JP2012199568A - Green compact, production method of green compact, reactor, converter, and power converter - Google Patents

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Kazutsugu Kusabetsu
和嗣 草別
Masato Uozumi
真人 魚住
Atsushi Sato
佐藤  淳
Koji Yamaguchi
浩司 山口
Mamoru Ono
守 尾野
Hiroyasu Murase
寛恭 村瀬
Kazuo Nakamae
一男 仲前
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a low loss green compact, a production method of green compact capable of producing that green compact, a reactor with green compact, a converter, and a power converter.SOLUTION: The method of producing a green compact by using a coated soft magnetic powder where a plurality of coated soft magnetic particles coated with an insulating film are provided on the outer periphery of a soft magnetic particle includes a material preparation step, and an irradiation step. In the material preparation step, a material molding produced by pressure molding the coated soft magnetic powder is prepared. In the irradiation step, a part of the surface of the material molding is irradiated with a laser. Division points of a conductive part where the constituent materials of a plurality of soft magnetic particles are conducting on the surface of the material molding can be increased by irradiating a part of the surface of the material molding with a laser, and loss of the green compact can be reduced.

Description

本発明は、被覆軟磁性粉末を加圧成形してなる圧粉成形体、その製造方法、その圧粉成形体を具えるリアクトル、そのリアクトルを具えるコンバータ、及びそのコンバータを具える電力変換装置に関するものである。特に、低損失な圧粉成形体、及びその製造方法に関するものである。   The present invention relates to a green compact formed by press-molding a coated soft magnetic powder, a method for producing the same, a reactor including the green compact, a converter including the reactor, and a power converter including the converter It is about. In particular, the present invention relates to a low-loss compact and a method for producing the same.

ハイブリッド自動車などは、モータへの電力供給系統に昇圧回路を備えている。この昇圧回路の一部品として、リアクトルが利用されている。リアクトルは、コアにコイルを巻回した構成である。コアを交流磁場で使用した場合、コアに鉄損と呼ばれる損失が生じる。鉄損は、概ね、ヒステリシス損と渦電流損との和で表され、特に、高周波での使用において顕著に増加する。   A hybrid vehicle or the like includes a booster circuit in a power supply system to a motor. A reactor is used as one component of this booster circuit. The reactor has a configuration in which a coil is wound around a core. When the core is used in an alternating magnetic field, a loss called iron loss occurs in the core. The iron loss is generally represented by the sum of hysteresis loss and eddy current loss, and particularly increases significantly when used at high frequencies.

リアクトルのコアにおける鉄損を低減するために、圧粉成形体でできたコアを用いることがある。圧粉成形体は、軟磁性粒子の表面に絶縁被膜を形成した被覆軟磁性粒子からなる被覆軟磁性粉末を加圧して成形され、軟磁性粒子同士が絶縁被膜により絶縁されているので、特に、渦電流損を低減する効果が高い。   In order to reduce iron loss in the core of the reactor, a core made of a green compact may be used. The compacted green body is formed by pressurizing coated soft magnetic powder composed of coated soft magnetic particles in which an insulating film is formed on the surface of soft magnetic particles, and the soft magnetic particles are insulated from each other by an insulating film. Highly effective in reducing eddy current loss.

しかし、圧粉成形体は、相対的に移動可能な柱状の第一パンチと筒状のダイとでつくられるキャビティに被覆軟磁性粉末を充填し、第一パンチと柱状の第二パンチとによりキャビティ内の被覆軟磁性粉末を加圧成形して作製されるため、この加圧成形時の圧力や、成形体の脱型時における金型との摺接により被覆軟磁性粒子の絶縁被膜が損傷する虞がある。絶縁被膜が損傷すると、軟磁性粒子が露出し展延することがあり、その結果、圧粉成形体における軟磁性粒子同士が導通して、略膜状の導通部を形成してしまい、渦電流損が増大する虞がある。   However, the green compact has a cavity formed by a relatively movable columnar first punch and a cylindrical die filled with coated soft magnetic powder, and the cavity is formed by the first punch and the columnar second punch. Since the coated soft magnetic powder is pressure molded, the insulating coating of the coated soft magnetic particles is damaged by the pressure during the pressure molding and the sliding contact with the mold when the molded product is removed. There is a fear. When the insulating coating is damaged, the soft magnetic particles may be exposed and spread, and as a result, the soft magnetic particles in the compacted body are electrically connected to each other to form a substantially film-like conductive part, resulting in an eddy current. Loss may increase.

そこで、上記渦電流損を低減するために、例えば、特許文献1には、被覆軟磁性粉末(軟磁性粉末)を加圧して成形した素材成形体の表面を、濃塩酸で表面処理することが記載されている。具体的には、素材成形体を濃塩酸に浸漬して、素材成形体の表面全面における上記導通部を除去して圧粉成形体としている。   Therefore, in order to reduce the eddy current loss, for example, Patent Document 1 discloses that the surface of a molded material formed by pressurizing coated soft magnetic powder (soft magnetic powder) is subjected to surface treatment with concentrated hydrochloric acid. Have been described. Specifically, the material molded body is immersed in concentrated hydrochloric acid, and the conductive portion on the entire surface of the material molded body is removed to form a powder molded body.

特開2006−229203号公報JP 2006-229203 A

上述のように素材成形体の表面全体を表面処理することで、一定の低損失化を図ることができる。このように、素材成形体の表面全体を表面処理してしまうと、上記導通部を除去することができるが、一方で、絶縁被膜が損傷していない被覆軟磁性粒子の絶縁被膜をも損傷させる可能性もある。その結果、損失低減効果が小さくなる虞がある。   By subjecting the entire surface of the material molded body to surface treatment as described above, a certain reduction in loss can be achieved. In this way, if the entire surface of the material molded body is surface-treated, the conductive portion can be removed, but on the other hand, the insulating coating of the coated soft magnetic particles that are not damaged by the insulating coating is also damaged. There is a possibility. As a result, the loss reduction effect may be reduced.

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的の一つは、低損失な圧粉成形体を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and one of its purposes is to provide a low-loss compact.

本発明のもう一つの目的は、低損失な圧粉成形体を効率的に製造することができる圧粉成形体の製造方法を提供することにある。   Another object of the present invention is to provide a method for producing a green compact that can efficiently produce a low-loss green compact.

本発明の他の目的は、上記本発明の製造方法により製造された圧粉成形体を提供することにある。   Another object of the present invention is to provide a green compact produced by the production method of the present invention.

本発明の別の目的は、上記圧粉成形体を具えるリアクトルを提供することにある。   Another object of the present invention is to provide a reactor comprising the above compacted body.

本発明の更に異なる目的は、上記リアクトルを具えるコンバータ、このコンバータを具える電力変換装置を提供することにある。   Still another object of the present invention is to provide a converter including the reactor and a power conversion device including the converter.

本発明者らは、上記目的を達成するために、圧粉成形体の製造方法について鋭意検討した。具体的には、表面処理を施す領域を種々選択した圧粉成形体を製造して損失低減効果が小さくなる原因を調べた。その結果、次の知見を得た。   In order to achieve the above-mentioned object, the present inventors diligently studied about a method for producing a green compact. Specifically, the cause of the reduced loss reduction effect was investigated by manufacturing a compacted body with various surface treatment areas selected. As a result, the following knowledge was obtained.

素材成形体の表面全面に表面処理すると、素材成形体の脱型時における上記ダイと摺接する箇所(摺接面)に生じた上記導通部は除去される。一方で、素材成形体の上記各パンチと接触する箇所(圧接面)にはそもそも上記導通部が形成され難く、そこに表面処理を行うと、絶縁被膜が破壊されることがある。そのため、圧接面では軟磁性粒子が露出した状態になり、鉄損の低減効果が小さくなることがある。従って、表面処理は、素材成形体の一部、さらには上記摺接面の一部、特に摺接面において磁束方向全長に亘る領域に施すとよいことが判明した。   When the surface treatment is performed on the entire surface of the material molded body, the conductive portion generated at the portion (sliding contact surface) that is in sliding contact with the die when the material molded body is demolded is removed. On the other hand, in the first place, the conductive portion is unlikely to be formed at a position (pressure contact surface) in contact with the punches of the material molded body, and when the surface treatment is performed there, the insulating coating may be destroyed. Therefore, the soft magnetic particles are exposed at the pressure contact surface, and the effect of reducing iron loss may be reduced. Accordingly, it has been found that the surface treatment may be performed on a part of the material molded body, and further on a part of the sliding contact surface, particularly on a region covering the entire length in the magnetic flux direction on the sliding contact surface.

上記知見から、低損失な圧粉成形体を効率的に製造するには、素材成形体の特定の領域に表面処理を施す以下の方法が挙げられる。   From the above knowledge, in order to efficiently produce a low-loss compacted body, the following method for subjecting a specific region of the material compact to surface treatment can be mentioned.

その圧粉成形体の製造方法とは、軟磁性粒子の外周に絶縁被膜が被覆された被覆軟磁性粒子を複数具えてなる被覆軟磁性粉末を用いて圧粉成形体を製造する方法で、素材準備工程と、表面処理工程とを具える。素材準備工程では、被覆軟磁性粉末を加圧成形した素材成形体を用意する。表面処理工程では、素材成形体の表面で複数の軟磁性粒子の構成材料同士が導通した導通部の分断箇所を増加させる。この導通部の分断箇所の増加は、電気的に遮断された箇所が増加することであり、導通部の途中が変形されて不連続箇所を形成する場合の他、導通部の少なくとも一部が除去される場合を含む。上記表面処理工程は、上記成形体の表面の一部に施される。ここでの表面処理工程には、化学的、機械的、電気的、光学的、熱的、あるいは、これらの複合的な処理により、上記導通部の分断箇所の増加が可能なあらゆる表面処理が含まれる。具体的には、機械的な処理方法として切削や研削が、熱・光学的な方法としてレーザ処理がそれぞれ挙げられる。いずれの処理方法も導通部の除去が可能と考えられる。特に、切削や研削では、導通部を機械的に分離して除去がなされると考えられる。一方、レーザ処理では、導通部の溶融・流動により、不連続箇所が増加されると考えられる。   The method for producing a green compact is a method for producing a green compact using a coated soft magnetic powder comprising a plurality of coated soft magnetic particles whose outer periphery is coated with an insulating coating. A preparation process and a surface treatment process are provided. In the material preparation step, a material molded body obtained by pressure-molding the coated soft magnetic powder is prepared. In the surface treatment step, the number of divided portions of the conducting portion where the constituent materials of the plurality of soft magnetic particles are conducted on the surface of the material molded body is increased. The increase in the part where the conductive part is divided is that the electrically interrupted part increases. In addition to the case where the middle part of the conductive part is deformed to form a discontinuous part, at least a part of the conductive part is removed. Including cases where The said surface treatment process is given to a part of surface of the said molded object. The surface treatment process here includes any surface treatment that can increase the number of breaks in the conductive part by chemical, mechanical, electrical, optical, thermal, or a combination of these treatments. It is. Specifically, cutting and grinding are mentioned as mechanical processing methods, and laser processing is mentioned as a thermal and optical method. Any of the processing methods is considered to be able to remove the conductive portion. In particular, in cutting and grinding, it is considered that the conductive portion is mechanically separated and removed. On the other hand, in the laser processing, it is considered that discontinuous portions are increased by melting and flowing of the conduction portion.

より具体的な方法として、以下の本発明の圧粉成形体の製造方法が挙げられる。   As a more specific method, the following manufacturing method of the compacting body of this invention is mentioned.

この製造方法は、軟磁性粒子の外周に絶縁被膜が被覆された被覆軟磁性粒子を複数具えてなる被覆軟磁性粉末を用いて圧粉成形体を製造する方法で、素材準備工程と、照射工程とを具える。素材準備工程では、被覆軟磁性粉末を加圧成形した素材成形体を用意する。照射工程では、上記素材成形体の表面の少なくとも一部にレーザを照射する。   This manufacturing method is a method of manufacturing a compacted body using a coated soft magnetic powder comprising a plurality of coated soft magnetic particles whose outer periphery is coated with an insulating coating, and a raw material preparation step and an irradiation step With. In the material preparation step, a material molded body obtained by pressure-molding the coated soft magnetic powder is prepared. In the irradiation step, a laser is irradiated onto at least a part of the surface of the material molded body.

本発明の製造方法によれば、素材成形体の表面の少なくとも一部にレーザを照射することで、薄膜状体の導通部に対して高いエネルギーの付与、または急激な加熱と冷却を生じさせるので、上記導通部の分断箇所が増加すると考えられる。この導通部の分断箇所の増加により、導通部の電気抵抗を増大させる、或いは導通部における導通を遮断できる。その結果、渦電流を流れ難く、或いは渦電流を遮断できるため、圧粉成形体の損失を低減できる。   According to the manufacturing method of the present invention, at least a part of the surface of the material molded body is irradiated with a laser, so that high energy is imparted to the conductive portion of the thin film body, or rapid heating and cooling are caused. It is considered that the number of parts where the conductive part is divided increases. By increasing the number of parts where the conductive portion is divided, it is possible to increase the electrical resistance of the conductive portion or to interrupt the conduction in the conductive portion. As a result, it is difficult for eddy currents to flow or the eddy currents can be interrupted, so that loss of the green compact can be reduced.

加えて、素材成形体の表面の少なくとも一部にレーザを照射することで、絶縁被膜が損傷していない被覆軟磁性粒子の絶縁被膜を損傷させる可能性が低くなり、損失低減効果が小さくなることがない。その結果、素材成形体の表面全面を表面処理した場合と同程度の低損失な圧粉成形体を製造することができる。さらに、損失低減効果が小さくなった場合の圧粉成形体よりも、低損失な圧粉成形体とすることができ、効率的に低損失な圧粉成形体を製造することができる。   In addition, by irradiating at least a part of the surface of the material molded body with a laser, the possibility of damaging the insulating coating of the coated soft magnetic particles whose insulating coating is not damaged is reduced, and the loss reduction effect is reduced. There is no. As a result, it is possible to produce a compacted product having a low loss comparable to that obtained when the entire surface of the material molded product is surface-treated. Furthermore, it can be set as a low-loss compacting body rather than the compacting body when the loss reduction effect becomes small, and a low-loss compacting body can be manufactured efficiently.

さらに、種々の製造方法により製造した圧粉成形体を調べたところ、上記本発明の製造方法により得られた圧粉成形体の表面の少なくとも一部に酸化膜が存在し、この酸化膜を具える箇所の表面部分における酸素含有量が特定の範囲である圧粉成形体は、低損失であるとの知見を得た。そこで本発明は、酸素の含有量が特定の範囲である上記表面部分を具える圧粉成形体を規定する。   Further, when the green compacts produced by various production methods were examined, an oxide film was present on at least a part of the surface of the green compact obtained by the production method of the present invention. It was found that the green compact in which the oxygen content in the surface portion of the area to be obtained is in a specific range has a low loss. Therefore, the present invention defines a green compact having the surface portion in which the oxygen content is in a specific range.

具体的には、本発明の圧粉成形体及び本発明圧粉成形体の製造方法により製造された圧粉成形体は、軟磁性粒子の外周に絶縁被膜が被覆された被覆軟磁性粒子を複数具える被覆軟磁性粉末を加圧成形してなる。圧粉成形体の表面の少なくとも一部に鉄を含有する酸化膜を具える。上記酸化膜を具える箇所の表面部分における鉄と酸素の合計含有量を100質量%とするとき、酸素の含有量が9質量%以上20質量%以下である。   Specifically, the green compact manufactured by the green compact of the present invention and the method of manufacturing the green compact of the present invention includes a plurality of coated soft magnetic particles whose outer periphery is coated with an insulating coating. The coated soft magnetic powder is compression molded. An oxide film containing iron is provided on at least a part of the surface of the green compact. When the total content of iron and oxygen in the surface portion where the oxide film is provided is 100 mass%, the oxygen content is 9 mass% or more and 20 mass% or less.

本発明の圧粉成形体は、酸素の含有量が所定範囲にある上記表面部分を具えることで、渦電流損の少ない低損失な圧粉成形体とすることができる。例えば、リアクトルに具わる磁性コアの一部として利用した場合、低損失なリアクトルとすることができる。従って、本発明圧粉成形体は、リアクトルの構成部材に好適に利用でき、コイルが高周波の交流で励磁される場合でも鉄損特性を改善できる。   The green compact of the present invention can be a low-loss compact with low eddy current loss by providing the surface portion with the oxygen content within a predetermined range. For example, when used as a part of the magnetic core included in the reactor, a low-loss reactor can be obtained. Accordingly, the green compact of the present invention can be suitably used as a constituent member of a reactor, and the iron loss characteristics can be improved even when the coil is excited by high-frequency alternating current.

本発明の製造方法の一形態として、上記照射工程は、上記素材成形体における金型との摺接面の少なくとも一部に施されることが挙げられる。   As one form of the manufacturing method of this invention, it is mentioned that the said irradiation process is given to at least one part of the sliding contact surface with the metal mold | die in the said raw material molded object.

上記の構成によれば、金型との摺接面に導通部が形成され易いので、摺接面の少なくとも一部にレーザを照射することで、効果的に渦電流を遮断できる。   According to said structure, since a conduction | electrical_connection part is easy to be formed in the sliding contact surface with a metal mold | die, an eddy current can be interrupted | blocked effectively by irradiating a laser to at least one part of a sliding contact surface.

本発明の製造方法の一形態として、上記照射工程は、上記圧粉成形体を磁心として励磁した際、磁束方向との平行面の少なくとも一部となる素材成形体の表面に施されることが挙げられる。   As one form of the manufacturing method of the present invention, the irradiation step may be performed on the surface of a material molded body that becomes at least a part of a plane parallel to the magnetic flux direction when the powder molded body is excited as a magnetic core. Can be mentioned.

上記の構成によれば、レーザを照射する箇所が、磁束方向との平行面のうち少なくとも一部であることで、磁束方向を軸とする円周方向に流れる渦電流を、上記レーザが照射された箇所で遮断することができると考えられる。そのため、渦電流損を低減することができ、低損失な圧粉成形体を製造することができる。   According to the above configuration, the laser is irradiated with the eddy current flowing in the circumferential direction with the magnetic flux direction as an axis, because the portion irradiated with the laser is at least a part of the plane parallel to the magnetic flux direction. It is thought that it can be cut off at the spot. Therefore, eddy current loss can be reduced, and a low-loss compacting body can be manufactured.

本発明の製造方法の一形態として、上記照射工程は、上記圧粉成形体を磁心として励磁した際、磁束方向との平行面の少なくとも一部で、上記平行面において、上記圧粉成形体の磁束方向全長に亘る領域となる素材成形体の表面に施されることが挙げられる。   As one form of the manufacturing method of this invention, the said irradiation process is at least one part of a parallel surface with a magnetic flux direction, when the said compacting body is excited as a magnetic core, and in the said parallel surface, the said compacting body of the said compacting body It is mentioned that it is applied to the surface of the material molded body that is a region extending over the entire length in the magnetic flux direction.

上記の構成によれば、レーザを照射する領域を、素材成形体の表面のうち、上記平行面の少なくとも一部で、その平行面において、圧粉成形体の磁束方向全長に亘る領域となる面とすることで、磁束方向を軸とする円周方向に流れる渦電流を上記全長に亘って遮断することができると考えられる。従って、渦電流損をより低減することができ、より低損失な圧粉成形体を製造することができる。   According to said structure, the area | region which irradiates a laser is a surface which becomes an area | region over the magnetic flux direction full length of a compacting body in the parallel surface among the surfaces of a raw material molding at least one part of the said parallel surface. Thus, it is considered that the eddy current flowing in the circumferential direction with the magnetic flux direction as an axis can be blocked over the entire length. Therefore, the eddy current loss can be further reduced, and a green compact with lower loss can be manufactured.

本発明の製造方法の一形態として、上記レーザが、YAGレーザ、YVOレーザ、及びファイバーレーザの中から選択される1種のレーザであることが挙げられる。 One form of the manufacturing method of the present invention is that the laser is one kind of laser selected from a YAG laser, a YVO 4 laser, and a fiber laser.

上記の構成によれば、上記レーザが上記の中から選択されるレーザであることで、上記導通部の分断箇所を増加し易くなる。   According to said structure, it becomes easy to increase the parting part of the said conduction | electrical_connection part because the said laser is a laser selected from the above.

本発明の製造方法の一形態として、上記レーザの波長が、上記軟磁性粒子の波長吸収領域であることが挙げられる。   As one form of the manufacturing method of this invention, it is mentioned that the wavelength of the said laser is a wavelength absorption area | region of the said soft-magnetic particle.

上記の構成によれば、上記導通部の分断箇所を増加し易いうえに、導通部以外の箇所の被覆軟磁性粒子の絶縁被膜が損傷し難い。   According to said structure, while the parting location of the said conduction | electrical_connection part is easy to increase, the insulating film of the covering soft magnetic particle of places other than a conduction | electrical_connection part is hard to be damaged.

本発明の製造方法の一形態として、上記レーザの平均出力をP(W)、当該レーザの照射面積をS(mm)とするとき、当該レーザのエネルギー密度U(W/mm)=P/Sが、37.0≦U≦450.0を満たすことが挙げられる。 As one form of the manufacturing method of the present invention, the average output of the laser P (W), when the irradiation area of the laser and S (mm 2), of the laser energy density U (W / mm 2) = P / S satisfies 37.0 ≦ U ≦ 450.0.

上記の構成によれば、レーザのエネルギー密度Uを37.0W/mm以上とすることで、上記導通部の分断箇所を確実に増加させることができる。レーザのエネルギー密度Uを450.0W/mm以下とすることで、過剰溶融による軟磁性粒子同士の接触を抑制でき、損失低減効果が小さくなることを抑制できる。 According to said structure, the division | segmentation location of the said conduction | electrical_connection part can be increased reliably by setting the energy density U of a laser to 37.0 W / mm < 2 > or more. By setting the energy density U of the laser to 450.0 W / mm 2 or less, the contact between the soft magnetic particles due to excessive melting can be suppressed, and the loss reduction effect can be suppressed from being reduced.

本発明の製造方法の一形態として、上記レーザのビーム径に対する照射間隔の比率が、0.35以下であることが挙げられる。   As one form of the manufacturing method of this invention, it is mentioned that the ratio of the irradiation interval with respect to the beam diameter of the said laser is 0.35 or less.

上記の構成によれば、上記比率を0.35以下とすることで、レーザが照射されない未処理領域を低減できるため、導通部を分断し易くなる。   According to said structure, since the unprocessed area | region which is not irradiated with a laser can be reduced by making the said ratio into 0.35 or less, it becomes easy to divide | segment a conduction | electrical_connection part.

本発明の製造方法の一形態として、上記レーザの重ね回数が、5回以上であることが挙げられる。   As one form of the manufacturing method of this invention, it is mentioned that the frequency | count of the said laser overlapping is 5 times or more.

上記の構成によれば、レーザを複数回同じ領域に照射することで、上記導通部を確実に分断できる。   According to said structure, the said conduction | electrical_connection part can be reliably parted by irradiating a laser to the same area | region several times.

本発明圧粉成形体の一形態として、さらに、圧粉成形体の表面に、上記酸素の含有量が6質量%未満の箇所を具えることが挙げられる。   As one form of this invention compacting body, providing the location where the content of the said oxygen is less than 6 mass% is mentioned further on the surface of a compacting body.

上記の構成によれば、圧粉成形体の表面に、酸素の含有量が6質量%未満の低酸素領域と、9質量%以上20質量%以下の高酸素領域とが混在した圧粉成形体とすることができる。このように、部分的に低酸素領域を具えていても、高酸素領域において渦電流を遮断できるので、低損失な圧粉成形体とすることができる。   According to said structure, the compacting body by which the low oxygen area | region whose oxygen content is less than 6 mass% and the high oxygen area | region of 9 mass% or more and 20 mass% or less were mixed on the surface of the compacting body. It can be. Thus, even if the low oxygen region is partially provided, the eddy current can be cut off in the high oxygen region, so that a low-loss compacted product can be obtained.

本発明圧粉成形体の一形態として、上記酸化膜は、厚さが0.1μm以上の箇所を具えることが挙げられる。   As one form of this invention compacting body, it is mentioned that the said oxide film has a location whose thickness is 0.1 micrometer or more.

上記の構成によれば、酸化膜が、厚さが0.1μm以上である厚さの厚い箇所を具えることで、例えば、リアクトルに具わる磁性コアの一部として利用した場合、その箇所で渦電流を流れ難くすることができる。   According to said structure, when it uses as a part of magnetic core with which an oxide film is provided with a thick part with a thickness which is 0.1 micrometer or more, for example, a reactor, in the part It is possible to make eddy current difficult to flow.

本発明圧粉成形体の一形態として、分断領域と、集結部とを具えることが挙げられる。分断領域は、圧粉成形体の表面の少なくとも一部において、隣接する軟磁性粒子同士を電気的に分断する箇所である。集結部は、分断領域に隣接する軟磁性粒子の表面において、隣接する粒子間に跨らず、中央側がその外周縁側よりも厚みの大きい酸化膜で構成される。   As one form of this invention compacting body, providing a parting area | region and a concentration part is mentioned. The divided region is a portion where the adjacent soft magnetic particles are electrically separated from each other in at least a part of the surface of the green compact. The concentrating portion is formed of an oxide film having a thickness on the center side larger than that on the outer peripheral edge side without straddling between adjacent particles on the surface of the soft magnetic particles adjacent to the dividing region.

上記の構成によれば、例えば、圧粉成形体をリアクトルに具わる磁性コアの一部として利用した場合、上記分断領域及び集結部により渦電流を分断できる。この分断領域によって隣接する軟磁性粒子同士が電気的に分断され、その分断領域に隣接する粒子に上記集結部を具えることで、上記粒子間の絶縁に加えて、圧粉成形体の表面をより確実に絶縁できる。   According to said structure, when using a compacting body as a part of magnetic core with which a reactor is provided, for example, an eddy current can be parted by the said division | segmentation area | region and a concentration part. Adjacent soft magnetic particles are electrically separated by this divided region, and the particles adjacent to the divided region are provided with the above-mentioned concentrating portion, whereby in addition to the insulation between the particles, the surface of the green compact is More reliable insulation.

本発明圧粉成形体の一形態として、分断領域と、凝集部とを具えることが挙げられる。分断領域は、圧粉成形体の表面の少なくとも一部において、隣接する軟磁性粒子同士を電気的に分断する。凝集部は、分断領域に隣接する軟磁性粒子の表面において、当該軟磁性粒子の外周縁側に突出し、局所的に厚みが大きい。そして、その凝集部の表面の少なくとも一部に酸化膜を有する。   As one form of this invention compacting body, providing a parting area | region and an aggregation part is mentioned. The divided region electrically divides adjacent soft magnetic particles in at least a part of the surface of the green compact. The agglomerated portion protrudes toward the outer peripheral edge of the soft magnetic particle on the surface of the soft magnetic particle adjacent to the divided region, and is locally thick. And it has an oxide film in at least one part of the surface of the aggregation part.

上記の構成によれば、例えば、圧粉成形体をリアクトルに具わる磁性コアの一部として利用した場合、上記分断領域及び凝集部で渦電流を分断できる。この分断領域により隣接する軟磁性粒子同士が電気的に分断され、さらに分断箇所の各端部が絶縁性の酸化膜で覆われていることで、上記粒子間をより確実に絶縁できる。   According to said structure, when a compacting body is utilized as a part of magnetic core with which a reactor is provided, for example, an eddy current can be parted by the said parting area | region and an aggregation part. Adjacent soft magnetic particles are electrically separated from each other by the divided region, and each end of the divided portion is covered with an insulating oxide film, so that the particles can be more reliably insulated from each other.

本発明圧粉成形体の一形態として、上記凝集部を具える場合、凝集部における酸化膜は、厚さが0.5μm以上の箇所を具えることが挙げられる。   As one form of the green compact of the present invention, when the agglomerated part is provided, the oxide film in the agglomerated part is provided with a portion having a thickness of 0.5 μm or more.

上記の構成によれば、凝集部において、厚さが0.5μm以上である厚さの厚い箇所を具えることで、例えば、圧粉成形体をリアクトルに具わる磁性コアの一部として利用した場合、その箇所で渦電流を流れ難くできる。   According to said structure, in the aggregation part, by providing the thick location where thickness is 0.5 micrometer or more, for example, the compacting body was utilized as a part of magnetic core provided in a reactor. In this case, it is difficult to flow eddy current at that point.

本発明圧粉成形体の一形態として、上記酸化膜が、FeO、α‐Fe、γ‐Fe、及びFeの少なくとも一種を含むことが挙げられる。 As one form of the invention the green compact, the oxide film is, FeO, α-Fe 2 O 3, include may include at least one of γ-Fe 2 O 3, and Fe 3 O 4.

上記の化合物を含む圧粉成形体を利用することで、後述する試験例に示すように、低損失なリアクトルが得られる。   By using the green compact including the above compound, a low-loss reactor can be obtained as shown in a test example described later.

本発明圧粉成形体の一形態として、圧粉成形体の密度dが、7.0g/cm以上であることが挙げられる。 As one form of this invention compacting body, it is mentioned that the density d of a compacting body is 7.0 g / cm < 3 > or more.

上記の構成によれば、磁束密度の高い圧粉成形体とすることができる。   According to said structure, it can be set as the compacting body with a high magnetic flux density.

本発明圧粉成形体の一形態として、上記軟磁性粒子は、純度が99質量%以上の鉄からなることが挙げられる。   As one form of this invention compacting body, it is mentioned that the said soft-magnetic particle consists of iron whose purity is 99 mass% or more.

上記の構成によれば、透磁率及び磁束密度の高い圧粉成形体とすることができる。   According to said structure, it can be set as the compacting body with a high magnetic permeability and magnetic flux density.

本発明のリアクトルは、巻線を巻回してなるコイルと、このコイルの内外に配置されて閉磁路を形成する磁性コアとを具える。磁性コアのうち少なくとも一部が圧粉成形体からなり、この圧粉成形体が上記本発明圧粉成形体である。   The reactor of the present invention includes a coil formed by winding a winding, and a magnetic core that is disposed inside and outside the coil to form a closed magnetic circuit. At least a part of the magnetic core is formed of a powder compact, and this powder compact is the powder compact of the present invention.

本発明のリアクトルによれば、損失低減効果に優れる圧粉成形体を具えることで、低損失なリアクトルとすることができる。   According to the reactor of this invention, it can be set as a low loss reactor by providing the compacting body which is excellent in the loss reduction effect.

本発明リアクトルは、コンバータの構成部品に好適に利用することができる。本発明のコンバータは、スイッチング素子と、上記スイッチング素子の動作を制御する駆動回路と、スイッチング動作を平滑にするリアクトルとを具え、上記スイッチング素子の動作により、入力電圧を変換するものであり、上記リアクトルが本発明リアクトルである。この本発明コンバータは、電力変換装置の構成部品に好適に利用することができる。本発明の電力変換装置は、入力電圧を変換するコンバータと、上記コンバータに接続されて、直流と交流とを相互に変換するインバータとを具え、このインバータで変換された電力により負荷を駆動するための電力変換装置であって、上記コンバータが本発明コンバータである。   The reactor of the present invention can be suitably used as a component part of a converter. The converter of the present invention comprises a switching element, a drive circuit that controls the operation of the switching element, and a reactor that smoothes the switching operation, and converts the input voltage by the operation of the switching element. The reactor is the reactor of the present invention. This converter of the present invention can be suitably used as a component part of a power converter. The power converter of the present invention includes a converter that converts an input voltage and an inverter that is connected to the converter and converts between direct current and alternating current, and drives a load with the power converted by the inverter. The above converter is the converter of the present invention.

上記の構成によれば、磁性コアが低損失な圧粉成形体からなる本発明リアクトルを具えることで、低損失であり、車載部品などに好適に利用することができる。   According to said structure, a magnetic core is provided with this invention reactor which consists of a compacting body with a low loss, It is a low loss and can utilize suitably for vehicle-mounted components.

本発明の圧粉成形体の製造方法は、渦電流損を低減することができ、効率的に低損失な圧粉成形体を製造することができる。   The manufacturing method of the compacting body of this invention can reduce an eddy current loss, and can manufacture the compacting body of a low loss efficiently.

本発明の圧粉成形体は、渦電流損の少ない低損失な圧粉成形体とすることができる。   The green compact of the present invention can be a low-loss compact with low eddy current loss.

本発明のリアクトルは、低損失である。   The reactor of the present invention has a low loss.

実施形態1に係る圧粉成形体を示す図であって、その圧粉成形体を具えるリアクトル用コアを示す分解斜視図である。It is a figure which shows the compacting body which concerns on Embodiment 1, Comprising: It is a disassembled perspective view which shows the core for reactors which provides the compacting body. 実施形態2に係るリアクトルを示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the reactor which concerns on Embodiment 2. FIG. ハイブリッド自動車の電源系統を模式的に示す概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram schematically showing a power supply system of a hybrid vehicle. 本発明コンバータを具える本発明電力変換装置の一例を示す概略回路図である。It is a schematic circuit diagram which shows an example of this invention power converter device which provides this invention converter. 試験例3において、各試料におけるレーザのエネルギー密度と圧粉成形体の損失との関係を示すグラフである。In Experiment 3, it is a graph which shows the relationship between the energy density of the laser in each sample, and the loss of a compacting body. 試料No.1−1におけるX線回折の結果を示すグラフである。Sample No. It is a graph which shows the result of the X-ray diffraction in 1-1. 試料No.3−6におけるX線回折の結果を示すグラフである。Sample No. It is a graph which shows the result of the X-ray diffraction in 3-6. 試料No.1−3におけるX線回折の結果を示すグラフである。Sample No. It is a graph which shows the result of the X-ray diffraction in 1-3. 試料No.1−1の圧粉成形体の製造過程において、レーザ照射前の試料の表面状態を示すSEM写真であって、(A)は表面近傍における断面を示し、(B)は表面を示す。Sample No. In the manufacturing process of the compacting body of 1-1, it is a SEM photograph which shows the surface state of the sample before laser irradiation, (A) shows the cross section in the surface vicinity, (B) shows the surface. 試料No.1−1の圧粉成形体の製造過程において、レーザ照射後の試料の表面状態を示すSEM写真であって、(A)は表面近傍における断面を示し、(B)は表面を示す。Sample No. In the manufacturing process of the compacting body of 1-1, it is a SEM photograph which shows the surface state of the sample after laser irradiation, (A) shows the cross section in the surface vicinity, (B) shows the surface. 試料No.3−5の圧粉成形体の製造過程において、レーザ照射後の試料の表面状態を示すSEM写真であって、(A)は表面近傍における断面を示し、(B)は表面を示す。Sample No. In the manufacturing process of the compacting body of 3-5, it is a SEM photograph which shows the surface state of the sample after laser irradiation, (A) shows the cross section in the surface vicinity, (B) shows the surface. 試料No.3−6の圧粉成形体の製造過程において、レーザ照射後の試料の表面状態を示すSEM写真であって、(A)は表面近傍における断面を示し、(B)は表面を示す。Sample No. In the manufacturing process of the compacting body of 3-6, it is a SEM photograph which shows the surface state of the sample after laser irradiation, Comprising: (A) shows the cross section in the surface vicinity, (B) shows the surface. 試料No.3−8の圧粉成形体の製造過程において、レーザ照射後の試料の表面状態を示すSEM写真であって、(A)は表面近傍における断面を示し、(B)は表面を示す。Sample No. In the manufacturing process of the compacting body of 3-8, it is a SEM photograph which shows the surface state of the sample after laser irradiation, (A) shows the cross section in the surface vicinity, (B) shows the surface. 試料No.3−9の圧粉成形体の製造過程において、レーザ照射後の試料の表面状態を示すSEM写真であって、表面近傍における断面を示す。Sample No. In the manufacturing process of the compacting body of 3-9, it is a SEM photograph which shows the surface state of the sample after laser irradiation, Comprising: The cross section in the surface vicinity is shown.

以下、本発明の実施形態を説明する。まず、圧粉成形体、及びその製造方法を説明し、その後、その圧粉成形体を具えるリアクトル、そのリアクトルを具えるコンバータ及び電力変換装置の順に説明する。   Embodiments of the present invention will be described below. First, a compacting body and its manufacturing method will be described, and then a reactor including the compacting body, a converter including the reactor, and a power conversion device will be described in this order.

<実施形態1>
《圧粉成形体》
本発明の圧粉成形体は、軟磁性粒子の外周に絶縁被膜が被覆された被覆軟磁性粒子を複数具える被覆軟磁性粉末を加圧成形してなり、その表面の少なくとも一部に鉄を含有する酸化膜を具える。圧粉成形体の特徴とするところは、上記酸化膜を具える箇所の表面部分に酸素が特定量含まれている点にある。以下、詳細に説明するにあたり、上記特徴を中心に説明し、軟磁性粉末の構成自体は後述する製造方法で説明する。圧粉成形体の構成要素が原料の特性・性状を実質的に維持している。
<Embodiment 1>
<Green compact>
The green compact of the present invention is formed by press-molding a coated soft magnetic powder comprising a plurality of coated soft magnetic particles having an insulating coating coated on the outer periphery of the soft magnetic particles, and iron is applied to at least a part of the surface thereof. Contains oxide film. A feature of the green compact is that a specific amount of oxygen is contained in the surface portion of the portion having the oxide film. Hereinafter, in the detailed description, the above features will be mainly described, and the configuration of the soft magnetic powder itself will be described in the manufacturing method described later. The constituent elements of the green compact substantially maintain the properties and properties of the raw material.

圧粉成形体の表面は、その少なくとも一部に鉄を含有する酸化膜を具える。圧粉成形体のうち、上記酸化膜を具える箇所の表面部分における鉄と酸素の合計含有量を100質量%とするとき、酸素の含有量が9質量%以上であることが挙げられる。そうすれば、例えば、圧粉成形体をリアクトル用コアとして用いた場合、この酸化膜の形成箇所で、渦電流を分断若しくは流れ難くできるため、渦電流損を低減でき、低損失なリアクトルを構築できる。上記表面部分とは、圧粉成形体表面から内部へ深さ1μm程度までの領域を言う。酸素の含有量は、その領域における測定値を言う。酸素の含有量の測定は、例えば、エネルギー分散型X線分光法(EDX:Energy Dispersive X−ray spectroscopy)で行うことができる。酸素の含有量の上限は、20質量%以下とする。そうすれば、十分に低損失化を図ることができる。   The surface of the green compact includes an oxide film containing iron at least in part. When the total content of iron and oxygen in the surface portion of the green compact formed with the oxide film is 100% by mass, the oxygen content is 9% by mass or more. Then, for example, when a compacted body is used as the core for the reactor, the eddy current can be divided or made difficult to flow at the location where this oxide film is formed, so the eddy current loss can be reduced and a low-loss reactor is constructed. it can. The surface portion refers to a region having a depth of about 1 μm from the surface of the green compact to the inside. The oxygen content refers to the measured value in that region. The measurement of the oxygen content can be performed, for example, by energy dispersive X-ray spectroscopy (EDX: Energy Dispersive X-ray spectroscopy). The upper limit of the oxygen content is 20% by mass or less. By doing so, it is possible to sufficiently reduce the loss.

圧粉成形体の表面は、さらに、酸素の含有量が6質量%未満の箇所を具える場合がある。即ち、圧粉成形体の表面は、酸素の含有量が6質量%未満の低酸素領域と、9質量%以上20質量%以下の高酸素領域とが存在している。レーザを照射する領域を圧粉成形体の表面の一部とすることで、両領域を形成できる。圧粉成形体の表面のうちレーザを照射していない領域が、上記低酸素領域となる。   The surface of the green compact may further include a portion where the oxygen content is less than 6% by mass. That is, the surface of the green compact has a low oxygen region with an oxygen content of less than 6% by mass and a high oxygen region with 9% by mass or more and 20% by mass or less. Both regions can be formed by making the region to be irradiated with laser part of the surface of the green compact. The area | region which is not irradiating a laser among the surfaces of a compacting body becomes the said low oxygen area | region.

酸化膜の形成メカニズムは、次のように考えられる。圧粉成形体の表面には、後述する成形工程において金型との擦れによって被覆軟磁性粒子間に跨る導通部が形成されている。導通部は、ある軟磁性粒子αの金属部分が金型との摺接により、ダイからの成形体の抜き出し方向と反対側に流れて薄膜状に延伸され、軟磁性粒子αに隣接する軟磁性粒子β上に被さるように形成される。この圧粉成形体の表面にレーザを照射することでその導通部が溶融する。溶けた導通部は、両粒子間に分断領域を形成するように各粒子側へ流動し、その結果、隣接する軟磁性粒子α、β同士の導通部による連結が分断された箇所が分断領域になる。   The formation mechanism of the oxide film is considered as follows. On the surface of the green compact, a conductive portion is formed between the coated soft magnetic particles by rubbing with the mold in a molding step described later. The conductive part is a soft magnetic particle adjacent to the soft magnetic particle α, in which a metal portion of a certain soft magnetic particle α flows in a direction opposite to the direction in which the molded body is extracted from the die by sliding contact with the mold and is stretched into a thin film shape. It is formed so as to cover the particles β. The conduction part is melted by irradiating the surface of the green compact with a laser. The melted conduction part flows to each particle side so as to form a divided region between both particles, and as a result, the portion where the connection of the adjacent soft magnetic particles α and β by the conductive part is broken is the divided region. Become.

レーザのエネルギー密度Uが低い場合、局所的に厚みの厚い凝集部を形成する。この凝集部は、溶融金属が、薄膜状の導通部と一体に繋がる軟磁性粒子αの表面に集結される前に、隣接する軟磁性粒子β側に偏って凝固したもので、軟磁性粒子αの表面において同粒子αの外周縁側に突出しており、隣接する軟磁性粒子の表面上部に被さる場合がある。凝集部は、帯状に形成されていることが多い。上記導通部の溶融により、導電性の導通部が電気的に分断され、さらに凝集部の少なくとも一部に絶縁性の酸化膜が形成される。そのため、粒子間をより確実に絶縁できる。このとき凝集部を具える軟磁性粒子の凝集部を除く表面にも酸化膜が形成される。凝集部の方が、この凝集部を具える軟磁性粒子の凝集部を除く表面よりも厚い酸化膜を具えることがある。   When the laser energy density U is low, locally thick aggregates are formed. This agglomerated part is a solidified part of the soft magnetic particles α that is concentrated on the adjacent soft magnetic particles β before the molten metal is concentrated on the surface of the soft magnetic particles α that are integrally connected to the thin-film conducting part. The surface of the particle α may protrude toward the outer peripheral edge of the particle α and may cover the upper surface of the adjacent soft magnetic particles. The aggregated portion is often formed in a band shape. By melting the conductive portion, the conductive conductive portion is electrically separated, and an insulating oxide film is formed on at least a part of the aggregated portion. Therefore, the particles can be more reliably insulated. At this time, an oxide film is also formed on the surface excluding the agglomerated part of the soft magnetic particles having the agglomerated part. The agglomerated part may have a thicker oxide film than the surface excluding the agglomerated part of the soft magnetic particles having the agglomerated part.

レーザのエネルギー密度Uが高い場合、溶融した導通部がさらに流動し、溶融金属が表面張力により表面積が小さくなろうとしてさらに各粒子の中央側へ移動する。それにより、各粒子の表面に、隣接する粒子間に跨らず、中央側がその外周縁側よりも厚みの大きい酸化膜で構成される集結部が形成される。この集結部は、溶融金属が、軟磁性粒子αの表面に集結されてから凝固したものである。集結部は、平板状で、円盤に近い形状であることが多い。即ち、導通部であった箇所は酸化膜に変化する。一方、レーザの照射により、導通部が溶融・流動しない場合、そのまま膜状の導通部の表面に酸化膜が生成される。さらに酸化が進めば、導通部全体が酸化膜となる。   When the energy density U of the laser is high, the molten conducting portion further flows, and the molten metal further moves toward the center of each particle in an attempt to reduce the surface area due to surface tension. Thereby, a concentrating portion composed of an oxide film whose center side is thicker than its outer peripheral edge side is formed on the surface of each particle without straddling between adjacent particles. This condensing part is one in which the molten metal is solidified after concentrating on the surface of the soft magnetic particle α. The concentration part is flat and often has a shape close to a disk. That is, the portion that was the conductive portion changes to an oxide film. On the other hand, when the conduction portion does not melt or flow due to laser irradiation, an oxide film is generated on the surface of the film-like conduction portion as it is. As the oxidation further proceeds, the entire conductive portion becomes an oxide film.

酸化膜は、単一の粒子表面にのみ形成される場合と、隣接する粒子間を跨ぐ場合とを含む。圧粉成形体の表面には、前者と後者の両方が形成されている場合もあり、前者か後者のいずれかしか形成されていない場合もある。前者の場合、圧粉成形体の表面において、酸化膜が点在している。レーザのエネルギー密度Uが高いほど、前者の状態になり易い。   The oxide film includes a case where the oxide film is formed only on the surface of a single particle and a case where the oxide film straddles between adjacent particles. Both the former and the latter may be formed on the surface of the green compact, or only the former or the latter may be formed. In the former case, oxide films are scattered on the surface of the green compact. The higher the energy density U of the laser, the easier it is to enter the former state.

酸化膜は、厚さが0.1μm以上の箇所を具えることが好ましい。そうすれば、その厚さの厚い箇所で、上記渦電流を分断若しくは流れ難くできる。酸化膜は、厚さが0.5μm以上、1μm以上、3μm以上、更に5μm以上、7μm以上、特に10μm以上の厚い箇所を具えることが好ましい。酸化膜の厚さは、例えば、走査型電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)による圧粉成形体の断面観察で測定することができる。   The oxide film preferably has a portion having a thickness of 0.1 μm or more. Then, the eddy current can be hardly divided or flowed at the thick portion. It is preferable that the oxide film has a thick portion having a thickness of 0.5 μm or more, 1 μm or more, 3 μm or more, 5 μm or more, 7 μm or more, and particularly 10 μm or more. The thickness of the oxide film can be measured, for example, by observing a cross-section of the green compact with a scanning electron microscope (SEM).

酸化膜の組成は、FeO、α‐Fe、γ‐Fe、及びFeの少なくとも一種を含むことが好ましい。中でも、FeO、及びFeを多く含むことが好ましい。上記の酸化膜を含む圧粉成形体をリアクトルの構成部品に利用することで、低損失なリアクトルとすることができる。酸化膜の組成は、例えば、X線回折(XRD:X−ray Diffraction)により検出できる。 The composition of the oxide film preferably includes at least one of FeO, α-Fe 2 O 3 , γ-Fe 2 O 3 , and Fe 3 O 4 . Among them, FeO, and preferably contains a large amount of Fe 3 O 4. By using the green compact including the oxide film as a component of the reactor, a low-loss reactor can be obtained. The composition of the oxide film can be detected by, for example, X-ray diffraction (XRD: X-ray Diffraction).

圧粉成形体の表面の少なくとも一部に、隣接する軟磁性粒子同士を電気的に分断する分断領域を具える。そうすれば、圧粉成形体をリアクトル用コアとして励磁した際に、圧粉成形体の表面の周方向に亘って流れる渦電流を分断領域で分断できる。分断領域に隣接する軟磁性粒子の表面の少なくとも一方に、上記集結部を具える。即ち、上記集結部は、単一の粒子表面に形成される。また、分断領域に隣接する軟磁性粒子の表面において、上記凝集部を具える場合もある。凝集部は、複数の軟磁性粒子から延伸された導通部が溶融されて一体に凝集する際に生成される場合もある。そのため、凝集部を具える粒子は複数存在することがある。凝集部は、例えば、上記酸化膜の厚さが0.5μm以上の箇所を具えることが挙げられる。圧粉成形体の表面には、上記集結部及び凝集部が点在する場合がある。   At least a part of the surface of the green compact is provided with a dividing region for electrically dividing adjacent soft magnetic particles. If it does so, when exciting a compacting body as a core for reactors, the eddy current which flows over the peripheral direction of the surface of a compacting object can be divided in a division field. The concentrating portion is provided on at least one of the surfaces of the soft magnetic particles adjacent to the divided region. That is, the concentration part is formed on a single particle surface. Moreover, the surface of the soft magnetic particle adjacent to the divided region may have the agglomerated portion. The agglomerated part may be generated when the conducting parts drawn from a plurality of soft magnetic particles are melted and aggregated together. Therefore, there may be a plurality of particles having an agglomerated part. For example, the agglomerated portion includes a portion where the thickness of the oxide film is 0.5 μm or more. In some cases, the surface of the green compact is dotted with the above-mentioned concentrated portions and aggregated portions.

[密度]
圧粉成形体の密度d(g/cm)は、高い方が好ましい。そうすれば、磁束密度の高い圧粉成形体とすることができる。具体的には、密度dが7.0g/cm以上であることが挙げられる。この密度dの上限は、7.55g/cmが挙げられる。密度dが高すぎると、軟磁性粒子同士の絶縁性が低下する虞があるためである。
[density]
The higher the density d (g / cm 3 ) of the green compact, the better. Then, it can be set as the compacting body with a high magnetic flux density. Specifically, the density d is 7.0 g / cm 3 or more. The upper limit of the density d is 7.55 g / cm 3 . This is because if the density d is too high, the insulation between the soft magnetic particles may be lowered.

《圧粉成形体の製造方法》
上述した本発明圧粉成形体は、例えば、以下の本発明の製造方法で製造することができる。本発明の圧粉成形体の製造は、被覆軟磁性粉末を用いて圧粉成形体を製造する方法で、素材準備工程と、照射工程とを具える。まず、圧粉成形体の構成材料である被覆軟磁性粉末を準備する工程から説明し、順に上記各工程について説明する。
<< Method for Producing Green Compact >>
The above-mentioned compacted body of the present invention can be produced, for example, by the following production method of the present invention. The production of the green compact of the present invention is a method of producing a green compact using a coated soft magnetic powder, and includes a material preparation step and an irradiation step. First, it demonstrates from the process of preparing the covering soft magnetic powder which is a constituent material of a compacting body, and demonstrates each said process in order.

〔素材準備工程〕
素材準備工程では、圧粉成形体を構成する被覆軟磁性粉末を用意して、その粉末を加圧成形して素材成形体を作製するか、予め同様に成形された素材成形体を購入するなどして用意する。前者の場合、原料準備工程と、その原料から素材成形体を成形する素材成形工程とを具える。原料準備工程として、圧粉成形体を構成する被覆軟磁性粉末を用意する。被覆軟磁性粉末は、軟磁性粒子の外周に絶縁被膜が被覆された被覆軟磁性粒子を複数具える。
[Material preparation process]
In the raw material preparation process, a coated soft magnetic powder constituting the green compact is prepared, and the powder is pressure-molded to produce a raw material compact, or a previously molded material compact is purchased in advance. Prepare. In the former case, a raw material preparation step and a raw material forming step of forming a raw material molded body from the raw material are provided. As the raw material preparation step, a coated soft magnetic powder constituting the green compact is prepared. The coated soft magnetic powder includes a plurality of coated soft magnetic particles in which an insulating coating is coated on the outer periphery of the soft magnetic particles.

[原料準備工程]
原料準備工程では、被覆軟磁性粉末を用意する。この工程では、後述する組成からなる軟磁性粒子を製造又は購入するなどして用意し、その軟磁性粒子の外周に後述する組成からなる絶縁被膜を被覆して被覆軟磁性粉末を製造してもよいし、予め製造された被覆軟磁性粉末を購入するなどしてもよい。前者のうち軟磁性粒子を製造する場合、以下に述べる軟磁性粒子の製法、及び絶縁被膜の被覆方法を経て被覆軟磁性粉末を製造することができる。
[Raw material preparation process]
In the raw material preparation step, a coated soft magnetic powder is prepared. In this step, soft magnetic particles having the composition described below are prepared or manufactured, and the outer periphery of the soft magnetic particles is coated with an insulating film having the composition described later to produce a coated soft magnetic powder. Alternatively, a coated soft magnetic powder manufactured in advance may be purchased. When the soft magnetic particles are manufactured among the former, the coated soft magnetic powder can be manufactured through the soft magnetic particle manufacturing method and the insulating film coating method described below.

(軟磁性粒子)
〈組成〉
軟磁性粒子は、鉄を50質量%以上含有するものが好ましく、例えば、純鉄(Fe)が挙げられる。その他、鉄合金、例えば、Fe−Si系合金、Fe−Al系合金、Fe−N系合金、Fe−Ni系合金、Fe−C系合金、Fe−B系合金、Fe−Co系合金、Fe−P系合金、Fe−Ni−Co系合金、及びFe−Al−Si系合金から選択される少なくとも1種からなるものが利用できる。特に、透磁率及び磁束密度の点から、99質量%以上、更には99.5質量%以上がFeである純鉄が好ましい。
(Soft magnetic particles)
<composition>
The soft magnetic particles preferably contain 50% by mass or more of iron, and examples thereof include pure iron (Fe). In addition, iron alloys such as Fe-Si alloys, Fe-Al alloys, Fe-N alloys, Fe-Ni alloys, Fe-C alloys, Fe-B alloys, Fe-Co alloys, Fe An alloy composed of at least one selected from a -P alloy, an Fe-Ni-Co alloy, and an Fe-Al-Si alloy can be used. In particular, from the viewpoint of magnetic permeability and magnetic flux density, 99% by mass or more, more preferably 99.5% by mass or more of pure iron is preferable.

〈粒径〉
軟磁性粒子の平均粒径は、圧粉成形体として低損失に寄与するサイズであればよい。つまり、特に限定することなく適宜選択することができるが、例えば、1μm以上150μm以下であれば好ましい。軟磁性粒子の平均粒径を1μm以上とすることによって、軟磁性粉末の流動性を落とすことがなく、軟磁性粉末を用いて製作された圧粉成形体の保磁力及びヒステリシス損の増加を抑制できる。逆に、軟磁性粒子の平均粒径を150μm以下とすることによって、1kHz以上の高周波域において発生する渦電流損を効果的に低減できる。より好ましい軟磁性粒子の平均粒径は、40μm以上100μm以下である。この平均粒径の下限が40μm以上であれば、渦電流損の低減効果が得られると共に、被覆軟磁性粉末の取り扱いが容易になり、より高い密度の成形体とすることができる。なお、この平均粒径とは、粒径のヒストグラム中、粒径の小さい粒子からの質量の和が総質量の50%に達する粒子の粒径、つまり50%粒径をいう。
<Particle size>
The average particle diameter of the soft magnetic particles may be any size that contributes to low loss as a green compact. That is, although it can select suitably, without specifically limiting, For example, if it is 1 micrometer or more and 150 micrometers or less, it is preferable. By setting the average particle size of soft magnetic particles to 1 μm or more, the increase in coercive force and hysteresis loss of compacted compacts made from soft magnetic powder is suppressed without reducing the fluidity of soft magnetic powder. it can. Conversely, by setting the average particle size of the soft magnetic particles to 150 μm or less, eddy current loss that occurs in a high frequency region of 1 kHz or more can be effectively reduced. The average particle size of the soft magnetic particles is more preferably 40 μm or more and 100 μm or less. If the lower limit of the average particle diameter is 40 μm or more, an effect of reducing eddy current loss can be obtained, and handling of the coated soft magnetic powder becomes easy, and a molded body having a higher density can be obtained. The average particle diameter means a particle diameter of particles in which the sum of masses from particles having a small particle diameter reaches 50% of the total mass in the particle diameter histogram, that is, 50% particle diameter.

〈形状〉
軟磁性粒子の形状は、アスペクト比が1.2〜1.8となるようにすると好ましい。このアスペクト比とは、粒子の最大径と最小径との比とする。上記範囲のアスペクト比を有する軟磁性粒子は、アスペクト比が小さな(1.0に近い)ものに比べて、圧粉成形体にしたときに反磁界係数を大きくでき、磁気特性に優れた圧粉成形体とすることができる。その上、圧粉成形体の強度を向上させることができる。
<shape>
The shape of the soft magnetic particles is preferably such that the aspect ratio is 1.2 to 1.8. The aspect ratio is the ratio between the maximum diameter and the minimum diameter of the particles. Soft magnetic particles having an aspect ratio in the above range can increase the demagnetizing factor when formed into a compact, compared to those having a small aspect ratio (close to 1.0), and have excellent magnetic properties. It can be set as a molded body. In addition, the strength of the green compact can be improved.

〈製法〉
軟磁性粒子は、水アトマイズ法やガスアトマイズ法などのアトマイズ法で製造されたものが好ましい。水アトマイズ法で製造された軟磁性粒子は、粒子表面に凹凸が多いため、その凹凸の噛合により高強度の成形体を得やすい。一方、ガスアトマイズ法で製造された軟磁性粒子は、その粒子形状がほぼ球形のため、絶縁被膜を突き破るような凹凸が少なくて好ましい。
<Production method>
The soft magnetic particles are preferably produced by an atomizing method such as a water atomizing method or a gas atomizing method. Since the soft magnetic particles produced by the water atomization method have many irregularities on the particle surface, it is easy to obtain a high-strength molded product by meshing the irregularities. On the other hand, the soft magnetic particles produced by the gas atomization method are preferable because the particle shape is almost spherical, and there are few irregularities that break through the insulating coating.

(絶縁被膜)
絶縁被膜は、隣接する軟磁性粒子同士を絶縁するために、軟磁性粒子の外周に被覆される。軟磁性粒子を絶縁被膜で覆うことによって、軟磁性粒子同士の接触を抑制し、成形体の比透磁率を低く抑えることができる。その上、絶縁被膜の存在により、軟磁性粒子間に渦電流が流れるのを抑制して、圧粉成形体の渦電流損を低減させることができる。
(Insulation coating)
The insulating coating is coated on the outer periphery of the soft magnetic particles in order to insulate adjacent soft magnetic particles. By covering the soft magnetic particles with an insulating film, the contact between the soft magnetic particles can be suppressed, and the relative magnetic permeability of the compact can be suppressed low. In addition, the presence of the insulating coating can suppress the eddy current from flowing between the soft magnetic particles, thereby reducing the eddy current loss of the green compact.

〈組成〉
絶縁被膜は、軟磁性粒子同士の絶縁を確保できる程度の絶縁性に優れるものであれば特に限定されない。例えば、絶縁被膜の材料は、リン酸塩、チタン酸塩、シリコーン樹脂、リン酸塩とシリコーン樹脂の2層からなるものなどが挙げられる。
<composition>
The insulating coating is not particularly limited as long as it has excellent insulating properties that can ensure insulation between soft magnetic particles. For example, examples of the material for the insulating film include phosphate, titanate, silicone resin, and two layers of phosphate and silicone resin.

特に、リン酸塩からなる絶縁被膜は変形性に優れるので、軟磁性材料を加圧して圧粉成形体を作製する際に軟磁性粒子が変形しても、この変形に追従して変形することができる。リン酸塩被膜は鉄系の軟磁性粒子に対する密着性が高く、軟磁性粒子表面から脱落し難い。リン酸塩としては、リン酸鉄やリン酸マンガン、リン酸亜鉛、リン酸カルシウム、リン酸アルミニウムなどのリン酸金属塩化合物を利用することができる。   In particular, since the insulating coating made of phosphate is excellent in deformability, even when soft magnetic particles are deformed when a soft magnetic material is pressed to produce a compact, a deformation follows the deformation. Can do. The phosphate coating has high adhesion to iron-based soft magnetic particles and is difficult to drop off from the surface of the soft magnetic particles. As the phosphate, a metal phosphate compound such as iron phosphate, manganese phosphate, zinc phosphate, calcium phosphate, or aluminum phosphate can be used.

シリコーン樹脂からなる絶縁被膜の場合は、耐熱性に優れるので、後述する熱処理工程で分解し難く、圧粉成形体の完成までの間、軟磁性粒子同士の絶縁を良好に維持することができる。   In the case of an insulating coating made of a silicone resin, it is excellent in heat resistance, so that it is difficult to be decomposed in a heat treatment step to be described later, and the insulation between soft magnetic particles can be maintained well until the compacting body is completed.

絶縁被膜が上記リン酸塩とシリコーン樹脂の2層構造からなる場合、リン酸塩を上記軟磁性粒子側に、シリコーン樹脂をリン酸塩の直上に被覆することが好ましい。リン酸塩の直上にシリコーン樹脂を被膜しているので、上述したリン酸塩及びシリコーン樹脂の両方の特性を具えることができる。   When the insulating coating has a two-layer structure of the phosphate and the silicone resin, it is preferable to coat the phosphate on the soft magnetic particle side and the silicone resin directly on the phosphate. Since the silicone resin is coated directly on the phosphate, the above-described characteristics of both the phosphate and the silicone resin can be provided.

〈膜厚〉
絶縁被膜の平均厚さは、隣接する軟磁性粒子同士を絶縁することができる程度の厚みであればよい。例えば、10nm以上1μm以下であることが好ましい。絶縁被膜の厚みを10nm以上とすることによって、軟磁性粒子同士の接触の抑制や渦電流によるエネルギー損失を効果的に抑制することができる。一方、絶縁被膜の厚みを1μm以下とすることによって、被覆軟磁性粒子に占める絶縁被膜の割合が大きくなりすぎず、被覆軟磁性粒子の磁束密度が著しく低下することを防止できる。
<Film thickness>
The average thickness of the insulating coating may be a thickness that can insulate adjacent soft magnetic particles. For example, it is preferably 10 nm or more and 1 μm or less. By setting the thickness of the insulating coating to 10 nm or more, it is possible to effectively suppress contact between soft magnetic particles and energy loss due to eddy current. On the other hand, by setting the thickness of the insulating coating to 1 μm or less, the ratio of the insulating coating to the coated soft magnetic particles does not become too large, and the magnetic flux density of the coated soft magnetic particles can be prevented from significantly decreasing.

上記絶縁被膜の厚さは、以下のようにして調べることができる。まず、組成分析(TEM−EDX:transmission electron microscope energy dispersive X−ray spectroscopy)によって得られる膜組成と、誘導結合プラズマ質量分析(ICP−MS:inductively coupled plasma−mass spectrometry)によって得られる元素量とを鑑みて相当厚さを導出する。そして、TEM写真により直接、被膜を観察し、先に導出された相当厚さのオーダーが適正な値であることを確認して決定される平均的な厚さとする。   The thickness of the insulating coating can be examined as follows. First, the film composition obtained by composition analysis (TEM-EDX: transmission electron microscopic energy dispersive X-ray spectroscopy), and the amount of inductively coupled plasma mass (ICP-MS) obtained by inductively coupled plasma Considering this, a considerable thickness is derived. Then, the film is directly observed with a TEM photograph, and the average thickness determined by confirming that the order of the equivalent thickness derived earlier is an appropriate value is used.

〈被覆方法〉
軟磁性粒子に絶縁被膜を被覆する方法は、適宜選択するとよい。例えば、加水分解・縮重合反応などにより被膜することが挙げられる。軟磁性粒子と絶縁被膜を構成する原料とを配合して、その配合体を、加熱した状態で混合する。そうすることで、軟磁性粒子を被膜原料に十分に分散でき、個々の軟磁性粒子の外側に絶縁被膜を被覆することができる。
<Coating method>
The method of covering the soft magnetic particles with the insulating coating may be selected as appropriate. For example, the film may be formed by hydrolysis / polycondensation reaction. Soft magnetic particles and a material constituting the insulating coating are blended, and the blend is mixed in a heated state. By doing so, the soft magnetic particles can be sufficiently dispersed in the coating material, and the insulating coating can be coated on the outside of the individual soft magnetic particles.

上記加熱温度及び混合時間は適宜選択するとよい。加熱温度及び混合時間を選択することで、軟磁性粒子をより十分に分散させることができ、個々の粒子に絶縁被膜を被覆することが容易となる。   The heating temperature and mixing time may be appropriately selected. By selecting the heating temperature and mixing time, the soft magnetic particles can be more sufficiently dispersed, and it becomes easy to coat the individual particles with the insulating coating.

[素材成形工程]
素材成形工程では、上記原料準備工程により用意された複数の被覆軟磁性粒子からなる被覆軟磁性粉末を加圧成形して素材成形体を作製する。
[Raw material forming process]
In the raw material forming step, a coated soft magnetic powder composed of a plurality of coated soft magnetic particles prepared in the raw material preparing step is pressure-molded to produce a raw material compact.

素材成形工程では、代表的には、所定の形状のパンチとダイからなる成形金型内に被覆軟磁性粉末を注入し、加圧して押し固める。パンチとダイを使用する際、加圧により金型に成形体が焼き付くことや、被覆軟磁性粉末の絶縁被膜が破壊されることがないように被覆軟磁性粉末を加圧成形する。その手段として、パンチとダイの少なくとも一方の被覆軟磁性粉末と接触する箇所(内壁)に潤滑剤を塗布して被覆軟磁性粉末を加圧する外部潤滑成形方法でもよいし、被覆軟磁性粉末に予め潤滑剤を混合させて混合物を作製しておき、その混合物を金型で加圧する内部潤滑成形方法でもよい。前者の場合、潤滑剤を上記内壁に塗布するので、被覆軟磁性粉末との摩擦を低減すると共に、高密度な圧粉成形体を成形することができる。後者の場合、被覆軟磁性粉末の表面に付着した潤滑剤が被覆軟磁性粉末における粒子同士の摩擦を低減するため、被覆軟磁性粒子の絶縁被膜が破れることを抑制することができる。   In the raw material forming step, typically, the coated soft magnetic powder is injected into a molding die composed of a punch and die having a predetermined shape, and pressed and hardened. When the punch and die are used, the coated soft magnetic powder is pressure-molded so that the compact is not baked on the mold by pressurization and the insulating coating of the coated soft magnetic powder is not destroyed. As the means, an external lubrication molding method in which a lubricant is applied to a portion (inner wall) in contact with the coated soft magnetic powder of at least one of the punch and the die and the coated soft magnetic powder is pressed, or the coated soft magnetic powder is previously applied to the coated soft magnetic powder. An internal lubrication molding method may be used in which a mixture is prepared by mixing a lubricant, and the mixture is pressurized with a mold. In the former case, since the lubricant is applied to the inner wall, it is possible to reduce friction with the coated soft magnetic powder and to form a high-density compact. In the latter case, the lubricant adhering to the surface of the coated soft magnetic powder reduces friction between particles in the coated soft magnetic powder, so that the insulating coating of the coated soft magnetic particles can be prevented from being broken.

潤滑剤は、ステアリン酸、ステアリン酸リチウムなどの金属石鹸、ステアリン酸アミドなどの脂肪酸アミド、エチレンビスステアリン酸アミドなどの高級脂肪酸アミドなどの固体潤滑剤、固体潤滑剤を水などの液媒に分散させた分散液、液状潤滑剤、六方晶系の結晶構造を有する無機潤滑剤などが挙げられる。   Lubricant is a solid soap such as stearic acid, metal stearate such as lithium stearate, fatty acid amide such as stearic acid amide, higher fatty acid amide such as ethylene bis stearic acid amide, solid lubricant dispersed in liquid medium such as water And dispersion liquid, liquid lubricant, and inorganic lubricant having a hexagonal crystal structure.

加圧する際には、上記成形金型を加熱してから加圧成形してもよい。その場合、例えば、成形金型温度を50〜200℃にすることが挙げられる。金型を加熱することで高密度な成形体を得ることができる。   When pressurizing, the molding die may be heated and then press-molded. In that case, for example, the mold temperature is set to 50 to 200 ° C. A high-density molded body can be obtained by heating the mold.

加圧する圧力は、適宜選択することができる。例えば、リアクトル用コアとなる圧粉成形体を製造するのであれば、その密度dが7.0g/cm以上となる程度とすることが好ましく、具体的には、約490〜1470MPa、特に、約590〜1079MPa程度とすることが好ましい。 The pressure to pressurize can be selected suitably. For example, if a green compact to be used as a reactor core is manufactured, the density d is preferably about 7.0 g / cm 3 or more, specifically about 490 to 1470 MPa, The pressure is preferably about 590 to 1079 MPa.

この加圧により、例えば、図1(右下)に示す直方体状の素材成形体10を形成できる。この素材成形体10の形状は、加圧成形する際の金型の形状により適宜変更することができるため、直方体状の他に、台形状面を有する柱状体、またはU字状面を有するU字状体など種々の形状が挙げられる。このように素材成形体10が直方体状の場合、素材成形体10の両端面がパンチでの加圧面31pで、それ以外の4つの側面がダイとの摺接面31sである。   By this pressurization, for example, a rectangular parallelepiped material molded body 10 shown in FIG. 1 (lower right) can be formed. Since the shape of the material molded body 10 can be changed as appropriate depending on the shape of the mold at the time of pressure molding, in addition to a rectangular parallelepiped shape, a columnar body having a trapezoidal surface, or a U having a U-shaped surface. Various shapes, such as a character-shaped body, are mentioned. Thus, when the raw material molded object 10 is a rectangular parallelepiped shape, the both end surfaces of the raw material molded object 10 are the pressurization surfaces 31p by a punch, and the other four side surfaces are the sliding contact surfaces 31s with a die | dye.

〔照射工程〕
照射工程では、素材成形体の表面の一部にレーザを照射する。レーザの照射により、素材成形体の表面で複数の軟磁性粒子の構成材料同士が導通した導通部の分断箇所を増加させる。つまり、この照射工程では、主として導通部の溶融・流動により、導通部の分断がなされる。
[Irradiation process]
In the irradiation step, a laser is irradiated to a part of the surface of the material molded body. By irradiating the laser, the number of divided portions of the conducting portion where the constituent materials of the plurality of soft magnetic particles are conducted on the surface of the material molded body is increased. That is, in this irradiation process, the conduction part is divided mainly by melting and flow of the conduction part.

レーザを照射する素材成形体の面は、導通部が形成され易いダイとの摺接面の少なくとも一部とすることが挙げられる。製造された素材成形体10を磁心、例えば、図1(上側)に示すようなリアクトル用コア3として励磁する際、磁束方向に平行となる面(平行面)の少なくとも一部とすることが好ましい。図1は、リアクトル(図2)に具わるリアクトル用コア3の一例であり、コイル(図2)に覆われる内側コア部31と、コイルから露出される露出コア部32とを分解した状態で示している。内側コア部31は、コア片31mとギャップ材31gとを積層して構成される。コア片31mは、素材成形体10にレーザ照射した圧粉成形体1、またはレーザ照射と後述する熱処理とを施した圧粉成形体1で構成することが挙げられる。このように、圧粉成形体1とコイルとを組み合わせて、そのコイルを励磁すれば、コイルの軸方向に沿った磁束が成形体内に形成される。そこで、例えば、図1(右下)に示すように、矢印(I)の方向を磁束方向、即ち、パンチでの加圧面31pが、磁束方向と直交する面(直交面)で、それ以外の4つの摺接面31sが、磁束方向の平行面となるように、圧粉成形体1をコイルと組み合わせる場合、レーザを照射する領域は、その平行面(摺接面31s)となる素材成形体10の表面の少なくとも一部でよい。このように、磁束方向との平行面となる素材成形体10の表面の一部にレーザを照射することで、磁束方向を軸とする円周方向に流れる渦電流を、上記レーザが照射された箇所で遮断することができると考えられる。そのため、渦電流損を低減でき、低損失な圧粉成形体を製造できる。つまり、レーザが照射される領域が、ダイとの摺接面31sでかつ上記平行面となる面の少なくとも一部であれば、効果的に低損失な圧粉成形体を製造できる。   The surface of the material molded body to be irradiated with the laser may be at least a part of the sliding contact surface with the die on which the conductive portion is easily formed. When the manufactured material molded body 10 is excited as a magnetic core, for example, a reactor core 3 as shown in FIG. 1 (upper side), it is preferable to use at least a part of a plane (parallel plane) parallel to the magnetic flux direction. . FIG. 1 is an example of a reactor core 3 included in a reactor (FIG. 2), in an exploded state of an inner core portion 31 covered with a coil (FIG. 2) and an exposed core portion 32 exposed from the coil. Show. The inner core portion 31 is configured by laminating a core piece 31m and a gap material 31g. The core piece 31m may be configured by a powder compact 1 obtained by irradiating the raw material compact 10 with laser, or a powder compact 1 obtained by performing laser irradiation and heat treatment described later. Thus, if the compacting body 1 and a coil are combined and the coil is excited, the magnetic flux along the axial direction of a coil will be formed in a molding body. Therefore, for example, as shown in FIG. 1 (lower right), the direction of the arrow (I) is the magnetic flux direction, that is, the pressing surface 31p of the punch is a surface (orthogonal surface) orthogonal to the magnetic flux direction. When the powder compact 1 is combined with the coil so that the four slidable contact surfaces 31 s are parallel to the magnetic flux direction, the region of the material irradiated with the laser is the parallel surface (slidable contact surface 31 s). It may be at least part of the ten surfaces. In this way, by irradiating a part of the surface of the material molded body 10 which is parallel to the magnetic flux direction with the laser, the laser is irradiated with the eddy current flowing in the circumferential direction with the magnetic flux direction as an axis. It is thought that it can be blocked at the location. Therefore, eddy current loss can be reduced, and a low-loss compacting body can be manufactured. That is, if the region irradiated with the laser is at least a part of the surface that is the slidable contact surface 31s with the die and the parallel surface, it is possible to effectively manufacture a low-loss compact.

一方、矢印(II)の方向を磁束方向、即ち、パンチでの加圧面31pが、磁束方向との平行面である場合、レーザを照射する領域は、磁束方向と直交する摺接面31soの少なくとも一部でよい。そうすれば、摺接面31soの表面に流れる渦電流を遮断できるので、渦電流損をより低減できると考えられる。加えて、磁束方向と平行となる摺接面31spの少なくとも一部にレーザを照射することが好ましい。そうすれば、摺接面31spのレーザを照射した箇所で、磁束方向を軸とする円周方向の渦電流を遮断できる。   On the other hand, when the direction of the arrow (II) is the magnetic flux direction, that is, when the pressing surface 31p of the punch is a parallel surface to the magnetic flux direction, the laser irradiation region is at least of the sliding surface 31so orthogonal to the magnetic flux direction. Some may be sufficient. By doing so, the eddy current flowing on the surface of the sliding contact surface 31so can be interrupted, so that it is considered that the eddy current loss can be further reduced. In addition, it is preferable to irradiate the laser to at least a part of the sliding contact surface 31sp parallel to the magnetic flux direction. If it does so, the eddy current of the circumference direction centering on a magnetic flux direction can be interrupted | blocked in the location which irradiated the laser of the sliding contact surface 31sp.

素材成形体が円柱である場合、磁束方向と直交する面がパンチでの加圧面であれば、磁束方向との平行面は円柱の円筒面となるので、レーザを照射する領域は、円筒面となる素材成形体の表面の少なくとも一部でよい。   When the material molded body is a cylinder, if the surface perpendicular to the magnetic flux direction is a pressurizing surface with a punch, the plane parallel to the magnetic flux direction is a cylindrical cylindrical surface. It may be at least a part of the surface of the formed material.

レーザが照射される領域は、上記摺接面31sにおいて、パンチの加圧方向全長に亘る領域であることが好ましい。特に、上記平行面において、磁束方向全長に亘る領域となる素材成形体の表面であることがより好ましい。例えば、矢印(I)の方向を磁束方向となるように、圧粉成形体1をコイルと組み合わせる場合、レーザを照射する領域は、平行面において、一方の端面側から他方の端面側に亘る領域となる素材成形体10の表面とすることが好ましい。即ち、パンチでの加圧面31pが、磁束方向と直交する面(直交面)で、それ以外の4つの摺接面31sが、磁束方向の平行面となる場合、レーザを照射する領域は、平行面において、加圧方向全長(磁束方向全長)に亘る素材成形体10の表面とすることが好ましい。そうすれば、磁束方向を軸とする円周方向に流れる渦電流を上記全長に亘って遮断できると考えられる。つまり、表面処理される領域が、ダイとの摺接面31sでかつ上記平行面となる面で、磁束方向全長に亘る領域であれば、より一層効果的に低損失な圧粉成形体を製造できる。   The region irradiated with the laser is preferably a region extending over the entire length in the pressing direction of the punch on the sliding surface 31s. In particular, in the parallel plane, it is more preferable that the surface of the material molded body is a region extending over the entire length in the magnetic flux direction. For example, when the green compact 1 is combined with a coil so that the direction of the arrow (I) is the magnetic flux direction, the laser irradiation region is a region extending from one end surface side to the other end surface side in a parallel plane. It is preferable that the surface of the material molded body 10 is as follows. That is, when the pressing surface 31p of the punch is a surface (orthogonal surface) orthogonal to the magnetic flux direction, and the other four sliding contact surfaces 31s are parallel surfaces of the magnetic flux direction, the laser irradiation region is parallel. In the surface, it is preferable to use the surface of the material molded body 10 over the entire length in the pressing direction (the total length in the magnetic flux direction). If it does so, it is thought that the eddy current which flows into the circumferential direction centering on a magnetic flux direction can be interrupted | blocked over the said full length. That is, if the region to be surface-treated is the surface that is the slidable contact surface 31s with the die and the parallel surface, and is a region that extends over the entire length in the magnetic flux direction, a more compact low-loss compact is produced. it can.

一方、矢印(II)の方向を磁束方向、即ち、パンチでの加圧面31pが、磁束方向との平行面である場合、レーザを照射する領域は、磁束方向と直交する摺接面31soの一方の端面側から他方の端面側に亘る領域、即ち、摺接面31soの長辺間や短辺間でよい。そうすれば、摺接面31soの表面に流れる渦電流を遮断できると考えられる。加えて、磁束方向と平行となる摺接面31spの磁束方向全長に亘る領域にレーザを照射することが好ましい。そうすれば、磁束方向を軸とする円周方向に流れる渦電流を上記全長に亘って遮断できる。   On the other hand, when the direction of arrow (II) is the magnetic flux direction, that is, when the pressing surface 31p of the punch is parallel to the magnetic flux direction, the laser irradiation region is one of the sliding contact surfaces 31so orthogonal to the magnetic flux direction. The region extending from one end face side to the other end face side, that is, between the long sides and the short sides of the sliding contact surface 31so may be used. Then, it is considered that the eddy current flowing on the surface of the sliding contact surface 31so can be interrupted. In addition, it is preferable to irradiate a laser to the area | region covering the magnetic flux direction full length of the slidable contact surface 31sp parallel to a magnetic flux direction. If it does so, the eddy current which flows into the circumferential direction centering on a magnetic flux direction can be interrupted | blocked over the said full length.

素材成形体が円柱である場合、磁束方向と直交する面がパンチでの加圧面であれば、磁束方向との平行面は円柱の円筒面となるので、レーザを照射する領域は、円筒面となる素材成形体の表面の加圧方向全長(磁束方向全長)に亘る領域であることが好ましい。   When the material molded body is a cylinder, if the surface perpendicular to the magnetic flux direction is a pressurizing surface with a punch, the plane parallel to the magnetic flux direction is a cylindrical cylindrical surface. It is preferable that it is an area | region covering the pressurization direction full length (magnetic flux direction full length) of the surface of the raw material molded object which becomes.

上記平行面において一方の端面側から他方の端面側に亘る領域にレーザを照射する場合、上記平行面において磁束方向と平行な方向の長さを縦t、磁束方向を軸とした圧粉成形体の周方向の全長をlとするとき、平行面の全面積はt×lで、当該平行面において実際に表面処理が施された領域の幅(磁束方向と直交する方向)を処理幅wとするとき、この領域はt×wと表される。この処理幅wは、被覆軟磁性粉末の平均粒径をdとするとき、d<w≦lを満たすことが好ましい。上記処理幅wを上記範囲とすることで、渦電流損の低減効果を効果的に得ることができる。より好ましくは、上記全長lに対する上記処理幅wの比率w/lは、30%以下、さらには20%以下、10%以下、特に5%以下とすることが挙げられる。   When irradiating a laser on a region extending from one end face side to the other end face side in the parallel plane, the green compact having a length in the direction parallel to the magnetic flux direction in the parallel plane as a length t and the magnetic flux direction as an axis. When the total length in the circumferential direction is l, the total area of the parallel surface is t × l, and the width of the region actually surface-treated on the parallel surface (the direction perpendicular to the magnetic flux direction) is defined as the processing width w. This area is represented as t × w. This treatment width w preferably satisfies d <w ≦ l, where d is the average particle diameter of the coated soft magnetic powder. By setting the processing width w within the above range, an effect of reducing eddy current loss can be effectively obtained. More preferably, the ratio w / l of the processing width w to the total length l is 30% or less, further 20% or less, 10% or less, and particularly 5% or less.

レーザの種類は、素材成形体表面の導通部を分断できるレーザであればよい。具体的には、レーザの媒体が固体である固体レーザが挙げられ、例えばYAGレーザ、YVOレーザ、及びファイバーレーザの中から選択される1種のレーザであることが好ましい。そうすることで、上記導通部を分断することができる。これらレーザの各々には、各レーザの媒体に種々の材料がドープされた公知のレーザも含む。つまり、上記YAGレーザは、その媒体にNd、Erなどをドープしてもよいし、上記YVOレーザは、その媒体にNdなどをドープしてもよいし、上記ファイバーレーザは、その媒体であるファイバーのコアに希土類元素などがドープされており、例えば、Ybなどをドープすることが挙げられる。 The kind of laser should just be a laser which can cut off the conduction part of the material fabrication object surface. Specific examples include a solid-state laser whose laser medium is solid, and for example, a laser selected from a YAG laser, a YVO 4 laser, and a fiber laser is preferable. By doing so, the said conduction | electrical_connection part can be parted. Each of these lasers includes known lasers in which various materials are doped in the medium of each laser. That is, the YAG laser may be doped with Nd, Er, etc. in the medium, the YVO 4 laser may be doped with Nd, etc., and the fiber laser is the medium. The core of the fiber is doped with a rare earth element, for example, doping with Yb or the like.

レーザの波長は、上記軟磁性粒子(導通部)の波長吸収領域内であることがより好ましい。そうすることで、上記導通部を分断し易くなる上に、当該導通部以外を除去することを抑制することができる。この波長としては、具体的には、532nm〜1064nm程度であることが好ましい。   The wavelength of the laser is more preferably in the wavelength absorption region of the soft magnetic particles (conduction part). By doing so, it becomes easy to divide the conduction part, and it is possible to suppress removal of parts other than the conduction part. Specifically, the wavelength is preferably about 532 nm to 1064 nm.

レーザのエネルギー密度U(W/mm)は、レーザの平均出力をP(W)、レーザの照射面積をS(mm)とするとき、U=P/Sで表され、このエネルギー密度Uは、37.0W/mm≦U≦450.0W/mmを満たすことが好ましい。エネルギー密度Uを37.0W/mm以上とすることで、導通部の分断箇所を確実に増加できる。一方、エネルギー密度Uを450.0W/mm以下とすることで、過剰溶融による軟磁性粒子同士の接触を十分に抑制できる。このエネルギー密度Uは、50.0W/mm以上300.0W/mm以下とすることがより好ましい。 The energy density U (W / mm 2 ) of the laser is expressed by U = P / S, where P (W) is the average output of the laser and S (mm 2 ) is the irradiation area of the laser. Preferably satisfies 37.0 W / mm 2 ≦ U ≦ 450.0 W / mm 2 . By setting the energy density U to 37.0 W / mm 2 or more, it is possible to reliably increase the number of disconnected portions of the conductive portion. On the other hand, when the energy density U is 450.0 W / mm 2 or less, the contact between the soft magnetic particles due to excessive melting can be sufficiently suppressed. The energy density U is more preferably 50.0 W / mm 2 or more and 300.0 W / mm 2 or less.

この範囲内において、エネルギー密度Uを高くするほど、(1)形成される酸化膜としてFeO、或いはFeを多く含む酸化膜とすることができ、上記表面部分における酸素の含有量を多くできる、(2)酸化膜の厚い箇所を形成できる。具体的には、上記(1)では、FeOやFeが増加し、さらにエネルギー密度Uが高くなるとFeOよりもFeを多くできる。上記酸化膜を具える箇所の表面部分に含まれる鉄と酸素の合計含有量を100質量%とするとき、エネルギー密度Uを高くすれば、酸素の含有量を9質量%以上とすることができる。上記のエネルギー密度Uの範囲では、酸素の含有量を20質量%程度とすることができる。上記(2)では、酸化膜の厚さが0.1μm以上の箇所を具えることができ、エネルギー密度Uが高くなるにつれて、0.5μm以上、1.0μm以上、3μm以上、更に5μm以上、7μm以上、特に10μm以上と厚さの厚い箇所を形成することができる。上記のエネルギー密度Uの範囲では、酸化膜の厚さが15μm程度の箇所を具えることができる。 Within this range, as the energy density U is increased, (1) the oxide film to be formed can be an oxide film containing a large amount of FeO or Fe 3 O 4 , and the oxygen content in the surface portion is increased. (2) A thick portion of the oxide film can be formed. Specifically, in the above (1), an increase in FeO and Fe 3 O 4, can increase the Fe 3 O 4 than further FeO the energy density U increases. When the total content of iron and oxygen contained in the surface portion where the oxide film is provided is 100% by mass, the oxygen content can be 9% by mass or more by increasing the energy density U. . In the range of the above energy density U, the oxygen content can be about 20% by mass. In the above (2), the oxide film can have a thickness of 0.1 μm or more, and as the energy density U increases, 0.5 μm, 1.0 μm, 3 μm, further 5 μm, A thick portion having a thickness of 7 μm or more, particularly 10 μm or more can be formed. In the range of the above energy density U, the oxide film can have a thickness of about 15 μm.

上述のメカニズムに示すように、レーザの照射により、レーザが照射された圧粉成形体の表面の少なくとも一部に、隣接する軟磁性粒子同士を電気的に分断する分断領域を形成できる。分断領域が形成されると共に、上記分断領域に隣接する軟磁性粒子の表面のうち圧粉成形体の表面に位置する表面領域は、上記酸化膜が形成される。エネルギー密度Uが小さいレーザを照射すれば、分断領域が形成されると共に、分断領域に隣接する軟磁性粒子の表面において、上記凝集部が形成される。凝集部における上記酸化膜の厚さは、レーザのエネルギー密度Uが高くなるほど厚くなる。一方、高いエネルギー密度Uでレーザを照射すれば、分断領域が形成されると共に、分断領域に隣接する軟磁性粒子の表面に、上記集結部が形成される。集結部は、レーザのエネルギー密度Uが高くなるほど、上記酸化膜全体の厚さが厚く、かつその中央側の厚さをその外周縁側よりも厚くできる。レーザのエネルギー密度Uの大きさにより、溶融量或いは溶融金属の流動性に差ができ、軟磁性粒子の構成材料が表面張力で表面積が小さくなろうと凝集具合に差が生じるためである。   As shown in the above-described mechanism, a divided region that electrically divides adjacent soft magnetic particles can be formed on at least a part of the surface of the compact formed body irradiated with the laser by laser irradiation. A divided region is formed, and the oxide film is formed in a surface region located on the surface of the green compact in the surface of the soft magnetic particles adjacent to the divided region. When a laser having a low energy density U is irradiated, a divided region is formed, and the agglomerated portion is formed on the surface of the soft magnetic particle adjacent to the divided region. The thickness of the oxide film in the agglomerated portion increases as the energy density U of the laser increases. On the other hand, when the laser is irradiated at a high energy density U, a divided region is formed, and the above-described concentrated portion is formed on the surface of the soft magnetic particle adjacent to the divided region. As the energy density U of the laser increases, the concentration portion of the concentration portion can be made thicker and the center side can be made thicker than the outer peripheral side. This is because, depending on the magnitude of the energy density U of the laser, the amount of melting or the fluidity of the molten metal can be different, and if the surface area of the constituent material of the soft magnetic particles is reduced due to surface tension, the degree of aggregation will be different.

レーザのビーム径に対する照射間隔の比率は、小さい方が好ましい。ビーム径は、圧粉成形体の表面上でのレーザの径を言う。照射間隔は、1パルスのレーザの照射時間にレーザビームが走査方向に移動する距離を言う。レーザのビーム径に対する照射間隔の比率が小さければ、圧粉成形体の表面上にレーザを走査させた際、レーザが照射されない未処理領域を減少することができ、上記導通部を分断し易くなる。具体的には、上記比率は、0.35以下であることが好ましく、特に、0.30以下であることが好ましい。   The ratio of the irradiation interval to the laser beam diameter is preferably small. The beam diameter refers to the diameter of the laser on the surface of the green compact. The irradiation interval refers to the distance that the laser beam moves in the scanning direction during the irradiation time of one pulse of laser. If the ratio of the irradiation interval to the laser beam diameter is small, when the laser is scanned on the surface of the green compact, the unprocessed area where the laser is not irradiated can be reduced, and the conductive part can be easily divided. . Specifically, the ratio is preferably 0.35 or less, and particularly preferably 0.30 or less.

レーザのビーム径に対する走査間隔の比率も、小さい方が好ましい。走査間隔は、レーザが走査するラインを隣接するラインに移動させる際の距離を言う。即ち、レーザのビーム径に対する走査間隔の比率が小さければ、上述と同様、レーザが照射されない領域を低減でき、上記導通部を分断し易くなる。   A smaller ratio of the scanning interval to the laser beam diameter is also preferable. The scanning interval refers to the distance when moving the line scanned by the laser to the adjacent line. That is, if the ratio of the scanning interval to the laser beam diameter is small, the region not irradiated with the laser can be reduced as described above, and the conducting portion can be easily divided.

レーザの重ね回数は、複数回であることが好ましい。重ね回数は、同一領域をレーザで処理(走査)する回数を言う。レーザの重ね回数は、多いほど好ましい。そうすれば、上記導通部の分断を確実に行うことができる。具体的には、重ね回数を5回以上とすることが挙げられ、特に10回以上とすることが好ましい。   The number of laser overlaps is preferably a plurality of times. The number of overlaps refers to the number of times the same area is processed (scanned) with a laser. The greater the number of laser overlaps, the better. If it does so, the said conduction | electrical_connection part can be divided reliably. Specifically, the number of times of overlapping is 5 times or more, and particularly preferably 10 times or more.

素材成形体の表面にレーザを照射する方法は、その表面の所望の箇所にレーザを照射できる方法であれば、特に問わない。   The method of irradiating the surface of the material molded body with laser is not particularly limited as long as it is a method capable of irradiating a desired portion of the surface with laser.

[その他の工程]
(熱処理工程)
上記素材成形体には、素材成形工程で軟磁性粒子に導入された歪や転位などを除去するために加熱する熱処理を施してもよい。
[Other processes]
(Heat treatment process)
The material molded body may be subjected to a heat treatment for heating in order to remove strains and dislocations introduced into the soft magnetic particles in the material molding process.

熱処理の温度が高いほど、歪の除去を十分に行うことができることから、熱処理温度は、300℃以上、特に400℃以上が好ましく、上限は約800℃程度が好ましい。このような熱処理温度であれば、歪の除去と共に、加圧時に軟磁性粒子に導入される転位などの格子欠陥も除去できる。それにより、圧粉成形体のヒステリシス損を効果的に低減することができる。   Since the higher the heat treatment temperature is, the more strain can be removed, the heat treatment temperature is preferably 300 ° C. or higher, particularly 400 ° C. or higher, and the upper limit is preferably about 800 ° C. With such a heat treatment temperature, not only strain can be removed, but also lattice defects such as dislocations introduced into the soft magnetic particles during pressurization can be removed. Thereby, the hysteresis loss of a compacting body can be reduced effectively.

熱処理を施す時間は、素材成形工程で軟磁性粒子に導入された歪や転位などを十分に除去するように、上記熱処理温度及び素材成形体の体積に合わせて適宜選択すればよい。例えば、上記の温度範囲の場合、10分〜1時間であることが好ましい。   What is necessary is just to select suitably the time which performs heat processing according to the said heat processing temperature and the volume of a raw material molded object so that the distortion, dislocation, etc. which were introduce | transduced into the soft-magnetic particle in the raw material formation process may fully be removed. For example, in the above temperature range, it is preferably 10 minutes to 1 hour.

この熱処理を施す際の雰囲気は、大気中でも良いが、不活性ガス雰囲気内で施すと特に好ましい。それにより、潤滑剤の燃焼による煤などの素材成形体への付着を抑制することができる。   The atmosphere at the time of performing the heat treatment may be in the air, but it is particularly preferable to apply in an inert gas atmosphere. As a result, adhesion of soot or the like to the material molded body due to combustion of the lubricant can be suppressed.

この熱処理工程は、照射工程前における素材成形体に施してもよいし、照射工程後における素材成形体に施してもよい。   This heat treatment process may be performed on the material molded body before the irradiation process, or may be performed on the material molded body after the irradiation process.

《作用効果》
上述した実施形態によれば、以下の効果を奏する。
<Effect>
According to embodiment mentioned above, there exist the following effects.

(1)表面の少なくとも一部に酸化膜を具え、その箇所の表面部分における酸素の含有量が9質量%以上である圧粉成形体を利用することで、低損失なリアクトルが得られる。上記分断領域を具える圧粉成形体をリアクトル用コアとして励磁した際、圧粉成形体の表面の周方向に亘って流れる渦電流を分断若しくは流れ難くできる。そのため渦電流損を低減でき、低損失なリアクトルとすることができる。従って、本発明の圧粉成形体は、リアクトルの構成部材に好適に利用できる。   (1) A low-loss reactor can be obtained by using a green compact having an oxide film on at least a part of the surface and having an oxygen content of 9% by mass or more at the surface part. When the green compact having the above-mentioned divided region is excited as a reactor core, the eddy current flowing over the circumferential direction of the surface of the green compact can be divided or hardly flowed. Therefore, eddy current loss can be reduced, and a low-loss reactor can be obtained. Therefore, the compacting body of this invention can be utilized suitably for the structural member of a reactor.

(2)上述した製造方法によれば、導通部にレーザを照射することで、薄膜状体の導通部に対して高いエネルギーの付与、または急激な加熱と冷却(温度変化)を生じさせることができる。このとき、薄膜状体が溶融され、その溶融金属が流動したり、表面張力で凝集したりして、後述する試験例に示すように塊(凝集部)や集結部を形成する。それにより、導通部の途中が分離され、同様の分断が多数の導通部の各所で生じることにより、導通部の分断される箇所が増加すると考えられる。この導通部の分断箇所の増加により、導通部の電気抵抗を増大させる、或いは導通部における導通を遮断できる。その結果、渦電流が流れ難くなる、或いは渦電流を遮断できる。従って、渦電流損の少ない低損失な圧粉成形体を製造することができる。   (2) According to the manufacturing method described above, by irradiating the conducting part with laser, high energy is imparted to the conducting part of the thin film-like body, or rapid heating and cooling (temperature change) can be caused. it can. At this time, the thin film-like body is melted and the molten metal flows or agglomerates due to surface tension to form a lump (aggregation part) or a concentration part as shown in a test example described later. Thereby, the middle part of the conduction part is separated, and it is considered that the same parting occurs at various parts of the conduction part, thereby increasing the number of parts where the conduction part is divided. By increasing the number of parts where the conductive portion is divided, it is possible to increase the electrical resistance of the conductive portion or to interrupt the conduction in the conductive portion. As a result, it is difficult for eddy currents to flow, or eddy currents can be interrupted. Therefore, a low-loss compacting body with little eddy current loss can be manufactured.

(3)上述の圧粉成形体、または上述の製造方法により製造された圧粉成形体はリアクトル用コアに好適に利用することができる。詳しくは後述するが、その場合、例えば、一対のコイル素子を有して各コイル素子の軸が平行するように横並びされたコイルと、各コイル素子がそれぞれ配置される一対の柱状の内側コア部(ミドルコア部)、及びコイル素子が配置されず、内側コア部に連結されて閉磁路を構成する外側コア部(サイドコア部)を有する磁性コアとを具えるリアクトルにおいて、当該内側コア部に好適に利用することができる。内側コア部を複数の分割コア片を組み合わせた構成とする場合、分割コア片の少なくとも一つ、好ましくは全てを本発明の圧粉成形体により構成することができる。このとき、内側コア部、或いは分割コア片において、上記レーザを照射する領域は、上記コイルを励磁した際、磁束方向と平行となる面の少なくとも一部である。ここでは、平行となる面はダイとの摺接面である。この分割コア片でリアクトルを組み立てた際、上記分割コア片のレーザが照射された面はコイルの内周面に対向される。それにより、コイルを励磁したとき、上記レーザが照射された領域で、内側コア部の周方向に生じる渦電流を遮断して、渦電流損を低減できる。このレーザを、例えば、上記平行面において、内側コア部、或いは各分割コア片の一方の端面側から他方の端面側に亘る領域に照射すれば、リアクトルを組み立てた際、その領域が内側コア部の磁束方向全長に及ぶ。そのため、内側コアの磁束方向全長に亘って上記渦電流を遮断できるため、渦電流損をより一層低減できる。外側コア部は、端面がU字状、あるいは台形状が代表的である。この外側コア部においても本発明の圧粉成形体、または本発明の製造方法により得られた圧粉成形体を用いてもよい。   (3) The above-mentioned compacting body or the compacting body manufactured by the above-mentioned manufacturing method can be utilized suitably for the core for reactors. As will be described in detail later, in that case, for example, a coil having a pair of coil elements and arranged side by side so that the axes of the coil elements are parallel to each other, and a pair of columnar inner core portions in which the coil elements are respectively disposed (Middle core portion) and a reactor including a magnetic core having an outer core portion (side core portion) that is connected to the inner core portion and forms a closed magnetic circuit without being arranged with a coil element, is suitable for the inner core portion. Can be used. When the inner core portion is configured by combining a plurality of divided core pieces, at least one, preferably all of the divided core pieces can be formed by the green compact of the present invention. At this time, in the inner core portion or the split core piece, the region to be irradiated with the laser is at least a part of a surface parallel to the magnetic flux direction when the coil is excited. Here, the parallel surface is a sliding surface with the die. When the reactor is assembled with the split core pieces, the surface of the split core pieces irradiated with the laser faces the inner peripheral surface of the coil. Thereby, when the coil is excited, the eddy current generated in the circumferential direction of the inner core portion is cut off in the region irradiated with the laser, and the eddy current loss can be reduced. For example, if this laser is applied to the inner core portion or a region extending from one end surface side to the other end surface side of each divided core piece in the parallel plane, when the reactor is assembled, the region is the inner core portion. Extends over the entire length of the magnetic flux direction. Therefore, since the eddy current can be interrupted over the entire length of the inner core in the magnetic flux direction, the eddy current loss can be further reduced. The outer core portion is typically U-shaped or trapezoidal in the end surface. Also in this outer core part, you may use the compacting body of this invention, or the compacting body obtained by the manufacturing method of this invention.

(4)レーザを照射して表面処理する箇所は、素材成形体の表面の一部なので、処理工程及び処理時間を短縮することができ、圧粉成形体の製造工程を簡略化することができる。そのため、圧粉成形体の製造コストを低減することもできる。   (4) Since the part to be surface-treated by irradiating the laser is a part of the surface of the material molded body, the processing steps and the processing time can be shortened, and the manufacturing process of the green compact can be simplified. . Therefore, the manufacturing cost of a compacting body can also be reduced.

<実施形態2>
《リアクトル》
上述の圧粉成形体、及び上述の圧粉成形体の製造方法により製造された圧粉成形体は、リアクトルの構成部材として好適に利用できる。例えば、リアクトルは、巻線を巻回してなるコイルと、そのコイルの内外に配置されて閉磁路を形成する磁性コアとを具え、磁性コアの少なくとも一部が圧粉成形体で構成される。その圧粉成形体に本発明圧粉成形体を利用できる。つまり、本発明のリアクトルの特徴とするところは、リアクトルに具わる磁性コアの少なくとも一部に、上述の圧粉成形体を具える点にある。以下、そのリアクトルの一例を、図1、2を参照して説明する。ここでは、リアクトル100に具わる磁性コア3のうち、コイル2の内側に配置される内側コア部31が本発明の圧粉成形体で構成されている場合を例に説明する。内側コア部31を構成するコア片31m以外の構成は、公知のリアクトルの構成を利用することができる。もちろん、磁性コア3のうち、露出コア32を本発明圧粉成形体で構成してもよい。
<Embodiment 2>
《Reactor》
The above-mentioned compacting body and the compacting body manufactured by the manufacturing method of the above-mentioned compacting body can be used suitably as a constituent member of a reactor. For example, the reactor includes a coil formed by winding a winding, and a magnetic core that is disposed inside and outside the coil to form a closed magnetic path, and at least a part of the magnetic core is formed of a powder compact. The green compact of the present invention can be used for the green compact. That is, the feature of the reactor of the present invention is that at least a part of the magnetic core included in the reactor is provided with the above-described compacted body. Hereinafter, an example of the reactor will be described with reference to FIGS. Here, the case where the inner core part 31 arrange | positioned inside the coil 2 among the magnetic cores 3 with which the reactor 100 is comprised is comprised by the compacting body of this invention is demonstrated to an example. For the configuration other than the core piece 31m constituting the inner core portion 31, a known reactor configuration can be used. Of course, you may comprise the exposed core 32 among the magnetic cores 3 by this invention compacting body.

(コイル)
コイル2は、図2に示すように、接合部の無い1本の連続する巻線2wを螺旋状に巻回してなる一対のコイル素子2a,2bと、両コイル素子2a,2bを連結する連結部2rとを具える。各コイル素子2a,2bは、互いに同一の巻数の中空の筒状体であり、各軸方向が平行するように並列(横並び)され、コイル2の他端側(図2では右側)において巻線2wの一部がU字状に屈曲されて連結部2rが形成されている。この構成により、両コイル素子2a,2bの巻回方向は同一となっている。
(coil)
As shown in FIG. 2, the coil 2 includes a pair of coil elements 2 a and 2 b formed by spirally winding a single continuous winding 2 w without a joint portion, and a connection for connecting both the coil elements 2 a and 2 b. Part 2r. Each coil element 2a, 2b is a hollow cylindrical body having the same number of turns, and is arranged in parallel (side-by-side) so that the respective axial directions are parallel to each other, and is wound on the other end side (right side in FIG. 2) of the coil 2 A part of 2w is bent into a U shape to form a connecting portion 2r. With this configuration, the winding directions of both coil elements 2a and 2b are the same.

巻線2wは、銅やアルミニウム、その合金といった導電性材料からなる導体の外周に、絶縁材料からなる絶縁層(代表的には、ポリアミドイミドなどからなるエナメル層)を具える被覆線を好適に利用できる。巻線2wの導体は、断面円形状の丸線の他、断面矩形状の平角線を好適に利用できる。コイル素子2a,2bは、絶縁層を有する被覆平角線をエッジワイズ巻きして形成されたエッジワイズコイルである。   The winding 2w is preferably a covered wire having an insulating layer made of an insulating material (typically an enamel layer made of polyamideimide) on the outer periphery of a conductor made of a conductive material such as copper, aluminum, or an alloy thereof. Available. As the conductor of the winding 2w, a rectangular wire having a rectangular cross section can be suitably used in addition to a round wire having a circular cross section. The coil elements 2a and 2b are edgewise coils formed by edgewise winding a covered rectangular wire having an insulating layer.

(磁性コア)
磁性コアの説明は、図1を参照して行う。磁性コア3は、各コイル素子2a、2b(図2)に覆われる一対の柱状の内側コア部31と、コイル2(図2)が配置されず、コイル2から露出される一対の露出コア部32とを有する。各内側コア部31はそれぞれ、各コイル素子2a,2bの内周形状に沿った外形を有する柱状体(ここでは、実質的に直方体)であり、各露出コア部32はそれぞれ、一対の台形状面を有する柱状体である。リアクトル用コア3は、平行に配置される内側コア部31を挟むように露出コア部32が配置され、各内側コア部31の端面と露出コア部32の内端面とを接触させて環状に形成される。
(Magnetic core)
The magnetic core will be described with reference to FIG. The magnetic core 3 includes a pair of columnar inner core portions 31 covered by the coil elements 2 a and 2 b (FIG. 2) and a pair of exposed core portions that are exposed from the coil 2 without the coil 2 (FIG. 2). 32. Each inner core portion 31 is a columnar body (here, substantially a rectangular parallelepiped) having an outer shape along the inner peripheral shape of each coil element 2a, 2b, and each exposed core portion 32 is a pair of trapezoidal shapes. A columnar body having a surface. The reactor core 3 has an exposed core portion 32 disposed so as to sandwich the inner core portion 31 disposed in parallel, and the end surface of each inner core portion 31 and the inner end surface of the exposed core portion 32 are contacted to form an annular shape. Is done.

内側コア部31は、磁性材料からなるコア片31mと、インダクタンスの調整のため、コア片よりも透磁率が低い材料(例えばアルミナなどの非磁性材料)から構成されるギャップ材31gとを交互に積層して構成された積層体である。露出コア部32も磁性材料からなるコア片である。上記コア片同士の一体化やコア片31mとギャップ材31gとの一体化には、例えば、接着剤や粘着テープなどを利用できる。   The inner core portion 31 alternately includes a core piece 31m made of a magnetic material and a gap material 31g made of a material having a lower magnetic permeability than the core piece (for example, a nonmagnetic material such as alumina) for adjusting the inductance. It is the laminated body comprised by laminating | stacking. The exposed core portion 32 is also a core piece made of a magnetic material. For the integration of the core pieces and the integration of the core piece 31m and the gap material 31g, for example, an adhesive or an adhesive tape can be used.

内側コア部31の各コア片31mはいずれも、上述した本発明圧粉成形体により構成されている。コア片31m(内側コア部31)において上記レーザが照射された領域を、コイル2を励磁した際、磁束方向と平行となるように配置することが好ましい。即ち、このコア片31mでリアクトル100を組み立てた際、上記コア片31mのレーザが照射された面はコイル2の内周面に対向される。それにより、コイル2を励磁したとき、上記レーザが照射された領域で、磁束方向を軸として内側コア部31の周方向に生じる渦電流を遮断して、渦電流損を低減できる。本例のように、内側コア部31を構成する全てのコア片31mをレーザが照射されたコア片31m(本発明の圧粉成形体)で構成する場合、内側コア部31の一方の端面側から他方の端面側に亘る領域に、レーザが照射された領域が並ぶように各コア片31mを配置することが好ましい。そうすれば、リアクトルを組み立てた際、レーザが照射された領域が内側コア部31の磁束方向全長に及ぶ。そのため、内側コア部31の磁束方向全長に亘って上記渦電流を遮断できるため、渦電流損をより一層低減できる。   Each of the core pieces 31m of the inner core portion 31 is constituted by the above-described green compact of the present invention. The region irradiated with the laser in the core piece 31m (inner core portion 31) is preferably arranged so as to be parallel to the magnetic flux direction when the coil 2 is excited. That is, when the reactor 100 is assembled with the core piece 31m, the surface of the core piece 31m irradiated with the laser faces the inner peripheral surface of the coil 2. Thereby, when the coil 2 is excited, the eddy current loss generated in the circumferential direction of the inner core portion 31 around the magnetic flux direction can be cut off in the region irradiated with the laser, and the eddy current loss can be reduced. When all the core pieces 31m which comprise the inner core part 31 are comprised with the core piece 31m (the compacting body of this invention) to which the laser was irradiated like this example, the one end surface side of the inner core part 31 It is preferable to arrange each core piece 31m so that the region irradiated with the laser is lined up in the region extending from to the other end face side. Then, when the reactor is assembled, the region irradiated with the laser extends over the entire length of the inner core portion 31 in the magnetic flux direction. Therefore, since the eddy current can be interrupted over the entire length of the inner core portion 31 in the magnetic flux direction, the eddy current loss can be further reduced.

(その他の構成部材)
その他、コイル2とリアクトル用コア3との間の絶縁性を高めるために、絶縁性樹脂から構成されるインシュレータ(図示略)を具えたり、コイル2とリアクトル用コア3との組合体の外周を絶縁性樹脂で覆った一体化物としたり、組合体を金属材料などからなるケースに収納したり、ケースに収納した組合体を封止樹脂により覆ったりすることができる。
(Other components)
In addition, in order to improve the insulation between the coil 2 and the reactor core 3, an insulator (not shown) made of an insulating resin is provided, or the outer periphery of the combination of the coil 2 and the reactor core 3 is provided. The integrated body covered with the insulating resin, the combined body can be stored in a case made of a metal material, or the combined body stored in the case can be covered with a sealing resin.

上記の構成によれば、内側コア部31を上述の圧粉成形体で構成し、コイル2を励磁した際、磁束方向と平行となるように配置すると、磁束方向を軸として内側コア部31の周方向に生じる渦電流を遮断して、渦電流損を低減できる。そのため、低損失なリアクトル100とすることができる。   According to said structure, when the inner core part 31 is comprised with the above-mentioned compacting body and it arrange | positions so that it may become parallel to a magnetic flux direction when the coil 2 is excited, the magnetic flux direction is used as an axis | shaft of the inner core part 31. The eddy current loss generated in the circumferential direction can be cut off to reduce the eddy current loss. Therefore, the reactor 100 with a low loss can be obtained.

<実施形態3>
《コンバータと電力変換装置》
上述のリアクトルは、例えば、車両などに載置されるコンバータの構成部品や、このコンバータを具える電力変換装置の構成部品に利用することができる。
<Embodiment 3>
<Converter and power converter>
The above-described reactor can be used, for example, as a component part of a converter mounted on a vehicle or the like, or a component part of a power conversion device including the converter.

例えば、ハイブリッド自動車や電気自動車といった車両1200は、図3に示すようにメインバッテリ1210と、メインバッテリ1210に接続される電力変換装置1100と、メインバッテリ1210からの供給電力により駆動して走行に利用されるモータ(負荷)1220とを具える。モータ1220は、代表的には、3相交流モータであり、走行時、車輪1250を駆動し、回生時、発電機として機能する。ハイブリッド自動車の場合、車両1200は、モータ1220に加えてエンジンを具える。なお、図3では、車両1200の充電箇所としてインレットを示すが、プラグを具える形態とすることもできる。   For example, a vehicle 1200 such as a hybrid vehicle or an electric vehicle is used for traveling by being driven by a main battery 1210, a power converter 1100 connected to the main battery 1210, and power supplied from the main battery 1210 as shown in FIG. Motor (load) 1220. The motor 1220 is typically a three-phase AC motor, which drives the wheel 1250 when traveling and functions as a generator during regeneration. In the case of a hybrid vehicle, vehicle 1200 includes an engine in addition to motor 1220. In addition, in FIG. 3, although an inlet is shown as a charge location of the vehicle 1200, it can also be set as the form which provides a plug.

電力変換装置1100は、メインバッテリ1210に接続されるコンバータ1110と、コンバータ1110に接続されて、直流と交流との相互変換を行うインバータ1120とを有する。この例に示すコンバータ1110は、車両1200の走行時、200V〜300V程度のメインバッテリ1210の直流電圧(入力電圧)を400V〜700V程度にまで昇圧して、インバータ1120に給電する。また、コンバータ1110は、回生時、モータ1220からインバータ1120を介して出力される直流電圧(入力電圧)をメインバッテリ1210に適合した直流電圧に降圧して、メインバッテリ1210に充電させている。インバータ1120は、車両1200の走行時、コンバータ1110で昇圧された直流を所定の交流に変換してモータ1220に給電し、回生時、モータ1220からの交流出力を直流に変換してコンバータ1110に出力している。   Power conversion device 1100 includes converter 1110 connected to main battery 1210 and inverter 1120 connected to converter 1110 and performing mutual conversion between direct current and alternating current. Converter 1110 shown in this example boosts the DC voltage (input voltage) of main battery 1210 of about 200V to 300V to about 400V to 700V and supplies power to inverter 1120 when vehicle 1200 is traveling. In addition, converter 1110 steps down DC voltage (input voltage) output from motor 1220 via inverter 1120 to DC voltage suitable for main battery 1210 during regeneration, and causes main battery 1210 to be charged. The inverter 1120 converts the direct current boosted by the converter 1110 into a predetermined alternating current when the vehicle 1200 is running, and supplies the motor 1220 with electric power. During regeneration, the alternating current output from the motor 1220 is converted into direct current and output to the converter 1110. doing.

コンバータ1110は、図4に示すように複数のスイッチング素子1111と、スイッチング素子1111の動作を制御する駆動回路1112と、リアクトルLとを具え、ON/OFFの繰り返し(スイッチング動作)により入力電圧の変換(ここでは昇降圧)を行う。スイッチング素子1111には、FET,IGBTなどのパワーデバイスが利用される。リアクトルLは、回路に流れようとする電流の変化を妨げようとするコイルの性質を利用し、スイッチング動作によって電流が増減しようとしたとき、その変化を滑らかにする機能を有する。このリアクトルLとして、上述のリアクトルを具える。低損失なリアクトル100を具えることで、電力変換装置1100やコンバータ1110も全体として低損失化を図ることができる。   As shown in FIG. 4, the converter 1110 includes a plurality of switching elements 1111, a drive circuit 1112 that controls the operation of the switching elements 1111, and a reactor L, and converts input voltage by ON / OFF repetition (switching operation). (In this case, step-up / down pressure). For the switching element 1111, a power device such as FET or IGBT is used. The reactor L has the function of smoothing the change when the current is going to increase or decrease by the switching operation by utilizing the property of the coil that prevents the change of the current to flow through the circuit. As this reactor L, the above-mentioned reactor is provided. By providing the low-loss reactor 100, the power converter 1100 and the converter 1110 can also achieve a low loss as a whole.

なお、車両1200は、コンバータ1110の他、メインバッテリ1210に接続された給電装置用コンバータ1150や、補機類1240の電力源となるサブバッテリ1230とメインバッテリ1210とに接続され、メインバッテリ1210の高圧を低圧に変換する補機電源用コンバータ1160を具える。コンバータ1110は、代表的には、DC−DC変換を行うが、給電装置用コンバータ1150や補機電源用コンバータ1160は、AC−DC変換を行う。給電装置用コンバータ1150の中には、DC−DC変換を行うものもある。給電装置用コンバータ1150や補機電源用コンバータ1160のリアクトルに、上述のリアクトルなどと同様の構成を具え、適宜、大きさや形状などを変更したリアクトルを利用することができる。また、入力電力の変換を行うコンバータであって、昇圧のみを行うコンバータや降圧のみを行うコンバータに、上述のリアクトルなどを利用することもできる。   Vehicle 1200 is connected to converter 1110, power supply converter 1150 connected to main battery 1210, sub-battery 1230 serving as a power source for auxiliary machinery 1240, and main battery 1210. Auxiliary power supply converter 1160 for converting high voltage to low voltage is provided. The converter 1110 typically performs DC-DC conversion, while the power supply device converter 1150 and the auxiliary power supply converter 1160 perform AC-DC conversion. Some power supply device converters 1150 perform DC-DC conversion. The reactor of the power supply device converter 1150 and the auxiliary power supply converter 1160 can have a configuration similar to that of the above-described reactor and the like, and the reactor whose size and shape are appropriately changed can be used. In addition, the above-described reactor or the like can be used for a converter that performs conversion of input power and that only performs step-up or only performs step-down.

《試験例1》
試験例1として、以下の試料1−1〜1−3の圧粉成形体を作製し、その各試料の磁気特性について後述する試験を行った。
<< Test Example 1 >>
As Test Example 1, the green compacts of Samples 1-1 to 1-3 below were produced, and the tests described below were performed for the magnetic properties of the samples.

[試料1−1]
試料1−1の圧粉成形体は、以下に示す工程a→工程b→工程c→工程dの順に各工程を経て作製される。
工程a:被覆軟磁性粉末を用意する原料準備工程。
工程b:被覆軟磁性粉末を加圧成形して素材成形体を作製する素材成形工程。
工程c:素材成形体を加熱して熱処理成形体を作製する熱処理工程。
工程d:熱処理成形体の表面にレーザを照射する照射工程。
[Sample 1-1]
The green compact of Sample 1-1 is produced through the following steps in the order of step a → step b → step c → step d.
Step a: Raw material preparation step of preparing coated soft magnetic powder.
Step b: A material molding step for producing a material molded body by press-molding the coated soft magnetic powder.
Step c: a heat treatment step of heating the material molded body to produce a heat treated molded body.
Step d: An irradiation step of irradiating the surface of the heat-treated molded body with a laser.

(工程a)
圧粉成形体の構成材料として、鉄粉からなる軟磁性粒子の表面にリン酸鉄からなる絶縁被膜を被覆した被覆軟磁性粉末に、ステアリン酸亜鉛からなる潤滑剤を0.6質量%含有した混合材料を用意した。上記鉄粉は、水アトマイズ法により作製され、純度が99.8%以上であった。この軟磁性粒子の平均粒径が50μmで、そのアスペクト比は1.2であった。この平均粒径は、粒径のヒストグラム中、粒径の小さい粒子からの質量の和が総質量の50%に達する粒子の粒径、つまり50%粒径により求めた。絶縁被膜は、軟磁性粒子の表面全体を実質的に覆い、その平均厚さは、20nmであった。
(Process a)
As a constituent material of the green compact, the coated soft magnetic powder in which the surface of soft magnetic particles made of iron powder was coated with an insulating coating made of iron phosphate contained 0.6% by mass of a lubricant made of zinc stearate. A mixed material was prepared. The iron powder was produced by a water atomization method and had a purity of 99.8% or more. The soft magnetic particles had an average particle size of 50 μm and an aspect ratio of 1.2. This average particle size was determined from the particle size of particles in which the sum of masses from particles with small particle sizes reached 50% of the total mass, that is, 50% particle size, in the particle size histogram. The insulating coating substantially covered the entire surface of the soft magnetic particles, and the average thickness was 20 nm.

(工程b)
工程aで準備した混合材料を所定の形状の金型内に注入し、金型を加熱せず730MPaの圧力をかけて加圧成形して素材成形体を作製した。ここでは、直方体状の素材成形体を複数作製した。
(Process b)
The mixed material prepared in step a was poured into a mold having a predetermined shape, and pressure-molded by applying a pressure of 730 MPa without heating the mold to produce a material molded body. Here, a plurality of rectangular parallelepiped material molded bodies were produced.

(工程c)
工程bで作製した素材成形体を窒素雰囲気下で400℃×30分、熱処理し、複数の熱処理成形体を得た。
(Process c)
The material molded body produced in step b was heat-treated at 400 ° C. for 30 minutes in a nitrogen atmosphere to obtain a plurality of heat-treated molded bodies.

(工程d)
工程dでは、工程cで得られた複数の直方体状の熱処理成形体を環状に組み合わせて、鉄損の評価用の試験片を作製するにあたり、熱処理成形体の少なくとも一体にレーザを照射する。ここでは、熱処理成形体の表面のうち、後述する磁気特性の測定試験でコイルが配置される熱処理成形体の表面の一部に対してレーザを照射した。その際、試料に生じる磁束の方向と平行となる面(平行面)の磁束方向全長に亘る領域に以下に示す条件で照射した。その結果、磁束方向を軸とした熱処理成形体の周方向の全長lに対するレーザが照射された処理幅wの比率w/lが7%であった。コイルが配置されない熱処理成形体にも、レーザを照射してもよい。このレーザを照射した熱処理成形体が圧粉成形体であり、この圧粉成形体を試料1−1とする。
(Process d)
In step d, a plurality of rectangular parallelepiped heat treatment molded bodies obtained in step c are combined in a ring shape to produce a test piece for evaluating iron loss, and at least the heat treatment molded body is irradiated with a laser. Here, the laser was irradiated to a part of the surface of the heat-treated molded body on which the coil is arranged in the magnetic property measurement test described later among the surfaces of the heat-treated molded body. In that case, the area | region covering the magnetic flux direction full length of the surface (parallel surface) parallel to the direction of the magnetic flux which arises in a sample was irradiated on the conditions shown below. As a result, the ratio w / l of the treatment width w irradiated with the laser with respect to the total length l in the circumferential direction of the heat-treated molded body with the magnetic flux direction as an axis was 7%. A heat treatment molded body on which no coil is disposed may be irradiated with a laser. The heat-treated molded body irradiated with this laser is a green compact, and this green compact is designated as Sample 1-1.

〈レーザの照射条件〉
種類:ファイバーレーザ
波長:1064nm
ビーム径に対する照射間隔の比率:0.15
パルス幅:200ns
ビーム径に対する走査間隔の比率:0.08
重ね回数:10回
エネルギー密度U:61.1W/mm
<Laser irradiation conditions>
Type: Fiber laser Wavelength: 1064nm
Ratio of irradiation interval to beam diameter: 0.15
Pulse width: 200ns
Ratio of scanning interval to beam diameter: 0.08
Number of stacking times: 10 times Energy density U: 61.1 W / mm 2

[試料1−2]
試料1−2の圧粉成形体は、試料1−1とは各工程を施す順番が異なり、上記工程a→工程b→工程d→工程cの順に各工程を経て作製される。工程dにおいてレーザが照射される領域は試料1−1と同様とした。
[Sample 1-2]
The compacted body of the sample 1-2 differs from the sample 1-1 in the order of performing each step, and is manufactured through the respective steps in the order of the step a → step b → step d → step c. The region irradiated with laser in step d was the same as that of sample 1-1.

[試料1−3]
試料1−3の圧粉成形体は、試料1−1とは、成形体の表面にレーザを照射しない点が相違する。つまり、試料1−3の圧粉成形体は、上記工程a→工程b→工程cの順に各工程を経て作製される。
[Sample 1-3]
The compacted green body of Sample 1-3 differs from Sample 1-1 in that the surface of the green body is not irradiated with laser. That is, the green compact of Sample 1-3 is manufactured through each step in the order of the above step a → step b → step c.

〔評価1〕
各試料1−1〜1−3の複数の圧粉成形体をそれぞれ環状に組み合わせて試験用磁心を作製した。各試験用磁心にそれぞれ巻線で構成したコイルを配して磁気特性を測定するための測定部材を作製し、以下の磁気特性を評価した。
[Evaluation 1]
A plurality of powder compacts of each of the samples 1-1 to 1-3 were combined in a ring shape to produce a test magnetic core. A measuring member for measuring magnetic characteristics was prepared by arranging coils each composed of a winding on each test magnetic core, and the following magnetic characteristics were evaluated.

[磁気特性試験]
各測定部材について、AC−BHカーブトレーサを用いて、励起磁束密度Bm:1kG(=0.1T)、測定周波数:5kHzにおける試料のヒステリシス損Wh(W)及び渦電流損We(W)を求め、各試料全体の損失W(W)を算出した。
[Magnetic property test]
For each measurement member, the hysteresis loss Wh (W) and eddy current loss We (W) of the sample at an excitation magnetic flux density Bm: 1 kG (= 0.1 T) and measurement frequency: 5 kHz are obtained using an AC-BH curve tracer. The loss W (W) of each sample was calculated.

以上の試験から得られた特性値は、表1に記載する。   The characteristic values obtained from the above tests are listed in Table 1.

《結果》
試料1−1のように、熱処理後、熱処理成形体の表面の一部にレーザを照射することで、レーザ照射を施していない試料1−3に比べて渦電流損を大きく低減することができた。また、レーザ照射後に熱処理を施した試料1−2も同様に渦電流損を低減できた。
"result"
By irradiating a part of the surface of the heat-treated molded body with the laser after the heat treatment like the sample 1-1, the eddy current loss can be greatly reduced as compared with the sample 1-3 not subjected to the laser irradiation. It was. In addition, eddy current loss was similarly reduced in Sample 1-2 that was heat-treated after laser irradiation.

以上の試験結果より、レーザの照射は熱処理成形体の表面の一部、特に、リアクトル用コアとして励磁した際、磁束方向との平行面の一部に施すと渦電流損、並びに損失の低減に効果的であることが判明した。   Based on the above test results, laser irradiation reduces eddy current loss and loss when applied to a part of the surface of the heat-treated molded body, particularly a part parallel to the magnetic flux direction when excited as a reactor core. It turns out to be effective.

レーザ照射前または後のいずれにも熱処理を施さない試料を用意して、その試料に対して上記と同様の試験を施したところ、レーザ照射前または後のいずれかに熱処理を施した上記試料1−1、1−2と同様に渦電流損の低減に効果的であった。   A sample that was not heat-treated before or after laser irradiation was prepared, and the sample was subjected to the same test as described above. The sample 1 was heat-treated before or after laser irradiation. 1 and 1-2, it was effective in reducing eddy current loss.

《試験例2》
試験例2として、試験例1で作製した試料1−1、1−2のそれぞれと同じ工程順で試料を作製するにあたり、工程dで照射するレーザの照射条件を異ならせて試料2−1、2−2を作製した。これら試料に対して、上記評価1と同様にして磁気特性を評価した。レーザの照射条件を以下に示し、得られた特性値を表2に示す。ここでは試験例1で作製した試料1−3も合わせて示している。
<< Test Example 2 >>
As Test Example 2, in preparing samples in the same process order as Samples 1-1 and 1-2 prepared in Test Example 1, sample 2-1 with different laser irradiation conditions in step d was used. 2-2 was produced. The magnetic characteristics of these samples were evaluated in the same manner as in Evaluation 1 above. The laser irradiation conditions are shown below, and the obtained characteristic values are shown in Table 2. Here, Sample 1-3 produced in Test Example 1 is also shown.

〈レーザの照射条件〉
種類:ファイバーレーザ
波長:1064nm
ビーム径に対する照射間隔の比率:0.07
パルス幅:120ns
ビーム径に対する走査間隔の比率:0.05
重ね回数:40回
エネルギー密度U:123.6W/mm
<Laser irradiation conditions>
Type: Fiber laser Wavelength: 1064nm
Ratio of irradiation interval to beam diameter: 0.07
Pulse width: 120ns
Ratio of scanning interval to beam diameter: 0.05
Number of times of stacking: 40 times Energy density U: 123.6 W / mm 2

《結果》
試験例1と同様に、レーザを表面の一部に照射した試料2−1、2−2は、レーザを照射していない試料1−3に比べて渦電流損を低減することができた。
"result"
Similar to Test Example 1, Samples 2-1 and 2-2 in which a part of the surface was irradiated with laser were able to reduce eddy current loss compared to Sample 1-3 that was not irradiated with laser.

《試験例3》
試験例3として、試験例2で作製した試料2−1と同様の試料を作製するにあたり、上記工程dで照射するレーザの照射条件のうちエネルギー密度Uを種々変更し、エネルギー密度U以外の条件は試料2−1と同様にして試料3−1〜3−10を作製した。各試料に対して上記評価1と同様にして磁気特性を評価した。各試料に照射したエネルギー密度U、及び得られた特性値を表3と図5に示す。
<< Test Example 3 >>
In producing the same sample as the sample 2-1 produced in the test example 2 as the test example 3, the energy density U is variously changed among the irradiation conditions of the laser irradiated in the step d, and the conditions other than the energy density U Prepared Samples 3-1 to 3-10 in the same manner as Sample 2-1. The magnetic characteristics were evaluated for each sample in the same manner as in Evaluation 1. The energy density U irradiated to each sample and the obtained characteristic values are shown in Table 3 and FIG.

《結果》
試料3−1〜3−10は、上記試料1−3(試験例1)に比べて、いずれも渦電流損を低減できた。また、試料3−3〜3−9は、試料3−1、3−2、及び3−10よりも渦電流損を低減でき、中でも、試料3−4〜3−8は、渦電流損を特に低減できた。
"result"
Samples 3-1 to 3-10 were all able to reduce eddy current loss as compared to Sample 1-3 (Test Example 1). In addition, Samples 3-3 to 3-9 can reduce eddy current loss more than Samples 3-1, 3-2, and 3-10. Among them, Samples 3-4 to 3-8 have eddy current loss. In particular, it was reduced.

以上の試験結果より、照射するレーザのエネルギー密度Uを37.0W/mm以上450.0W/mm以下とすれば、渦電流損の低減に一層効果的であることが判明した。 From the above test results, it has been found that if the energy density U of the laser to be irradiated is 37.0 W / mm 2 or more and 450.0 W / mm 2 or less, it is more effective in reducing eddy current loss.

《試験例4》
試験例4として、試験例2で作製した試料2−1と同様の試料を作製するにあたり、上記工程dで照射するレーザの照射条件のうち、ビーム径に対する照射間隔の比率を種々変更し、それ以外の条件は試料2−1と同様にして試料4−1〜4−10を作製した。各試料に対して、上記評価1と同様にして磁気特性を評価した。各試料に照射したレーザのビーム径に対する照射間隔の比率、及び得られた特性値を表4に示す。
<< Test Example 4 >>
As a test example 4, in producing the same sample as the sample 2-1 produced in the test example 2, the ratio of the irradiation interval to the beam diameter was variously changed among the irradiation conditions of the laser irradiated in the step d. Samples 4-1 to 4-10 were produced in the same manner as in Sample 2-1, except for the above conditions. Each sample was evaluated for magnetic properties in the same manner as in Evaluation 1. Table 4 shows the ratio of the irradiation interval to the beam diameter of the laser irradiated to each sample, and the obtained characteristic values.

《結果》
試料4−1〜4−10は、上記試料1−3(試験例1)に比べていずれも渦電流損を低減できた。また、試料4−1〜4−7は試料4−8〜4−10よりも渦電流損を低減でき、中でも試料4−1〜4−6は、渦電流損を特に低減できた。
"result"
Samples 4-1 to 4-10 were all able to reduce eddy current loss as compared to Sample 1-3 (Test Example 1). Samples 4-1 to 4-7 were able to reduce eddy current loss more than samples 4-8 to 4-10, and samples 4-1 to 4-6 were particularly able to reduce eddy current loss.

以上の結果より、照射するレーザのビーム径に対する照射間隔の比率を小さくすると、渦電流損を低減でき、特に、その比率を0.35以下、更には0.30以下とすることで、渦電流損の低減に一層効果的であることが判明した。   From the above results, it is possible to reduce the eddy current loss by reducing the ratio of the irradiation interval to the beam diameter of the irradiating laser. In particular, the eddy current can be reduced by setting the ratio to 0.35 or less, and further to 0.30 or less. It has been found to be more effective in reducing losses.

《試験例5》
試験例5として、試験例2で作製した試料2−1と同様の試料を作製するにあたり、上記工程dで照射するレーザの照射条件のうち、重ね回数を種々変更し、重ね回数以外の条件は試料2−1と同様にして試料5−1〜5−9を作製した。各試料に対して上記評価1と同様にして磁気特性を評価した。各試料に照射したレーザの重ね回数、及び得られた特性値を表5に示す。
<< Test Example 5 >>
As a test example 5, in producing the same sample as the sample 2-1 produced in the test example 2, among the laser irradiation conditions irradiated in the step d, the number of times of overlapping is variously changed. Samples 5-1 to 5-9 were prepared in the same manner as Sample 2-1. The magnetic characteristics were evaluated for each sample in the same manner as in Evaluation 1. Table 5 shows the number of times the laser was irradiated to each sample and the obtained characteristic values.

《結果》
試料5−1〜5−8は、試料5−9に比べて渦電流損を低減でき、中でも試料5−1〜5−6は試料5−7、5−8よりも渦電流損を低減できた。特に、試料5−1〜5−5はより一層渦電流損を低減できた。
"result"
Samples 5-1 to 5-8 can reduce eddy current loss compared to sample 5-9, and samples 5-1 to 5-6 can reduce eddy current loss more than samples 5-7 and 5-8. It was. In particular, Samples 5-1 to 5-5 were able to further reduce eddy current loss.

以上の結果より、レーザの重ね回数を多くすると、渦電流損を低減でき、特に5回以上、さらには10回以上とすることで、渦電流損の低減に一層効果的であることが判明した。   From the above results, it was found that eddy current loss can be reduced by increasing the number of overlapping lasers, and more effective for reducing eddy current loss, especially by setting it to 5 times or more, and even 10 times or more. .

《試験例6》
試験例6として、試料1−1、3−6に対して、多層膜ミラーを使用する平行光学系のX線回折装置で表面の成分を測定した。この成分測定は、試料1−1と試料3−6のレーザの照射領域における成分を測定した。試料1−3の摺接面における成分もあわせて測定した。測定条件を以下に示し、試料1−1、3−6、1−3の各結果を図6〜8に示す。図中の○はFe、△はFeO、×はα‐Feを示す。
<< Test Example 6 >>
As Test Example 6, the surface components of Samples 1-1 and 3-6 were measured with a parallel optical X-ray diffractometer using a multilayer mirror. In this component measurement, components in the laser irradiation regions of Sample 1-1 and Sample 3-6 were measured. The components on the sliding surface of Sample 1-3 were also measured. Measurement conditions are shown below, and each result of Samples 1-1, 3-6, and 1-3 is shown in FIGS. In the figure, ◯ represents Fe 3 O 4 , Δ represents FeO, and x represents α-Fe.

〈測定条件〉
使用装置:X線回折装置(PANalytical社製 X´pert)
使用X線:Cu−Kα
励起条件:45kV 40mA
測定法:θ−2θ測定
<Measurement condition>
Equipment used: X-ray diffractometer (X'pert manufactured by PANalytical)
X-ray used: Cu-Kα
Excitation conditions: 45 kV 40 mA
Measurement method: θ-2θ measurement

《結果》
試料1−1(図6)と試料3−6(図7)は、試料1−3(図8)に比べて、α‐Feが少なく、FeO、及びFeが多い。試料1−1と試料3−6とを比較すると、照射したレーザのエネルギー密度Uが高い試料3−6の方が、試料1−1よりも、α‐Feが少ない。試料1−1は、FeよりもFeOが多く検出されたのに対して、試料3−6はFeOよりもFeの方が多く検出された。
"result"
Sample 1-1 (FIG. 6) and sample 3-6 (FIG. 7) have less α-Fe, more FeO, and Fe 3 O 4 than sample 1-3 (FIG. 8). When comparing the sample 1-1 and the sample 3-6, the sample 3-6 having a higher energy density U of the irradiated laser has less α-Fe than the sample 1-1. Sample 1-1 is that the FeO is detected more than Fe 3 O 4, samples 3-6 were detected many towards Fe 3 O 4 than FeO.

以上の結果より、レーザを照射することで、α‐Feが減少すると共に、FeO、及びFeが増加する。レーザのエネルギー密度Uを高くすることで、FeOよりもFeが増加することが判明した。加えて、試験例1と3とに示すように、試料1−1及び3−6は試料1−3よりも損失が少ないことから、圧粉成形体の表面にFeO及びFeの少なくとも一方を含む酸化膜を具えることで、損失を低減でき、特に、FeOよりもFeを多く含む方が損失を一層低減できることが判明した。 From the above results, by irradiating with laser, α-Fe is decreased and FeO and Fe 3 O 4 are increased. It was found that increasing the laser energy density U increases Fe 3 O 4 over FeO. In addition, as shown in Test Examples 1 and 3, since Samples 1-1 and 3-6 have less loss than Sample 1-3, at least FeO and Fe 3 O 4 are formed on the surface of the green compact. It has been found that providing an oxide film containing one can reduce loss, and in particular, loss can be further reduced by containing more Fe 3 O 4 than FeO.

《試験例7》
試験例7として、試験例2で作製した試料2−1と同様の試料を作製するにあたり、上記工程dで照射するレーザの照射条件のうちエネルギー密度Uを種々変更し、エネルギー密度U以外の条件は試料2−1と同様にして試料7−1〜7−4を作製した。また、試験例1で作製した試料1−3と同様の試料7−5を作製した。そして、以下の装置を用いてエネルギー分散型X線分光法(EDX)により各試料の表面における酸素の含有量を測定した。具体的には、試料7−1〜7−4ではレーザを照射した箇所を、試料7−5ではダイとの摺接面の一部及びパンチと接触する圧接面の一部を、それぞれ測定した。酸素の含有量は、各試料の表面から試料内部へ深さ1μm程度までの領域における鉄と酸素の合計含有量を100質量%としたときの割合を示す。施した表面処理、測定箇所、及びその結果をまとめて表6に示す。
<< Test Example 7 >>
As a test example 7, in producing the same sample as the sample 2-1 produced in the test example 2, the energy density U is variously changed among the irradiation conditions of the laser irradiated in the step d, and conditions other than the energy density U Prepared Samples 7-1 to 7-4 in the same manner as Sample 2-1. Further, Sample 7-5 similar to Sample 1-3 manufactured in Test Example 1 was manufactured. And the oxygen content in the surface of each sample was measured by energy dispersive X-ray spectroscopy (EDX) using the following apparatus. Specifically, in Samples 7-1 to 7-4, the portion irradiated with the laser was measured, and in Sample 7-5, a part of the slidable contact surface with the die and a part of the pressure contact surface in contact with the punch were measured. . The oxygen content indicates a ratio when the total content of iron and oxygen in the region from the surface of each sample to the depth of about 1 μm into the sample is 100% by mass. Table 6 summarizes the surface treatments, measurement locations, and results.

〈測定条件〉
使用装置:走査型電子顕微鏡(SEM) (ZEISS社製 SUPRA35VP)
エネルギー分散型X線分析装置(EDX装置) (EDAX社製 GENESIS4000)
加速電圧:15kV
測定領域:1.80×0.835mm
<Measurement condition>
Equipment used: Scanning electron microscope (SEM) (SUPRA35VP manufactured by ZEISS)
Energy dispersive X-ray analyzer (EDX system) (GENESIS 4000 manufactured by EDAX)
Acceleration voltage: 15 kV
Measurement area: 1.80 × 0.835 mm 2

《結果》
試料7−1〜7−4は、試料7−5に比べて損失が小さく、中でも酸素の含有量が9質量%以上の試料7−1〜7−3は損失が特に小さかった。一方、試料7−5の摺接面及び圧接面はいずれも酸素の含有量が6質量%未満であった。
"result"
Samples 7-1 to 7-4 had a smaller loss than Sample 7-5, and Samples 7-1 to 7-3 having an oxygen content of 9% by mass or more had particularly small losses. On the other hand, the sliding contact surface and the pressure contact surface of Sample 7-5 both had an oxygen content of less than 6% by mass.

試料7−1〜7−4は、レーザの照射により圧粉成形体の表面が酸化されて酸化膜が形成されたため、試料7−5よりも酸素の含有量が多くなった。特に、レーザのエネルギー密度Uが高い方がより酸化されたため、試料7−1〜7−3は、酸素の含有量が多くなったと考えられる。導通部の分断に加えて、酸化膜を形成できた結果、十分に渦電流を遮断でき、損失が小さくなったと考えられる。以上から、表面の酸素の含有量が9質量%以上とすることで、損失をより低減できることが判明した。   In Samples 7-1 to 7-4, the surface of the green compact was oxidized by laser irradiation to form an oxide film, so that the oxygen content was higher than that of Sample 7-5. In particular, the higher the energy density U of the laser was, the more oxidized, and therefore it is considered that Samples 7-1 to 7-3 had an increased oxygen content. As a result of the formation of the oxide film in addition to the division of the conduction part, it is considered that the eddy current can be sufficiently cut off and the loss is reduced. From the above, it was found that the loss can be further reduced by setting the oxygen content on the surface to 9% by mass or more.

以下、参考例として、以下の試料7−11〜7−13の圧粉成形体を作製し、試験例7と同様に各試料の表面における酸素の含有量を測定した。   Hereinafter, as a reference example, green compacts of the following samples 7-11 to 7-13 were prepared, and the oxygen content on the surface of each sample was measured in the same manner as in Test Example 7.

[試料7−11]
試料7−11の圧粉成形体は、工程a→工程b→工程cの順に各工程を経た後、工程dにおいてレーザを照射する代わりに、熱処理成形体の表面に以下に示す電解処理を施して作製した。
[Sample 7-11]
The compact formed body of Sample 7-11 was subjected to the following electrolytic treatment on the surface of the heat treated formed body instead of irradiating the laser in step d after passing through each step in the order of step a → step b → step c. Made.

(電解処理)
電解処理は、濃度が20質量%の硝酸ナトリウムが入った液槽に熱処理成形体を浸漬させて、電解処理させる箇所に陽極のPt電極を接触させ、陰極のPt電極を電解液中に浸漬させて、熱処理成形体のその他の箇所に接触させる。その状態で、65Vの電圧を印加して40Aの電流を35sec間流した。電解処理における上記比率w/lは、7%であった。電解処理後に圧粉成形体を水で洗浄した。
(Electrolytic treatment)
The electrolytic treatment is performed by immersing the heat-treated molded body in a liquid tank containing sodium nitrate having a concentration of 20% by mass, bringing the Pt electrode of the anode into contact with the portion to be subjected to the electrolytic treatment, and immersing the cathode Pt electrode in the electrolytic solution. Then, it is brought into contact with other portions of the heat-treated molded body. In that state, a voltage of 65 V was applied and a current of 40 A was applied for 35 seconds. The ratio w / l in the electrolytic treatment was 7%. After the electrolytic treatment, the green compact was washed with water.

[試料7−12]
試料7−12の圧粉成形体は、試料7−11と同様、工程a→工程b→工程cの順に各工程を経た後、工程dにおいてレーザを照射する代わりに、熱処理成形体の表面に以下に示す酸処理を施して作製した。
[Sample 7-12]
In the same manner as the sample 7-11, the compact formed body of the sample 7-12 is subjected to each step in the order of step a → step b → step c, and then, on the surface of the heat treated formed body, instead of irradiating the laser in step d. It produced by performing the acid treatment shown below.

(酸処理)
酸処理は、pH1で温度が26℃の濃塩酸が入った液槽に、濃塩酸を攪拌しながら熱処理成形体の表面の一部を20分間浸けた。酸処理における上記比率w/lは、7%であった。酸処理後に圧粉成形体を水で洗浄した。
(Acid treatment)
In the acid treatment, a part of the surface of the heat-treated molded article was immersed for 20 minutes in a liquid tank containing concentrated hydrochloric acid having a pH of 1 and a temperature of 26 ° C. while stirring the concentrated hydrochloric acid. The ratio w / l in the acid treatment was 7%. After the acid treatment, the green compact was washed with water.

[試料7−13]
試料7−13の圧粉成形体は、工程a→工程b→工程cの順に各工程を経て作製する。ここでは、試験例1の工程aとは用意する被覆軟磁性粉末の種類が異なり、かつ、工程bとは金型に潤滑剤を塗布する外部潤滑成形方法を採用した点が異なる。つまり、上述の外部潤滑成形方法により、十分に潤滑の効果が得られるようにして、金型との摺接面に上記導通部が生成され難いようにした。
[Sample 7-13]
The green compact of Sample 7-13 is produced through each step in the order of step a → step b → step c. Here, the kind of the coated soft magnetic powder to be prepared is different from the process a in Test Example 1, and the process b is different from the process b in that an external lubrication molding method in which a lubricant is applied to the mold is adopted. In other words, the above-described external lubrication molding method can provide a sufficient lubrication effect so that the conductive portion is not easily generated on the sliding contact surface with the mold.

具体的には、工程aの軟磁性粒子の表面に被覆した絶縁被膜を多層構造とした。まず、軟磁性粒子に化成処理を施し、水和水を含有するリン酸金属塩化合物からなる内側膜(厚さ:20nm以下程度)を形成し、この内側膜を具える粒子と市販の樹脂材料(モメンティブ製シリコーンXC96−B0446(加水分解・縮重合反応によりシリコーン樹脂となるもの))を加熱雰囲気で混合し(80℃〜150℃)、リン酸金属塩化合物からなる内側膜と、シリコーン樹脂からなる外側層との多層構造の絶縁層(合計平均厚さ:500nm)を形成した。この被覆軟磁性粉末を金型内に注入する際、被覆軟磁性粉末と接触する金型の内壁にエチレンビスステアリン酸アミドからなる潤滑剤を塗布し、950MPaの圧力をかけて加圧成形して圧粉成形体を作製した。作製された圧粉成形体における金型との摺接面を表面観察したところ、上記導通部の生成は見られなかった。   Specifically, the insulating coating coated on the surface of the soft magnetic particles in step a was made into a multilayer structure. First, a chemical conversion treatment is performed on soft magnetic particles to form an inner film (thickness: about 20 nm or less) made of a metal phosphate compound containing hydrated water. Particles including the inner film and a commercially available resin material (Momentive silicone XC96-B0446 (which becomes a silicone resin by hydrolysis / condensation polymerization reaction)) is mixed in a heated atmosphere (80 ° C. to 150 ° C.), and the inner membrane made of a metal phosphate compound and the silicone resin are mixed. An insulating layer having a multilayer structure with the outer layer (total average thickness: 500 nm) was formed. When injecting the coated soft magnetic powder into the mold, a lubricant made of ethylenebisstearic acid amide is applied to the inner wall of the mold that comes into contact with the coated soft magnetic powder, and pressure-molded by applying a pressure of 950 MPa. A green compact was produced. When the slidable contact surface with the mold in the produced green compact was observed on the surface, no generation of the conductive part was observed.

作製した試料7−11、7−12では各処理を施した箇所に対して、試料7−13では圧接面に対して、それぞれ上述と同様にして酸素量を測定した。施した表面処理、測定箇所、及び酸素量をまとめて表7に示す。   In the produced samples 7-11 and 7-12, the amount of oxygen was measured in the same manner as described above with respect to the place where each treatment was performed, and in the sample 7-13 with respect to the pressure contact surface. Table 7 summarizes the surface treatment performed, the measurement location, and the oxygen content.

《結果》
上記レーザの代わりに電解処理、酸処理を施した試料7−11、7−12とも表面の酸素量は4質量%程度であった。即ち、電解処理及び酸処理を施しても、圧粉成形体の表面に所定の酸素量を含有する表面部分が形成されないことが判明した。一方、圧粉成形体の原料の軟磁性粒子に被覆する絶縁被膜が分厚く、試料7−1〜7−3に比べて、原料の段階で酸素量の多い粉末から構成される試料7−13における表面の酸素量は8質量%程度であり、9質量%以上にならなかった。つまり、原料の段階で酸素量が多い被覆軟磁性粉末を用いて圧粉成形体を作製しても、表面の酸素量が9質量%以上とならないことが判明した。
"result"
In Samples 7-11 and 7-12 subjected to electrolytic treatment and acid treatment instead of the laser, the surface oxygen amount was about 4% by mass. That is, it has been found that even when electrolytic treatment and acid treatment are performed, a surface portion containing a predetermined amount of oxygen is not formed on the surface of the green compact. On the other hand, in the sample 7-13 composed of powder having a large amount of oxygen at the raw material stage as compared with Samples 7-1 to 7-3, the insulating coating covering the soft magnetic particles of the raw material of the green compact is thick. The amount of oxygen on the surface was about 8% by mass and did not exceed 9% by mass. That is, it has been found that even when a compacted body is produced using a coated soft magnetic powder having a large amount of oxygen at the raw material stage, the oxygen content on the surface does not become 9% by mass or more.

《試験例8》
試験例8として、試料1−1のレーザ照射前後、及び試料3−5、3−6、3−8、3−9の表面を顕微鏡により観察した。この表面観察は、各試料の表面を拡大した写真をSEMで撮影して行った。その拡大写真を図9〜14に示す。図9〜13の(A)は試料1−1のレーザ照射前後、試料3−5、3−6、3−8の断面を示し、(B)は同試料の表面を示す。図14は、試料3−9の断面を示す。
<< Test Example 8 >>
As Test Example 8, before and after laser irradiation of Sample 1-1, and the surfaces of Samples 3-5, 3-6, 3-8, and 3-9 were observed with a microscope. This surface observation was performed by taking an enlarged photograph of the surface of each sample with an SEM. The enlarged photographs are shown in FIGS. 9A to 13A show cross sections of the samples 3-5, 3-6, and 3-8 before and after laser irradiation of the sample 1-1, and FIG. 9B shows the surface of the sample. FIG. 14 shows a cross section of Sample 3-9.

《結果》
[試料No.1−1]
試料1−1は、図9(A)において、同図の右側に向かって成形体を抜き出したものであり、各破線円における右側の粒子を軟磁性粒子α、その左隣の粒子が軟磁性粒子βとする。図10(A)でも同様とする。レーザ照射前の表面は、各破線円に示すように、各粒子αに形成された薄膜状体が隣接する左側の粒子βにまで到達して導通した状態になっている。特に右側の破線円で囲まれた箇所において、右端の粒子αが薄膜状に延伸されてその左隣の粒子βの表面に被さるように薄膜状体(導通部)が形成されていることが明確に示されている。この隣接する粒子同士の部分的重複により、この薄膜状体には、分断箇所がほとんど見られない(同図(B))。レーザ照射後の表面は、図10(A)において、各破線円に示すように、各粒子に形成された薄膜状体が溶融・流動されて、分断領域を形成している。例えば、右側の破線円における左側の粒子βの表面が分断領域である。分断領域が形成されると共に、粒子αから隣接する粒子βの表面上部に部分的に被さるように突出した塊(凝集部)が形成されている。この凝集部に厚さの厚い酸化膜(濃いグレー部分)が形成されており、この凝集部を具える粒子αの凝集部を除く表面には凝集部よりも薄い酸化膜が形成されている。左側の破線円に示す凝集部の芯は、酸化されずに軟磁性粒子を構成する金属の状態で残っている。そして、同図(B)に示すように、レーザ照射前(図9(B))に比べて薄膜状体の領域が少なく、分断箇所が増加しており、各粒子間が確認できる。
"result"
[Sample No. 1-1]
In FIG. 9A, Sample 1-1 is obtained by extracting the molded body toward the right side of FIG. 9A. The right-side particle in each broken-line circle is the soft magnetic particle α, and the left adjacent particle is the soft magnetic particle. Let particle β. The same applies to FIG. The surface before laser irradiation is in a state where the thin film-like body formed on each particle α reaches the adjacent left-side particle β and becomes conductive, as shown by each broken-line circle. In particular, it is clear that the thin-film body (conduction part) is formed so that the rightmost particle α is stretched in a thin film shape and covered on the surface of the particle β on the left side in the place surrounded by the broken line circle on the right side. Is shown in Due to the partial overlap between the adjacent particles, almost no part of the thin film-like body is seen ((B) in the figure). In the surface after laser irradiation, as shown by each broken-line circle in FIG. 10A, the thin film-like body formed in each particle is melted and fluidized to form a divided region. For example, the surface of the left particle β in the right dashed circle is the segmented region. A split region is formed, and a lump (aggregation part) that protrudes so as to partially cover the upper surface of the adjacent particle β from the particle α is formed. A thick oxide film (dark gray portion) is formed on the aggregated portion, and an oxide film thinner than the aggregated portion is formed on the surface excluding the aggregated portion of the particles α having the aggregated portion. The core of the agglomerated part shown in the broken line circle on the left side remains in the state of the metal constituting the soft magnetic particles without being oxidized. And as shown to the same figure (B), the area | region of a thin film-like body is few compared with laser irradiation (FIG. 9 (B)), the part of a division | segmentation has increased, and it can confirm between each particle | grain.

[試料No.3−5]
試料3−5は、図11(A)に示すように、試料の表面において、隣接する粒子間に亘って形成されていた薄膜状体(例えば、図9(A)破線円)が、レーザが照射されることで溶融・流動されて各粒子の表面を覆う酸化膜となった。そして、隣接する粒子間の表面側は、互いに非接触状態となっており、隣接する粒子の表面側の間に、クレバス状に分断領域が形成されている。また、図11(B)に示すように、試料1−1よりも薄膜状体の領域が少なく、分断箇所が増加しており、各粒子間が確認できる。
[Sample No. 3-5]
As shown in FIG. 11A, the sample 3-5 has a thin film-like body (for example, a broken line circle in FIG. 9A) formed on the surface of the sample between adjacent particles. When irradiated, it melted and flowed to form an oxide film covering the surface of each particle. And the surface side between adjacent particles is in a non-contact state with each other, and a cleaved region is formed between the surface sides of adjacent particles. Further, as shown in FIG. 11B, the area of the thin film-like body is smaller than that of the sample 1-1, and the number of divided portions is increased, so that the space between the particles can be confirmed.

[試料No.3−6]
試料3−6は、図12(A)に示すように、試料表面において隣接する粒子の表面側の間に、クレバス状に分断領域が形成されており、各粒子の表面を覆う酸化膜が形成されている。図12(A)において、粒子の表面の濃いグレーが酸化膜である。以下、図13、14も同様である。隣接する粒子間に亘って形成されていた薄膜状体(例えば、図9(A)破線円)が、レーザが照射されることで、図の中央の粒子に示すように、溶融・流動されて中央側が両側に比べて厚い酸化膜で構成される集結部を形成している。特に図の左側の粒子表面に形成された酸化膜の厚さは0.75μm程度と厚くなっている。また、図12(B)に示すように、試料3−5よりも薄膜状体の領域が少なく、分断箇所が増加している。
[Sample No. 3-6]
In Sample 3-6, as shown in FIG. 12A, a cleaved region is formed between adjacent particle surfaces on the sample surface, and an oxide film covering the surface of each particle is formed. Has been. In FIG. 12A, dark gray on the surface of the particles is an oxide film. The same applies to FIGS. 13 and 14 below. When a thin film-like body (for example, a broken line circle in FIG. 9A) formed between adjacent particles is irradiated with a laser, it is melted and flown as shown in the center particle in the figure. A central portion is formed of a thick oxide film that is thicker than both sides. In particular, the thickness of the oxide film formed on the particle surface on the left side of the figure is as thick as about 0.75 μm. In addition, as shown in FIG. 12B, the area of the thin film-like body is smaller than that of the sample 3-5, and the number of divided portions is increased.

[試料No.3−8]
試料3−8は、隣接する粒子間に亘って形成されていた薄膜状体(例えば、図9(A)破線円)が、レーザが照射されることで溶融・流動されて、図13(A)に示すように、試料表面において、隣接する粒子の表面側の間にクレバス状に分断領域が形成されており、粒子の中央側にその両側よりも厚さの厚い酸化膜で構成される集結部を形成している。特に図の中央右側の粒子表面に形成された酸化膜の厚さは3.0μm程度と厚くなっている。また、図13(B)に示すように、試料3−6よりも薄膜状体の領域が少なく、分断箇所が増加している。
[Sample No. 3-8]
In the sample 3-8, a thin film-like body (for example, a broken line circle in FIG. 9A) formed between adjacent particles is melted and fluidized by irradiation with a laser, and the sample 3-8 in FIG. As shown in Fig. 2), on the sample surface, a crevice-shaped segmented region is formed between the surface sides of adjacent particles, and the particles are concentrated on the center side of the particles and are composed of an oxide film that is thicker than both sides. Forming part. In particular, the thickness of the oxide film formed on the particle surface on the right side of the center of the figure is as thick as about 3.0 μm. Further, as shown in FIG. 13B, the area of the thin film-like body is smaller than that of the sample 3-6, and the number of divided portions is increased.

[試料No.3−9]
試料3−9は、図14の中央に、山形状の酸化膜(集結部)が形成されており、その厚さが10μm程度である。
[Sample No. 3-9]
In Sample 3-9, a mountain-shaped oxide film (concentration part) is formed in the center of FIG. 14, and the thickness thereof is about 10 μm.

試料1−1のレーザ照射前は、成形工程の金型との擦れによって、成形体表面の絶縁被膜が損傷すると共に、軟磁性粒子が展延したことにより表面に軟磁性粒子同士が導通した導通部が形成されていると考えられ、試料1−1は、レーザを照射することによって生じる熱が、導通部では拡散し難く高温の状態が維持され易い。その結果、上記導通部が溶融して分断されたと考えられる。試料1−1は、その他の試料に比べて照射したレーザのエネルギー密度Uが小さいため、上記塊同士の間に上記薄膜状体が残存し、その上、塊の外周を覆う酸化膜が形成されたと考えられる。一方、試料3−5は、照射したレーザのエネルギー密度Uを88.1W/mmと試料1−1よりも高くしたことで、試料3−6は、照射したレーザのエネルギー密度Uを123.6W/mmと試料3−5よりも高くしたことで、そして、試料3−8は、照射したレーザのエネルギー密度Uを290.8W/mmと試料3−6よりも高くしたことで、試料1−1で形成された上記塊や、試料1−1で塊同士の間に残存している上記薄膜状体も酸化された。その結果、表面を覆う酸化膜が形成されたと考えられる。特に、高いエネルギー密度が付与されるほど、上記薄膜状体の高温状態が維持され易くなり、上記薄膜状体がさらに溶融される。溶融した薄膜状体の構成材料が表面張力により凝集し、表面積が小さくなろうとする。その結果、中央部の酸化膜の厚さが厚くなったと考えられる。 Prior to laser irradiation of sample 1-1, the insulating film on the surface of the molded body was damaged by rubbing with the mold in the molding process, and the soft magnetic particles were spread to cause conduction between the soft magnetic particles on the surface. It is considered that the portion is formed, and in Sample 1-1, the heat generated by irradiating the laser hardly diffuses in the conduction portion, and the high temperature state is easily maintained. As a result, it is considered that the conducting part was melted and divided. In Sample 1-1, the energy density U of the irradiated laser is smaller than that of the other samples, so that the thin film remains between the chunks, and an oxide film covering the outer periphery of the chunk is formed. It is thought. On the other hand, in Sample 3-5, the energy density U of the irradiated laser was 88.1 W / mm 2 which was higher than that of Sample 1-1, and in Sample 3-6, the energy density U of the irradiated laser was 123. 6W / mm 2 was higher than Sample 3-5, and Sample 3-8 was higher in energy density U of the irradiated laser than 290.8 W / mm 2 and Sample 3-6, The lump formed in Sample 1-1 and the thin film-like body remaining between the lump in Sample 1-1 were also oxidized. As a result, it is considered that an oxide film covering the surface was formed. In particular, the higher the energy density, the easier the high temperature state of the thin film body is maintained and the thin film body is further melted. The constituent material of the molten thin film is aggregated due to surface tension, and the surface area tends to be reduced. As a result, it is considered that the thickness of the oxide film at the center has increased.

[まとめ]
レーザのエネルギー密度Uが高いほど、導通部が分断され易い。その上、各粒子の表面を覆う酸化膜の領域が大きくなり、かつ酸化膜の厚さが厚い箇所を具えることができることが判明した。
[Summary]
As the energy density U of the laser is higher, the conduction part is more likely to be divided. In addition, it has been found that the area of the oxide film covering the surface of each particle can be increased, and a portion having a thick oxide film can be provided.

本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately changed without departing from the gist of the present invention.

本発明圧粉成形体の製造方法は、各種磁心の作製に好適に利用することができる。また、本発明圧粉成形体は、ハイブリッド自動車などの昇圧回路や、発電・変電設備に用いられるリアクトルの他、トランスやチョークコイルのコアの材料に好適に利用することができる。本発明リアクトルは、ハイブリッド自動車、プラグインハイブリッド自動車、電気自動車、燃料電池自動車といった車両に搭載されるDC-DCコンバータや空調機のコンバータといった電力変換装置の構成部品に利用することができる。   The manufacturing method of this invention compacting body can be utilized suitably for preparation of various magnetic cores. Further, the green compact of the present invention can be suitably used as a core material for a transformer or a choke coil in addition to a booster circuit such as a hybrid vehicle or a reactor used in power generation / transforming equipment. The reactor of the present invention can be used for components of power conversion devices such as DC-DC converters and air conditioner converters mounted on vehicles such as hybrid vehicles, plug-in hybrid vehicles, electric vehicles, and fuel cell vehicles.

100 リアクトル
1 圧粉成形体 10 素材成形体
2 コイル 2a、2b コイル素子 2r 連結部 2w 巻線
3 磁性コア(リアクトル用コア)
31 内側コア部 31m コア片 31g ギャップ材 32 露出コア部
31p 加圧面 31s、31so、31sp 摺接面
1100 電力変換装置
1110 コンバータ 1111 スイッチング素子
1112 駆動回路 L リアクトル 1120 インバータ
1150 給電装置用コンバータ 1160 補機電源用コンバータ
1200 車両
1210 メインバッテリ 1220 モータ 1230 サブバッテリ
1240 補機類 1250 車輪
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Reactor 1 Compacting body 10 Material molding 2 Coil 2a, 2b Coil element 2r Connecting part 2w Winding 3 Magnetic core (core for reactor)
31 Inner core portion 31m Core piece 31g Gap material 32 Exposed core portion 31p Pressure surface 31s, 31so, 31sp Sliding contact surface 1100 Power conversion device 1110 Converter 1111 Switching element 1112 Drive circuit L reactor 1120 Inverter 1150 Power supply device converter 1160 Auxiliary power supply Converter 1200 Vehicle 1210 Main battery 1220 Motor 1230 Sub battery 1240 Auxiliaries 1250 Wheel

Claims (22)

軟磁性粒子の外周に絶縁被膜が被覆された被覆軟磁性粒子を複数具える被覆軟磁性粉末を加圧成形してなる圧粉成形体であって、
前記圧粉成形体の表面の少なくとも一部に鉄を含有する酸化膜を具え、
前記酸化膜を具える箇所の表面部分における鉄と酸素の合計含有量を100質量%とするとき、前記酸素の含有量が9質量%以上20質量%以下であることを特徴とする圧粉成形体。
A compacted body formed by pressure-molding a coated soft magnetic powder comprising a plurality of coated soft magnetic particles whose outer periphery is coated with an insulating coating,
Comprising an oxide film containing iron on at least a part of the surface of the green compact,
Powder compacting, wherein the content of oxygen is 9% by mass or more and 20% by mass or less when the total content of iron and oxygen in the surface portion of the portion having the oxide film is 100% by mass body.
さらに、前記圧粉成形体の表面に、酸素の含有量が6質量%未満の箇所を具えることを特徴とする請求項1に記載の圧粉成形体。   Furthermore, the surface of the said compacting body provides the location where oxygen content is less than 6 mass%, The compacting body of Claim 1 characterized by the above-mentioned. 前記酸化膜は、厚さが0.1μm以上の箇所を具えることを特徴とする請求項1または2に記載の圧粉成形体。   The green compact according to claim 1 or 2, wherein the oxide film has a portion having a thickness of 0.1 µm or more. 前記圧粉成形体の表面の少なくとも一部に、隣接する軟磁性粒子同士を電気的に分断する分断領域と、
前記分断領域に隣接する前記軟磁性粒子の表面において、隣接する粒子間に跨らず、中央側がその外周縁側よりも厚みの大きい酸化膜で構成される集結部とを具えることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の圧粉成形体。
At least part of the surface of the green compact, a divided region that electrically separates adjacent soft magnetic particles, and
In the surface of the soft magnetic particle adjacent to the segmented region, the central portion includes a concentrating portion formed of an oxide film having a thickness larger than that of the outer peripheral edge without crossing between adjacent particles. The compacting body of any one of Claims 1-3.
前記圧粉成形体の表面の少なくとも一部に、隣接する軟磁性粒子同士を電気的に分断する分断領域と、
前記分断領域に隣接する前記軟磁性粒子の表面において、当該軟磁性粒子の外周縁側に突出し、局所的に厚みの大きい凝集部とを具え、
前記凝集部の少なくとも一部に前記酸化膜を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧粉成形体。
At least part of the surface of the green compact, a divided region that electrically separates adjacent soft magnetic particles, and
On the surface of the soft magnetic particle adjacent to the segmented region, it protrudes to the outer peripheral edge side of the soft magnetic particle, and comprises a locally thick aggregated portion,
The compacted article according to any one of claims 1 to 4, wherein the oxide film is provided on at least a part of the agglomerated part.
前記凝集部における前記酸化膜は、厚さが0.5μm以上の箇所を具えることを特徴とする請求項5に記載の圧粉成形体。   The green compact according to claim 5, wherein the oxide film in the agglomerated portion includes a portion having a thickness of 0.5 μm or more. 前記酸化膜が、FeO、α‐Fe、γ‐Fe、及びFeの少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の圧粉成形体。 The pressure according to claim 1, wherein the oxide film includes at least one of FeO, α-Fe 2 O 3 , γ-Fe 2 O 3 , and Fe 3 O 4. Powder molded body. 前記圧粉成形体の密度dが、7.0g/cm以上であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の圧粉成形体。 The density d of the said compacting body is 7.0 g / cm < 3 > or more, The compacting body of any one of Claims 1-7 characterized by the above-mentioned. 前記軟磁性粒子は、純度が99質量%以上の鉄からなることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の圧粉成形体。   The green compact according to any one of claims 1 to 8, wherein the soft magnetic particles are made of iron having a purity of 99% by mass or more. 軟磁性粒子の外周に絶縁被膜が被覆された被覆軟磁性粒子を複数具える被覆軟磁性粉末を用いて圧粉成形体を製造する圧粉成形体の製造方法であって、
前記被覆軟磁性粉末を加圧成形した素材成形体を用意する素材準備工程と、
前記素材成形体の表面の少なくとも一部にレーザを照射する照射工程とを具えることを特徴とする圧粉成形体の製造方法。
A method for producing a green compact using a coated soft magnetic powder comprising a plurality of coated soft magnetic particles each having an insulating film coated on the outer periphery of the soft magnetic particles,
A material preparation step of preparing a material molded body obtained by pressure-molding the coated soft magnetic powder;
And a step of irradiating at least a part of the surface of the material molded body with a laser.
前記照射工程は、前記素材成形体における金型との摺接面の少なくとも一部にレーザを照射することを特徴とする請求項10に記載の圧粉成形体の製造方法。   The said irradiation process irradiates a laser to at least one part of the slidable contact surface with the metal mold | die in the said raw material molded object, The manufacturing method of the compacting body of Claim 10 characterized by the above-mentioned. 前記照射工程は、前記圧粉成形体を磁心として励磁した際、磁束方向との平行面の少なくとも一部となる素材成形体の表面にレーザを照射することを特徴とする請求項10または11に記載の圧粉成形体の製造方法。   The said irradiating step irradiates a surface of a material molded body that becomes at least a part of a plane parallel to a magnetic flux direction when the powder compacted body is excited as a magnetic core. The manufacturing method of the compacting body of description. 前記照射工程は、前記平行面において、前記圧粉成形体の磁束方向全長に亘る領域となる素材成形体の表面にレーザを照射することを特徴とする請求項12に記載の圧粉成形体の製造方法。   The said compacting body of the compacting body of Claim 12 which irradiates a laser to the surface of the raw material molding body used as the area | region covering the magnetic flux direction full length of the said compacting body in the said parallel surface. Production method. 前記レーザが、YAGレーザ、YVOレーザ、及びファイバーレーザの中から選択される1種のレーザであることを特徴とする請求項10〜13のいずれか1項に記載の圧粉成形体の製造方法。 Said laser, producing a green compact according to any one of claims 10 to 13, wherein the YAG laser, YVO 4 laser, and is a type of laser chosen from fiber laser Method. 前記レーザの波長が、前記軟磁性粒子の波長吸収領域であることを特徴とする請求項10〜14のいずれか1項に記載の圧粉成形体の製造方法。   The method for producing a green compact according to any one of claims 10 to 14, wherein a wavelength of the laser is a wavelength absorption region of the soft magnetic particles. 前記レーザの平均出力をP(W)、当該レーザの照射面積をS(mm)とするとき、当該レーザのエネルギー密度U(W/mm)=P/Sが、37.0≦U≦450.0を満たすことを特徴とする請求項10〜15のいずれか1項に記載の圧粉成形体の製造方法。 When the average output of the laser is P (W) and the irradiation area of the laser is S (mm 2 ), the energy density U (W / mm 2 ) = P / S of the laser is 37.0 ≦ U ≦ 450.0 is satisfied, The manufacturing method of the compacting body of any one of Claims 10-15 characterized by the above-mentioned. 前記レーザのビーム径に対する照射間隔の比率が、0.35以下であることを特徴とする請求項10〜16のいずれか1項に記載の圧粉成形体の製造方法。   The method of manufacturing a green compact according to any one of claims 10 to 16, wherein a ratio of an irradiation interval to a beam diameter of the laser is 0.35 or less. 前記レーザの重ね回数が、5回以上であることを特徴とする請求項10〜17のいずれか1項に記載の圧粉成形体の製造方法。   The method for producing a green compact according to any one of claims 10 to 17, wherein the number of times the laser is overlapped is 5 or more. 請求項10〜18のいずれか1項に記載の圧粉成形体の製造方法により製造されたことを特徴とする圧粉成形体。   A green compact formed by the method for manufacturing a green compact according to any one of claims 10 to 18. 巻線を巻回してなるコイルと、このコイルの内外に配置されて閉磁路を形成する磁性コアとを具えるリアクトルであって、
前記磁性コアのうち少なくとも一部が圧粉成形体からなり、
前記圧粉成形体は、請求項1〜9及び請求項19のいずれか1項に記載の圧粉成形体であることを特徴とするリアクトル。
A reactor comprising a coil formed by winding a winding and a magnetic core disposed inside and outside the coil to form a closed magnetic path,
At least a part of the magnetic core consists of a green compact,
The said compacting body is a compacting body of any one of Claims 1-9 and Claim 19, The reactor characterized by the above-mentioned.
スイッチング素子と、前記スイッチング素子の動作を制御する駆動回路と、スイッチング動作を平滑にするリアクトルとを具え、前記スイッチング素子の動作により、入力電圧を変換するコンバータであって、
前記リアクトルは、請求項20に記載のリアクトルであることを特徴とするコンバータ。
A converter comprising a switching element, a drive circuit that controls the operation of the switching element, and a reactor that smoothes the switching operation, and converts the input voltage by the operation of the switching element,
The converter according to claim 20, wherein the reactor is a reactor according to claim 20.
入力電圧を変換するコンバータと、前記コンバータに接続されて、直流と交流とを相互に変換するインバータとを具え、このインバータで変換された電力により負荷を駆動するための電力変換装置であって、
前記コンバータは、請求項21に記載のコンバータであることを特徴とする電力変換装置。
A converter for converting an input voltage, and an inverter connected to the converter for converting between direct current and alternating current, and for driving a load with electric power converted by the inverter,
The power converter according to claim 21, wherein the converter is the converter according to claim 21.
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