1.52

図１５〜図１７で示される本実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材の分光特性を、図１８および図１９で示される従来例の分光特性と比較すると、本反射防止膜はいずれの入射角においてもより低い反射率を有し、しかもより広い帯域を有することが良くわかる。

次に、本願の第１実施例から第５実施例に、上記表６、表７に示す反射防止膜を適用した例について説明する。

本第１実施例のズームレンズにおいて、前群Ｇｎの負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表１に示すように、ｎｄ＝１．７４４４３０であり、前群Ｇｎの両凹形状の負レンズＬ１２の屈折率は、ｎｄ＝１．８１６０００であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表６参照）を用い、両凹形状の負レンズＬ１２の物体側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜（表６参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

本第２実施例のズームレンズにおいて、前群Ｇｎの負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表２に示すように、ｎｄ＝１．７４４４３０であり、前群Ｇｎの正レンズＬ１２の屈折率は、ｎｄ＝１．５１６８００であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表６参照）を用い、正レンズＬ１２の物体側のレンズ面に、基板の屈折率が１．５２に対応する反射防止膜（表７参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

本第３実施例のズームレンズにおいて、前群Ｇｎの負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表３に示すように、ｎｄ＝１．７４４４３０であり、前群Ｇｎの両凸形状の正レンズＬ１５の屈折率は、ｎｄ＝１．７１７３６０であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表６参照）を用い、両凸形状の正レンズＬ１５の物体側のレンズ面に、基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜（表６参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

本第４実施例のズームレンズにおいて、前群Ｇｎの負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表４に示すように、ｎｄ＝１．７４４４３０であり、前群Ｇｎの正メニスカスレンズＬ１４の屈折率は、ｎｄ＝１．６０３４２０であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表６参照）を用い、正メニスカスレンズＬ１４の像面側のレンズ面に、基板の屈折率が１．６２に対応する反射防止膜（表６参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

本第５実施例のズームレンズにおいて、前群Ｇｎの負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表５に示すように、ｎｄ＝１．７４４４３０であり、前群Ｇｎの両凹形状の負レンズＬ１３の屈折率は、ｎｄ＝１．８１６０００であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表６参照）を用い、両凹形状の負レンズＬ１３の物体側のレンズ面に、基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜（表６参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

以上の各実施例によれば、一眼レフカメラ等の撮像装置に好適な、広角端状態で包括角２ω＝１０６．３°を越え、Ｆナンバー＝４〜５．６程度の口径を有し、レンズ枚数が少なく、前玉径が小さく即ちフィルター径が小さく、小型で、諸収差を良好に補正し、ゴーストやフレアをより低減させ、高い結像性能を有するレトロフォーカス型のズームレンズを実現することができる。
ここで、上記各実施例は本願発明の一具体例を示しているものであり、本願発明はこれらに限定されるものではない。以下の内容は、本願のズームレンズの光学性能を損なわない範囲で適宜採用することが可能である。
本願のズームレンズの数値実施例として２群、３群構成のものを示したが、本願はこれに限られず、その他の群構成（例えば、４群、５群等）のズームレンズを構成することもできる。具体的には、本願のズームレンズの最も物体側や最も像側にレンズ又はレンズ群を追加した構成でも構わない。なお、レンズ群とは空気間隔で分離された少なくとも１枚のレンズを有する部分をいう。

また、本願のズームレンズは、無限遠物体から近距離物体への合焦を行うために、レンズ群の一部、１つのレンズ群全体、或いは複数のレンズ群を合焦レンズ群として光軸方向へ移動させる構成としてもよい。また、合焦レンズ群は、オートフォーカスに適用することも可能であり、オートフォーカス用のモータ、例えば超音波モータ等による駆動にも適している。特に、本願のズームレンズでは前群又は後群の少なくとも一部を合焦レンズ群とすることが好ましい。
また、本願のズームレンズにおいて、いずれかのレンズ群全体又はその一部を、防振レンズ群として光軸に直交する方向の成分を含むように移動させ、又は光軸を含む面内方向へ回転移動（揺動）させることで、手ブレによって生じる像ブレを補正する構成とすることもできる。特に、本願のズームレンズでは後群の少なくとも一部を防振レンズ群とすることが好ましい。

また、本願のズームレンズを構成するレンズのレンズ面は、球面又は平面としてもよく、或いは非球面としてもよい。レンズ面が球面又は平面の場合、レンズ加工及び組立調整が容易になり、レンズ加工及び組立調整の誤差による光学性能の劣化を防ぐことができるため好ましい。また、像面がずれた場合でも描写性能の劣化が少ないため好ましい。レンズ面が非球面の場合、研削加工による非球面、ガラスを型で非球面形状に成型したガラスモールド非球面、又はガラス表面に設けた樹脂を非球面形状に形成した複合型非球面のいずれでもよい。また、レンズ面は回折面としてもよく、レンズを屈折率分布型レンズ（ＧＲＩＮレンズ）或いはプラスチックレンズとしてもよい。
また、本願のズームレンズにおいて開口絞りは、後群Ｇｐ内の合焦レンズ群Ｇｆと正レンズ群Ｇｒとの間に限られず、前群Ｇｎと合焦レンズ群Ｇｆとの間、又は正レンズ群Ｇｒ内の正レンズＬａと負レンズＬｂとの間に配置することもできる。また、開口絞りは合焦レンズ群Ｇｆと一体的に移動する構成としてもよい。また、開口絞りとして部材を設けずに、レンズ枠でその役割を代用する構成としてもよい。

また、本願のズームレンズは、ズーム比が２〜７程度である。
また、本願のズームレンズにおいて前群は、正レンズ成分を２つと、負レンズ成分を２つ有することが好ましく、特にこれらのレンズ成分を物体側から順に負、正、負、正の順番で空気間隔を介在させて配置することが好ましい。或いは前群は、正レンズ成分を１つと、負レンズ成分を３つ有することが好ましく、特にこれらのレンズ成分を物体側から順に負、負、負、正の順番で空気間隔を介在させて配置することが好ましい。また、後群は、正レンズ成分を３つと、負レンズ成分を２つ有することが好ましく、特にこれらのレンズ成分を物体側から順に正、正、負、正、負の順番で空気間隔を介在させて配置することが好ましい。或いは後群は、正レンズ成分を４つと、負レンズ成分を１つ有することが好ましく、特にこれらのレンズ成分を物体側から順に正、正、負、正、正の順番で空気間隔を介在させて配置することが好ましい。

次に、本願のズームレンズを備えたカメラを図１２に基づいて説明する。
図１２は、本願のズームレンズを備えたカメラの構成を示す図である。
本カメラ１は、撮影レンズ２として上記第１実施例に係るズームレンズを備えたデジタル一眼レフカメラである。
本カメラ１において、不図示の物体（被写体）からの光は、撮影レンズ２で集光されて、クイックリターンミラー３を介して焦点板４に結像される。そして焦点板４に結像されたこの光は、ペンタプリズム５中で複数回反射されて接眼レンズ６へ導かれる。これにより撮影者は、被写体像を接眼レンズ６を介して正立像として観察することができる。

また、撮影者によって不図示のレリーズボタンが押されると、クイックリターンミラー３が光路外へ退避し、不図示の被写体からの光は撮像素子７へ到達する。これにより被写体からの光は、当該撮像素子７によって撮像されて、被写体画像として不図示のメモリに記録される。このようにして、撮影者は本カメラ１による被写体の撮影を行うことができる。
ここで、本カメラ１に撮影レンズ２として搭載した上記第１実施例に係るズームレンズは、その特徴的なレンズ構成により、小型で、レンズ枚数が少なく、諸収差を良好に補正し、高い結像性能と大画角を有している。これにより本カメラ１は、小型で、諸収差を良好に補正し、高い結像性能を有しており、大画角を包括する広角撮影が可能となる。なお、上記第２〜第５実施例に係るズームレンズを撮影レンズ２として搭載したカメラを構成しても、上記カメラ１と同様の効果を奏することができる。また、本願のズームレンズは、クイックリターンミラーのないミラーレスカメラに使用しても同様の効果を奏することができる。

最後に、本願のズームレンズの製造方法の概略を図１３に基づいて説明する。
本願のズームレンズの製造方法は、物体側から順に、負の屈折力を有する前群と、正の屈折力を有する後群とを有するズームレンズの製造方法であって、以下のステップＳ１〜Ｓ３を含むものである。
ステップＳ１：後群が、物体側から順に、正レンズＬａと、物体側に凹面を向けた負レンズＬｂと、負レンズと正レンズとの接合正レンズＬｃと、正レンズと負レンズとの接合レンズＬｄとを有し、さらに、前記正レンズＬａよりも物体側に、正の屈折力を有し、無限遠物体から近距離物体への合焦のために物体側から像面側へ移動する合焦レンズ群Ｇｆを有するようにする。

ステップＳ２：当該ズームレンズが以下の条件式（１）を満足するようにして、前群と後群を鏡筒内に物体側から順に配置する。
（１） ０．０００＜Ｆｗ／（−Ｆｂ）＜１．０００
ただし、
Ｆｗ：広角端状態における無限遠物体合焦時の前記ズームレンズ全系の焦点距離
Ｆｂ：前記後群内の前記負レンズＬｂの焦点距離
ステップＳ３：前群と後群との間の空気間隔を変化させることによって変倍を行うようにする。
斯かる本願のズームレンズの製造方法によれば、小型で、レンズ枚数が少なく、諸収差を良好に補正し、ゴーストやフレアをより低減させ、高い結像性能を有する大画角のズームレンズを製造することができる。

Ｇｎ 前群
Ｇｐ 後群
Ｇｆ 合焦レンズ群
Ｇｒ 正レンズ群
Ｌａ 正レンズ
Ｌｂ 負レンズ
Ｌｃ 接合正レンズ
Ｌｄ 接合レンズ
Ｓ 開口絞り
Ｉ 像面
１０１ 反射防止膜
１０１ａ 第１層
１０１ｂ 第２層
１０１ｃ 第３層
１０１ｄ 第４層
１０１ｅ 第５層
１０１ｆ 第６層
１０１ｇ 第７層
１０２ 光学部材

Claims (20)

1. 物体側から順に、負の屈折力を有する前群と、正の屈折力を有する後群とを有し、
   前記後群は、物体側から順に、正レンズＬａと、物体側に凹面を向けた負レンズＬｂと、負レンズと正レンズとの接合正レンズＬｃと、正レンズと負レンズとの接合レンズＬｄとを有し、さらに、前記正レンズＬａよりも物体側に配置されており、正の屈折力を有し、無限遠物体から近距離物体への合焦のために物体側から像面側へ移動する合焦レンズ群Ｇｆを有し、
   前記前群と前記後群との間の空気間隔を変化させることによって変倍を行い、
   以下の条件式を満足し、
   前記前群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成されることを特徴とするズームレンズ。
   ０．０００＜Ｆｗ／（−Ｆｂ）＜１．０００
   ただし、
   Ｆｗ：広角端状態における無限遠物体合焦時の前記ズームレンズ全系の焦点距離
   Ｆｂ：前記後群内の前記負レンズＬｂの焦点距離
2. 前記反射防止膜は多層膜であり、
   前記ウェットプロセスで形成された層は、前記多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることを特徴とする請求項１に記載のズームレンズ。
3. 前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄは１．３０以下であることを特徴とする請求項１または２に記載のズームレンズ。
4. 前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のズームレンズ。
5. 前記凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項４に記載のズームレンズ。
6. 前記像面側のレンズ面は、最も物体側のレンズにおけるレンズ面であることを特徴とする請求項５に記載のズームレンズ。
7. 前記凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項４に記載のズームレンズ。
8. 前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のズームレンズ。
9. 前記凹形状のレンズ面は、最も物体側のレンズから像面側に２番目のレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項８に記載のズームレンズ。
10. 前記凹形状のレンズ面は、最も物体側のレンズから像面側に３番目のレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項８に記載のズームレンズ。
11. 前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、最も物体側のレンズにおける像面側のレンズ面であり、かつ開口絞りから見て凹形状のレンズ面と、
    最も物体側のレンズから像面側に３番目のレンズにおける物体側のレンズ面であり、かつ物体側から見て凹形状のレンズ面とであることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のズームレンズ。
12. 以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載のズームレンズ。
    ０．００００＜Ｆｗ／|Ｆｄ|＜１．００
    ただし、
    Ｆｗ：広角端状態における無限遠物体合焦時の前記ズームレンズ全系の焦点距離
    Ｆｄ：前記後群内の前記接合レンズＬｄの焦点距離
13. 以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載のズームレンズ。
    ０．００５＜Ｆｗ／Ｆｃ＜１．０００
    ただし、
    Ｆｗ：広角端状態における無限遠物体合焦時の前記ズームレンズ全系の焦点距離
    Ｆｃ：前記後群内の前記接合正レンズＬｃの焦点距離
14. 以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１から請求項１３のいずれか一項に記載のズームレンズ。
    ０．００５＜Ｆｗ／Ｆｆ＜１．０００
    ただし、
    Ｆｗ：広角端状態における無限遠物体合焦時の前記ズームレンズ全系の焦点距離
    Ｆｆ：前記後群内の前記合焦レンズ群Ｇｆの焦点距離
15. 以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１から請求項１４のいずれか一項に記載のズームレンズ。
    ０．００≦（ｒ２＋ｒ１）／（ｒ２−ｒ１）＜３０．００
    ただし、
    ｒ１：前記後群内の前記負レンズＬｂの物体側のレンズ面の曲率半径
    ｒ２：前記後群内の前記負レンズＬｂの像側のレンズ面の曲率半径
16. 前記後群内の前記接合レンズＬｄは正の屈折力を有することを特徴とする請求項１から請求項１５のいずれか一項に記載のズームレンズ。
17. 前記後群内の前記接合レンズＬｄは負の屈折力を有することを特徴とする請求項１から請求項１６のいずれか一項に記載のズームレンズ。
18. 前記後群内の前記合焦レンズ群Ｇｆが正又は負の屈折力を有する接合レンズを少なくとも有することを特徴とする請求項１から請求項１７のいずれか一項に記載のズームレンズ。
19. 請求項１から請求項１８のいずれか一項に記載のズームレンズを備えたことを特徴とする撮像装置。
20. 物体側から順に、負の屈折力を有する前群と、正の屈折力を有する後群とを有するズームレンズの製造方法であって、
    前記後群が、物体側から順に、正レンズＬａと、物体側に凹面を向けた負レンズＬｂと、負レンズと正レンズとの接合正レンズＬｃと、正レンズと負レンズとの接合レンズＬｄとを有し、さらに、前記正レンズＬａよりも物体側に、正の屈折力を有し、無限遠物体から近距離物体への合焦のために物体側から像面側へ移動する合焦レンズ群Ｇｆを有するようにし、
    前記ズームレンズが以下の条件式を満足するようにし、
    前記前群と前記後群との間の空気間隔を変化させることによって変倍を行い、 前記前群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成されることを特徴とするズームレンズの製造方法。
    ０．０００＜Ｆｗ／（−Ｆｂ）＜１．０００
    ただし、
    Ｆｗ：広角端状態における無限遠物体合焦時の前記ズームレンズ全系の焦点距離
    Ｆｂ：前記後群内の前記負レンズＬｂの焦点距離

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