JP2012210053A5 - - Google Patents
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- 第1の辺、第2の辺、前記第1の辺および前記第2の辺と交わる第3の辺および第4の辺、を有する矩形の振動板と、を備え、
前記振動板は、前記第1の辺から突出し、かつ、被駆動部材と当接する第1の突出部と、前記第2の辺から突出する第2の突出部と、を有し、
前記第1の突出部と前記被駆動部材との当接点は、前記第1の辺の中点と前記第2の辺の中点とを通る第1の仮想線と、前記第3の辺を通る第2の仮想線との間に位置し、
前記第2の突出部は、前記第1の突出部が配置された位置に対して、前記振動板における略対角位置に配置されていることを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 請求項1に記載の圧電アクチュエーターであって、
前記第3の辺および前記第4の辺は、前記第1の辺および前記第2の辺よりも長いことを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 請求項1または2に記載の圧電アクチュエーターであって、
前記被駆動部材は、回動可能なローターであることを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 請求項3に記載の圧電アクチュエーターであって、
前記ローターの回転軸の中心と前記当接点とを通る第3の仮想線は、前記第1の仮想線と略平行であることを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧電アクチュエーターであって、
圧電素子と、を備え、
前記圧電素子は単板であることを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の圧電アクチュエーターであって、
前記第1の突出部の前記第1の仮想線方向の長さは、前記第2の突出部の前記第1の仮想線方向の長さよりも短いことを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の圧電アクチュエーターであって、
前記第1の辺の長さと前記第2の辺の長さは略等しく、
前記第3の辺の長さと前記第4の辺の長さは略等しく、
前記第3の辺の長さと、前記第1の辺の長さとの比は略7対2であることを特徴とする圧電アクチュエーター。 - 請求項1〜7のいずれか1項に記載の圧電アクチュエーターを備えたことを特徴とするロボットハンド。
- 請求項8に記載のロボットハンドを備えたことを特徴とするロボット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011073560A JP2012210053A (ja) | 2011-03-29 | 2011-03-29 | 圧電アクチュエーター、ロボット及びロボットハンド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011073560A JP2012210053A (ja) | 2011-03-29 | 2011-03-29 | 圧電アクチュエーター、ロボット及びロボットハンド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2012210053A JP2012210053A (ja) | 2012-10-25 |
JP2012210053A5 true JP2012210053A5 (ja) | 2014-04-03 |
Family
ID=47189360
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011073560A Withdrawn JP2012210053A (ja) | 2011-03-29 | 2011-03-29 | 圧電アクチュエーター、ロボット及びロボットハンド |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2012210053A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP5978907B2 (ja) * | 2012-10-12 | 2016-08-24 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置、搬送装置 |
KR102177156B1 (ko) | 2014-03-10 | 2020-11-10 | 삼성전자주식회사 | 로봇 및 그를 구비한 기판 처리 장치 |
JP6269222B2 (ja) * | 2014-03-20 | 2018-01-31 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電モーター |
JP7314713B2 (ja) | 2019-08-21 | 2023-07-26 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置およびロボット |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001286167A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-12 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータの調整方法および圧電アクチュエータ |
JP2005237102A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータ、時計及び電子機器 |
JP4218666B2 (ja) * | 2005-07-21 | 2009-02-04 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエータ、および電子機器 |
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2011
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