JP2012202840A - 密着性試験装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】密着性試験装置において、構造が小さく、かつバネ定数の非常に小さい弾性アームの変位量を制御することにより、軟らかい薄膜の微小領域で密着性の測定を可能にする。
【選択図】図1
Description
の駆動源により駆動され所定の垂直荷重印加信号に基づいて、垂直方向(Z方向)に移動可能な垂直荷重印加用スライダーと、試料に作用する少なくともX方向およびZ方向荷重を検出する検出器と、この荷重検出器の試料側に取り付けた加圧針と、荷重検出器と垂直荷重印加用スライダーとの間に設けられ、垂直方向荷重を緩和するバネ系を有する垂直荷重緩和手段等で構成され、薄膜等の試料に垂直平荷重を連続的に変化させて与えることができ、1回の測定で正確に臨界荷重を検出する薄膜の密着性試験装置が知られている(特許文献1参照)。
また、近年では局所的に微小な領域の密着性の測定が求められる場合があるが、従来の密着力測定装置では、微小な領域での密着性の試験はできなかった。
本発明の密着性試験装置は、一方の先端に微小な探針を有し、探針を有する側とは反対側が片持ち状態で支持された板バネ状の弾性アームが測定試料となる薄膜に対向配置され、弾性アームの垂直方向の反り(変位)を検出する変位検出手段と、探針と薄膜間の距離を微小に位置決めするZ軸粗動手段とZ軸微動手段と、弾性アームの垂直方向の変位量を一定に制御する変位量制御手段と、薄膜の表面に沿って探針を走査する走査手段と、変位量制御手段で算出力された制御量と走査手段からの走査位置情報から薄膜表面の凹凸画像生成手段を備えていることを特徴とするものである。
このように、カンチレバー3の変位量を変化させることで薄膜8への垂直荷重を自在に制御することが可能となる。
2: 筐体
3: カンチレバー
4: 探針
5: レーザ光源
6: レーザ光
7: 変位検出器
8: 薄膜
9: 基板
10: 試料台
11: 粗動手段
12: XY走査信号生成手段
13: Z軸距離制御手段
14: 制御コンピュータ
15: 振動素子
16: 加振信号生成手段
17: RMS−DC変換手段
18: フレームメモリ
19: XY走査素子
20: Z軸移動素子
Claims (3)
- 一方の先端に微小な突起を有する板バネ状の弾性アームと、
前記突起と測定試料の距離を位置決めするZ軸粗動手段と、
前記突起と前記測定試料の距離を微小に位置決めするZ軸微動手段と、
前記弾性アームの垂直方向の変位を検出する変位検出手段と、
前記変位検出手段で検出した垂直方向の変位量を一定に制御する変位量制御手段と、
前記測定試料の表面に沿って前記突起を走査する走査手段と、
前記変位検出手段で検出した変位量を表示する手段を有することを特徴とする密着性試 験装置。 - 前記弾性アームの水平方向の変位量を検出する水平方向変位検出手段を有することを特徴とする請求項1に記載の密着性試験装置。
- 前記弾性アームを、自身の共振周波数付近の周波数で振動させる加振手段と、
前記変位量制御手段で算出される制御量と走査手段からの走査位置情報を元に
前記測定試料の表面形状の画像表示手段を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の密着性試験装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011068032A JP2012202840A (ja) | 2011-03-25 | 2011-03-25 | 密着性試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011068032A JP2012202840A (ja) | 2011-03-25 | 2011-03-25 | 密着性試験装置 |
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JP2012202840A true JP2012202840A (ja) | 2012-10-22 |
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JP (1) | JP2012202840A (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010078388A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Dainippon Printing Co Ltd | パターンの密着性評価方法 |
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- 2011-03-25 JP JP2011068032A patent/JP2012202840A/ja active Pending
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JP2010078388A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Dainippon Printing Co Ltd | パターンの密着性評価方法 |
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