JP2012203267A - 低反射構造を成型するための原版並びにその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン基板を用いて原版を製造する際、エッチングによって微細な順テーパー構造を形成した後、基板全体を熱酸化することによって、その微細構造を膨張させ、これによって、構造先端面或いは底面側の隙間に存在する平坦面の割合を可能な限り減少させる。
【選択図】 図5
Description
Claims (6)
- 表面に微細構造を形成することによって、その表面での光の反射率を著しく低減させる低反射構造を成型するための原版ならびにその製造方法であって、
シリコン基板表面にエッチングによって微細構造を形成する第一の工程と、
第一の工程で形成されたシリコン微細構造を熱酸化することで、微細構造表面の形状と体積を変化させる第二の工程と、
を有することを特徴とする原版の製造方法。 - 表面に微細構造を形成することによって、その表面での光の反射率を著しく低減させる低反射構造を成型するための原版ならびにその製造方法であって、
シリコン基板表面にエッチングによって微細構造を形成する第一の工程と、
第一の工程で形成されたシリコン微細構造を熱酸化することで、微細構造表面の形状と体積を変化させる第二の工程と、
第二の工程で形成された微細構造表面の熱酸化膜を除去する第三の工程と、
を有することを特徴とする原版の製造方法。 - 請求項1または2に記載の原版の製造方法であって、第一の工程で形成されるシリコン微細構造の側壁形状を順テーパーとすることで、表面における屈折率変化を連続的にすることを特徴とする製造方法。
- 請求項1乃至3に記載の原版の製造方法であって、第一の工程で形成されるシリコン微細構造の先端部の平坦面の幅を、第二の工程の熱酸化膜の厚さの2倍以下とすることで、最終的な原版の先端部の平坦部を無くし、より光の反射率を低減することを特徴とする原版の製造方法。
- 請求項1乃至3に記載の原版の製造方法であって、第一の工程で形成される個々のシリコン微細構造の間の隙間の平坦面の幅を、第二の工程の熱酸化膜の厚さの2倍以下とすることで、最終的な原版の隙間の平坦部を無くし、より光の反射率を低減することを特徴とする原版の製造方法。
- 請求項1乃至5に記載の原版の製造方法によって製造された原版。
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