JP2012199461A - ダイボンダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイ4を表面に搭載したダイシングフィルムが固定されたピックアップ装置と、前記ダイシングフィルム上より剥離された前記ダイ4を吸着して基板に実装するコレット42を備えたダイボンダのピックアップ装置において、前記ダイ4の周辺部の前記ダイシングフィルムを突き上げて剥離起点を形成する剥離起点形成手段と、前記剥離起点とは異なる部分の前記ダイシングフィルムを突き上げて前記ダイ4を前記ダイシングフィルムから剥離する剥離手段と、前記剥離起点形成手段の前記突き上げと前記剥離手段の前記突き上げとを別々に駆動する駆動手段とを有する突き上げユニット50とを備えることを特徴とする。
【選択図】図4
Description
図1において、ダイボンダは大別してウエハ供給部1と、ワーク供給・搬送部2と、ダイボンディング部3とを有する。ワーク供給・搬送部2はスタックローダ21と、フレームフィーダ22と、アンローダ23とを有する。スタックローダ21によりフレームフィーダ22に供給されたワーク(リードフレーム)は、フレームフィーダ22上の2箇所の処理位置を介してアンローダ23に搬送される。
図2は、図1に示したピックアップ装置の外観斜視図である。
図3は、本発明の一実施形態に係るピックアップ装置の主要部の概略断面図である。
図2、図3において、ピックアップ装置12はウエハリング14を保持するエキスパンドリング15と、ウエハリング14に保持され複数のダイ(チップ)4が接着されたダイシングテープ16を水平に位置決めする支持リング17(図3に示す)と、支持リング17の内側に配置されダイ4を上方に突き上げるための突き上げユニット50(図3に示す)とを有する。突き上げユニット50は、図示しない駆動機構によって、上下方向に移動するようになっており、水平方向にはピックアップ装置12が移動するようになっている。
図5は本発明の実施形態に係るピックアップ動作処理のフロー図である。
なお、図6は第2の突き上げユニット以外は図3と同じ構成となっているため、詳細な説明は省略した。
図7において、ダイシングテープ16上に貼り付けられたダイ4の4隅が第2の突き上げユニット60の上昇と剥離起点形成ピン51上昇によって先行剥離動作(以下、プリピーリングという)が行われる。その後ピックアップ装置12(図2示す)の水平移動によってプリピーリングされたダイ4は突き上げユニット50の部分に移動して、上述して手順によって正式に剥離される。
図8において、スッテプ201でプリピーリングすべきダイ4をカメラ等の媒体で認識を行う。ステップ202でダイ4をプリピーリングすべき位置に移動させる。ステップ203でプリピーリングを開始する。ステップ204で突き上げユニット60が所定位置まで突き上げ移動する。スッテプ205でプリピーリング済みダイの可否を確認し否であればスッテプ201に戻る。可の場合は、ダイ4は突き上げユニット50に移動してプックアップされる。
図10は、図9の第2の突き上げユニットを矢印A方向から見た図である。
図12は、図11に記載した突き上げユニットの概略図である。
Claims (7)
- ダイを表面に搭載したダイシングフィルムと、前記ダイシングフィルム上より剥離された前記ダイを吸着して基板に実装するコレットとを備えたダイボンダにおいて、
前記ダイの一部を前記ダイシングフィルムから剥離する第1の突き上げユニットと、この第1の突き上げユニットによるダイの剥離部分を剥離起点として前記ダイを前記ダイシングフィルムから剥離する第2の突き上げユニットを備えたことを特徴とするダイボンダ。 - 請求項1記載のダイボンダにおいて、
前記第1の突き上げユニットは前記剥離起点形成手段が前記剥離起点を形成するピンを有することを特徴とするダイボンダ。 - 請求項2記載のダイボンダにおいて、
前記第1の突き上げユニットの前記ピンは前記ダイのコーナー部分を突き上げることを特徴とするダイボンダ。 - 請求項1記載のダイボンダにおいて、
前記ダイのコーナー部と対向する前記第1の突き上げユニットの突き上げ面に真空吸い込み孔を設け、この真空吸い込み孔から前記ダイシングフィルムを吸引することを特徴とするダイボンダ。 - 請求項4記載のダイボンダにおいて、
前記真空吸い込み孔からの吸い込み動作を断続的に行うことを特徴とするダイボンダ。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載のダイボンダにおいて、
前記第1の突き上げユニットは移動手段を備え、この移動手段によって前記第2の突き上げユニットは前記ダイの面の範囲内で移動することを特徴とするダイボンダ。 - 請求項6記載のダイボンダにおいて、
前記第1の突き上げユニットを移動させるためのX軸方向レーンとY軸方向レーンを設け、これらのレーンに沿って前記第2の突き上げユニットは前記ダイの面の範囲内で移動することを特徴とするダイボンダ。
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JP2011063654A JP2012199461A (ja) | 2011-03-23 | 2011-03-23 | ダイボンダ |
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CN117650078A (zh) * | 2023-11-20 | 2024-03-05 | 江苏协鑫特种材料科技有限公司 | 一种硅部件制造用晶圆片贴片机 |
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2011
- 2011-03-23 JP JP2011063654A patent/JP2012199461A/ja active Pending
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