JP2012183485A - 水処理方法及び水処理システム - Google Patents

Abstract

【課題】劣悪な水質の硬水でも、高い塩除去率及び透過水量を維持できる水処理方法を提供する。
【解決手段】軟水の第１逆浸透膜分離工程及び透過水の脱気処理工程を備え、且つ原水の軟化プロセス；陽イオン交換樹脂床を全体再生する第１再生プロセス；及び陽イオン交換樹脂床を一部再生する第２再生プロセスを含み、第２再生プロセスでは、硬度リーク防止床に対し再生レベル１〜６ｅｑ／Ｌ−Ｒの再生液量を供給し、軟化プロセスでは、電気伝導率１５０ｍＳ／ｍ以下且つ全硬度５００ｍｇＣａＣＯ_３／Ｌ以下の原水を供給し、ＲＯ膜モジュール５ｂは、膜表面に架橋全芳香族ポリアミドからなる負荷電性のスキン層が形成され、濃度５００ｍｇ／Ｌ、ｐＨ７．０、温度２５℃の塩化ナトリウム水溶液を操作圧力０．７ＭＰａ、回収率１５％で供給したときの水透過係数が１．５×１０^−１１ｍ^３・ｍ^−２・ｓ^−１・Ｐａ^−１以上、且つ塩除去率９９％以上の逆浸透膜を有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、逆浸透膜分離装置を用いた水処理方法及び水処理システムに関する。

従来、半導体製造工程や電子部品の洗浄、医療器具の洗浄等においては、不純物を含まない高純度の純水が使用される。この種の純水は、一般に、地下水や水道水等の原水を逆浸透膜（以下、「ＲＯ膜」ともいう）で処理することにより製造される。

ＲＯ膜を用いた純水の製造システムでは、原水中に含まれる鉄分（典型的には、不溶状態のコロイド状鉄）がＲＯ膜の膜面等に沈着する、いわゆるファウリングと呼ばれる現象が発生して、塩除去率及び透過水量が低下する。このため、除鉄装置による前処理を行なうのが一般的である。

除鉄装置は、原水に酸化剤を注入して、鉄分を不溶化して除去する設備である。しかし、ＲＯ膜への供給水に酸化剤が残留すると膜自体が劣化するため、除鉄装置の後段に、更に活性炭濾過装置を設ける必要がある。従って、従来の純水の製造システムでは、原水に残留する酸化剤を除去するための前処理が複雑となり、造水のコストが高くなることが避けられなかった。

そこで、本出願人は、硬度が５ｍｇＣａＣＯ_３／Ｌ以下の軟水をＲＯ膜に供給することにより、ＲＯ膜の酸化劣化を抑制しつつ、塩除去率を高めて高純度の純水を安定供給することができる純水の製造方法を提案した（特許文献１参照）。

特開２０１０−８２６１０号公報

しかしながら、従来の硬水軟化装置では、劣悪な水質の硬水に対しては、硬度リーク量が十分に低減された高純度の軟水を製造することや、実用的な採水量を確保することが困難であった。例えば、特許文献１に開示された向流再生方式の硬水軟化装置は、再生プロセス中にイオン交換樹脂床が流動しやすい。また、特許文献１に開示されたスプリット・フロー再生方式の硬水軟化装置は、中間集液部付近で再生液の偏流が起こりやすい。つまり、これらの再生方式を採用した硬水軟水装置では、イオン交換樹脂床の流動や再生液の偏流に起因して、イオン交換樹脂床の再生率が低くなる傾向にあり、ＲＯ膜に対して高純度の軟水を恒常的に供給することが困難となっていた。そのため、ＲＯ膜において高い塩除去率を維持するために、更なる改良が望まれている。

従って、本発明は、劣悪な水質の硬水を用いた場合においても、高い塩除去率及び透過水量を維持することができる水処理方法及び水処理システムを提供することを目的とする。

本発明は、原水を陽イオン交換樹脂床塔で軟化処理して軟水を製造する硬水軟化工程と、硬水軟化工程で製造された軟水を第１逆浸透膜モジュールで透過水と濃縮水とに分離する第１逆浸透膜分離工程と、第１逆浸透膜分離工程で得られた透過水を気体分離膜モジュールで脱気処理し、脱気処理された処理水を純水として送出する脱気処理工程とを含み、前記陽イオン交換樹脂床塔においては、深さが３００〜１５００ｍｍの陽イオン交換樹脂床に対し、原水を下降流で通過させて軟水を製造する軟化プロセス；再生液を前記陽イオン交換樹脂床の頂部へ配液しながら、底部で集液することにより再生液の下降流を生成して、前記陽イオン交換樹脂床の全体を再生させる第１再生プロセス；及び、第１再生プロセス後に再生液を前記陽イオン交換樹脂床の底部へ配液しながら、中間部で集液することにより再生液の上昇流を生成して、前記陽イオン交換樹脂床の一部を再生する第２再生プロセスを含んで運転され、第２再生プロセスでは、前記陽イオン交換樹脂床の底部を基点として深さが１００ｍｍに設定された硬度リーク防止床に対し、再生レベルが１〜６ｅｑ／Ｌ−Ｒとなる再生液量を供給する一方で、第２再生プロセス後の軟化プロセスでは、電気伝導率が１５０ｍＳ／ｍ以下、且つ全硬度が５００ｍｇＣａＣＯ_３／Ｌ以下の原水を供給し、前記第１逆浸透膜モジュールは、膜表面に架橋全芳香族ポリアミドからなる負荷電性のスキン層が形成された逆浸透膜を有し、当該逆浸透膜は、濃度５００ｍｇ／Ｌ、ｐＨ７．０、温度２５℃の塩化ナトリウム水溶液を、操作圧力０．７ＭＰａ、回収率１５％で供給したときの水透過係数が１．５×１０^−１１ｍ^３・ｍ^−２・ｓ^−１・Ｐａ^−１以上、且つ塩除去率が９９％以上である、純水の製造方法に関する。

また、脱気処理工程で脱気処理された処理水を、電気脱イオンモジュール、イオン交換樹脂混床塔又は陽イオン交換樹脂単床塔で脱イオン処理し、脱イオン処理された透過水を純水として送出する脱イオン処理工程を含むことが好ましい。

また、脱気処理工程で脱気処理された処理水を、更に第２逆浸透膜モジュールで透過水と濃縮水とに分離し、得られた透過水を純水として送出する第２逆浸透膜分離工程を含むことが好ましい。

また、第２逆浸透膜分離工程を備えた構成においては、第２逆浸透膜分離工程で得られた透過水を、電気脱イオンモジュール、イオン交換樹脂混床塔又は陽イオン交換樹脂単床塔で脱イオン処理し、脱イオン処理された透過水を純水として送出する脱イオン処理工程を含むことが好ましい。

また、前記陽イオン交換樹脂床塔においては、第１再生プロセスの後に、原水を前記陽イオン交換樹脂床の頂部へ配液しながら、底部で集液することにより原水の下降流を生成して、導入された再生液を押し出す第１押出プロセス；及び、第２再生プロセスの後に、原水を前記陽イオン交換樹脂床の底部へ配液しながら、中間部で集液することにより原水の上昇流を生成して、導入された再生液を押し出す第２押出プロセスを含んで運転され、第１及び第２再生プロセスでは、前記陽イオン交換樹脂床に対して再生液を０．７〜２ｍ／ｈの線速度で通過させると共に、第１及び第２押出プロセスでは、前記陽イオン交換樹脂床に対して原水を０．７〜２ｍ／ｈの線速度、且つ０．４〜２．５ＢＶの押出量で通過させることが好ましい。

また、本発明は、原水を陽イオン交換樹脂床塔で軟化処理して軟水を製造する硬水軟化装置と、前記硬水軟化装置で製造された軟水を第１逆浸透膜モジュールで透過水と濃縮水とに分離する第１逆浸透膜分離装置と、前記第１逆浸透膜分離装置で得られた透過水を気体分離膜モジュールで脱気処理し、脱気処理された処理水を純水として送出する脱気処理装置と、前記陽イオン交換樹脂床塔に収容された、深さが３００〜１５００ｍｍの陽イオン交換樹脂床に対し、原水を下降流で通過させて軟水を製造する軟化プロセス；再生液を前記陽イオン交換樹脂床の頂部へ配液しながら、底部で集液することにより再生液の下降流を生成して、前記陽イオン交換樹脂床の全体を再生させる第１再生プロセス；及び、第１再生プロセス後に再生液を前記陽イオン交換樹脂床の底部へ配液しながら、中間部で集液することにより再生液の上昇流を生成して、前記陽イオン交換樹脂床の一部を再生する第２再生プロセスに切り換え可能なバルブ手段と、第２再生プロセスにおいて、前記陽イオン交換樹脂床の底部を基点として深さが１００ｍｍに設定された硬度リーク防止床に対し、再生レベルが１〜６ｅｑ／Ｌ−Ｒとなる再生液量を供給する再生液供給手段と、第２再生プロセス後の軟化プロセスにおいて、電気伝導率が１５０ｍＳ／ｍ以下、且つ全硬度が５００ｍｇＣａＣＯ_３／Ｌ以下の原水を供給する原水供給手段と、を備え、前記第１逆浸透膜モジュールは、膜表面に架橋全芳香族ポリアミドからなる負荷電性のスキン層が形成された逆浸透膜を有し、当該逆浸透膜は、濃度５００ｍｇ／Ｌ、ｐＨ７．０、温度２５℃の塩化ナトリウム水溶液を、操作圧力０．７ＭＰａ、回収率１５％で供給したときの水透過係数が１．５×１０^−１１ｍ^３・ｍ^−２・ｓ^−１・Ｐａ^−１以上、且つ塩除去率が９９％以上である、純水の製造システムに関する。

また、前記脱気処理装置で脱気処理された処理水を脱イオン処理する、電気脱イオンモジュール、イオン交換樹脂混床塔又は陽イオン交換樹脂単床塔を備えることが好ましい。

また、前記脱気処理装置で脱気処理された処理水を、更に第２逆浸透膜モジュールで透過水と濃縮水とに分離し、得られた透過水を純水として送出する第２逆浸透膜分離装置を備えることが好ましい。

また、前記第２逆浸透膜分離装置を備えた構成においては、前記第２逆浸透膜分離装置で得られた透過水を脱イオン処理する、電気脱イオンモジュール、イオン交換樹脂混床塔又は陽イオン交換樹脂単床塔を備えることが好ましい。

また、前記バルブ手段は、第１再生プロセスの後に、原水を前記陽イオン交換樹脂床の頂部へ配液しながら、底部で集液することにより原水の下降流を生成して、導入された再生液を押し出す第１押出プロセス；及び、第２再生プロセスの後に、原水を前記陽イオン交換樹脂床の底部へ配液しながら、中間部で集液することにより原水の上昇流を生成して、導入された再生液を押し出す第２押出プロセスに切り換え可能に構成され、前記再生液供給手段は、第１及び第２再生プロセスにおいて、前記陽イオン交換樹脂床に対して再生液を０．７〜２ｍ／ｈの線速度で通過させるように構成され、前記原水供給手段は、第１及び第２押出プロセスにおいて、前記陽イオン交換樹脂床に対して原水を０．７〜２ｍ／ｈの線速度、且つ０．４〜２．５ＢＶの押出量で通過させるように構成されることが好ましい。

本発明によれば、劣悪な水質の硬水を用いた場合においても、高い塩除去率及び透過水量を維持することができる水処理方法及び水処理システムを提供することができる。

第１実施形態に係る水処理システム１の全体構成図である。 硬水軟化装置３の概略断面図である。 制御部１０により実行されるプロセスのフローチャートである。 （ａ）〜（ｃ）は、制御部１０により実行される基本プロセスを示す説明図である。 第２実施形態に係る水処理システム１Ａの全体構成図である。 第３実施形態に係る水処理システム１Ｂの全体構成図である。

（第１実施形態）
まず、本発明の第１実施形態に係る水処理システム１について、図面を参照しながら説明する。水処理システム１は、例えば、淡水から純水を製造する純水製造システムに適用される。図１は、第１実施形態に係る水処理システム１の全体構成図である。図２は、硬水軟化装置３の概略断面図である。図３は、制御部１０により実行されるプロセスのフローチャートである。図４（ａ）〜（ｃ）は、制御部１０により実行される基本プロセスを示す説明図である。

図１に示すように、本実施形態に係る水処理システム１は、原水ポンプ２と、硬水軟化装置３と、塩水タンク４と、逆浸透膜分離装置５と、脱気処理装置６と、制御部１０と、を備える。また、水処理システム１は、原水ラインＬ１と、軟水ラインＬ２と、塩水ラインＬ３と、排水ラインＬ４と、通水ラインＬ５，Ｌ７と、濃縮水ラインＬ６と、を備える。
なお、本明細書における「ライン」とは、流路、径路、管路等の流体の流通が可能なラインの総称である。

原水ラインＬ１の上流側の端部は、原水Ｗ１の供給源（不図示）に接続されている。一方、原水ラインＬ１の下流側の端部は、硬水軟化装置３のプロセス制御バルブ３２（後述）に接続されている。

原水ポンプ２は、原水ラインＬ１に設けられている。原水ポンプ２は、供給源から供給された水道水や地下水等の原水Ｗ１を、硬水軟化装置３に向けて圧送する。原水ポンプ２は、制御部１０（後述）と不図示の信号線を介して電気的に接続されている。原水ポンプ２は、制御部１０により運転（駆動及び停止）が制御される。

原水ラインＬ１には、原水通水弁（不図示）が設けられている。原水通水弁は、原水ラインＬ１を開閉する。原水通水弁は、弁体の駆動部が不図示の信号線を介して制御部１０と電気的に接続されている。原水通水弁における弁の開閉は、制御部１０により制御される。

原水ラインＬ１、原水ポンプ２、不図示の原水通水弁、不図示の原水流量計（又はタイマ）は、本実施形態における原水供給手段を構成する。

また、原水ラインＬ１、原水ポンプ２及び不図示の原水通水弁は、後述する第２再生プロセスＳＴ５後の軟化プロセスＳＴ１において、電気伝導率が１５０ｍＳ／ｍ以下、且つ全硬度が５００ｍｇＣａＣＯ_３／Ｌ以下の原水Ｗ１を、硬水軟化装置３に供給する原水供給手段としても機能する。

硬水軟化装置３は、原水Ｗ１に含まれる硬度成分（カルシウムイオン及びマグネシウムイオン）を、陽イオン交換樹脂床３１１（後述）においてナトリウムイオン（又はカリウムイオン）に置換して軟水Ｗ２を製造する設備である。硬水軟化装置３は、図２に示すように、陽イオン交換樹脂床塔としての圧力タンク３１と、バルブ手段としてのプロセス制御バルブ３２と、を主体に構成されている。

圧力タンク３１は、上部に開口部を有する有底の筒状体であり、開口部が蓋部材で密閉されている。圧力タンク３１の内部には、陽イオン交換樹脂ビーズからなる陽イオン交換樹脂床３１１、及び濾過砂利からなる支持床３１２が収容されている。

陽イオン交換樹脂床３１１は、原水Ｗ１を軟水化する処理材として機能する。陽イオン交換樹脂床３１１は、圧力タンク３１の内部において、支持床３１２の上部に積層されている。陽イオン交換樹脂床３１１の深さＤ１は、３００〜１５００ｍｍの範囲に設定されている。

支持床３１２は、陽イオン交換樹脂床３１１に対する流体の整流部材として機能する。支持床３１２は、圧力タンク３１の底部側に収容されている。

圧力タンク３１において、陽イオン交換樹脂床３１１の頂部には、陽イオン交換樹脂ビーズの流出を防止する頂部スクリーン３２１が設けられている。頂部スクリーン３２１は、不図示の第１流路を介してプロセス制御バルブ３２を構成する各種ラインとそれぞれ接続されている。

頂部スクリーン３２１による配液位置及び集液位置は、陽イオン交換樹脂床３１１の頂部付近に設定される。頂部スクリーン３２１は、陽イオン交換樹脂床３１１の頂部に設けられる頂部配液部、及び陽イオン交換樹脂床３１１の頂部に設けられる頂部集液部として機能する。

圧力タンク３１において、陽イオン交換樹脂床３１１の底部には、陽イオン交換樹脂ビーズの流出を防止する底部スクリーン３２２が設けられている。底部スクリーン３２２は、不図示の第２流路を介してプロセス制御バルブ３２を構成する各種ラインとそれぞれ接続されている。

底部スクリーン３２２による配液位置及び集液位置は、陽イオン交換樹脂床３１１の底部付近に設定される。底部スクリーン３２２は、陽イオン交換樹脂床３１１の底部に設けられる底部配液部、及び陽イオン交換樹脂床３１１の底部に設けられる底部集液部として機能する。

圧力タンク３１において、硬度リーク防止床３１３（後述）より上部であって、陽イオン交換樹脂床３１１の深さ方向の中間部には、陽イオン交換樹脂ビーズの流出を防止する中間部スクリーン３２３が設けられている。中間部スクリーン３２３は、不図示の第３流路を介してプロセス制御バルブ３２を構成する各種ラインとそれぞれ接続されている。

中間部スクリーン３２３による集液位置は、陽イオン交換樹脂床３１１の中間部付近に設定される。中間部スクリーン３２３は、陽イオン交換樹脂床３１１の中間部に設けられる中間部集液部として機能する。

プロセス制御バルブ３２は、その内部に、各種のライン、弁等を備える。プロセス制御バルブ３２は、陽イオン交換樹脂床３１１に対して、少なくとも、原水Ｗ１を下降流で通過させて軟水Ｗ２を製造する軟化プロセスＳＴ１における原水Ｗ１の流れ；再生液としての塩水Ｗ３を陽イオン交換樹脂床３１１の頂部へ配液しながら、底部で集液することにより塩水Ｗ３の下降流を生成して、陽イオン交換樹脂床３１１の全体を再生させる第１再生プロセスＳＴ３における塩水Ｗ３の流れ；及び、第１再生プロセスＳＴ３後に塩水Ｗ３を陽イオン交換樹脂床３１１の底部へ配液しながら、中間部で集液することにより塩水Ｗ３の上昇流を生成して、陽イオン交換樹脂床３１１の一部を再生する第２再生プロセスＳＴ５における塩水Ｗ３の流れ、を切り換え可能に構成されている。

本実施形態における再生プロセスは、第１再生プロセスＳＴ３、及び第１再生プロセスＳＴ３の終了後に行なわれる第２再生プロセスＳＴ５を含む。第１再生プロセスＳＴ３は、陽イオン交換樹脂床３１１の全体を再生させる並流再生プロセスである。第２再生プロセスＳＴ５は、陽イオン交換樹脂床３１１の一部を再生させる部分向流再生プロセスである。本実施形態における陽イオン交換樹脂床３１１の再生は、二段の再生プロセスにより運転される。詳しくは、並流再生プロセスを第１再生プロセスとして実行し、第１再生プロセス終了後に、部分向流再生プロセスを第２再生プロセスとして実行することにより運転される。

後述する第２再生プロセスＳＴ５では、図２に示すように、陽イオン交換樹脂床３１１の底部（すなわち、底面）を基点として深さＤ２が１００ｍｍに設定された硬度リーク防止床３１３（後述）に対し、再生レベルが１〜６ｅｑ／Ｌ−Ｒとなる量の塩水Ｗ３を供給する。ここで、再生レベルとは、単位容積のイオン交換樹脂の再生に使用される再生剤量をいう。また、再生剤として塩化ナトリウムを用いる場合、１ｅｑは、５８．５ｇに相当する。

硬度リーク防止床３１３とは、軟化プロセスＳＴ１での硬度リークを極力防止するために、陽イオン交換樹脂床３１１において十分に再生する必要のある領域である。硬度リーク防止床３１３の深さは１００ｍｍあればよく、少なくともこの限定された領域を所定の再生レベルで再生すれば、硬度リークを極力防止できる。

また、プロセス制御バルブ３２は、陽イオン交換樹脂床３１１に対して、第１再生プロセスＳＴ３の後に、原水Ｗ１を陽イオン交換樹脂床３１１の頂部へ配液しながら、底部で集液することにより原水Ｗ１の下降流を生成して、導入された塩水Ｗ３を押し出す第１押出プロセスＳＴ４における原水Ｗ１の流れ；及び、第２再生プロセスＳＴ５の後に、原水Ｗ１を陽イオン交換樹脂床３１１の底部へ配液しながら、中間部で集液することにより原水Ｗ１の上昇流を生成して、導入された塩水Ｗ３を押し出す第２押出プロセスＳＴ６における原水Ｗ１の流れ、を切り換え可能に構成されている。

プロセス制御バルブ３２には、排水ラインＬ４の上流側の端部が接続されている。排水ラインＬ４からは、再生プロセスや押出プロセス等において使用された塩水Ｗ３や原水Ｗ１が排水Ｗ４として排出される。

更に、プロセス制御バルブ３２は、内部に備えられた弁体の駆動部が制御部１０と不図示の信号線を介して電気的に接続されている。プロセス制御バルブ３２における弁の切り換えは、制御部１０により制御される。

ここで、硬水軟化装置３において実施される各プロセスについて説明する。
本実施形態の水処理システム１において、後述する制御部１０は、プロセス制御バルブ３２の流路を切り換えることにより、図３に示す以下のプロセスＳＴ１〜ＳＴ８の運転を実施する。
（ＳＴ１）原水Ｗ１を陽イオン交換樹脂床３１１の全体に対して上から下へ通過させる軟化プロセス
（ＳＴ２）洗浄水としての原水Ｗ１を陽イオン交換樹脂床３１１の全体に対して下から上へ通過させる逆洗浄プロセス
（ＳＴ３）再生液としての塩水Ｗ３を陽イオン交換樹脂床３１１の全体に対して上から下へ通過させる第１再生プロセス
（ＳＴ４）押出水としての原水Ｗ１を陽イオン交換樹脂床３１１の全体に対して上から下へ通過させる第１押出プロセス
（ＳＴ５）再生液としての塩水Ｗ３を陽イオン交換樹脂床３１１の主に硬度リーク防止床３１３に対して下から上へ通過させる第２再生プロセス
（ＳＴ６）押出水としての原水Ｗ１を陽イオン交換樹脂床３１１の主に硬度リーク防止床３１３に対して下から上へ通過させる第２押出プロセス
（ＳＴ７）濯ぎ水としての原水Ｗ１を陽イオン交換樹脂床３１１に対して上から下へ通過させるリンス・プロセス
（ＳＴ８）補給水としての原水Ｗ１を塩水タンク４へ供給する補水プロセス

次に、上記プロセスＳＴ１〜ＳＴ８のうち、主要なプロセスである軟化プロセスＳＴ１、第１再生プロセスＳＴ３、及び第２再生プロセスＳＴ５の運転方法について説明する。

軟化プロセスＳＴ１では、図４（ａ）に示すように、原水Ｗ１を頂部スクリーン３２１から配液して、陽イオン交換樹脂床３１１の全体に対し、原水Ｗ１を下降流で通過させて、軟水Ｗ２を製造する。製造された軟水Ｗ２は、底部スクリーン３２２から集液される。
後述する第２再生プロセスＳＴ５後の軟化プロセスＳＴ１では、電気伝導率が１５０ｍＳ／ｍ以下、且つ全硬度が５００ｍｇＣａＣＯ_３／Ｌ以下の原水Ｗ１を供給する。

第１再生プロセスＳＴ３では、図４（ｂ）に示すように、塩水Ｗ３を頂部スクリーン３２１から配液して、陽イオン交換樹脂床３１１の全体に対し、塩水Ｗ３を下降流で通過させて、陽イオン交換樹脂床３１１を再生する。第１再生プロセスＳＴ３では、塩水Ｗ３を、陽イオン交換樹脂床３１１に対して０．７〜２ｍ／ｈの線速度で通過させる。陽イオン交換樹脂床３１１を再生した使用済みの塩水Ｗ３は、底部スクリーン３２２から集液される。この第１再生プロセスＳＴ３では、並流再生により、陽イオン交換樹脂床３１１の全体を再生させる。

第１再生プロセスＳＴ３の終了後に実施される第１押出プロセスＳＴ４では、図４（ｂ）に示すように、原水Ｗ１を頂部スクリーン３２１から配液して、陽イオン交換樹脂床３１１の全体に対し、原水Ｗ１を下降流で通過させて、陽イオン交換樹脂床３１１に導入された塩水Ｗ３を押し出す。陽イオン交換樹脂床３１１を通過した原水Ｗ１は、底部スクリーン３２２から集液される。第１押出プロセスＳＴ４では、原水Ｗ１を、陽イオン交換樹脂床３１１に対して、０．７〜２ｍ／ｈの線速度、且つ０．４〜２．５ＢＶの押出量で通過させる。

第１再生プロセスＳＴ３及び第１押出プロセスＳＴ４では、陽イオン交換樹脂床３１１の全体に対して、並流再生が行われる。そのため、陽イオン交換樹脂床３１１の全体がほぼ均等に再生されることにより、軟化プロセスＳＴ１では、軟水Ｗ２の採水量が最大限にまで高められる。

第２再生プロセスＳＴ５では、図４（ｃ）に示すように、塩水Ｗ３を底部スクリーン３２２から配液して、陽イオン交換樹脂床３１１に対し、塩水Ｗ３を上昇流で通過させて、陽イオン交換樹脂床３１１の硬度リーク防止床３１３を含む下側領域を再生する。第２再生プロセスＳＴ５では、塩水Ｗ３を、陽イオン交換樹脂床３１１に対して０．７〜２ｍ／ｈの線速度で通過させる。陽イオン交換樹脂床３１１の硬度リーク防止床３１３を含む下側領域を再生した塩水Ｗ３は、中間部スクリーン３２３から集液される。第２再生プロセスＳＴ５では、陽イオン交換樹脂床３１１の底部に設定された硬度リーク防止床３１３に対し、再生レベルが１〜６ｅｑ／Ｌ−Ｒとなる量の塩水Ｗ３を供給する。この第２再生プロセスＳＴ５では、部分向流再生により、陽イオン交換樹脂床３１１の硬度リーク防止床３１３を含む下側領域を主に再生させる。
この第２再生プロセスＳＴ５を実施することにより、後の軟化プロセスＳＴ１において、電気伝導率が１５０ｍＳ／ｍ以下、且つ全硬度が５００ｍｇＣａＣＯ_３／Ｌ以下の原水Ｗ１を供給した場合に、硬度リーク量が０．８ｍｇＣａＣＯ_３／Ｌ以下の高純度の軟水Ｗ２を製造することができる。

第２再生プロセスＳＴ５の終了後に実施される第２押出プロセスＳＴ６では、図４（ｃ）に示すように、原水Ｗ１を底部スクリーン３２２から配液して、陽イオン交換樹脂床３１１の主に硬度リーク防止床３１３に対し、原水Ｗ１を上昇流で通過させて、陽イオン交換樹脂床３１１の硬度リーク防止床３１３を含む下側領域に導入された塩水Ｗ３を押し出す。硬度リーク防止床３１３を通過した原水Ｗ１は、中間部スクリーン３２３から集液される。第２押出プロセスＳＴ６では、原水Ｗ１を、陽イオン交換樹脂床３１１の下部領域に対して、０．７〜２ｍ／ｈの線速度、且つ０．４〜２．５ＢＶの押出量で通過させる。

第２再生プロセスＳＴ５及び第２押出プロセスＳＴ６では、陽イオン交換樹脂床３１１の下部領域に対して、部分向流再生が行われる。そのため、硬度リーク防止床３１３が重点的に再生されることにより、軟化プロセスＳＴ１では、軟水Ｗ２の硬度リーク量が極限まで抑制される。

なお、逆洗浄プロセスＳＴ２、リンス・プロセスＳＴ７、及び補水プロセスＳＴ８については、図示による説明を省略する。

再び、図１を参照しながら水処理システム１の構成について説明する。
塩水タンク４は、陽イオン交換樹脂床３１１を再生する塩水Ｗ３を貯留する。塩水タンク４には、塩水ラインＬ３の上流側の端部が接続されている。塩水ラインＬ３の下流側の端部は、プロセス制御バルブ３２と連通し、プロセス制御バルブ３２を構成する各種ラインとそれぞれ接続されている。塩水ラインＬ３には、塩水弁（不図示）が設けられている。塩水弁は、塩水ラインＬ３を開閉する。塩水弁は、プロセス制御バルブ３２に組み込まれており、弁体の駆動部が制御部１０と不図示の信号線を介して電気的に接続されている。塩水弁における弁の開閉は、制御部１０により制御される。塩水タンク４は、第１再生プロセスＳＴ３及び第２再生プロセスＳＴ５において、陽イオン交換樹脂床３１１を再生する塩水Ｗ３を圧力タンク３１へ送出する。
塩水タンク４、不図示の塩水弁、不図示のエゼクタ及び塩水流量計は、本実施形態における再生液供給手段を構成する。

逆浸透膜分離装置５は、硬水軟化装置３により製造された軟水Ｗ２を、逆浸透膜（後述のＲＯ膜モジュール５ｂ）により、溶存塩類等が除去された透過水Ｗ５と、溶存塩類等が濃縮された濃縮水Ｗ６とに膜分離処理する設備である。逆浸透膜分離装置５は、軟水ラインＬ２を介して、硬水軟化装置３（プロセス制御バルブ３２）の下流側に接続されている。

逆浸透膜分離装置５は、加圧ポンプ５ａと、逆浸透膜としてのＲＯ膜モジュール５ｂと、を備える。加圧ポンプ５ａは、硬水軟化装置３から送出された軟水Ｗ２を加圧し、ＲＯ膜モジュール５ｂに送出する。ＲＯ膜モジュール５ｂは、単一又は複数のＲＯ膜エレメント（不図示）を備える。逆浸透膜分離装置５は、これらＲＯ膜エレメントにより軟水Ｗ２を膜分離処理し、透過水Ｗ５及び濃縮水Ｗ６を製造する。

ＲＯ膜モジュール５ｂの透過水出口には、通水ラインＬ５の上流側の端部が接続されている。逆浸透膜分離装置５で製造された透過水Ｗ５は、通水ラインＬ５を介して、脱気処理装置６に送出される。また、ＲＯ膜モジュール５ｂの濃縮水出口には、濃縮水ラインＬ６の上流側の端部が接続されている。逆浸透膜分離装置５で製造された濃縮水Ｗ６は、濃縮水ラインＬ６を介して、外部に排出される。なお、膜面での流速を所定範囲に保つため、濃縮水Ｗ６の一部を逆浸透膜分離装置５の上流側の軟水ラインＬ２に還流させ、その他の濃縮水Ｗ６を外部に排出するように構成してもよい。

本実施形態におけるＲＯ膜モジュール５ｂは、膜表面に架橋全芳香族ポリアミドからなる負荷電性のスキン層が形成された逆浸透膜（不図示）を有する。この逆浸透膜は、濃度５００ｍｇ／Ｌ、ｐＨ７．０、温度２５℃の塩化ナトリウム水溶液を、操作圧力０．７ＭＰａ、回収率１５％で供給したときの水透過係数が、１．５×１０^−１１ｍ^３・ｍ^−２・ｓ^−１・Ｐａ^−１以上、且つ塩除去率が９９％以上となるものである。このような性能に設定された逆浸透膜は、淡水の脱塩処理において、供給水の硬度が低いほど、電気伝導率（ＥＣ）で評価したときの塩除去率（すなわち、（供給水ＥＣ−透過水ＥＣ）／供給水ＥＣ×１００）が高くなるという特性を持っている。そのため、並流再生及び部分向流再生からなる二段の再生プロセスを行う硬水軟化装置３で製造された高純度の軟水Ｗ２（実力値として、０．８ｍｇＣａＣＯ_３以下）を恒常的に供給することで、高い塩除去率（通常、９８．５％以上）を維持することが可能である。

ここで、操作圧力とは、ＪＩＳ Ｋ３８０２−１９９５「膜用語」で定義される平均操作圧力である。操作圧力は、ＲＯ膜モジュール５ｂの一次側の入口圧力と一次側の出口圧力との平均値を指す。
回収率とは、ＲＯ膜モジュール５ｂへの供給水（ここでは塩化ナトリウム水溶液）の流量Ｑ_１に対する透過水の流量Ｑ_２の割合（すなわち、Ｑ_２／Ｑ_１×１００）をいう。
水透過係数は、透過水量［ｍ^３／ｓ］を膜面積［ｍ^２］及び有効圧力［Ｐａ］で除した値であり、逆浸透膜の水の透過性能を示す指標である。すなわち、水透過係数は、単位有効圧力を作用させたときに単位時間に膜の単位面積を透過する水の量を意味する。有効圧力は、ＪＩＳ Ｋ３８０２−１９９５「膜用語」で定義され、操作圧力（平均操作圧力）から浸透圧差及び二次側圧力を差し引いた圧力である。
塩除去率は、膜を透過する前後の特定の塩類の濃度（ここでは塩化ナトリウム濃度）から計算される値であり、逆浸透膜の溶質の阻止性能を示す指標である。塩除去率は、ＲＯ膜モジュール５ｂへの入口濃度（Ｃ_１）および透過水の濃度（Ｃ_２）から、（１−Ｃ_２／Ｃ_１）×１００により求められる。

本実施形態の水透過係数及び塩除去率の条件を満たす逆浸透膜は、逆浸透膜エレメントとして市販されている。逆浸透膜エレメントとしては、例えば、東レ社製：型式名「ＴＭＧ２０−４００」、ウンジン・ケミカル社製：型式名「ＲＥ８０４０−ＢＬＦ」、日東電工社製：型式名「ＥＳＰＡ１」等を用いることができる。

脱気処理装置６は、逆浸透膜分離装置５で製造された透過水Ｗ５に含まれる遊離炭酸（溶存炭酸ガス）を、気体分離膜モジュールにより脱気処理して、純水としての脱気水Ｗ７を得る設備である。脱気処理装置６は、通水ラインＬ５を介して逆浸透膜分離装置５の下流側に接続されている。本実施形態では、中空糸膜からなる外部灌流式の気体分離膜モジュールが用いられる。この様な用途に適した気体分離膜モジュールとしては、例えば、ＤＩＣ社製：製品名「ＳＥＰＡＲＥＬ ＥＦ−００２Ａ−Ｐ」，「ＳＥＰＡＲＥＬ ＥＦ−０４０Ｐ」等が挙げられる。

制御部１０は、ＣＰＵ及びメモリ含むマイクロプロセッサ（不図示）により構成される。制御部１０は、不図示の原水流量計、塩水流量計から入力された検出信号等に基づいて、プロセス制御バルブ３２の動作を制御する。メモリには、本実施形態の硬水軟化装置３の運転を実施する制御プログラムが予め記憶されている。ＣＰＵは、メモリに記憶された制御プログラムに従って、上述した軟化プロセスＳＴ１〜補水プロセスＳＴ８を順に切り換えるように、プロセス制御バルブ３２を制御する。

上記のように構成された水処理システム１において、原水Ｗ１の供給源（不図示）から原水ラインＬ１を介して供給された原水Ｗ１は、原水ポンプ２により硬水軟化装置３のプロセス制御バルブ３２へ送出される。原水Ｗ１は、圧力タンク３１の陽イオン交換樹脂床３１１を通過することにより軟化処理され、軟水Ｗ２が製造される。軟水Ｗ２は、軟水ラインＬ２を経て逆浸透膜分離装置５へ送出される。逆浸透膜分離装置５では、軟水Ｗ２が、ＲＯ膜モジュール５ｂにおいて膜分離処理され、透過水Ｗ５及び濃縮水Ｗ６が製造される。透過水Ｗ５は、更に脱気処理装置６へ送出される。脱気処理装置６では、透過水Ｗ５が気体分離膜モジュールにより脱気処理され、脱気水Ｗ７が得られる。この後、脱気水Ｗ７は、通水ラインＬ７を介して、純水として二次精製装置や需要箇所に送出される。

上述した第１実施形態に係る水処理システム１によれば、例えば、以下のような効果が奏される。
本実施形態の水処理システム１において、硬水軟化装置３の陽イオン交換樹脂床３１１は、塩水Ｗ３を陽イオン交換樹脂床３１１の頂部スクリーン３２１へ配液しながら、底部スクリーン３２２で集液することにより塩水Ｗ３の下降流を生成して、陽イオン交換樹脂床３１１の全体を再生させる第１再生プロセスＳＴ３；及び、第１再生プロセスＳＴ３の後に塩水Ｗ３を陽イオン交換樹脂床３１１の底部スクリーン３２２へ配液しながら、中間部スクリーン３２３で集液することにより塩水Ｗ３の上昇流を生成して、陽イオン交換樹脂床３１１の一部（主に硬度リーク防止床３１３）を再生する第２再生プロセスＳＴ５を含んで運転される。そのため、硬度リーク量が十分に低減された高純度の軟水Ｗ２を実用的な採水量の範囲で最大限に得ることができる。

また、本実施形態の水処理システム１において、第２再生プロセスＳＴ５では、陽イオン交換樹脂床３１１の底部を基点として深さＤ２（図２参照）が１００ｍｍに設定された硬度リーク防止床３１３に対し、再生レベルが１〜６ｅｑ／Ｌ−Ｒとなる量の塩水Ｗ３を供給する。そのため、陽イオン交換樹脂床３１１において、硬度リークの防止に重要な領域である硬度リーク防止床３１３をほぼ完全に再生することができる。これによれば、原水Ｗ１として硬度レベルの高い劣悪な水質の硬水を用いた場合でも、硬度リーク量を極限にまで抑制した高純度の軟水Ｗ２を得ることができる。

従って、本実施形態の水処理システム１によれば、原水Ｗ１として劣悪な水質の硬水を用いた場合でも、逆浸透膜分離装置５に対して高純度の軟水Ｗ２を恒常的に供給することができるため、ＲＯ膜モジュール５ｂにおける酸化劣化のみならず、スケーリングやファウリングを抑制して、高い塩除去率及び透過水量を維持することができる。

また、本実施形態の水処理システム１では、第１再生プロセスＳＴ３及び第２再生プロセスＳＴ５において、硬水軟化装置３の陽イオン交換樹脂床３１１に対して、塩水Ｗ３が０．７〜２ｍ／ｈの線速度で通過するように運転される。また、第１押出プロセスＳＴ４及び第２押出プロセスＳＴ６において、硬水軟化装置３の陽イオン交換樹脂床３１１に対して、原水Ｗ１が０．７〜２ｍ／ｈの線速度、且つ０．４〜２．５ＢＶの押出量で通過するように運転される。このように、再生プロセス及び押出プロセスにおける通液の線速度を上記のような条件に規定することにより、陽イオン交換樹脂床３１１の再生効率を高め、軟水Ｗ２の採水量を高めることができる。また、押出プロセスの押出量を上記のような条件に制限することにより、押出水として劣悪な水質の硬水を用いた場合でも、硬度成分による硬度リーク防止床３１３の汚染を抑制し、軟水Ｗ２の純度を高めることができる。

更に、本実施形態の水処理システム１では、逆浸透膜分離装置５の下流側に脱気処理装置６を備える。そのため、逆浸透膜分離装置５で除去しきれない遊離炭酸を、後段の脱気処理装置６において十分に除去することができる。従って、より純度の高い純水を製造することができる。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係る水処理システム１Ａについて、図５を参照しながら説明する。図５は、第２実施形態に係る水処理システム１Ａの全体構成図である。なお、第２実施形態では、主に第１実施形態との相違点について説明する。このため、第１実施形態と同一（又は同等）の構成については同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。また、第２実施形態において特に説明しない点については、第１実施形態の説明が適宜に援用される。

図５に示すように、本実施形態に係る水処理システム１Ａは、原水ポンプ２と、硬水軟化装置３と、塩水タンク４と、逆浸透膜分離装置５と、脱気処理装置６と、電気脱イオンモジュールとしての電気脱イオン装置７と、を備える。また、水処理システム１Ａは、原水ラインＬ１と、軟水ラインＬ２と、塩水ラインＬ３と、排水ラインＬ４と、通水ラインＬ５，Ｌ７，Ｌ８と、濃縮水ラインＬ６，Ｌ９と、を備える。
なお、本実施形態では、第１実施形態における濃縮水Ｗ６を「第１濃縮水Ｗ６」とし、電気脱イオン装置７で得られた濃縮水を「第２濃縮水Ｗ９」とする。
本実施形態では、脱気処理装置６の下流側に、電気脱イオン装置７を備える点が第１実施形態と異なる。その他の構成は第１実施形態と同じであるため、詳細な説明を省略する。

本実施形態において、脱気処理装置６の脱気水出口には、通水ラインＬ７の上流側の端部が接続されている。電気脱イオン装置７は、脱気処理装置６の下流側に、通水ラインＬ７を介して接続されている。脱気処理装置６で得られた脱気水Ｗ７は、通水ラインＬ７を介して、電気脱イオン装置７へ送出される。

電気脱イオン装置７は、脱気処理装置６で得られた脱気水Ｗ７を、イオン交換膜（不図示）により脱イオン水Ｗ８と第２濃縮水Ｗ９とに分離する膜分離処理を行なう設備である。具体的には、電気脱イオン装置７は、脱塩室及び濃縮室（いずれも不図示）を備える。脱塩室及び濃縮室は、一対の電極間に陽イオン交換膜及び陰イオン交換膜（いずれも不図示）を交互に配列することにより形成される。このうち、脱塩室には、陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂が収容されている。なお、脱塩室には、少なくとも陽イオン交換樹脂が収容されていればよい（理由は後述）。

電気脱イオン装置７は、電源回路（不図示）と電気的に接続されている。また、本実施形態の制御部１０は、第１実施形態の機能に加えて、電源回路を介して、電気脱イオン装置７に所定の直流電圧を印加する機能を備える。

電気脱イオン装置７において、一対の電極間に直流電圧が印加されると、イオン交換膜を介したイオンの選択的な移動により、逆浸透膜分離装置５で除去しきれなかった透過水Ｗ５に含まれる残留イオンが、脱塩室で除去される。これにより、脱塩室において、純水としての脱イオン水Ｗ８が製造される。また、電気脱イオン装置７では、濃縮室において、脱気水Ｗ７からイオン濃度が高い第２濃縮水Ｗ９が製造される。

電気脱イオン装置７の脱塩室には、通水ラインＬ８の上流側の端部が接続されている。電気脱イオン装置７で製造された脱イオン水Ｗ８は、通水ラインＬ８を介して、純水として二次精製装置や需要箇所に送出される。一方、電気脱イオン装置７の濃縮室には、濃縮水ラインＬ９の上流側の端部が接続されている。電気脱イオン装置７で製造された第２濃縮水Ｗ９は、濃縮水ラインＬ９を介して、外部に排出される。なお、第２濃縮水Ｗ９は、外部に排出することなく、濃縮水ラインＬ９を介して、加圧ポンプ５ａの上流側の軟水ラインＬ２に返送することもできる。

上述した第２実施形態の水処理システム１Ａによれば、第１実施形態の水処理システム１と同様の効果が奏される。特に、本実施形態の水処理システム１Ａでは、脱気処理装置６の下流側に、電気脱イオン装置７を備える。そのため、逆浸透膜分離装置５で除去しきれなかった透過水Ｗ５に含まれるイオンを、電気脱イオン装置７において更に除去することができる。従って、より純度の高い純水を製造することができる。

なお、本実施形態においては、脱気処理装置６の下流側に、電気脱イオン装置７を備えた構成について説明したが、これに限らず、イオン交換樹脂混床塔又は陽イオン交換樹脂単床塔（いずれも不図示）を備えた構成としてもよい。
イオン交換樹脂混床塔は、一つの塔内に陽イオン交換樹脂及び陰イオン交換樹脂を混合した状態で収容したものである。イオン交換樹脂混床塔においては、脱気水Ｗ７に含まれる陽イオン及び陰イオンが同時に除去される。

一方、陽イオン交換樹脂単床塔は、一つの塔内に陽イオン交換樹脂のみを収容したものである（カチオンポリッシャとも呼ばれる）。本実施形態のＲＯ膜モジュール５ｂは、負荷電性のスキン層が形成された逆浸透膜を備える。このため、ＲＯ膜モジュール５ｂでは、陰イオンが除去されやすい一方で、陽イオンは透過しやすい傾向にある（この傾向は、炭酸，ケイ酸（シリカ）、ホウ酸等の弱酸のイオン化を促進するために軟水Ｗ２のｐＨを高くするとより顕著になる）。この場合において、逆浸透膜分離装置５を透過した陽イオンは、下流側に設けられた陽イオン交換樹脂単床塔により除去される。このように、陽イオン交換樹脂単床塔を用いた場合には、陰イオン及び陽イオンが段階的に除去される。
なお、上述した電気脱イオン装置７において、脱塩室に陽イオン交換樹脂のみを収容した場合にも、陽イオン交換樹脂単床塔を用いた場合と同様に、陰イオン及び陽イオンを段階的に除去することができる。すなわち、電気脱イオン装置７では、逆浸透膜分離装置５を透過した陽イオンが除去される。

以上のように、脱イオン処理を実施する装置として、イオン交換樹脂混床塔又は陽イオン交換樹脂単床塔を備えた構成とした場合においても、逆浸透膜分離装置５で除去しきれなかった透過水Ｗ５に含まれるイオンを更に除去することができる。

（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態に係る水処理システム１Ｂについて、図６を参照しながら説明する。図６は、第３実施形態に係る水処理システム１Ｂの全体構成図である。なお、第３実施形態では、主に第１実施形態との相違点について説明する。このため、第１実施形態と同一（又は同等）の構成については同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。また、第２実施形態において特に説明しない点については、第１実施形態の説明が適宜に援用される。

図６に示すように、本実施形態に係る水処理システム１Ｂは、原水ポンプ２と、硬水軟化装置３と、塩水タンク４と、第１逆浸透膜分離装置５と、脱気処理装置６と、第２逆浸透膜分離装置８と、制御部１０と、を備える。また、水処理システム１は、原水ラインＬ１と、軟水ラインＬ２と、塩水ラインＬ３と、排水ラインＬ４と、通水ラインＬ５，Ｌ７，Ｌ１０と、濃縮水ラインＬ６，Ｌ１１と、を備える。

なお、本実施形態では、第１実施形態における「逆浸透膜分離装置５」を「第１逆浸透膜分離装置５」とする。本実施形態の第１逆浸透膜分離装置５では、軟水Ｗ２を膜分離処理し、第１透過水Ｗ５及び第１濃縮水Ｗ６を製造する。
また、本実施形態では、第１実施形態の透過水Ｗ５を「第１透過水Ｗ５」とする。更に、第１実施形態における濃縮水Ｗ６を「第１濃縮水Ｗ６」とし、第２逆浸透膜分離装置８で得られた濃縮水を「第２濃縮水Ｗ１１」とする。

本実施形態に係る水処理システム１Ｂでは、第１逆浸透膜分離装置５の下流側において、脱気処理装置６を介して、更に第２逆浸透膜分離装置８を備えた点が第１実施形態と異なる。その他の構成は第１実施形態と同じであるため、詳細な説明を省略する。

本実施形態における第２逆浸透膜分離装置８の構成は、第１逆浸透膜分離装置５と同じである。すなわち、第２逆浸透膜分離装置８の加圧ポンプ８ａは、第１逆浸透膜分離装置５の加圧ポンプ５ａと同じである。また、第２逆浸透膜分離装置８のＲＯ膜モジュール８ｂは、第１逆浸透膜分離装置５のＲＯ膜モジュール５ｂと同じ特性であってもよいし、異なる特性であってもよい。ＲＯ膜モジュール８ｂとしては、例えば、通常の逆浸透膜よりも細孔がルーズなナノ濾過膜を有するＮＦ膜モジュールを用いることもできる。第２逆浸透膜分離装置８は、これらＲＯ膜エレメントにより、第１逆浸透膜分離装置５で製造された第１透過水Ｗ５を膜分離処理し、第２透過水Ｗ１０及び第２濃縮水Ｗ１１を製造する。

ＲＯ膜モジュール８ｂの透過水出口には、通水ラインＬ１０の上流側の端部が接続されている。第２逆浸透膜分離装置８で製造された第２透過水Ｗ１０は、通水ラインＬ１０を介して、純水として二次精製装置や需要箇所に送出される。また、ＲＯ膜モジュール８ｂの濃縮水出口には、濃縮水ラインＬ１１の上流側の端部が接続されている。第２逆浸透膜分離装置８で製造された第２濃縮水Ｗ１１は、濃縮水ラインＬ１１を介して、外部に排出される。なお、第２濃縮水Ｗ１１は、外部に排出することなく、濃縮水ラインＬ１１を介して、加圧ポンプ５ａの上流側の軟水ラインＬ２に返送することもできる。

上述した第２実施形態の水処理システム１Ｂによれば、第１実施形態の水処理システム１と同様の効果が奏される。特に、本実施形態の水処理システム１Ｂでは、第１逆浸透膜分離装置５の下流側において、脱気処理装置６を介して、更に第２逆浸透膜分離装置８を備える。そのため、第１逆浸透膜分離装置５で除去しきれなかった第１透過水Ｗ５に含まれるイオンを、第２逆浸透膜分離装置８において更に除去することができる。従って、より純度の高い純水を製造することができる。

なお、本実施形態において、第２逆浸透膜分離装置８の下流側に、脱イオン処理を実施する装置として、第２実施形態に示した電気脱イオン装置７（図５参照）を備えた構成としてもよい。また、電気脱イオン装置７の代わりに、イオン交換樹脂混床塔又は陽イオン交換樹脂単床塔（いずれも不図示）を備えた構成としてもよい。このような構成とした場合には、第１逆浸透膜分離装置５及び第２逆浸透膜分離装置８で除去しきれなかった第２透過水Ｗ１０に含まれるイオンを更に除去することができる。従って、より一層純度の高い純水を製造することができる。

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は、前述した実施形態に限定されることなく、種々の形態で実施することができる。

例えば、第１〜第３実施形態において、軟水ラインＬ２にアルカリ剤添加装置（不図示）を設け、逆浸透膜分離装置（第１逆浸透膜分離装置）５に供給される軟水Ｗ２にアルカリ剤を添加する構成としてもよい。アルカリ剤としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等が挙げられる。硬水軟化装置３で製造された軟水Ｗ２にアルカリ剤を添加してｐＨを８以上に上昇させると、軟水Ｗ２に含まれる遊離炭酸がイオン化し、炭酸水素イオンや炭酸イオンに変化する。このため、下流側の逆浸透膜分離装置（第１逆浸透膜分離装置）５において、イオン化した遊離炭酸（炭酸水素イオンや炭酸イオン）を効率良く除去することができる。従って、更に純度の高い純水を製造することができる。

また、アルカリ剤を添加することにより、軟水Ｗ２に含まれる遊離炭酸が逆浸透膜分離装置（第１逆浸透膜分離装置）５で十分に除去されるので、脱気処理装置６の負荷を軽減することができる。すなわち、脱気処理装置６の小型化が可能になる。

また、軟水Ｗ２にアルカリ剤を添加すると、軟水Ｗ２に含まれるケイ酸（シリカ）の溶解度が上昇するため、シリカ系スケールの発生を抑制することが可能になり、結果として純水の回収率を向上させることができる。また、軟水Ｗ２にアルカリ剤を添加して、ｐＨ９以上とすることにより、ホウ酸の解離（イオン化）が促進されるため、ホウ酸の除去率を向上させることができる。

また、第３実施形態において、第２逆浸透膜分離装置８の下流側にイオン交換樹脂混床塔を設けた場合には、脱気水Ｗ７にアルカリ剤を添加することにより、ケイ酸（シリカ）の解離（イオン化）が促進されることで、イオン交換樹脂混床塔の寿命を延ばすことができる。すなわち、第２透過水Ｗ１０中に解離していないケイ酸が残留している場合には、この非イオン状のケイ酸は、陰イオン交換樹脂の細孔に物理的に吸着して蓄積していくため、陰イオン交換樹脂の再生利用が困難になる。一方、第２透過水Ｗ１０中に解離したケイ酸が残留している場合には、このイオン状のケイ酸は、陰イオン交換樹脂でイオン交換によって除去されるため、陰イオン交換樹脂の再生利用が可能になる。このため、後者の場合には、イオン交換樹脂混床塔の負荷が軽減され、その寿命を延ばすことができる。

更に、アルカリ剤添加装置を設けた構成については、以下のような実施形態がある。
第１実施形態のように、逆浸透膜分離装置５の下流側に脱気処理装置６を接続した構成において、脱気処理装置６に供給される透過水Ｗ５の炭酸負荷が不安定であると、脱気処理装置６において遊離炭酸の除去が不十分となり、製造される純水の純度も不安定になる。

そこで、第２実施形態で説明したように、脱気処理装置６の下流側に、陽イオン交換樹脂単床塔を接続した構成において、炭酸濃度検出手段（不図示）を、軟水ラインＬ２（逆浸透膜分離装置５の入口側）に設ける。炭酸濃度検出手段としては、例えば、炭酸濃度計のほか、ｐＨ計及びＭアルカリ度計の組み合わせがある。これらの炭酸濃度検出手段は、信号線を介して制御部１０と電気的に接続される。炭酸濃度検出手段で検出された計測値は、制御部１０に送信される。また、アルカリ剤添加装置は、信号線を介して制御部１０と電気的に接続される。アルカリ剤添加装置による軟水ラインＬ２へのアルカリ剤の添加又は非添加は、制御部１０により制御される。

制御部１０は、炭酸濃度検出手段で検出された計測値に基づいて、アルカリ剤添加装置によるアルカリ剤の添加又は非添加を制御する。制御部１０は、アルカリ剤の添加又は非添加の判定において、炭酸濃度検出手段が炭酸濃度計の場合には、炭酸濃度の計測値を用いる。また、制御部１０は、炭酸濃度検出手段がｐＨ計及びＭアルカリ度計の場合には、それぞれの測定値に基づいて算出した炭酸濃度の推定値を用いる。

制御部１０は、例えば、以下のような制御手順により軟水ラインＬ２へのアルカリ剤の添加量を制御する。制御部１０は、炭酸濃度検出手段から送信された計測値（又は算出した推定値）Ａと、脱気処理装置６において除去可能な炭酸濃度値（設定値）Ｂと、を比較する。そして、制御部１０は、計測値Ａ≧炭酸濃度値Ｂの場合には、軟水ラインＬ２にアルカリ剤が添加されるようにアルカリ剤添加装置を制御する。また、制御部１０は、計測値Ａ＜炭酸濃度値Ｂの場合には、軟水ラインＬ２に対してアルカリ剤が非添加となるようにアルカリ剤添加装置を制御する。この制御は、所定の時間間隔又はリアルタイムで実施される。

このように、軟水Ｗ２に含まれる炭酸濃度の計測値（又は推定値）に基づいて、アルカリ剤の添加又は非添加を制御した場合には、軟水Ｗ２の炭酸負荷が不安定であっても、逆浸透膜分離装置５において遊離炭酸を十分に除去することができる。従って、製造される純水の純度を安定させることができる。また、アルカリ剤の添加量を最適化することができるので、使用するアルカリ剤の使用量を必要最小限に抑えることができる。

また、脱気処理装置６の下流側に、陽イオン交換樹脂単床塔を接続した場合には、再生剤による再生処理の間隔を延ばすことができるので、再生剤の使用量をコストの低減が可能となる。ちなみに、脱気処理装置６の下流側に、イオン交換樹脂混床塔を接続した場合には、純水の純度を高めることができる反面、再生処理において、再生剤の使用量が増えるため、コストの増加を招く。

上述した炭酸濃度検出手段は、通水ラインＬ７（脱気処理装置６の出口側）に設けられていてもよい。この場合は、脱気処理装置６から送出される脱気水Ｗ７の炭酸濃度を計測する。

また、炭酸濃度検出手段の代わりに、電気伝導率検知手段（不図示）を設けた構成としてもよい。電気伝導率検知手段としては、例えば、電気伝導率計がある。制御部１０は、アルカリ剤の添加又は非添加の判定において、電気伝導率検出手段が電気伝導率計の場合には、電気伝導率の計測値を用いる。電気伝導率検知手段は、通水ラインＬ５（逆浸透膜分離装置５の出口側）又は陽イオン交換樹脂単床塔の出口側に設ける。

この場合において、制御部１０は、電気伝導率検出手段から送信された計測値Ａと、脱気処理装置６において除去可能な炭酸濃度値に対応する電気伝導率（設定値）Ｂと、を比較する。そして、制御部１０は、計測値Ａ≧電気伝導率Ｂの場合には、軟水ラインＬ２にアルカリ剤が添加されるようにアルカリ剤添加装置を制御する。また、制御部１０は、計測値Ａ＜電気伝導率Ｂの場合には、軟水ラインＬ２に対してアルカリ剤が非添加となるようにアルカリ剤添加装置を制御する。

なお、上述したアルカリ剤を添加する実施形態では、アルカリ剤の添加量を一定とし、アルカリ剤の添加又は非添加を制御する例について説明した。この例に限らず、計測された炭酸濃度の量に応じてアルカリ剤の添加量が可変となるように制御してもよい。

また、第３実施形態（図６）で説明したように、第２逆浸透膜分離装置８の下流側に、更に陽イオン交換樹脂単床塔（不図示）を備えた構成とした場合においても、軟水Ｗ２に含まれる炭酸濃度の計測値（又は推定値）に基づいて、アルカリ剤の添加又は非添加を制御する手法を適用することにより、同様の効果を得ることができる。

また、第２実施形態（図５参照）で説明したように、脱気処理装置６の下流側に、イオン交換樹脂混床塔を備えた構成としてもよい。このような構成とした場合においても、軟水Ｗ２に含まれる炭酸濃度の計測値（又は推定値）に基づいて、アルカリ剤の添加又は非添加を制御する手法を適用することにより、同様の効果を得ることができる。この場合、炭酸濃度検出手段は、軟水ラインＬ２（逆浸透膜分離装置５の入口側）、又は通水ラインＬ７（脱気処理装置６の出口側）に設ける。また、電気伝導率検出手段を用いる場合において、電気伝導率検出手段は、通水ラインＬ５（逆浸透膜分離装置５の出口側）又はイオン交換樹脂混床塔の出口側に設ける。

更に、第３実施形態（図６）の構成においても、軟水Ｗ２に含まれる炭酸濃度の計測値（又は推定値）に基づいて、アルカリ剤の添加又は非添加を制御する手法を適用することにより、同様の効果を得ることができる。この場合、炭酸濃度検出手段は、軟水ラインＬ２（第１逆浸透膜分離装置５の入口側）、又は通水ラインＬ７（脱気処理装置６の出口側）に設ける。また、電気伝導率検出手段を用いる場合において、電気伝導率検出手段は、通水ラインＬ５（第１逆浸透膜分離装置５の出口側）又は通水ラインＬ１０（第２逆浸透膜分離装置８の出口側）に設ける。

また、上記各実施形態において、逆浸透膜分離装置（第１逆浸透膜分離装置）５と脱気処理装置６との間に酸添加装置（不図示）を設け、脱気処理装置６に供給される透過水（第１透過水）Ｗ５のｐＨが６以下になるように酸（例えば、塩酸，硫酸等）を添加する構成としてもよい。

また、第１実施形態で説明した第２再生プロセスでは、底部スクリーン３２２から中間部スクリーン３２３への塩水Ｗ３の上昇流を生成しているが、更に、頂部スクリーン３２１から中間部スクリーン３２３への塩水Ｗ３の下降流を生成してもよい。

また、第１〜第３実施形態において、原水Ｗ１の供給源とは別に、原水ラインＬ１に原水Ｗ１を供給する原水タンクを設け、この原水タンクを含む設備を原水供給手段としてもよい。この場合には、原水タンクに貯留された原水Ｗ１を、洗浄水、押出水、及び濯ぎ水として硬水軟化装置３に供給する。

１，１Ａ，１Ｂ 水処理システム
３ 硬水軟化装置
４ 塩水タンク
５ 逆浸透膜分離装置（第１逆浸透膜分離装置）
５ｂ，８ｂ ＲＯ膜モジュール（逆浸透膜）
６ 脱気処理装置（気体分離膜モジュール）
７ 電気脱イオン装置
８ 第２逆浸透膜分離装置
１０ 制御部
３１ 圧力タンク（陽イオン交換樹脂床塔）
３２ プロセス制御バルブ（バルブ手段）
３１１ 陽イオン交換樹脂床
３１３ 硬度リーク防止床
３２１ 頂部スクリーン
３２２ 底部スクリーン
３２３ 中間部スクリーン
Ｌ１ 原水ライン
Ｌ２ 軟水ライン
Ｌ３ 塩水ライン
Ｌ４ 排水ライン
Ｌ５，Ｌ７，Ｌ８，Ｌ１０ 通水ライン
Ｌ６，Ｌ９，Ｌ１１ 濃縮水ライン
Ｗ１ 原水
Ｗ２ 軟水
Ｗ３ 塩水（再生液）
Ｗ４ 排水
Ｗ５ 透過水（第１透過水）
Ｗ６ 濃縮水（第１濃縮水）
Ｗ７ 脱気水
Ｗ８ 脱イオン水
Ｗ９，Ｗ１１ 第２濃縮水
Ｗ１０ 第２透過水

Claims (10)

1. 原水を陽イオン交換樹脂床塔で軟化処理して軟水を製造する硬水軟化工程と、
   硬水軟化工程で製造された軟水を第１逆浸透膜モジュールで透過水と濃縮水とに分離する第１逆浸透膜分離工程と、
   第１逆浸透膜分離工程で得られた透過水を気体分離膜モジュールで脱気処理し、脱気処理された処理水を純水として送出する脱気処理工程とを含み、
   前記陽イオン交換樹脂床塔においては、深さが３００〜１５００ｍｍの陽イオン交換樹脂床に対し、原水を下降流で通過させて軟水を製造する軟化プロセス；再生液を前記陽イオン交換樹脂床の頂部へ配液しながら、底部で集液することにより再生液の下降流を生成して、前記陽イオン交換樹脂床の全体を再生させる第１再生プロセス；及び、第１再生プロセス後に再生液を前記陽イオン交換樹脂床の底部へ配液しながら、中間部で集液することにより再生液の上昇流を生成して、前記陽イオン交換樹脂床の一部を再生する第２再生プロセスを含んで運転され、
   第２再生プロセスでは、前記陽イオン交換樹脂床の底部を基点として深さが１００ｍｍに設定された硬度リーク防止床に対し、再生レベルが１〜６ｅｑ／Ｌ−Ｒとなる再生液量を供給する一方で、第２再生プロセス後の軟化プロセスでは、電気伝導率が１５０ｍＳ／ｍ以下、且つ全硬度が５００ｍｇＣａＣＯ_３／Ｌ以下の原水を供給し、
   前記第１逆浸透膜モジュールは、膜表面に架橋全芳香族ポリアミドからなる負荷電性のスキン層が形成された逆浸透膜を有し、
   当該逆浸透膜は、濃度５００ｍｇ／Ｌ、ｐＨ７．０、温度２５℃の塩化ナトリウム水溶液を、操作圧力０．７ＭＰａ、回収率１５％で供給したときの水透過係数が１．５×１０^−１１ｍ^３・ｍ^−２・ｓ^−１・Ｐａ^−１以上、且つ塩除去率が９９％以上である、
   純水の製造方法。
2. 脱気処理工程で脱気処理された処理水を、電気脱イオンモジュール、イオン交換樹脂混床塔又は陽イオン交換樹脂単床塔で脱イオン処理し、脱イオン処理された透過水を純水として送出する脱イオン処理工程を含む、
   請求項１に記載の純水の製造方法。
3. 脱気処理工程で脱気処理された処理水を、更に第２逆浸透膜モジュールで透過水と濃縮水とに分離し、得られた透過水を純水として送出する第２逆浸透膜分離工程を含む、
   請求項１に記載の純水の製造方法。
4. 第２逆浸透膜分離工程で得られた透過水を、電気脱イオンモジュール、イオン交換樹脂混床塔又は陽イオン交換樹脂単床塔で脱イオン処理し、脱イオン処理された透過水を純水として送出する脱イオン処理工程を含む、
   請求項３に記載の純水の製造方法。
5. 前記陽イオン交換樹脂床塔においては、第１再生プロセスの後に、原水を前記陽イオン交換樹脂床の頂部へ配液しながら、底部で集液することにより原水の下降流を生成して、導入された再生液を押し出す第１押出プロセス；及び、第２再生プロセスの後に、原水を前記陽イオン交換樹脂床の底部へ配液しながら、中間部で集液することにより原水の上昇流を生成して、導入された再生液を押し出す第２押出プロセスを含んで運転され、
   第１及び第２再生プロセスでは、前記陽イオン交換樹脂床に対して再生液を０．７〜２ｍ／ｈの線速度で通過させると共に、第１及び第２押出プロセスでは、前記陽イオン交換樹脂床に対して原水を０．７〜２ｍ／ｈの線速度、且つ０．４〜２．５ＢＶの押出量で通過させる、
   請求項１〜４のいずれか一項に記載の純水の製造方法。
6. 原水を陽イオン交換樹脂床塔で軟化処理して軟水を製造する硬水軟化装置と、
   前記硬水軟化装置で製造された軟水を第１逆浸透膜モジュールで透過水と濃縮水とに分離する第１逆浸透膜分離装置と、
   前記第１逆浸透膜分離装置で得られた透過水を気体分離膜モジュールで脱気処理し、脱気処理された処理水を純水として送出する脱気処理装置と、
   前記陽イオン交換樹脂床塔に収容された、深さが３００〜１５００ｍｍの陽イオン交換樹脂床に対し、原水を下降流で通過させて軟水を製造する軟化プロセス；再生液を前記陽イオン交換樹脂床の頂部へ配液しながら、底部で集液することにより再生液の下降流を生成して、前記陽イオン交換樹脂床の全体を再生させる第１再生プロセス；及び、第１再生プロセス後に再生液を前記陽イオン交換樹脂床の底部へ配液しながら、中間部で集液することにより再生液の上昇流を生成して、前記陽イオン交換樹脂床の一部を再生する第２再生プロセスに切り換え可能なバルブ手段と、
   第２再生プロセスにおいて、前記陽イオン交換樹脂床の底部を基点として深さが１００ｍｍに設定された硬度リーク防止床に対し、再生レベルが１〜６ｅｑ／Ｌ−Ｒとなる再生液量を供給する再生液供給手段と、
   第２再生プロセス後の軟化プロセスにおいて、電気伝導率が１５０ｍＳ／ｍ以下、且つ全硬度が５００ｍｇＣａＣＯ_３／Ｌ以下の原水を供給する原水供給手段と、
   を備え、
   前記第１逆浸透膜モジュールは、膜表面に架橋全芳香族ポリアミドからなる負荷電性のスキン層が形成された逆浸透膜を有し、
   当該逆浸透膜は、濃度５００ｍｇ／Ｌ、ｐＨ７．０、温度２５℃の塩化ナトリウム水溶液を、操作圧力０．７ＭＰａ、回収率１５％で供給したときの水透過係数が１．５×１０^−１１ｍ^３・ｍ^−２・ｓ^−１・Ｐａ^−１以上、且つ塩除去率が９９％以上である、
   純水の製造システム。
7. 前記脱気処理装置で脱気処理された処理水を脱イオン処理する、電気脱イオンモジュール、イオン交換樹脂混床塔又は陽イオン交換樹脂単床塔を備える、
   請求項６に記載の純水の製造システム。
8. 前記脱気処理装置で脱気処理された処理水を、更に第２逆浸透膜モジュールで透過水と濃縮水とに分離し、得られた透過水を純水として送出する第２逆浸透膜分離装置を備える、
   請求項６に記載の純水の製造システム。
9. 前記第２逆浸透膜分離装置で得られた透過水を脱イオン処理する、電気脱イオンモジュール、イオン交換樹脂混床塔又は陽イオン交換樹脂単床塔を備える、
   請求項８に記載の純水の製造システム。
10. 前記バルブ手段は、第１再生プロセスの後に、原水を前記陽イオン交換樹脂床の頂部へ配液しながら、底部で集液することにより原水の下降流を生成して、導入された再生液を押し出す第１押出プロセス；及び、第２再生プロセスの後に、原水を前記陽イオン交換樹脂床の底部へ配液しながら、中間部で集液することにより原水の上昇流を生成して、導入された再生液を押し出す第２押出プロセスに切り換え可能に構成され、
    前記再生液供給手段は、第１及び第２再生プロセスにおいて、前記陽イオン交換樹脂床に対して再生液を０．７〜２ｍ／ｈの線速度で通過させるように構成され、
    前記原水供給手段は、第１及び第２押出プロセスにおいて、前記陽イオン交換樹脂床に対して原水を０．７〜２ｍ／ｈの線速度、且つ０．４〜２．５ＢＶの押出量で通過させるように構成された、
    請求項６〜９のいずれか一項に記載の純水の製造システム。

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