JP2012220578A - Method for manufacturing display device and intermediate product for the same - Google Patents

Method for manufacturing display device and intermediate product for the same Download PDF

Info

Publication number
JP2012220578A
JP2012220578A JP2011083878A JP2011083878A JP2012220578A JP 2012220578 A JP2012220578 A JP 2012220578A JP 2011083878 A JP2011083878 A JP 2011083878A JP 2011083878 A JP2011083878 A JP 2011083878A JP 2012220578 A JP2012220578 A JP 2012220578A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
manufacturing
display device
sealing material
pair
organic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2011083878A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2012220578A5 (en
JP5872182B2 (en
Inventor
Tomonori Nishino
知範 西野
Hirotaka Imayama
寛隆 今山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Display Inc
Original Assignee
Japan Display East Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Japan Display East Inc filed Critical Japan Display East Inc
Priority to JP2011083878A priority Critical patent/JP5872182B2/en
Priority to US13/430,753 priority patent/US8848154B2/en
Priority to CN201210101596.5A priority patent/CN102736297B/en
Publication of JP2012220578A publication Critical patent/JP2012220578A/en
Publication of JP2012220578A5 publication Critical patent/JP2012220578A5/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5872182B2 publication Critical patent/JP5872182B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133351Manufacturing of individual cells out of a plurality of cells, e.g. by dicing
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1341Filling or closing of cells

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a display device and an intermediate product for the display device where a cutting step can be favorably performed.SOLUTION: An intermediate product having a pair of inorganic substrates 10 opposing to each other where a sealed space 20 is formed by an organic seal material 12 between the pair of the inorganic substrates 10 is prepared. The pair of the inorganic substrates 10 is cut externally to the sealed space 20. On at least one of opposing surfaces of the pair of the inorganic substrates 10, a circuit for displaying an image is formed in the sealed space 20. The intermediate product has a flow path 56 sectioned by at least one of the surfaces of the pair of the inorganic substrates 10 and the organic seal material 12 externally to the sealed space 20. In the step of cutting the pair of the inorganic substrates 10, etching liquid 58 is allowed to flow into the flow path 56 with respect to an inorganic material to etch at least one of the surfaces of the pair of the inorganic substrates 10 along the flow path 56 to form a groove 60.

Description

本発明は、表示装置の製造方法及びこれに使用する中間製品に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a display device and an intermediate product used for the method.

液晶表示パネルの製造方法として、大型のマザーガラス基板を使用する方法が知られており、一対のマザーガラス基板の間には、個々の製品の液晶を封止するシール材が配置されている。マザーガラスは化学的にエッチングして薄くすることがあった(特許文献1)。また、一対のマザーガラス基板の周縁部に封止材を設けることがあった。封止材は、マザーガラス基板を化学的にエッチングして薄くするときに、一対のマザーガラス基板の間へのエッチング液の侵入を防止して、個々の製品のシール材を保護していた。   As a method for manufacturing a liquid crystal display panel, a method using a large mother glass substrate is known, and a sealing material for sealing liquid crystals of individual products is disposed between the pair of mother glass substrates. The mother glass may be thinned by chemical etching (Patent Document 1). Moreover, a sealing material may be provided on the peripheral edge of the pair of mother glass substrates. When the mother glass substrate is chemically etched and thinned, the sealing material prevents the etchant from entering between the pair of mother glass substrates and protects the sealing material of each product.

特開2009−73711号公報JP 2009-73711 A

従来、封止材があるために、マザーガラスは端部でエッチングされにくくなっており、板厚差が生じるため、その後の切断工程に悪影響を与えていた。   Conventionally, due to the presence of the sealing material, the mother glass is difficult to be etched at the end, and a difference in plate thickness occurs, which has an adverse effect on the subsequent cutting process.

本発明は、切断工程を良好に行うことができる表示装置の製造方法及びこれに使用する中間製品を提供することを目的とする。   An object of this invention is to provide the manufacturing method of the display apparatus which can perform a cutting process favorably, and the intermediate product used for this.

(1)本発明に係る表示装置の製造方法は、相互に対向する一対の無機基板を有し、有機シール材によって前記一対の無機基板の間に封止空間が形成された中間製品を用意する工程と、前記封止空間の外側で前記一対の無機基板を切断する工程と、を含み、前記一対の無機基板の対向面の少なくとも一方には、前記封止空間内に、画像表示のための回路が形成され、前記中間製品は、前記封止空間の外側に、前記一対の無機基板の少なくとも一方の面及び前記有機シール材で区画された流路を有し、前記一対の無機基板を切断する工程は、前記流路に無機材料に対するエッチング液を侵入させ、前記流路に沿って前記一対の無機基板の前記少なくとも一方の面をエッチングして溝を形成することを含むことを特徴とする。本発明によれば、無機基板に溝を形成するので、この溝に沿って無機基板を良好に切断することができる。   (1) A method for manufacturing a display device according to the present invention provides an intermediate product having a pair of inorganic substrates facing each other and having a sealing space formed between the pair of inorganic substrates by an organic sealing material. And a step of cutting the pair of inorganic substrates outside the sealed space, and at least one of the opposing surfaces of the pair of inorganic substrates is provided in the sealed space for image display. A circuit is formed, and the intermediate product has a flow path partitioned by at least one surface of the pair of inorganic substrates and the organic sealing material outside the sealing space, and cuts the pair of inorganic substrates. The step of performing includes intruding an etchant for the inorganic material into the flow path, and etching the at least one surface of the pair of inorganic substrates along the flow path to form a groove. . According to the present invention, since the groove is formed in the inorganic substrate, the inorganic substrate can be favorably cut along the groove.

(2)(1)に記載された表示装置の製造方法において、前記溝の形成は、前記エッチング液に前記中間製品を浸漬して行い、前記エッチング液によって、前記一対の無機基板の相互に反対側を向く面をそれぞれエッチングして、前記一対の無機基板を薄くすることを特徴としてもよい。   (2) In the method of manufacturing a display device described in (1), the groove is formed by immersing the intermediate product in the etching solution, and the pair of inorganic substrates is opposite to each other by the etching solution. The pair of inorganic substrates may be thinned by etching the surfaces facing each other.

(3)(1)に記載された表示装置の製造方法において、前記有機シール材によって、複数の前記封止空間が形成されることを特徴としてもよい。   (3) In the manufacturing method of the display device described in (1), a plurality of the sealing spaces may be formed by the organic sealing material.

(4)(1)に記載された表示装置の製造方法において、前記有機シール材は、前記一対の無機基板の間に設けられることを特徴としてもよい。   (4) In the manufacturing method of the display device described in (1), the organic sealing material may be provided between the pair of inorganic substrates.

(5)(1)に記載された表示装置の製造方法において、前記有機シール材は、前記一対の無機基板の間に設けられる介在シール材と、前記一対の無機基板の端面に設けられるカバーシール材と、を含むことを特徴としてもよい。   (5) In the method for manufacturing a display device according to (1), the organic sealing material includes an intervening sealing material provided between the pair of inorganic substrates, and a cover seal provided on end surfaces of the pair of inorganic substrates. And a material.

(6)(1)に記載された表示装置の製造方法において、前記有機シール材は、前記封止空間に隣接する内側シール材と、前記内側シール材が囲む前記封止空間の外側に前記内側シール材から間隔をあけて分離された外側シール材と、を含むことを特徴としてもよい。   (6) In the method for manufacturing a display device according to (1), the organic sealing material includes an inner sealing material adjacent to the sealing space, and an outer side of the sealing space surrounded by the inner sealing material. And an outer sealing material separated from the sealing material with a space therebetween.

(7)(1)に記載された表示装置の製造方法において、前記有機シール材は、前記一対の無機基板の両方に密着するように相互に間隔をあけて配置された一対の全密着部と、前記一対の全密着部の間に配置されて前記一対の無機基板の一方との接触を避けて他方に密着する半密着部と、を含むことを特徴としてもよい。   (7) In the method for manufacturing a display device according to (1), the organic sealing material includes a pair of all contact portions disposed so as to be in close contact with both the pair of inorganic substrates. And a semi-adhering part that is disposed between the pair of all-adhering parts and avoids contact with one of the pair of inorganic substrates and adheres to the other.

(8)(1)に記載された表示装置の製造方法において、前記有機シール材は、前記一対の無機基板の間で前記封止空間の内側から外側に至るように形成された少なくとも1層の有機膜の一部を含むことを特徴としてもよい。   (8) In the method for manufacturing a display device according to (1), the organic sealing material is at least one layer formed so as to extend from the inside to the outside of the sealed space between the pair of inorganic substrates. A part of the organic film may be included.

(9)(1)に記載された表示装置の製造方法において、前記有機シール材は、前記一対の無機基板の間で前記封止空間の内側から外側に至るように形成された少なくとも1層の有機膜の一部と、前記少なくとも1層の有機膜の前記一部に積層されて前記一対の無機基板を接着する接着部と、を含むことを特徴としてもよい。   (9) In the method for manufacturing a display device according to (1), the organic sealing material is at least one layer formed so as to extend from the inside to the outside of the sealing space between the pair of inorganic substrates. A part of the organic film and an adhesive part that is laminated on the part of the at least one organic film and adheres the pair of inorganic substrates may be included.

(10)(1)に記載された表示装置の製造方法において、前記有機シール材は、一方の前記無機基板に積層された少なくとも1層の第1有機膜の一部と、他方の前記無機基板に積層された少なくとも1層の第2有機膜の一部と、を含み、前記少なくとも1層の第1有機膜の前記一部と前記少なくとも1層の第2有機膜の前記一部とが接合されていることを特徴としてもよい。   (10) In the method for manufacturing a display device according to (1), the organic sealing material includes a part of at least one first organic film laminated on one inorganic substrate and the other inorganic substrate. A part of at least one layer of the second organic film, and the part of the at least one layer of the first organic film and the part of the at least one layer of the second organic film are bonded together. It is good also as being characterized.

(11)(1)に記載された表示装置の製造方法において、前記有機シール材は、一方の前記無機基板に積層された少なくとも1層の第1有機膜の一部と、他方の前記無機基板に積層された少なくとも1層の第2有機膜の一部と、接着部と、を含み、前記少なくとも1層の第1有機膜の前記一部と前記少なくとも1層の第2有機膜の前記一部とが、前記接着部を介して接合されていることを特徴としてもよい。   (11) In the method for manufacturing a display device according to (1), the organic sealing material includes a part of at least one first organic film laminated on one inorganic substrate and the other inorganic substrate. A part of at least one second organic film stacked on the substrate and an adhesive portion, and the one of the at least one first organic film and the one of the at least one second organic film. The part may be joined via the adhesive part.

(12)(1)に記載された表示装置の製造方法において、前記一対の無機基板を切断する工程で、前記溝が形成された前記面とは反対の面を、前記溝に沿ってスクライビングすることを特徴としてもよい。   (12) In the method for manufacturing a display device described in (1), in the step of cutting the pair of inorganic substrates, a surface opposite to the surface on which the groove is formed is scribed along the groove. This may be a feature.

(13)(1)に記載された表示装置の製造方法において、前記エッチングによって、前記溝を進行させて前記一対の無機基板の前記少なくとも一方を貫通させてスリットを形成することを特徴としてもよい。   (13) In the method for manufacturing a display device described in (1), the groove may be advanced by the etching to form the slit through the at least one of the pair of inorganic substrates. .

(14)(13)に記載された表示装置の製造方法において、前記封止空間を囲むように前記スリットを形成して、前記一対の無機基板の前記少なくとも一方を切断することを特徴としてもよい。   (14) In the display device manufacturing method described in (13), the slit may be formed so as to surround the sealing space, and the at least one of the pair of inorganic substrates may be cut. .

(15)(14)に記載された表示装置の製造方法において、前記エッチングによって、前記一対の無機基板の両方を切断することを特徴としてもよい。   (15) In the display device manufacturing method described in (14), both of the pair of inorganic substrates may be cut by the etching.

(16)(1)に記載された表示装置の製造方法において、前記一対の無機基板の間で、前記封止空間内に、製品にされる空間を囲む製品シール材が設けられ、前記回路は、前記製品にされる前記空間に配置されていることを特徴としてもよい。   (16) In the method for manufacturing a display device described in (1), a product sealing material surrounding a space to be a product is provided in the sealed space between the pair of inorganic substrates. It is good also as arranged in the space made into the product.

(17)(16)に記載された表示装置の製造方法において、前記製品にされる前記空間には、前記製品シール材によって液晶が封止されていることを特徴としてもよい。   (17) In the manufacturing method of the display device described in (16), liquid crystal may be sealed in the space formed as the product by the product sealing material.

(18)(16)に記載された表示装置の製造方法において、前記製品シール材は、前記製品にされる前記空間に液晶を注入するための開口が形成されていることを特徴としてもよい。   (18) In the method for manufacturing a display device described in (16), the product sealing material may be characterized in that an opening for injecting liquid crystal is formed in the space formed as the product.

(19)(1)に記載された表示装置の製造方法において、前記封止空間に液晶が封入されていることを特徴としてもよい。   (19) In the manufacturing method of the display device described in (1), liquid crystal may be sealed in the sealing space.

(20)(1)に記載された表示装置の製造方法において、前記有機シール材は、前記封止空間を複数の分割封止空間に区画するパーティション部を有するように形成されていることを特徴としてもよい。   (20) In the method of manufacturing a display device described in (1), the organic sealing material is formed to have a partition portion that partitions the sealing space into a plurality of divided sealing spaces. It is good.

(21)(20)に記載された表示装置の製造方法において、前記有機シール材は、前記流路が前記パーティション部を避けるように形成されることを特徴としてもよい。   (21) In the method for manufacturing a display device described in (20), the organic sealing material may be formed so that the flow path avoids the partition portion.

(22)(20)に記載された表示装置の製造方法において、前記有機シール材は、前記流路が前記パーティション部を通るように形成されることを特徴としてもよい。   (22) In the method for manufacturing a display device described in (20), the organic sealing material may be formed so that the flow path passes through the partition portion.

(23)(22)に記載された表示装置の製造方法において、前記パーティション部では、前記流路が、前記一対の無機基板の一方のみの前記面及び前記有機シール材で区画されるように形成され、前記封止領域の全体を囲む部分では、前記流路が、前記一対の無機基板の両方の前記面及び前記有機シール材で区画されることを特徴としてもよい。   (23) In the method for manufacturing a display device according to (22), in the partition portion, the flow path is formed so as to be partitioned by only one surface of the pair of inorganic substrates and the organic sealing material. And in the part surrounding the whole said sealing area | region, the said flow path may be divided by the said surface of both said pair of inorganic substrates, and the said organic sealing material.

(24)本発明に係る表示装置製造用の中間製品は、相互に対向する一対の無機基板と、前記一対の無機基板の間に封止空間を形成する有機シール材と、を有し、前記一対の無機基板の対向面の少なくとも一方には、前記封止空間内に、画像表示のための回路が形成され、前記封止空間の外側に、前記一対の無機基板の少なくとも一方の面及び前記有機シール材で区画された流路を有することを特徴とする。本発明によれば、流路にエッチング液を侵入させることで無機基板に溝を形成することができ、この溝に沿って無機基板を良好に切断することができる。   (24) An intermediate product for manufacturing a display device according to the present invention includes a pair of inorganic substrates facing each other, and an organic sealing material that forms a sealed space between the pair of inorganic substrates, A circuit for image display is formed in at least one of the opposing surfaces of the pair of inorganic substrates in the sealed space, and at least one surface of the pair of inorganic substrates and the outside are disposed outside the sealed space. It has the flow path divided with the organic sealing material, It is characterized by the above-mentioned. According to the present invention, the groove can be formed in the inorganic substrate by allowing the etching solution to enter the flow path, and the inorganic substrate can be cut well along the groove.

(25)(24)に記載された表示装置製造用の中間製品において、前記有機シール材によって、複数の前記封止空間が形成されることを特徴としてもよい。   (25) In the intermediate product for manufacturing a display device described in (24), a plurality of the sealing spaces may be formed by the organic sealing material.

(26)(24)に記載された表示装置製造用の中間製品において、前記有機シール材は、前記一対の無機基板の間に設けられることを特徴としてもよい。   (26) In the intermediate product for manufacturing a display device described in (24), the organic sealing material may be provided between the pair of inorganic substrates.

(27)(24)に記載された表示装置製造用の中間製品において、前記有機シール材は、前記一対の無機基板の間に設けられる介在シール材と、前記一対の無機基板の端面に設けられるカバーシール材と、を含むことを特徴としてもよい。   (27) In the intermediate product for manufacturing a display device described in (24), the organic sealing material is provided between an intervening sealing material provided between the pair of inorganic substrates and an end surface of the pair of inorganic substrates. And a cover sealing material.

(28)(24)に記載された表示装置製造用の中間製品において、前記有機シール材は、前記封止空間に隣接する内側シール材と、前記内側シール材が囲む前記封止空間の外側に前記内側シール材から間隔をあけて分離された外側シール材と、を含むことを特徴としてもよい。   (28) In the intermediate product for manufacturing a display device described in (24), the organic sealing material is disposed outside the sealing space surrounded by the inner sealing material adjacent to the sealing space and the inner sealing material. And an outer sealing material separated from the inner sealing material with a space therebetween.

(29)(24)に記載された表示装置製造用の中間製品において、前記有機シール材は、前記一対の無機基板の両方に密着するように相互に間隔をあけて配置された一対の全密着部と、前記一対の全密着部の間に配置されて前記一対の無機基板の一方との接触を避けて他方に密着する半密着部と、を含むことを特徴としてもよい。   (29) In the intermediate product for manufacturing a display device described in (24), the organic sealing material is a pair of all-adhesive members arranged so as to be in close contact with both the pair of inorganic substrates. And a semi-contact portion that is disposed between the pair of all-contact portions and avoids contact with one of the pair of inorganic substrates and adheres to the other.

(30)(24)に記載された表示装置製造用の中間製品において、前記有機シール材は、前記一対の無機基板の間で前記封止空間の内側から外側に至るように形成された少なくとも1層の有機膜の一部を含むことを特徴としてもよい。   (30) In the intermediate product for manufacturing a display device described in (24), the organic sealing material is formed between the pair of inorganic substrates so as to extend from the inside to the outside of the sealed space. A part of the organic film of the layer may be included.

(31)(24)に記載された表示装置製造用の中間製品において、前記有機シール材は、前記一対の無機基板の間で前記封止空間の内側から外側に至るように形成された少なくとも1層の有機膜の一部と、前記少なくとも1層の有機膜の前記一部に積層されて前記一対の無機基板を接着する接着部と、を含むことを特徴としてもよい。   (31) In the intermediate product for manufacturing a display device described in (24), the organic sealant is formed between the pair of inorganic substrates so as to extend from the inside to the outside of the sealed space. A part of the organic film of the layer, and an adhesive portion that is stacked on the part of the organic film of the at least one layer and adheres the pair of inorganic substrates.

(32)(24)に記載された表示装置製造用の中間製品において、前記有機シール材は、一方の前記無機基板に積層された少なくとも1層の第1有機膜の一部と、他方の前記無機基板に積層された少なくとも1層の第2有機膜の一部と、を含み、前記少なくとも1層の第1有機膜の前記一部と前記少なくとも1層の第2有機膜の前記一部とが接合されていることを特徴としてもよい。   (32) In the intermediate product for manufacturing a display device described in (24), the organic sealing material includes a part of at least one first organic film stacked on one inorganic substrate and the other organic material. A part of at least one second organic film stacked on an inorganic substrate, and the part of the at least one first organic film and the part of the at least one second organic film, May be joined.

(33)(24)に記載された表示装置製造用の中間製品において、前記有機シール材は、一方の前記無機基板に積層された少なくとも1層の第1有機膜の一部と、他方の前記無機基板に積層された少なくとも1層の第2有機膜の一部と、接着部と、を含み、前記少なくとも1層の第1有機膜の前記一部と前記少なくとも1層の第2有機膜の前記一部とが、前記接着部を介して接合されていることを特徴としてもよい。   (33) In the intermediate product for manufacturing a display device described in (24), the organic sealing material includes a part of at least one first organic film laminated on one inorganic substrate and the other organic material. A part of at least one second organic film laminated on an inorganic substrate; and an adhesive portion; and the part of the at least one first organic film and the at least one second organic film. The part may be joined through the adhesive portion.

(34)(24)に記載された表示装置製造用の中間製品において、前記一対の無機基板の間で、前記封止空間内に、製品にされる空間を囲む製品シール材が設けられ、前記回路は、前記製品にされる前記空間に配置されていることを特徴としてもよい。   (34) In the intermediate product for manufacturing a display device described in (24), a product sealing material surrounding a space to be a product is provided in the sealing space between the pair of inorganic substrates, The circuit may be arranged in the space to be the product.

(35)(34)に記載された表示装置製造用の中間製品において、前記製品にされる前記空間には、前記製品シール材によって液晶が封止されていることを特徴としてもよい。   (35) The intermediate product for manufacturing a display device described in (34) may be characterized in that liquid crystal is sealed in the space formed as the product by the product sealing material.

(36)(34)に記載された表示装置製造用の中間製品において、前記製品シール材は、前記製品にされる前記空間に液晶を注入するための開口が形成されていることを特徴としてもよい。   (36) In the intermediate product for manufacturing a display device described in (34), the product sealing material may be characterized in that an opening for injecting liquid crystal into the space formed in the product is formed. Good.

(37)(24)に記載された表示装置製造用の中間製品において、前記封止空間に液晶が封入されていることを特徴としてもよい。   (37) In the intermediate product for manufacturing a display device described in (24), liquid crystal may be sealed in the sealing space.

(38)(24)に記載された表示装置製造用の中間製品において、前記有機シール材は、前記封止空間を複数の分割封止空間に区画するパーティション部を有するように形成されていることを特徴としてもよい。   (38) In the intermediate product for manufacturing a display device described in (24), the organic sealing material is formed so as to have a partition portion that divides the sealing space into a plurality of divided sealing spaces. May be a feature.

(39)(38)に記載された表示装置製造用の中間製品において、前記有機シール材は、前記流路が前記パーティション部を避けるように形成されることを特徴としてもよい。   (39) In the intermediate product for manufacturing a display device described in (38), the organic sealing material may be formed so that the flow path avoids the partition portion.

(40)(38)に記載された表示装置製造用の中間製品において、前記有機シール材は、前記流路が前記パーティション部を通るように形成されることを特徴としてもよい。   (40) In the intermediate product for manufacturing a display device described in (38), the organic sealing material may be formed so that the flow path passes through the partition portion.

(41)(40)に記載された表示装置製造用の中間製品において、前記パーティション部では、前記流路が、前記一対の無機基板の一方のみの前記面及び前記有機シール材で区画されるように形成され、前記封止領域の全体を囲む部分では、前記流路が、前記一対の無機基板の両方の前記面及び前記有機シール材で区画されることを特徴としてもよい。   (41) In the intermediate product for manufacturing a display device described in (40), in the partition portion, the flow path is partitioned by only one surface of the pair of inorganic substrates and the organic sealing material. The flow path may be defined by both the surfaces of the pair of inorganic substrates and the organic sealing material in a portion that is formed in a portion and surrounds the entire sealing region.

(42)(24)から(41)のいずれか1項に記載された表示装置製造用の中間製品において、前記一対の無機基板は、厚みが異なることを特徴としてもよい。   (42) In the intermediate product for manufacturing a display device described in any one of (24) to (41), the pair of inorganic substrates may have different thicknesses.

第1の実施形態に係る中間製品を示す側面図である。It is a side view which shows the intermediate product which concerns on 1st Embodiment. 図1に示す中間製品のII−II線断面図である。It is the II-II sectional view taken on the line of the intermediate product shown in FIG. 図1に示す中間製品のIII−III線断面の拡大図である。It is an enlarged view of the III-III line cross section of the intermediate product shown in FIG. 一方の無機基板の断面の一部を示す拡大図である。It is an enlarged view which shows a part of cross section of one inorganic substrate. 第1の実施形態に係る表示装置の製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the display apparatus which concerns on 1st Embodiment. 第1の実施形態に係る表示装置の製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the display apparatus which concerns on 1st Embodiment. 第1の実施形態の変形例1に係る表示装置の製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the display apparatus which concerns on the modification 1 of 1st Embodiment. 第1の実施形態の変形例2に係る中間製品を示す図である。It is a figure which shows the intermediate product which concerns on the modification 2 of 1st Embodiment. 第1の実施形態の変形例3に係る中間製品を示す図である。It is a figure which shows the intermediate product which concerns on the modification 3 of 1st Embodiment. 第1の実施形態の変形例4に係る中間製品を示す図である。It is a figure which shows the intermediate product which concerns on the modification 4 of 1st Embodiment. 第1の実施形態の変形例5に係る中間製品を示す図である。It is a figure which shows the intermediate product which concerns on the modification 5 of 1st Embodiment. 第1の実施形態の変形例6に係る中間製品を示す図である。It is a figure which shows the intermediate product which concerns on the modification 6 of 1st Embodiment. 第1の実施形態の変形例7に係る中間製品を示す図である。It is a figure which shows the intermediate product which concerns on the modification 7 of 1st Embodiment. 第1の実施形態の変形例8に係る中間製品を示す図である。It is a figure which shows the intermediate product which concerns on the modification 8 of 1st Embodiment. 変形例8に係る中間製品を使用した表示装置の製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the display apparatus using the intermediate product which concerns on the modification 8. 第1の実施形態の変形例9に係る中間製品を示す図である。It is a figure which shows the intermediate product which concerns on the modification 9 of 1st Embodiment. 変形例9に係る中間製品を使用した表示装置の製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the display apparatus using the intermediate product which concerns on the modification 9. FIG. 第1の実施形態の変形例10に係る中間製品を示す図である。It is a figure which shows the intermediate product which concerns on the modification 10 of 1st Embodiment. 変形例10に係る中間製品を使用した表示装置の製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the display apparatus using the intermediate product which concerns on the modification 10. FIG. 本発明を適用した第2の実施形態に係る中間製品を示す図である。It is a figure which shows the intermediate product which concerns on 2nd Embodiment to which this invention is applied. 第2の実施形態に係る切断された中間製品を説明する図である。It is a figure explaining the cut intermediate product concerning a 2nd embodiment. 図21に示す中間製品のXXII−XXII線断面図である。It is the XXII-XXII sectional view taken on the line of the intermediate product shown in FIG. 切断片が除去された中間製品を示す図である。It is a figure which shows the intermediate product from which the cut piece was removed. 第2の実施形態に係る中間製品の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the intermediate product which concerns on 2nd Embodiment. 図24に示す中間製品のXXV−XXV線断面図である。FIG. 25 is a cross-sectional view of the intermediate product shown in FIG. 24 taken along the line XXV-XXV. 図24に示す中間製品のXXVI−XXVI線断面図である。FIG. 25 is a cross-sectional view of the intermediate product shown in FIG. 24 taken along the line XXVI-XXVI. 第2の実施形態の変形例に係る表示装置の製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the display apparatus which concerns on the modification of 2nd Embodiment. 第2の実施形態の変形例に係る表示装置の製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the display apparatus which concerns on the modification of 2nd Embodiment.

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。実施形態に係る表示装置の製造方法は、中間製品を用意する工程を含む。中間製品とは、製造プロセスの途中で得られる製品である。製造プロセスの最終製品は、表示装置である。本実施形態で製造される表示装置は液晶表示装置であるが、それ以外の有機エレクトロルミネッセンス装置などの表示装置にも本発明は適用可能である。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The display device manufacturing method according to the embodiment includes a step of preparing an intermediate product. An intermediate product is a product obtained during the manufacturing process. The final product of the manufacturing process is a display device. The display device manufactured in this embodiment is a liquid crystal display device, but the present invention can also be applied to other display devices such as organic electroluminescence devices.

[第1の実施形態]
図1は、第1の実施形態に係る中間製品を示す側面図である。図2は、図1に示す中間製品のII−II線断面図である。図3は、図1に示す中間製品のIII−III線断面の拡大図である。
[First Embodiment]
FIG. 1 is a side view showing an intermediate product according to the first embodiment. 2 is a cross-sectional view of the intermediate product shown in FIG. 1 taken along the line II-II. FIG. 3 is an enlarged view of a cross section taken along line III-III of the intermediate product shown in FIG.

中間製品は、一対の無機基板10(例えばガラス基板)を有する。それぞれの無機基板10は、矩形の平面形状を有している。一対の無機基板10は、それぞれマザー基板であり、切断ラインLに沿って個々の最終製品に対応して切り出される。一対の無機基板10は、間隔をあけて相互に対向するように配置されている。一対の無機基板10の間には、樹脂などからなる有機シール材12が設けられている。   The intermediate product has a pair of inorganic substrates 10 (for example, glass substrates). Each inorganic substrate 10 has a rectangular planar shape. Each of the pair of inorganic substrates 10 is a mother substrate, and is cut out along the cutting line L corresponding to each final product. A pair of inorganic substrate 10 is arrange | positioned so that it may mutually oppose at intervals. An organic sealing material 12 made of resin or the like is provided between the pair of inorganic substrates 10.

有機シール材12は、その位置によって介在シール材14とカバーシール材16に分けられる。介在シール材14は、一対の無機基板10(詳しくは対向面)の間に設けられている。介在シール材14は、一対の無機基板10の対向面において無機基板10の周縁を避けており、無機基板10からはみ出さない。介在シール材14は、一対の無機基板10の対向面に接触又は密着している。一方、カバーシール材16は、一対の無機基板10の端面(対向面の周縁から立ち上がる外周面)に設けられる。カバーシール材16は、一対の無機基板10の間の空間を、一部を除いて塞ぐようになっている。一対の無機基板10の間の空間は、カバーシール材16が設けられていない領域で外部に連口している。つまり、カバーシール材16は、開口18を有するように形成されている。カバーシール材16は、一対の無機基板10の間の空間に入り込んでいてもよく、一対の無機基板10の対向面(例えばその端部)に接触(密着)していてもよい。   The organic sealing material 12 is divided into an intervening sealing material 14 and a cover sealing material 16 according to the position. The intervening sealing material 14 is provided between the pair of inorganic substrates 10 (specifically, facing surfaces). The intervening sealing material 14 avoids the periphery of the inorganic substrate 10 on the opposing surfaces of the pair of inorganic substrates 10 and does not protrude from the inorganic substrate 10. The intervening sealing material 14 is in contact with or in close contact with the opposing surfaces of the pair of inorganic substrates 10. On the other hand, the cover seal material 16 is provided on the end surfaces of the pair of inorganic substrates 10 (the outer peripheral surface rising from the peripheral edge of the opposing surface). The cover sealing material 16 is configured to close the space between the pair of inorganic substrates 10 except for a part thereof. The space between the pair of inorganic substrates 10 is open to the outside in an area where the cover seal material 16 is not provided. That is, the cover seal material 16 is formed to have the opening 18. The cover seal material 16 may enter a space between the pair of inorganic substrates 10, or may be in contact with (in close contact with) the opposing surfaces (for example, end portions) of the pair of inorganic substrates 10.

有機シール材12は、一対の無機基板10の間の空間を部分的に囲んで封止空間20を形成する。図2に示す例では、有機シール材12(介在シール材14)によって、複数の封止空間20が形成される。本実施形態で、封止空間20とは、最終製品となる部分を包含する空間である。   The organic sealing material 12 partially surrounds the space between the pair of inorganic substrates 10 to form a sealed space 20. In the example shown in FIG. 2, a plurality of sealed spaces 20 are formed by the organic sealing material 12 (intervening sealing material 14). In the present embodiment, the sealed space 20 is a space that includes a portion to be a final product.

封止空間20に対する機能の面から、有機シール材12は、内側シール材22と外側シール材24を含む。内側シール材22は、封止空間20を区画するものであってその封止空間20に隣接する。外側シール材24は、封止空間20を囲む内側シール材22から間隔をあけてその封止空間20の外側に分離されて配置されている。ただし、図2に示すように、複数の封止空間20が形成されるので、隣同士の封止空間20をそれぞれ囲む隣同士の内側シール材22としての有機シール材12は、相互に、外側シール材24でもある。つまり、隣同士の内側シール材22の一方は、他方の内側シール材22に対して外側シール材24でもある。言い換えると、1つの封止空間20に対して内側シール材22である有機シール材12は、隣の封止空間20に対してはその封止空間20を区画しないので外側シール材24でもある。これに対して、内側シール材22の最も無機基板10の端部に近い部分から、無機基板10の周縁の方向に離れた有機シール材12は、最終製品となる部分を包含する封止空間20を区画していないので、外側シール材24ではあるが、内側シール材22ではない。   From the viewpoint of the function with respect to the sealing space 20, the organic sealing material 12 includes an inner sealing material 22 and an outer sealing material 24. The inner sealing material 22 defines the sealing space 20 and is adjacent to the sealing space 20. The outer sealing material 24 is separated from the inner sealing material 22 surrounding the sealing space 20 and is arranged outside the sealing space 20. However, as shown in FIG. 2, since a plurality of sealing spaces 20 are formed, the organic sealing material 12 as the adjacent inner sealing material 22 that surrounds the adjacent sealing spaces 20 is mutually outside. It is also a sealing material 24. That is, one of the adjacent inner sealing materials 22 is also an outer sealing material 24 with respect to the other inner sealing material 22. In other words, the organic sealing material 12 that is the inner sealing material 22 with respect to one sealing space 20 is also the outer sealing material 24 because the sealing space 20 is not partitioned with respect to the adjacent sealing space 20. On the other hand, the organic sealing material 12 that is separated from the portion of the inner sealing material 22 closest to the end of the inorganic substrate 10 in the direction of the peripheral edge of the inorganic substrate 10 includes a sealed space 20 that includes a portion that becomes a final product. However, the outer seal material 24 is not the inner seal material 22.

外側シール材24ではあるが内側シール材22ではない有機シール材12aは、内側シール材22である有機シール材12bに沿って延びる第1部分26と、第1部分26から外方向(内側シール材22から離れる方向)に90度を超える角度で折り返されて延びる第2部分28とを含む。隣り合う有機シール材12の隣同士の第2部分28は、間隔をあけて配置されており、その間隔は外方向に向けて拡がるようになっている。そして、第2部分28の先端部(例えばその外側)に接触(密着)して、カバーシール材16が設けられている。図2の例では、無機基板10の端部で、カバーシール材16と第2部分28とによって封止されている空間があるが、これは本願発明で定義する封止空間20ではない。隣り合う有機シール材12の隣同士の第2部分28にそれぞれ接触(密着)する隣同士のカバーシール材16は、間隔をあけて配置されており、その間隔は外方向に向けて狭まるようになっている。隣同士のカバーシール材16の間に開口18が形成される。開口18の両側に位置する一対のカバーシール材16は、両者の間隔が、外方向に向けて狭まるように形成されている。   The organic sealing material 12 a that is the outer sealing material 24 but not the inner sealing material 22 includes a first portion 26 that extends along the organic sealing material 12 b that is the inner sealing material 22, and an outward direction (inner sealing material) from the first portion 26. And a second portion 28 that is folded back and extends at an angle of more than 90 degrees (in a direction away from 22). The second portions 28 adjacent to each other of the adjacent organic sealing materials 12 are arranged with a space therebetween, and the space widens outward. Then, the cover seal material 16 is provided in contact with (adhering to) the front end portion (for example, the outside) of the second portion 28. In the example of FIG. 2, there is a space sealed by the cover sealing material 16 and the second portion 28 at the end of the inorganic substrate 10, but this is not the sealed space 20 defined in the present invention. Adjacent cover seal materials 16 that contact (adhere) the adjacent second portions 28 of the adjacent organic seal materials 12 are arranged at intervals, and the intervals narrow toward the outside. It has become. An opening 18 is formed between the cover seal materials 16 adjacent to each other. The pair of cover seal materials 16 positioned on both sides of the opening 18 are formed so that the distance between them is narrowed outward.

矩形の無機基板10の角部には、V字状に屈曲する形状の有機シール材12cが、両端を無機基板10の角方向に向けて配置されている。V字状の有機シール材12cは、封止空間20と関係がないため、内側シール材22及び外側シール材24のいずれにも該当しない。V字状の有機シール材12cの両先端部(例えばその外側)にもカバーシール材16が密着しており、これらによって封止される空間が形成されるが、これも本願発明で定義する封止空間20ではない。図2の例では、V字状の有機シール材12cの先端から屈曲部までの部分と、有機シール材12aの上述した第2部分28とは、間隔をあけて隣り合うように配置されており、その間隔は、無機基板10の外方向に向けて拡がるようになっている。無機基板10の角部に配置された(V字状の有機シール材12cに接触する)カバーシール材16と、これに隣り合う(第2部分28に接触する)カバーシール材16とは、間隔をあけて配置されており、その間隔は外方向に向けて狭まるようになっている。つまり、開口18の両側に位置する一対のカバーシール材16は、両者の間隔が、外方向に向けて狭まるように形成されている。   At the corner of the rectangular inorganic substrate 10, an organic sealing material 12 c that is bent in a V shape is disposed with both ends directed in the angular direction of the inorganic substrate 10. Since the V-shaped organic sealing material 12 c is not related to the sealing space 20, it does not correspond to either the inner sealing material 22 or the outer sealing material 24. The cover seal material 16 is also in close contact with both ends (for example, the outside) of the V-shaped organic seal material 12c, and a sealed space is formed by these, which is also a seal defined in the present invention. It is not the stop space 20. In the example of FIG. 2, the portion from the tip of the V-shaped organic sealing material 12 c to the bent portion and the above-described second portion 28 of the organic sealing material 12 a are arranged so as to be adjacent to each other with a gap therebetween. The interval is extended toward the outer side of the inorganic substrate 10. The cover seal material 16 (contacting the V-shaped organic seal material 12c) disposed at the corner of the inorganic substrate 10 and the cover seal material 16 adjacent to the cover seal material 16 (contacting the second portion 28) are spaced apart from each other. It is arranged with a gap, and the interval is narrowed outward. That is, the pair of cover seal materials 16 positioned on both sides of the opening 18 are formed so that the distance between them is narrowed outward.

図3に示すように、一対の無機基板10の間で、封止空間20の内側から外側(有機シール材12bが配置される位置を含む)に至るように、1層又は複数層の有機膜30が形成されている。例えば、カラーフィルタ基板である無機基板10には、ブラックマトリクスを構成する有機膜30aと、オーバーコート層を構成する有機膜30bが積層されている。これらの有機膜30に接着部32が積層されて、一対の無機基板10が接着されている。有機シール材12は、これらの有機膜30のそれぞれの一部と接着部32を含んで構成される。すなわち、有機シール材12は、1層又は複数層の有機膜30の一部を含む。なお、図3の例では、下側の無機基板10には、無機膜34が形成されている。   As shown in FIG. 3, one or a plurality of layers of organic films are formed between the pair of inorganic substrates 10 so as to extend from the inside to the outside (including the position where the organic sealing material 12 b is disposed) of the sealed space 20. 30 is formed. For example, on the inorganic substrate 10 that is a color filter substrate, an organic film 30a that constitutes a black matrix and an organic film 30b that constitutes an overcoat layer are laminated. A bonding portion 32 is laminated on these organic films 30 to bond a pair of inorganic substrates 10. The organic sealing material 12 includes a part of each organic film 30 and an adhesive portion 32. That is, the organic sealing material 12 includes a part of the organic film 30 of one layer or a plurality of layers. In the example of FIG. 3, an inorganic film 34 is formed on the lower inorganic substrate 10.

図2に示すように、一対の無機基板10の間で、封止空間20内に、製品にされる空間を囲む製品シール材36が設けられている。1つの封止空間20内に、複数の製品シール材36が設けられている。製品にされる空間には、製品シール材36によって液晶38が封止されている。   As shown in FIG. 2, a product sealing material 36 is provided between the pair of inorganic substrates 10 in the sealed space 20 so as to surround a space to be a product. A plurality of product sealing materials 36 are provided in one sealing space 20. A liquid crystal 38 is sealed by a product sealing material 36 in a space for the product.

図4は、一方の無機基板10の断面の一部を示す拡大図である。無機基板10には、薄膜トランジスタが形成されている。すなわち、無機基板10は、TFT(Thin Film Transistor)基板である。薄膜トランジスタは、液晶38(図2参照)の駆動を制御するためのスイッチである。薄膜トランジスタは、制御用の走査電圧が印加されるゲート電極40が下に配置されるボトムゲート型である。無機基板10上に、無機材料(SiOなどの半導体酸化物又はSiNなどの半導体窒化物)からなるゲート電極40が形成されている。ゲート電極40を覆うようにゲート絶縁膜42が形成されている。ゲート絶縁膜42の上には半導体層44が形成されている。半導体層44上には、ソース電極46及びドレイン電極48が形成されている。ソース電極46及びドレイン電極48並びに半導体層44を覆うように、無機材料(SiOなどの半導体酸化物又はSiNなどの半導体窒化物)からなる保護絶縁層50が形成されている。保護絶縁層50によって半導体層44の湿度汚染が防止される。図3に示す無機膜34は、ゲート絶縁膜42及び保護絶縁層50からなる。 FIG. 4 is an enlarged view showing a part of a cross section of one inorganic substrate 10. A thin film transistor is formed on the inorganic substrate 10. That is, the inorganic substrate 10 is a TFT (Thin Film Transistor) substrate. The thin film transistor is a switch for controlling driving of the liquid crystal 38 (see FIG. 2). The thin film transistor is a bottom gate type in which a gate electrode 40 to which a control scanning voltage is applied is disposed below. A gate electrode 40 made of an inorganic material (semiconductor oxide such as SiO 2 or semiconductor nitride such as SiN) is formed on the inorganic substrate 10. A gate insulating film 42 is formed so as to cover the gate electrode 40. A semiconductor layer 44 is formed on the gate insulating film 42. A source electrode 46 and a drain electrode 48 are formed on the semiconductor layer 44. A protective insulating layer 50 made of an inorganic material (a semiconductor oxide such as SiO 2 or a semiconductor nitride such as SiN) is formed so as to cover the source electrode 46, the drain electrode 48, and the semiconductor layer 44. The protective insulating layer 50 prevents humidity contamination of the semiconductor layer 44. The inorganic film 34 shown in FIG. 3 includes a gate insulating film 42 and a protective insulating layer 50.

ゲート電圧がゲート電極40に印加されると映像信号電圧が印加されたドレイン電極48とソース電極46の間の半導体層44の抵抗が低下し、これによりソース電極46に接続された画素電極52と、共通電圧の印加された共通電極54の間の電界が発生し、これが液晶38に加わり液晶38の透過率が変化し表示を行う。本実施形態に係る液晶の駆動方式は、IPS(In Plane Switching)方式である。   When the gate voltage is applied to the gate electrode 40, the resistance of the semiconductor layer 44 between the drain electrode 48 and the source electrode 46 to which the video signal voltage is applied is reduced, and thereby the pixel electrode 52 connected to the source electrode 46 and Then, an electric field is generated between the common electrodes 54 to which a common voltage is applied, and this is applied to the liquid crystal 38 to change the transmittance of the liquid crystal 38 and display. The liquid crystal driving method according to the present embodiment is an IPS (In Plane Switching) method.

薄膜トランジスタの上方(保護絶縁層50上)には有機絶縁膜47が配置されている。有機絶縁膜47上に共通電極54が形成されている。共通電極54上には層間絶縁膜55が形成されている。層間絶縁膜55はSiNなどの無機材料の絶縁膜で構成される。さらにその上部には画素電極52が形成されている。画素電極52上に図示しない液晶38(図2参照)が配置される。   An organic insulating film 47 is disposed above the thin film transistor (on the protective insulating layer 50). A common electrode 54 is formed on the organic insulating film 47. An interlayer insulating film 55 is formed on the common electrode 54. The interlayer insulating film 55 is made of an insulating film made of an inorganic material such as SiN. Further, a pixel electrode 52 is formed on the upper portion. A liquid crystal 38 (not shown) (see FIG. 2) is disposed on the pixel electrode 52.

以上説明した回路は、画像表示のための回路である。この回路は、一対の無機基板10の対向面の少なくとも一方(図3の例では下側の無機基板10)に形成される。回路は、製品にされる空間(製品シール材36で囲まれた領域)に配置されている。   The circuit described above is a circuit for image display. This circuit is formed on at least one of the opposing surfaces of the pair of inorganic substrates 10 (lower inorganic substrate 10 in the example of FIG. 3). The circuit is arranged in a space (a region surrounded by the product sealing material 36) to be a product.

図3に示すように、封止空間20の外側には、一対の無機基板10の少なくとも一方の面及び有機シール材12によって流路56が区画されている。図2に示すように、流路56は、隣同士の封止空間20の間を通り、封止空間20の外側を通って外部と流通する。図2の例では、相互に連通した一体的な流路56が形成されているが、変形例として、連通しない複数の流路56を形成してもよい。   As shown in FIG. 3, a flow path 56 is defined outside the sealed space 20 by at least one surface of the pair of inorganic substrates 10 and the organic sealing material 12. As shown in FIG. 2, the flow path 56 passes between the adjacent sealed spaces 20 and circulates to the outside through the outside of the sealed space 20. In the example of FIG. 2, the integral flow paths 56 that are in communication with each other are formed, but as a modification, a plurality of flow paths 56 that are not in communication may be formed.

流路56は、図2に示すように、カバーシール材16が設けられないことで形成された開口18で外部と連通している。流路56は、複数の封止空間20の全体を囲む位置では、内側シール材22である有機シール材12bと、外側シール材24であるが内側シール材22にはならない有機シール材12aとの間に形成されている。流路56は、隣同士の封止空間20の間では、封止空間20をそれぞれ区画する内側シール材22であって相対的に外側シール材24でもある一対の有機シール材12bの間に形成される。隣同士の、外側シール材24であるが内側シール材22にはならない一対の有機シール材12aの間にも流路56が形成される。また、外側シール材24であるが内側シール材22にはならない有機シール材12aと、内側シール材22及び外側シール材24のいずれにもならない有機シール材12cとの間にも流路56が形成される。また、開口18を挟む一対のカバーシール材16の間にも流路56が形成される。   As shown in FIG. 2, the flow path 56 communicates with the outside through an opening 18 formed by not providing the cover seal material 16. The flow path 56 includes an organic sealing material 12b that is the inner sealing material 22 and an organic sealing material 12a that is the outer sealing material 24 but does not become the inner sealing material 22 at a position surrounding the entirety of the plurality of sealing spaces 20. It is formed between. The flow path 56 is formed between a pair of organic sealing materials 12 b that are the inner sealing materials 22 that define the sealing spaces 20 and are also relatively outer sealing materials 24 between the adjacent sealing spaces 20. Is done. A flow path 56 is also formed between a pair of adjacent organic sealing materials 12 a that are adjacent to each other but are not the inner sealing material 22. Further, a flow path 56 is also formed between the organic sealing material 12a that is the outer sealing material 24 but does not become the inner sealing material 22, and the organic sealing material 12c that does not become the inner sealing material 22 or the outer sealing material 24. Is done. A channel 56 is also formed between the pair of cover seal materials 16 that sandwich the opening 18.

流路56には、無機基板10の対向面が露出している。詳しくは、無機基板10の基材の対向面自体が露出していてもよいし、無機基板10の基材上に設けられた無機材料からなる層の表面が露出していてもよい。いずれの場合であっても、少なくとも一方の無機基板10の流路56に露出する面は無機材料からなる。無機基板10上に形成された1層又は複数層の有機膜30(図3参照)は、流路56を避けるように形成されている。これ以外にも、無機基板10と流路56との間には有機材料は存在しない。   The opposing surface of the inorganic substrate 10 is exposed in the flow path 56. Specifically, the opposing surface itself of the base material of the inorganic substrate 10 may be exposed, or the surface of a layer made of an inorganic material provided on the base material of the inorganic substrate 10 may be exposed. In any case, the surface exposed to the flow path 56 of at least one of the inorganic substrates 10 is made of an inorganic material. One or more organic films 30 (see FIG. 3) formed on the inorganic substrate 10 are formed so as to avoid the flow path 56. Besides this, there is no organic material between the inorganic substrate 10 and the flow path 56.

図5及び図6は、本実施形態に係る表示装置の製造方法を説明する図である。表示装置の製造方法は、封止空間20の外側で一対の無機基板10を切断する工程を含む。   5 and 6 are views for explaining a method for manufacturing the display device according to the present embodiment. The method for manufacturing the display device includes a step of cutting the pair of inorganic substrates 10 outside the sealed space 20.

詳しくは、図5に示すように、流路56に無機材料に対するエッチング液58を侵入させる。エッチング液58によって、流路56に沿って一対の無機基板10の少なくとも一方の面をエッチングして溝60を形成する。本実施形態によれば、流路56にエッチング液58を侵入させることで無機基板10に溝60を形成することができ、この溝60に沿って無機基板10を良好に切断することができる。   Specifically, as shown in FIG. 5, an etchant 58 for the inorganic material is caused to enter the flow path 56. The groove 60 is formed by etching at least one surface of the pair of inorganic substrates 10 along the flow path 56 with the etchant 58. According to the present embodiment, the groove 60 can be formed in the inorganic substrate 10 by allowing the etchant 58 to enter the flow path 56, and the inorganic substrate 10 can be favorably cut along the groove 60.

溝60を形成する工程は、無機基板10を薄くする工程と同時に行うことができる。例えば、エッチング液58に中間製品を浸漬する。これにより、流路56にエッチング液58を侵入させることができる。エッチング液58によって、一対の無機基板10の相互に反対側を向く面はそれぞれエッチングされて、一対の無機基板10は薄くなる。   The step of forming the groove 60 can be performed simultaneously with the step of thinning the inorganic substrate 10. For example, the intermediate product is immersed in the etching solution 58. Thereby, the etching solution 58 can enter the flow path 56. The surfaces facing the opposite sides of the pair of inorganic substrates 10 are etched by the etchant 58, and the pair of inorganic substrates 10 are thinned.

次に、溝60が形成された面とは反対の面を、溝60に沿ってスクライビングする。そして、図6に示すように、一対の無機基板10を切断する。すなわち、一対の無機基板10は、複数の封止空間20(図2参照)が有機シール材12で封止された状態で切り出される。それぞれの封止空間20には、複数の製品にされる空間が製品シール材36で封止されているので、これらを製品ごとに切り出す。こうして、表示装置を得ることができる。   Next, a surface opposite to the surface on which the groove 60 is formed is scribed along the groove 60. Then, as shown in FIG. 6, the pair of inorganic substrates 10 is cut. That is, the pair of inorganic substrates 10 is cut out in a state where a plurality of sealing spaces 20 (see FIG. 2) are sealed with the organic sealing material 12. In each sealed space 20, spaces made into a plurality of products are sealed with the product sealing material 36, and these are cut out for each product. Thus, a display device can be obtained.

[変形例]
図7は、本実施形態の変形例1に係る表示装置の製造方法を説明する図である。この例では、溝を進行させて一対の無機基板10の両方を切断する。つまり、エッチングによって無機基板10を貫通するスリット62を形成する。スリット62は、封止空間20(図2参照)を囲むように形成する。これによればスクライビングを省略することができる。また、エッチングによって一方の無機基板10を切断するだけでも工程省略の効果がある。その他の詳細は、上記実施形態で説明した通りである。
[Modification]
FIG. 7 is a diagram for explaining a method for manufacturing a display device according to the first modification of the present embodiment. In this example, the groove is advanced to cut both the pair of inorganic substrates 10. That is, the slit 62 penetrating the inorganic substrate 10 is formed by etching. The slit 62 is formed so as to surround the sealing space 20 (see FIG. 2). According to this, scribing can be omitted. Moreover, there is an effect of omitting the process only by cutting one inorganic substrate 10 by etching. Other details are as described in the above embodiment.

図8は、本実施形態の変形例2に係る中間製品を示す図である。この例では、製品シール材64は、その後の工程で製品にされる空間に液晶を注入するための開口66が形成されている。したがって、製品シール材64の内側は空になっている。つまり、封止空間20には、複数の空セルが配置されている。なお、製品シール材64は、複数の空セルを連続的に区画している。一対の無機基板10は、上述した溝60(図5参照)に沿って切断された後に、空セルごとに切り出される。その後、空セルには液晶が注入される。その他の内容は、上記実施形態で説明した内容が該当する。   FIG. 8 is a diagram illustrating an intermediate product according to the second modification of the present embodiment. In this example, the product sealing material 64 is formed with an opening 66 for injecting liquid crystal into a space to be a product in a subsequent process. Therefore, the inside of the product sealing material 64 is empty. That is, a plurality of empty cells are arranged in the sealed space 20. The product sealing material 64 continuously partitions a plurality of empty cells. The pair of inorganic substrates 10 are cut for each empty cell after being cut along the groove 60 (see FIG. 5) described above. Thereafter, liquid crystal is injected into the empty cell. The other contents correspond to the contents described in the above embodiment.

図9は、本実施形態の変形例3に係る中間製品を示す図である。この例では、封止空間20に液晶68が封入されている。つまり、封止空間20に製品シール材が設けられておらず、それぞれの封止空間20の全体が1つの製品になる。したがって、封止空間20ごとに切り出された一対の無機基板10は、それが製品となるので、再度切り出されない。この内容は、上記実施形態に適用することができる。また、この例では、図2に示すカバーシール材16が省略されている。流路56に隣接して一対の無機基板10の最も端部側に位置する有機シール材12は、介在シール材14であって、封止空間20を封止しない外側シール材24である。この内容も、上記実施形態に適用することができる。   FIG. 9 is a diagram illustrating an intermediate product according to the third modification of the present embodiment. In this example, the liquid crystal 68 is sealed in the sealed space 20. That is, the product sealing material is not provided in the sealing space 20, and the entire sealing space 20 becomes one product. Therefore, the pair of inorganic substrates 10 cut out for each sealed space 20 is not cut out again because it becomes a product. This content can be applied to the above embodiment. Further, in this example, the cover seal material 16 shown in FIG. 2 is omitted. The organic sealing material 12 positioned adjacent to the flow path 56 on the most end side of the pair of inorganic substrates 10 is the intervening sealing material 14 and is the outer sealing material 24 that does not seal the sealing space 20. This content can also be applied to the above embodiment.

図10は、本実施形態の変形例4に係る中間製品を示す図である。この例では、流路56に隣接して一対の無機基板10の最も端部側に位置する外側シール材としての有機シール材70の形状が、図9に示す変形例3と異なる。つまり、図9の例では、一対の無機基板10の周縁部を避けるように有機シール材12aが配置されているのに対して、図10の例では、一対の無機基板10の周縁に至るように有機シール材70が配置されている。その他の内容は、上記変形例3で説明した内容が該当する。   FIG. 10 is a diagram illustrating an intermediate product according to the fourth modification of the present embodiment. In this example, the shape of the organic sealing material 70 as the outer sealing material located on the most end side of the pair of inorganic substrates 10 adjacent to the flow path 56 is different from that of the third modification shown in FIG. That is, in the example of FIG. 9, the organic sealing material 12 a is disposed so as to avoid the peripheral portions of the pair of inorganic substrates 10, whereas in the example of FIG. 10, the organic sealing material 12 a reaches the periphery of the pair of inorganic substrates 10. An organic sealing material 70 is disposed on the surface. The other contents correspond to the contents described in the third modification.

図11は、本実施形態の変形例5に係る中間製品を示す図である。この例では、一対の無機基板10の最も端部側に位置する外側シール材としての有機シール材72の形状が、図9に示す変形例3と異なる。つまり、図9の例とは異なり、図11の例では、最も外側に位置する外側シール材としての有機シール材72が、所定の領域を囲むように形成されている。また、内側シール材及び外側シール材のいずれにも該当しない有機シール材74も、所定の領域を囲むように形成されている。その他の内容は、上記変形例3で説明した内容が該当する。   FIG. 11 is a diagram illustrating an intermediate product according to the fifth modification of the present embodiment. In this example, the shape of the organic sealing material 72 as the outer sealing material located on the most end side of the pair of inorganic substrates 10 is different from that of the third modification shown in FIG. That is, unlike the example of FIG. 9, in the example of FIG. 11, the organic seal material 72 as the outer seal material located on the outermost side is formed so as to surround a predetermined region. Moreover, the organic sealing material 74 that does not correspond to either the inner sealing material or the outer sealing material is also formed so as to surround a predetermined region. The other contents correspond to the contents described in the third modification.

図12は、本実施形態の変形例6に係る中間製品を示す図である。この例では、無機基板10を複数の切断ラインLに沿って切断するが、全ての切断ラインLに沿って流路76が形成されるわけではない点で、上記実施形態とは異なる。流路76は、複数の切断ラインLのうち少なくとも1つを除く切断ラインLに沿って形成される。また、流路76は、無機基板10の端から端に至るようには形成されていない。すなわち、流路76は、無機基板10の端部を避けて形成されている。詳しくは、内側シール材78は無機基板10の端部を避けて形成されており、外側シール材80も無機基板10の端部を避けて形成されている。したがって、流路76は、切断ラインLの一部にのみ形成される。このような流路76にエッチング液を侵入させて、切断ラインLの一部のみに溝を形成する。溝の形成された領域ではそれに沿って無機基板10をスクライビングなどの方法で切断する。溝の形成されない領域では、溝なしで従来通りの方法で無機基板10を切断する。この例では、切断ラインLは封止空間20を横切るようにも予定されており、この点は上記実施形態又は他の変形例にも適用可能である。その他の内容は、上記実施形態で説明した内容が該当する。 FIG. 12 is a diagram illustrating an intermediate product according to the sixth modification of the present embodiment. In this example, the inorganic substrate 10 is cut along a plurality of cutting lines L. However, the flow path 76 is not formed along all the cutting lines L, which is different from the above embodiment. Passage 76 is formed along the cutting line L X except at least one of the plurality of cutting lines L. Further, the channel 76 is not formed so as to reach the end of the inorganic substrate 10. That is, the flow path 76 is formed so as to avoid the end of the inorganic substrate 10. Specifically, the inner sealing material 78 is formed avoiding the end portion of the inorganic substrate 10, and the outer sealing material 80 is also formed avoiding the end portion of the inorganic substrate 10. Thus, the channel 76 is formed only on a part of the cutting line L X. Such flow path 76 of the etching solution is entering, to form a groove only in a part of the cutting line L X. In the region where the groove is formed, the inorganic substrate 10 is cut along the groove by a method such as scribing. In the region where the groove is not formed, the inorganic substrate 10 is cut by a conventional method without the groove. In this example, the cutting line L is also planned to cross the sealing space 20, and this point can be applied to the above-described embodiment or other modifications. The other contents correspond to the contents described in the above embodiment.

図13は、本実施形態の変形例7に係る中間製品を示す図である。この例では、1つの切断ラインLに、複数の流路82が相互に連通しないように形成されている。それぞれの流路82は、無機基板10の端に開口84を有して外部と連通している。図13の例では、1つの切断ラインL上に、一対の流路82が、開口84が相互に反対方向を向くように形成されている。それぞれの流路82は、主路86と分岐路88を含み、主路86が切断ラインLに沿って延びている。分岐路88は、主路86から交差する方向に延びており、主路86の開口18とは別の開口90を有している。すなわち、1つの流路82は、複数の開口84,90を有しており、これら全ての開口84,90に接続されるように形成されている。   FIG. 13 is a diagram illustrating an intermediate product according to Modification 7 of the present embodiment. In this example, a plurality of flow paths 82 are formed in one cutting line L so as not to communicate with each other. Each channel 82 has an opening 84 at the end of the inorganic substrate 10 and communicates with the outside. In the example of FIG. 13, a pair of flow paths 82 are formed on one cutting line L so that the openings 84 face in opposite directions. Each flow path 82 includes a main path 86 and a branch path 88, and the main path 86 extends along the cutting line L. The branch path 88 extends in a direction intersecting with the main path 86 and has an opening 90 different from the opening 18 of the main path 86. That is, one flow path 82 has a plurality of openings 84 and 90 and is formed so as to be connected to all the openings 84 and 90.

封止空間92は、内側シール材94とカバーシール材96によって封止されている。すなわち、内側シール材94は、封止空間92を断続的に囲んでおり、封止空間92の開口98を形成している。この開口98をカバーシール材96が塞いでいる。内側シール材94によって、封止空間92は、1つ又は複数(図13では左右に2つ)の開口98を有する。この開口98は、液晶の注入口として利用される。流路82は、封止空間92の開口98を通らないように形成されている。したがって、封止空間92の開口98には溝は形成されない。   The sealing space 92 is sealed with an inner sealing material 94 and a cover sealing material 96. That is, the inner sealing material 94 intermittently surrounds the sealing space 92 and forms an opening 98 of the sealing space 92. The opening 98 is covered with a cover seal material 96. The sealing space 92 has one or a plurality of openings 98 (two on the left and right in FIG. 13) by the inner sealing material 94. The opening 98 is used as a liquid crystal injection port. The flow channel 82 is formed so as not to pass through the opening 98 of the sealed space 92. Therefore, no groove is formed in the opening 98 of the sealed space 92.

この中間製品を使用して本実施形態に係る方法を適用した場合、カバーシール材96によって蓋がれた封止空間92にはエッチング液が入らず、流路82に沿って溝が形成される。溝は、切断ラインLに沿って無機基板10の端から他の端までは形成されず、その区間の一部だけに形成される。このような溝であっても、これを利用することで切断プロセスは容易になる。切断プロセスの終了後、カバーシール材96を除去して、内側シール材94の切れ目から形成された開口98から液晶を注入して、最終製品を得ることができる。   When the method according to this embodiment is applied using this intermediate product, the etching solution does not enter the sealing space 92 covered with the cover seal material 96, and a groove is formed along the flow path 82. . The groove is not formed from the end of the inorganic substrate 10 to the other end along the cutting line L, and is formed only in a part of the section. Even if it is such a groove | channel, a cutting process will become easy by utilizing this. After the cutting process is completed, the cover seal material 96 is removed, and liquid crystal is injected from the opening 98 formed from the cut of the inner seal material 94, whereby a final product can be obtained.

図14は、本実施形態の変形例8に係る中間製品を示す図である。この例では、有機シール材100は、一対の無機基板10の両方に密着するように相互に間隔をあけて配置された一対の全密着部102を含む。図14の例では、それぞれの全密着部102は、少なくとも1層の有機膜104の一部と接着部106とによって構成されている。少なくとも一層の有機膜104が一方の無機基板10に密着し、接着部106が他方の無機基板10に密着し、有機膜104と接着部106は密着している。接着部106は封止空間108に隣接している。有機シール材100は、一対の全密着部102の間に配置されて一対の無機基板10の一方との接触を避けて他方に密着する半密着部110を含む。それぞれの全密着部102の少なくとも一部(例えば接着部106)と半密着部110は一体的に形成され、全密着部102の残りの部分(例えば少なくとも1層の有機膜104)に半密着部110は密着している。一対の全密着部102の間であって、半密着部110が接触しない無機基板10と半密着部110との間には、流路112が形成される。なお、図14は、一対の全密着部102及び半密着部110の長さ方向に直交する断面を示す図である。   FIG. 14 is a diagram illustrating an intermediate product according to Modification 8 of the present embodiment. In this example, the organic sealing material 100 includes a pair of all contact portions 102 that are disposed with a space therebetween so as to be in close contact with both of the pair of inorganic substrates 10. In the example of FIG. 14, each full contact portion 102 is constituted by a part of at least one organic film 104 and an adhesive portion 106. At least one layer of the organic film 104 is in close contact with one inorganic substrate 10, the bonding portion 106 is in close contact with the other inorganic substrate 10, and the organic film 104 and the bonding portion 106 are in close contact. The bonding portion 106 is adjacent to the sealing space 108. The organic sealing material 100 includes a semi-adhesion portion 110 that is disposed between the pair of all-adhesion portions 102 and avoids contact with one of the pair of inorganic substrates 10 and adheres to the other. At least a part (for example, the adhesion part 106) and the semi-adhesion part 110 of each of the all adhesion parts 102 are integrally formed, and the semi-adhesion part is formed on the remaining part (for example, at least one layer of the organic film 104). 110 is in close contact. A channel 112 is formed between the pair of all-adhering portions 102 and between the inorganic substrate 10 and the semi-adhering portion 110 where the semi-adhering portion 110 does not contact. FIG. 14 is a view showing a cross section orthogonal to the length direction of the pair of full contact portions 102 and semi-contact portions 110.

図15は、変形例8に係る中間製品を使用した表示装置の製造方法を説明する図である。流路112には、一対の無機基板10の一方の表面が露出するので、この露出する表面を有する無機基板10には、エッチング液によって溝114を形成することができる。これに対して、他方の無機基板10は、有機シール材100によって覆われているため、エッチング液にさらされず、溝は形成されない。こうして、一対の無機基板10の一方のみに溝114を形成することができる。さらに、溝114の形成された無機基板10を、溝114が形成された面とは反対の面からスクライビングなどによって切断する。この例について、その他の内容は、上記実施形態で説明した内容が該当する。   FIG. 15 is a diagram illustrating a method for manufacturing a display device using an intermediate product according to the modification 8. Since one surface of the pair of inorganic substrates 10 is exposed in the flow path 112, the grooves 114 can be formed in the inorganic substrate 10 having the exposed surfaces with an etching solution. On the other hand, since the other inorganic substrate 10 is covered with the organic sealing material 100, it is not exposed to the etching solution and no groove is formed. Thus, the groove 114 can be formed in only one of the pair of inorganic substrates 10. Further, the inorganic substrate 10 in which the grooves 114 are formed is cut by scribing or the like from a surface opposite to the surface on which the grooves 114 are formed. Regarding this example, the other contents correspond to the contents described in the above embodiment.

図16は、本実施形態の変形例9に係る中間製品を示す図である。この例では、有機シール材116は、一方の無機基板10に積層された少なくとも1層の第1有機膜118の一部を含む。図16の例では、上側の無機基板10の下にブラックマトリクスを構成する第1有機膜118aと、その下のオーバーコートを構成する第1有機膜118bと、一対の無機基板10の間隔を確保するためのスペーサを構成する第1有機膜118cが設けられている。また、有機シール材116は、他方の無機基板10に積層された少なくとも1層の第2有機膜120の一部を含む。そして、少なくとも1層の第1有機膜118の一部と、少なくとも1層の第2有機膜120の一部とが接合(例えば密着)している。その他の内容は、上記実施形態(特に図3参照)で説明した内容が該当する。   FIG. 16 is a diagram illustrating an intermediate product according to the ninth modification of the present embodiment. In this example, the organic sealing material 116 includes a part of at least one first organic film 118 laminated on one inorganic substrate 10. In the example of FIG. 16, the first organic film 118 a constituting the black matrix under the upper inorganic substrate 10, the first organic film 118 b constituting the overcoat thereunder, and the gap between the pair of inorganic substrates 10 are secured. A first organic film 118c constituting a spacer is provided. The organic sealing material 116 includes a part of at least one second organic film 120 stacked on the other inorganic substrate 10. A part of the first organic film 118 of at least one layer and a part of the second organic film 120 of at least one layer are bonded (for example, closely adhered). Other contents correspond to the contents described in the above-described embodiment (particularly, refer to FIG. 3).

図17は、変形例9に係る中間製品を使用した表示装置の製造方法を説明する図である。流路122には、一対の無機基板10の両方の表面が露出するので、両方の無機基板10にエッチング液によって溝123を形成することができる。さらに、図17には、一方の無機基板10のみをスクライビングなどによって切断した例が示してあり、この内容は上記実施形態及び他の変形例にも適用可能である。この例について、その他の内容は、上記実施形態で説明した内容が該当する。   FIG. 17 is a diagram illustrating a method for manufacturing a display device using the intermediate product according to the modification 9. Since both surfaces of the pair of inorganic substrates 10 are exposed in the flow path 122, the grooves 123 can be formed in both inorganic substrates 10 with an etching solution. Further, FIG. 17 shows an example in which only one inorganic substrate 10 is cut by scribing or the like, and this content can be applied to the above-described embodiment and other modifications. Regarding this example, the other contents correspond to the contents described in the above embodiment.

図18は、本実施形態の変形例10に係る中間製品を示す図である。この例では、一対の無機基板124,126の厚みが異なっている。また、有機シール材128は、一方の無機基板124に積層された少なくとも1層の第1有機膜130の一部と、他方の無機基板126に積層された少なくとも1層の第2有機膜132の一部と、接着部125と、を含む。少なくとも1層の第1有機膜130の一部と少なくとも1層の第2有機膜132の一部とが、接着部125を介して接合されている。この例について、その他の内容は、上記実施形態で説明した内容が該当する。   FIG. 18 is a diagram illustrating an intermediate product according to the tenth modification of the present embodiment. In this example, the thickness of the pair of inorganic substrates 124 and 126 is different. The organic sealing material 128 includes a part of at least one layer of the first organic film 130 stacked on one inorganic substrate 124 and at least one layer of the second organic film 132 stacked on the other inorganic substrate 126. A part and the adhesion part 125 are included. A part of at least one layer of the first organic film 130 and a part of at least one layer of the second organic film 132 are joined via an adhesive portion 125. Regarding this example, the other contents correspond to the contents described in the above embodiment.

図19は、変形例10に係る中間製品を使用した表示装置の製造方法を説明する図である。流路134には、一対の無機基板124,126の両方の表面が露出するので、両方の無機基板124,126にエッチング液によって溝129を形成することができる。また、この例でも、エッチング液によって、無機基板124,126の外側表面をエッチングして薄くする。一対の無機基板10の厚みが異なっているため、薄い方の無機基板124の外側表面のエッチングを、溝129が無機基板124を貫通するまで続ける。溝129が封止空間136を連続的に囲んでいれば、この無機基板124はエッチングだけで切断することができる。これに対して、厚い方の無機基板126は、溝129が形成されるが、溝129が外側表面に貫通しないため切断されない。この例について、その他の内容は、上記実施形態で説明した内容が該当する。   FIG. 19 is a diagram illustrating a method for manufacturing a display device using the intermediate product according to the modification 10. Since both surfaces of the pair of inorganic substrates 124 and 126 are exposed in the flow path 134, the groove 129 can be formed in both the inorganic substrates 124 and 126 with an etching solution. Also in this example, the outer surfaces of the inorganic substrates 124 and 126 are etched and thinned with an etching solution. Since the thickness of the pair of inorganic substrates 10 is different, etching of the outer surface of the thinner inorganic substrate 124 is continued until the groove 129 penetrates the inorganic substrate 124. If the groove 129 continuously surrounds the sealing space 136, the inorganic substrate 124 can be cut only by etching. On the other hand, the thicker inorganic substrate 126 is not cut because the groove 129 is formed but the groove 129 does not penetrate the outer surface. Regarding this example, the other contents correspond to the contents described in the above embodiment.

[第2の実施形態]
図20は、本発明を適用した第2の実施形態に係る中間製品を示す図である。この例では、無機基板210の第1切断ラインLは、五角形以上の多角形を囲むように設定されている。多角形の領域内に封止空間212が位置する。第1切断ラインLに沿って、上述した実施形態で説明したように流路214を形成する。流路214は、封止空間212を囲む内路216と、内路216から分岐して開口218に接続する外路220と、を含む。内路216は多角形を描くように形成され、多角形の角部から外路220が延びている。外路220は、矩形の無機基板210の辺に直角に延びている。
[Second Embodiment]
FIG. 20 is a diagram showing an intermediate product according to the second embodiment to which the present invention is applied. In this example, the first cutting line L 1 of the inorganic substrate 210 is set so as to surround the above polygonal pentagonal. A sealing space 212 is located in the polygonal region. Along the first cutting line L 1, to form a flow path 214 as described in the above embodiments. The flow path 214 includes an inner path 216 that surrounds the sealed space 212 and an outer path 220 that branches from the inner path 216 and connects to the opening 218. The inner path 216 is formed to draw a polygon, and the outer path 220 extends from the corner of the polygon. The outer path 220 extends at right angles to the sides of the rectangular inorganic substrate 210.

有機シール材222は、封止空間212を複数の分割封止空間215a,215bに区画するパーティション部217を有する。複数の分割封止空間215a,215bは、異なる大きさになっている。大きい方の分割封止空間215aは、液晶219が封入されている。小さい方の分割封止空間215bは、液晶219を駆動するための集積回路チップ221を搭載するための領域を含み、そのための図示しない回路が形成されている。   The organic sealing material 222 has a partition part 217 that partitions the sealed space 212 into a plurality of divided sealed spaces 215a and 215b. The plurality of divided sealed spaces 215a and 215b have different sizes. In the larger divided sealed space 215a, a liquid crystal 219 is sealed. The smaller divided sealed space 215b includes a region for mounting the integrated circuit chip 221 for driving the liquid crystal 219, and a circuit (not shown) for that is formed.

図20に示す流路214にエッチング液を流すことで、流路214に沿って溝を形成する。有機シール材222は、流路214がパーティション部217を避けるように形成されているので、パーティション部217に沿った溝は形成されない。溝を、無機基板210を貫通するように形成すれば、スクライビングを行うことなく、多角形の形状に無機基板210を切り出すことができる。詳しくは、中間製品をエッチング液に浸漬して、一対の無機基板210の外側表面をエッチングして厚みを薄くすることで、対向面の溝を外側表面に貫通させることができる。   A groove is formed along the flow path 214 by flowing an etching solution through the flow path 214 shown in FIG. Since the organic sealant 222 is formed so that the flow path 214 avoids the partition part 217, a groove along the partition part 217 is not formed. If the groove is formed so as to penetrate the inorganic substrate 210, the inorganic substrate 210 can be cut into a polygonal shape without performing scribing. In detail, the groove | channel of an opposing surface can be penetrated to an outer surface by immersing an intermediate product in etching liquid, etching the outer surface of a pair of inorganic substrate 210, and making thickness thin.

図21は、切断された中間製品を説明する図である。図22は、図21に示す中間製品のXXII−XXII線断面図である。上記プロセスによって、図21に示すように、無機基板210は切断される。続いて、第2切断ラインLに沿って、一方の無機基板210を切断する。第2切断ラインLは、複数の分割封止空間215a,215bの少なくとも1つの外側に設定されている。例えば、パーティション部217に沿って、大きい方の分割封止空間215aの外側(つまり小さい方の分割封止空間215b側)で、一方の無機基板210を切断する。この切断は、スクライビングなど従来の方法を適用して行う。これにより、パーティション部217の外側で、一方の無機基板210の一部が切断片224となる。一方の無機基板210の切断片224は、有機シール材222によって他方の無機基板210に固定されている。この有機シール材222を除去するために、さらに、第3切断ラインLに沿って、両方の無機基板210を切断する。この切断もスクライビングなど従来の方法を適用して行う。こうして、切断片224を除去する。 FIG. 21 is a diagram for explaining the cut intermediate product. 22 is a cross-sectional view of the intermediate product shown in FIG. 21 taken along line XXII-XXII. By the above process, the inorganic substrate 210 is cut as shown in FIG. Then, along a second cutting line L 2, cutting one of the inorganic substrate 210. The second cutting line L 2, a plurality of split sealing space 215a, is set to at least one outer 215b. For example, one inorganic substrate 210 is cut along the partition part 217 outside the larger divided sealed space 215a (that is, on the smaller divided sealed space 215b side). This cutting is performed by applying a conventional method such as scribing. Thereby, a part of one inorganic substrate 210 becomes the cut piece 224 outside the partition part 217. The cut piece 224 of one inorganic substrate 210 is fixed to the other inorganic substrate 210 by an organic sealing material 222. In order to remove the organic sealing material 222, further along the third cutting line L 3, to cut both the inorganic substrate 210. This cutting is also performed by applying a conventional method such as scribing. In this way, the cut piece 224 is removed.

図23は、切断片224が除去された中間製品を示す図である。集積回路チップ221を搭載するための領域は露出しており、その後の工程で、集積回路チップ221を搭載することで、最終製品を得ることができる。なお、切断片224を有機シール材222から剥離することが可能であれば、第3切断ラインLに沿った両方の無機基板210の切断は省略してもよい。その他の詳細は、上記実施形態で説明した内容が該当する。 FIG. 23 is a diagram illustrating the intermediate product from which the cut piece 224 has been removed. A region for mounting the integrated circuit chip 221 is exposed, and a final product can be obtained by mounting the integrated circuit chip 221 in the subsequent process. Incidentally, peeling the cut pieces 224 of an organic sealing material 222 is possible, the cleavage of both inorganic substrate 210 along a third cut line L 3 may be omitted. The details described in the above embodiment apply to other details.

図24は、第2の実施形態に係る中間製品の変形例を示す図である。図25は、図24に示す中間製品のXXV−XXV線断面図である。図26は、図24に示す中間製品のXXVI−XXVI線断面図である。有機シール材322は、パーティション部316を含む。本変形例に係る中間製品は、流路314がパーティション部316を通る点で、上記第2の実施形態と異なる。パーティション部316では、流路314が、一対の無機基板310の一方のみの面及び有機シール材322で区画されている。パーティション部316の詳細は、図20を参照して説明した内容が該当する。なお、封止空間312の全体を囲む部分では、流路314が、一対の無機基板310の両方の面及び有機シール材322で区画されている。この変形例でも、上記第2の実施形態と同様に、封止空間312は複数の分割封止空間315a,315bに区画されている。第2の実施形態とは異なり、封止空間312を囲む有機シール材322のうち、小さい方の分割封止空間315bに隣接する部分324(パーティション部316は含まれない)は、それ以外の部分よりも幅が狭くなっている。   FIG. 24 is a diagram illustrating a modification of the intermediate product according to the second embodiment. 25 is a cross-sectional view of the intermediate product shown in FIG. 24 taken along line XXV-XXV. 26 is a cross-sectional view of the intermediate product shown in FIG. 24 taken along the line XXVI-XXVI. The organic sealing material 322 includes a partition part 316. The intermediate product according to this modification is different from the second embodiment in that the flow path 314 passes through the partition part 316. In the partition part 316, the flow path 314 is partitioned by only one surface of the pair of inorganic substrates 310 and the organic sealing material 322. The details of the partition unit 316 correspond to the contents described with reference to FIG. Note that the flow path 314 is partitioned by both surfaces of the pair of inorganic substrates 310 and the organic sealing material 322 in a portion surrounding the entire sealing space 312. Also in this modified example, the sealing space 312 is divided into a plurality of divided sealing spaces 315a and 315b, as in the second embodiment. Unlike the second embodiment, a part 324 (partition part 316 is not included) adjacent to the smaller divided sealing space 315b of the organic sealing material 322 surrounding the sealing space 312 is the other part. The width is narrower than.

図27及び図28は、第2の実施形態の変形例に係る表示装置の製造方法を説明する図である。この変形例では、図27に示すように、流路314がパーティション部316を通るので、エッチング液によって流路314に露出する一方の無機基板310に溝326を形成する。この例では、溝326が無機基板310を貫通することで、エッチングのみで無機基板310を切断する。詳しくは、エッチングのみによって、一対の無機基板310を多角形の平面形状を有するように切り出すとともに、一方の無機基板310の一部を切断する。その他の詳細は、上記第2の実施形態で説明した通りである。こうして、封止空間312を囲むように一対の無機基板310を切断する。また、パーティション部316では、一方の無機基板310のみを切断する。   27 and 28 are diagrams for explaining a method of manufacturing a display device according to a modification of the second embodiment. In this modified example, as shown in FIG. 27, since the flow path 314 passes through the partition part 316, the groove 326 is formed in one inorganic substrate 310 exposed to the flow path 314 by the etching solution. In this example, the groove 326 penetrates the inorganic substrate 310, so that the inorganic substrate 310 is cut only by etching. Specifically, the pair of inorganic substrates 310 are cut out to have a polygonal planar shape only by etching, and a part of one inorganic substrate 310 is cut. Other details are as described in the second embodiment. In this way, the pair of inorganic substrates 310 is cut so as to surround the sealing space 312. In the partition unit 316, only one inorganic substrate 310 is cut.

パーティション部316で切断された一方の無機基板310の切断片322は、有機シール材322で他方の無機基板310に固定されているが、この部分324での有機シール材322は上述したように幅が狭くなっている。したがって、切断片322の剥離がしやすくなっており、この切断片322を剥離することで、図28に示すように、集積回路チップ320を搭載するための領域を露出させることができる。   The cut piece 322 of one inorganic substrate 310 cut by the partition part 316 is fixed to the other inorganic substrate 310 by the organic sealing material 322, but the organic sealing material 322 in this portion 324 has a width as described above. Is narrower. Therefore, it is easy to peel off the cut piece 322. By peeling off the cut piece 322, an area for mounting the integrated circuit chip 320 can be exposed as shown in FIG.

本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく種々の変形が可能である。例えば、実施形態で説明した構成は、実質的に同一の構成、同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成で置き換えることができる。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made. For example, the configuration described in the embodiment can be replaced with substantially the same configuration, a configuration that exhibits the same operational effects, or a configuration that can achieve the same purpose.

10 無機基板、12 有機シール材、12a 有機シール材、12b 有機シール材、12c 有機シール材、14 介在シール材、16 カバーシール材、18 開口、20 封止空間、22 内側シール材、24 外側シール材、26 第1部分、28 第2部分、30 有機膜、30a 有機膜、30b 有機膜、32 接着部、34 無機膜、36 製品シール材、38 液晶、40 ゲート電極、42 ゲート絶縁膜、44 半導体層、46 ソース電極、47 有機絶縁膜、48 ドレイン電極、50 保護絶縁層、52 画素電極、54 共通電極、55 層間絶縁膜、56 流路、58 エッチング液、60 溝、62 スリット、64 製品シール材、66 開口、68 液晶、70 有機シール材、72 有機シール材、74 有機シール材、76 流路、78 内側シール材、80 外側シール材、82 流路、84 開口、86 主路、88 分岐路、90 開口、92 封止空間、94 内側シール材、96 カバーシール材、98 開口、100 有機シール材、102 全密着部、104 有機膜、106 接着部、108 封止空間、110 半密着部、112 流路、114 溝、116 有機シール材、118 第1有機膜、118a 第1有機膜、118b 第1有機膜、118c 第1有機膜、120 第2有機膜、122 流路、123 溝、124 無機基板、125 接着部、126 無機基板、128 有機シール材、129 溝、130 第1有機膜、132 第2有機膜、134 流路、136 封止空間、210 無機基板、212 封止空間、214 流路、215a 分割封止空間、215b 分割封止空間、216 内路、217 パーティション部、218 開口、219 液晶、220 外路、221 集積回路チップ、222 有機シール材、224 切断片、310 無機基板、312 封止空間、314 流路、315a 分割封止空間、315b 分割封止空間、316 パーティション部、320 集積回路チップ、322 有機シール材、322 切断片、324 部分、326 溝、L 切断ライン、L 切断ライン、L 第1切断ライン、L 第2切断ライン、L 第3切断ライン。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Inorganic board | substrate, 12 Organic sealing material, 12a Organic sealing material, 12b Organic sealing material, 12c Organic sealing material, 14 Intervening sealing material, 16 Cover sealing material, 18 Opening, 20 Sealing space, 22 Inner sealing material, 24 Outer sealing Material 26 first part 28 second part 30 organic film 30a organic film 30b organic film 32 adhesive part 34 inorganic film 36 product sealant 38 liquid crystal 40 gate electrode 42 gate insulating film 44 Semiconductor layer, 46 source electrode, 47 organic insulating film, 48 drain electrode, 50 protective insulating layer, 52 pixel electrode, 54 common electrode, 55 interlayer insulating film, 56 channel, 58 etching solution, 60 groove, 62 slit, 64 products Seal material, 66 opening, 68 liquid crystal, 70 organic seal material, 72 organic seal material, 74 organic seal material, 76 flow path, 78 inner seal material, 0 outer sealing material, 82 flow path, 84 opening, 86 main path, 88 branching path, 90 opening, 92 sealing space, 94 inner sealing material, 96 cover sealing material, 98 opening, 100 organic sealing material, 102 full adhesion part , 104 Organic film, 106 Adhesive part, 108 Sealing space, 110 Semi-adhesion part, 112 Flow path, 114 Groove, 116 Organic sealant, 118 First organic film, 118a First organic film, 118b First organic film, 118c 1st organic film, 120 2nd organic film, 122 flow path, 123 groove, 124 inorganic substrate, 125 adhesion part, 126 inorganic substrate, 128 organic sealing material, 129 groove, 130 1st organic film, 132 2nd organic film, 134 flow path, 136 sealed space, 210 inorganic substrate, 212 sealed space, 214 flow path, 215a divided sealed space, 215b divided sealed space, 216 inner path, 217 par Portion, 218 opening, 219 liquid crystal, 220 outer path, 221 integrated circuit chip, 222 organic sealant, 224 cut piece, 310 inorganic substrate, 312 sealing space, 314 flow path, 315a divided sealing space, 315b divided sealing Space, 316 partition part, 320 integrated circuit chip, 322 organic sealant, 322 cut piece, 324 part, 326 groove, L cutting line, L X cutting line, L 1 first cutting line, L 2 second cutting line, L 3 Third cutting line.

Claims (42)

相互に対向する一対の無機基板を有し、有機シール材によって前記一対の無機基板の間に封止空間が形成された中間製品を用意する工程と、
前記封止空間の外側で前記一対の無機基板を切断する工程と、
を含み、
前記一対の無機基板の対向面の少なくとも一方には、前記封止空間内に、画像表示のための回路が形成され、
前記中間製品は、前記封止空間の外側に、前記一対の無機基板の少なくとも一方の面及び前記有機シール材で区画された流路を有し、
前記一対の無機基板を切断する工程は、前記流路に無機材料に対するエッチング液を侵入させ、前記流路に沿って前記一対の無機基板の前記少なくとも一方の面をエッチングして溝を形成することを含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
Preparing an intermediate product having a pair of inorganic substrates facing each other and having a sealing space formed between the pair of inorganic substrates by an organic sealing material;
Cutting the pair of inorganic substrates outside the sealing space;
Including
On at least one of the opposing surfaces of the pair of inorganic substrates, a circuit for image display is formed in the sealed space,
The intermediate product has a flow path partitioned by at least one surface of the pair of inorganic substrates and the organic sealing material outside the sealed space,
In the step of cutting the pair of inorganic substrates, an etchant for an inorganic material is intruded into the flow path, and the groove is formed by etching the at least one surface of the pair of inorganic substrates along the flow path. A method for manufacturing a display device, comprising:
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
前記溝の形成は、前記エッチング液に前記中間製品を浸漬して行い、
前記エッチング液によって、前記一対の無機基板の相互に反対側を向く面をそれぞれエッチングして、前記一対の無機基板を薄くすることを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
The groove is formed by immersing the intermediate product in the etching solution,
A method of manufacturing a display device, comprising: etching the surfaces of the pair of inorganic substrates facing away from each other with the etchant to thin the pair of inorganic substrates.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
前記有機シール材によって、複数の前記封止空間が形成されることを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
A method for manufacturing a display device, wherein a plurality of the sealing spaces are formed by the organic sealing material.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
前記有機シール材は、前記一対の無機基板の間に設けられることを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
The method for manufacturing a display device, wherein the organic sealing material is provided between the pair of inorganic substrates.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
前記有機シール材は、前記一対の無機基板の間に設けられる介在シール材と、前記一対の無機基板の端面に設けられるカバーシール材と、を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
The organic sealing material includes an intervening sealing material provided between the pair of inorganic substrates, and a cover sealing material provided on end surfaces of the pair of inorganic substrates.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
前記有機シール材は、前記封止空間に隣接する内側シール材と、前記内側シール材が囲む前記封止空間の外側に前記内側シール材から間隔をあけて分離された外側シール材と、を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
The organic sealing material includes an inner sealing material adjacent to the sealing space, and an outer sealing material separated from the inner sealing material at an interval outside the sealing space surrounded by the inner sealing material. A manufacturing method of a display device characterized by the above.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
前記有機シール材は、前記一対の無機基板の両方に密着するように相互に間隔をあけて配置された一対の全密着部と、前記一対の全密着部の間に配置されて前記一対の無機基板の一方との接触を避けて他方に密着する半密着部と、を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
The organic sealing material is disposed between the pair of all contact portions and the pair of all contact portions disposed so as to be in close contact with both of the pair of inorganic substrates, and the pair of inorganic contact portions. A method for manufacturing a display device, comprising: a semi-contact portion that avoids contact with one side of a substrate and is in close contact with the other.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
前記有機シール材は、前記一対の無機基板の間で前記封止空間の内側から外側に至るように形成された少なくとも1層の有機膜の一部を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
The organic sealing material includes a part of at least one organic film formed between the pair of inorganic substrates so as to extend from the inside to the outside of the sealed space. .
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
前記有機シール材は、前記一対の無機基板の間で前記封止空間の内側から外側に至るように形成された少なくとも1層の有機膜の一部と、前記少なくとも1層の有機膜の前記一部に積層されて前記一対の無機基板を接着する接着部と、を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
The organic sealant includes a part of at least one organic film formed between the pair of inorganic substrates from the inside to the outside of the sealed space, and the one of the at least one organic film. And a bonding part that bonds the pair of inorganic substrates to each other.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
前記有機シール材は、一方の前記無機基板に積層された少なくとも1層の第1有機膜の一部と、他方の前記無機基板に積層された少なくとも1層の第2有機膜の一部と、を含み、
前記少なくとも1層の第1有機膜の前記一部と前記少なくとも1層の第2有機膜の前記一部とが接合されていることを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
The organic sealing material includes a part of at least one first organic film laminated on one inorganic substrate, a part of at least one second organic film laminated on the other inorganic substrate, Including
The method for manufacturing a display device, wherein the part of the at least one first organic film and the part of the at least one second organic film are joined.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
前記有機シール材は、一方の前記無機基板に積層された少なくとも1層の第1有機膜の一部と、他方の前記無機基板に積層された少なくとも1層の第2有機膜の一部と、接着部と、を含み、
前記少なくとも1層の第1有機膜の前記一部と前記少なくとも1層の第2有機膜の前記一部とが、前記接着部を介して接合されていることを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
The organic sealing material includes a part of at least one first organic film laminated on one inorganic substrate, a part of at least one second organic film laminated on the other inorganic substrate, An adhesive portion, and
The method for manufacturing a display device, wherein the part of the at least one first organic film and the part of the at least one second organic film are bonded to each other through the adhesive portion. .
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
前記一対の無機基板を切断する工程で、前記溝が形成された前記面とは反対の面を、前記溝に沿ってスクライビングすることを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
A method of manufacturing a display device, wherein, in the step of cutting the pair of inorganic substrates, a surface opposite to the surface on which the groove is formed is scribed along the groove.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
前記エッチングによって、前記溝を進行させて前記一対の無機基板の前記少なくとも一方を貫通させてスリットを形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
A method of manufacturing a display device, wherein the slit is formed by advancing the groove through the at least one of the pair of inorganic substrates by the etching.
請求項13に記載された表示装置の製造方法において、
前記封止空間を囲むように前記スリットを形成して、前記一対の無機基板の前記少なくとも一方を切断することを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 13,
A manufacturing method of a display device, wherein the slit is formed so as to surround the sealing space, and the at least one of the pair of inorganic substrates is cut.
請求項14に記載された表示装置の製造方法において、
前記エッチングによって、前記一対の無機基板の両方を切断することを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 14,
A method for manufacturing a display device, wherein both of the pair of inorganic substrates are cut by the etching.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
前記一対の無機基板の間で、前記封止空間内に、製品にされる空間を囲む製品シール材が設けられ、
前記回路は、前記製品にされる前記空間に配置されていることを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
Between the pair of inorganic substrates, in the sealing space, a product sealing material surrounding a space to be a product is provided,
The method for manufacturing a display device, wherein the circuit is arranged in the space for the product.
請求項16に記載された表示装置の製造方法において、
前記製品にされる前記空間には、前記製品シール材によって液晶が封止されていることを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 16,
A liquid crystal is sealed with the product sealing material in the space formed as the product.
請求項16に記載された表示装置の製造方法において、
前記製品シール材は、前記製品にされる前記空間に液晶を注入するための開口が形成されていることを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 16,
The method for manufacturing a display device, wherein the product sealing material has an opening for injecting liquid crystal into the space formed as the product.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
前記封止空間に液晶が封入されていることを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
A method for manufacturing a display device, wherein liquid crystal is sealed in the sealing space.
請求項1に記載された表示装置の製造方法において、
前記有機シール材は、前記封止空間を複数の分割封止空間に区画するパーティション部を有するように形成されていることを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 1,
The method for manufacturing a display device, wherein the organic sealing material is formed to have a partition portion that partitions the sealing space into a plurality of divided sealing spaces.
請求項20に記載された表示装置の製造方法において、
前記有機シール材は、前記流路が前記パーティション部を避けるように形成されることを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 20,
The method for manufacturing a display device, wherein the organic sealing material is formed so that the flow path avoids the partition portion.
請求項20に記載された表示装置の製造方法において、
前記有機シール材は、前記流路が前記パーティション部を通るように形成されることを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 20,
The organic sealing material is formed so that the flow path passes through the partition part.
請求項22に記載された表示装置の製造方法において、
前記パーティション部では、前記流路が、前記一対の無機基板の一方のみの前記面及び前記有機シール材で区画されるように形成され、
前記封止領域の全体を囲む部分では、前記流路が、前記一対の無機基板の両方の前記面及び前記有機シール材で区画されることを特徴とする表示装置の製造方法。
In the manufacturing method of the display device according to claim 22,
In the partition part, the flow path is formed so as to be partitioned by only the one surface of the pair of inorganic substrates and the organic sealing material,
The method for manufacturing a display device, wherein the flow path is partitioned by both the surfaces of the pair of inorganic substrates and the organic sealing material in a portion surrounding the entire sealing region.
相互に対向する一対の無機基板と、
前記一対の無機基板の間に封止空間を形成する有機シール材と、
を有し、
前記一対の無機基板の対向面の少なくとも一方には、前記封止空間内に、画像表示のための回路が形成され、
前記封止空間の外側に、前記一対の無機基板の少なくとも一方の面及び前記有機シール材で区画された流路を有することを特徴とする表示装置製造用の中間製品。
A pair of inorganic substrates facing each other;
An organic sealing material that forms a sealed space between the pair of inorganic substrates;
Have
On at least one of the opposing surfaces of the pair of inorganic substrates, a circuit for image display is formed in the sealed space,
An intermediate product for manufacturing a display device, comprising a flow path partitioned by at least one surface of the pair of inorganic substrates and the organic sealing material outside the sealing space.
請求項24に記載された表示装置製造用の中間製品において、
前記有機シール材によって、複数の前記封止空間が形成されることを特徴とする表示装置製造用の中間製品。
An intermediate product for manufacturing a display device according to claim 24,
An intermediate product for manufacturing a display device, wherein a plurality of the sealing spaces are formed by the organic sealing material.
請求項24に記載された表示装置製造用の中間製品において、
前記有機シール材は、前記一対の無機基板の間に設けられることを特徴とする表示装置製造用の中間製品。
An intermediate product for manufacturing a display device according to claim 24,
The organic sealing material is an intermediate product for manufacturing a display device, which is provided between the pair of inorganic substrates.
請求項24に記載された表示装置製造用の中間製品において、
前記有機シール材は、前記一対の無機基板の間に設けられる介在シール材と、前記一対の無機基板の端面に設けられるカバーシール材と、を含むことを特徴とする表示装置製造用の中間製品。
An intermediate product for manufacturing a display device according to claim 24,
The organic sealing material includes an intermediate sealing material provided between the pair of inorganic substrates, and a cover sealing material provided on an end surface of the pair of inorganic substrates. .
請求項24に記載された表示装置製造用の中間製品において、
前記有機シール材は、前記封止空間に隣接する内側シール材と、前記内側シール材が囲む前記封止空間の外側に前記内側シール材から間隔をあけて分離された外側シール材と、を含むことを特徴とする表示装置製造用の中間製品。
An intermediate product for manufacturing a display device according to claim 24,
The organic sealing material includes an inner sealing material adjacent to the sealing space, and an outer sealing material separated from the inner sealing material at an interval outside the sealing space surrounded by the inner sealing material. An intermediate product for manufacturing display devices.
請求項24に記載された表示装置製造用の中間製品において、
前記有機シール材は、前記一対の無機基板の両方に密着するように相互に間隔をあけて配置された一対の全密着部と、前記一対の全密着部の間に配置されて前記一対の無機基板の一方との接触を避けて他方に密着する半密着部と、を含むことを特徴とする表示装置製造用の中間製品。
An intermediate product for manufacturing a display device according to claim 24,
The organic sealing material is disposed between the pair of all contact portions and the pair of all contact portions disposed so as to be in close contact with both of the pair of inorganic substrates, and the pair of inorganic contact portions. An intermediate product for manufacturing a display device, comprising: a semi-contact portion that avoids contact with one of the substrates and adheres to the other.
請求項24に記載された表示装置製造用の中間製品において、
前記有機シール材は、前記一対の無機基板の間で前記封止空間の内側から外側に至るように形成された少なくとも1層の有機膜の一部を含むことを特徴とする表示装置製造用の中間製品。
An intermediate product for manufacturing a display device according to claim 24,
The organic sealing material includes a part of at least one organic film formed between the pair of inorganic substrates so as to extend from the inside to the outside of the sealing space. Intermediate product.
請求項24に記載された表示装置製造用の中間製品において、
前記有機シール材は、前記一対の無機基板の間で前記封止空間の内側から外側に至るように形成された少なくとも1層の有機膜の一部と、前記少なくとも1層の有機膜の前記一部に積層されて前記一対の無機基板を接着する接着部と、を含むことを特徴とする表示装置製造用の中間製品。
An intermediate product for manufacturing a display device according to claim 24,
The organic sealant includes a part of at least one organic film formed between the pair of inorganic substrates from the inside to the outside of the sealed space, and the one of the at least one organic film. An intermediate product for manufacturing a display device, comprising: an adhesive portion that is laminated on a portion and adheres the pair of inorganic substrates.
請求項24に記載された表示装置製造用の中間製品において、
前記有機シール材は、一方の前記無機基板に積層された少なくとも1層の第1有機膜の一部と、他方の前記無機基板に積層された少なくとも1層の第2有機膜の一部と、を含み、
前記少なくとも1層の第1有機膜の前記一部と前記少なくとも1層の第2有機膜の前記一部とが接合されていることを特徴とする表示装置製造用の中間製品。
An intermediate product for manufacturing a display device according to claim 24,
The organic sealing material includes a part of at least one first organic film laminated on one inorganic substrate, a part of at least one second organic film laminated on the other inorganic substrate, Including
An intermediate product for manufacturing a display device, wherein the part of the at least one first organic film is joined to the part of the at least one second organic film.
請求項24に記載された表示装置製造用の中間製品において、
前記有機シール材は、一方の前記無機基板に積層された少なくとも1層の第1有機膜の一部と、他方の前記無機基板に積層された少なくとも1層の第2有機膜の一部と、接着部と、を含み、
前記少なくとも1層の第1有機膜の前記一部と前記少なくとも1層の第2有機膜の前記一部とが、前記接着部を介して接合されていることを特徴とする表示装置製造用の中間製品。
An intermediate product for manufacturing a display device according to claim 24,
The organic sealing material includes a part of at least one first organic film laminated on one inorganic substrate, a part of at least one second organic film laminated on the other inorganic substrate, An adhesive portion, and
For manufacturing a display device, the part of the at least one first organic film and the part of the at least one second organic film are bonded to each other through the adhesive portion. Intermediate product.
請求項24に記載された表示装置製造用の中間製品において、
前記一対の無機基板の間で、前記封止空間内に、製品にされる空間を囲む製品シール材が設けられ、
前記回路は、前記製品にされる前記空間に配置されていることを特徴とする表示装置製造用の中間製品。
An intermediate product for manufacturing a display device according to claim 24,
Between the pair of inorganic substrates, in the sealing space, a product sealing material surrounding a space to be a product is provided,
The said circuit is arrange | positioned in the said space made into the said product, The intermediate product for display apparatus manufacture characterized by the above-mentioned.
請求項34に記載された表示装置製造用の中間製品において、
前記製品にされる前記空間には、前記製品シール材によって液晶が封止されていることを特徴とする表示装置製造用の中間製品。
An intermediate product for manufacturing a display device according to claim 34,
An intermediate product for manufacturing a display device, characterized in that liquid crystal is sealed with the product sealing material in the space formed as the product.
請求項34に記載された表示装置製造用の中間製品において、
前記製品シール材は、前記製品にされる前記空間に液晶を注入するための開口が形成されていることを特徴とする表示装置製造用の中間製品。
An intermediate product for manufacturing a display device according to claim 34,
An intermediate product for manufacturing a display device, wherein the product sealing material has an opening for injecting liquid crystal into the space formed as the product.
請求項24に記載された表示装置製造用の中間製品において、
前記封止空間に液晶が封入されていることを特徴とする表示装置製造用の中間製品。
An intermediate product for manufacturing a display device according to claim 24,
An intermediate product for manufacturing a display device, wherein liquid crystal is sealed in the sealing space.
請求項24に記載された表示装置製造用の中間製品において、
前記有機シール材は、前記封止空間を複数の分割封止空間に区画するパーティション部を有するように形成されていることを特徴とする表示装置製造用の中間製品。
An intermediate product for manufacturing a display device according to claim 24,
The said organic sealing material is formed so that it may have a partition part which divides the said sealing space into several division | segmentation sealing space, The intermediate product for display apparatus manufacture characterized by the above-mentioned.
請求項38に記載された表示装置製造用の中間製品において、
前記有機シール材は、前記流路が前記パーティション部を避けるように形成されることを特徴とする表示装置製造用の中間製品。
An intermediate product for manufacturing a display device according to claim 38,
The organic sealing material is an intermediate product for manufacturing a display device, wherein the flow path is formed so as to avoid the partition portion.
請求項38に記載された表示装置製造用の中間製品において、
前記有機シール材は、前記流路が前記パーティション部を通るように形成されることを特徴とする表示装置製造用の中間製品。
An intermediate product for manufacturing a display device according to claim 38,
The said organic sealing material is formed so that the said flow path may pass through the said partition part, The intermediate product for display apparatus manufacture characterized by the above-mentioned.
請求項40に記載された表示装置製造用の中間製品において、
前記パーティション部では、前記流路が、前記一対の無機基板の一方のみの前記面及び前記有機シール材で区画されるように形成され、
前記封止領域の全体を囲む部分では、前記流路が、前記一対の無機基板の両方の前記面及び前記有機シール材で区画されることを特徴とする表示装置製造用の中間製品。
The intermediate product for manufacturing a display device according to claim 40,
In the partition part, the flow path is formed so as to be partitioned by only the one surface of the pair of inorganic substrates and the organic sealing material,
An intermediate product for manufacturing a display device, wherein the flow path is partitioned by both the surfaces of the pair of inorganic substrates and the organic sealing material in a portion surrounding the entire sealing region.
請求項24から41のいずれか1項に記載された表示装置製造用の中間製品において、
前記一対の無機基板は、厚みが異なることを特徴とする表示装置製造用の中間製品。
In the intermediate product for manufacturing a display device according to any one of claims 24 to 41,
The intermediate product for manufacturing a display device, wherein the pair of inorganic substrates have different thicknesses.
JP2011083878A 2011-04-05 2011-04-05 Manufacturing method of display device Active JP5872182B2 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011083878A JP5872182B2 (en) 2011-04-05 2011-04-05 Manufacturing method of display device
US13/430,753 US8848154B2 (en) 2011-04-05 2012-03-27 Method of manufacturing a display device and intermediate product used therefore
CN201210101596.5A CN102736297B (en) 2011-04-05 2012-04-01 Method of manufacturing a display device and intermediate product used therefore

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011083878A JP5872182B2 (en) 2011-04-05 2011-04-05 Manufacturing method of display device

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2012220578A true JP2012220578A (en) 2012-11-12
JP2012220578A5 JP2012220578A5 (en) 2014-05-22
JP5872182B2 JP5872182B2 (en) 2016-03-01

Family

ID=46965864

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011083878A Active JP5872182B2 (en) 2011-04-05 2011-04-05 Manufacturing method of display device

Country Status (3)

Country Link
US (1) US8848154B2 (en)
JP (1) JP5872182B2 (en)
CN (1) CN102736297B (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020071968A (en) * 2018-10-30 2020-05-07 三星ダイヤモンド工業株式会社 Flexible organic el display manufacturing method
KR20200075402A (en) * 2018-12-18 2020-06-26 엘지디스플레이 주식회사 Liquid Crystal Display Device

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105022196A (en) * 2014-04-30 2015-11-04 瀚宇彩晶股份有限公司 Display panel structure
US20150316799A1 (en) * 2014-04-30 2015-11-05 Hannstar Display Corporation Display panel structure and manufacturing method thereof
CN106526958A (en) * 2017-01-20 2017-03-22 深圳市华星光电技术有限公司 Display panel and liquid crystal display equipment

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011017890A (en) * 2009-07-09 2011-01-27 Seiko Epson Corp Method of manufacturing electronic equipment

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001013510A (en) * 1999-07-02 2001-01-19 Citizen Watch Co Ltd Manufacture of plastic liquid crystal element
JP2001021904A (en) * 1999-07-08 2001-01-26 Citizen Watch Co Ltd Production of plastic liquid crystal device
KR100809938B1 (en) * 2001-12-06 2008-03-06 엘지.필립스 엘시디 주식회사 manufacturing method of a liquid crystal display device
JP2006201276A (en) * 2005-01-18 2006-08-03 Sharp Corp Manufacturing method of liquid crystal display panel
TW200845339A (en) * 2007-05-07 2008-11-16 Sanyo Electric Co Semiconductor device and manufacturing method thereof
KR101362035B1 (en) * 2007-05-09 2014-02-11 엘지디스플레이 주식회사 method for manufacturing flexible display substrate
JP2009073711A (en) 2007-09-25 2009-04-09 Hitachi Displays Ltd Chemical polishing fluid for glass substrate and manufacturing method of liquid crystal display device using the same
JP5408642B2 (en) * 2008-02-14 2014-02-05 株式会社ジャパンディスプレイ Display device
KR101668116B1 (en) * 2009-04-03 2016-10-20 가부시키가이샤 엔에스씨 Glass substrate for an electronic device and method for manufacturing an electronic device

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011017890A (en) * 2009-07-09 2011-01-27 Seiko Epson Corp Method of manufacturing electronic equipment

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020071968A (en) * 2018-10-30 2020-05-07 三星ダイヤモンド工業株式会社 Flexible organic el display manufacturing method
KR20200049473A (en) * 2018-10-30 2020-05-08 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) Method of manufacturing flexible organic electro luminescence dispaly
KR102212175B1 (en) * 2018-10-30 2021-02-04 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) Method of manufacturing flexible organic electro luminescence dispaly
KR20200075402A (en) * 2018-12-18 2020-06-26 엘지디스플레이 주식회사 Liquid Crystal Display Device
KR102630961B1 (en) 2018-12-18 2024-01-29 엘지디스플레이 주식회사 Liquid Crystal Display Device

Also Published As

Publication number Publication date
CN102736297B (en) 2015-03-18
JP5872182B2 (en) 2016-03-01
US20120257157A1 (en) 2012-10-11
US8848154B2 (en) 2014-09-30
CN102736297A (en) 2012-10-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5872182B2 (en) Manufacturing method of display device
JP4731631B2 (en) Display panel
JP2014206596A (en) Liquid crystal display and manufacturing method thereof
TW201707196A (en) Display device and manufacturing method thereof wherein the glass substrate can be easily cut even if a resin substrate lamination is present
CN110596939B (en) Display panel and display module
JP2009116214A (en) Liquid crystal panel and its manufacturing method
JP2014197093A (en) Liquid crystal display device
JP6560556B2 (en) Display device
JP4997434B2 (en) Manufacturing method of liquid crystal display device
CN110289290B (en) Display mother board, preparation method thereof and electroluminescent display panel
WO2010097855A1 (en) Method for manufacturing display panel
US9128330B2 (en) Liquid crystal display device and method of manufacturing the same
US9740052B2 (en) Display device and method of manufacturing the same
KR20170077656A (en) Flexible Display Device and Method for Manufacturing the Same
JP2009103733A (en) Method of manufacturing liquid crystal display panel
TW200530659A (en) Photoelectric device and its manufacture, substrate cutting method and substrates for photoelectric devices
US20120086900A1 (en) Common electrode panel and method for manufacturing the same
JP5549065B2 (en) Liquid crystal panel and manufacturing method thereof
CN105954942A (en) Array substrate, manufacturing method thereof, liquid crystal display panel and display device
JPH10301072A (en) Manufacture of liquid crystal display device
JP2010282111A (en) Liquid crystal display
JP2001083490A (en) Manufacture of liquid crystal device
JP2019124733A (en) Liquid crystal display device
JP2015135425A (en) Manufacturing method of planar display device
JP2009204647A (en) Method of manufacturing electrooptic device

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140404

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140404

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20150212

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150303

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150507

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150602

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150716

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160105

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160113

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5872182

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250