JP2012182076A - 表面波プラズマ発生用アンテナおよび表面波プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 マイクロ波出力部から、外側導体と内側導体とからなる同軸状の導波路を介して伝送されたマイクロ波をチャンバ内に放射して、チャンバ内に表面波プラズマを発生させるための、表面波プラズマ発生用アンテナであって、平面状をなすとともに複数のスロットが円周状に形成され、かつ、円周方向に隣接するスロットとスロットとの継ぎ目部分において、これらスロットが径方向に重なっており、その継ぎ目部分がスロットに覆われた状態となっている。
【選択図】図7
Description
図1は、本発明の実施形態に係る表面波プラズマ発生用アンテナを有する表面波プラズマ処理装置の概略構成を示す断面図であり、図2は図1の表面波プラズマ処理装置に用いられるマイクロ波プラズマ源の構成を示す構成図である。
次に、上記表面波プラズマ発生用アンテナ81の構成について説明する。
図7は、表面波プラズマ発生用アンテナの第1の実施形態を示す平面図である。本実施形態では、表面波プラズマ発生用アンテナ81は、全体が円板状(平面状)をなすとともに6個のスロット121が円周状に形成されている。これらスロット121は全て同じ形状の円弧状をなしており、いずれも太い円弧状をなす中央部121aと、中央部121aの円周方向端部の両側から円弧状に延びる第1の端部121bおよび第2の端部121cとを有している。そして、これらスロット121のうち隣接するもの同士の継ぎ目部分は、一方のスロット121の第1の端部121bが他方のスロット121の第2の端部121cと径方向に重なるように構成されている。すなわち、円周方向に隣接するスロットとスロットとの継ぎ目部分が、スロットに覆われるように構成され、周方向にスロットのない部分が存在しないようにしている。第1の端部121bおよび第2の端部121cの径方向の幅は、中央部121aの径方向の幅の半分以下となっており、第1の端部121bは中央部121aの一方の円周方向端部の外側(外周側)から円周方向に延び、第2の端部121cは中央部121aの他方の円周方向端部の内側(内周側)から円周方向に延びている。そして、第1の端部121bの外周は中央部121aの外周に連続しており、第2の端部121cの内周は中央部121aの内周に連続している。このため、隣接するスロット121の継ぎ目部分において、第1の端部121bが外側に、第2の端部121cが内側になるように重なっており、6個のスロット121は、全体的に中央部121aと第1の端部121bの外周を結んだ線を外周とし中央部121aと第2の端部121cの内周を結んだ線を内周とする同じ幅の円環領域を形成するように設けられている。
図8は、表面波プラズマ発生用アンテナの第2の実施形態を示す平面図である。本実施形態では、表面波プラズマ発生用アンテナ81は、全体が円板状(平面状)をなすとともに、6個のスロット131が全体形状が円周状になるように形成されている。これらスロット131は全て同じ形状であり、円周に沿って細長い形状に形成されている。これらスロット131のうち隣接するもの同士の継ぎ目部分は、一方のスロット131の端部と他方のスロット131の端部とが重なるように構成されている。すなわち、円周方向に隣接するスロットとスロットとの継ぎ目部分が、スロットに覆われるように構成され、周方向にスロットのない部分が存在しないようにしている。具体的には、スロット131の両端にそれぞれ隣接するスロット131と重なる第1の端部131bおよび第2の端部131cを有しており、第1の端部131bと第2の端部131cとの間の重なりのない部分が中央部131aとなっている。そして、隣接するスロット131のうち、一方の第1の端部131bと他方の第2の端部131cが、第1の端部131bが外側に第2の端部131cが内側になるように重なっている。中央部131aは、外側にある第1の端部131bと内側にある第2の端部131cとを繋いでいるため、図8に示す6個のスロット131を内包する二点鎖線で示す円環領域132において外周と一致する第1の端部131bと内周と一致する第2の端部131cの間を斜めに結ぶようになっている。
図9は、表面波プラズマ発生用アンテナの第3の実施形態を示す平面図である。本実施形態では、表面波プラズマ発生用アンテナ81は、全体が円板状(平面状)をなすとともに、4個の円弧状のスロット141が所定間隔をおいて円周状に形成され、その内側に4個の円弧状のスロット142が所定間隔をおいて円周状に形成されている。そして、外側のスロット141の外周から内側のスロット142の内周までの長さLは、4個のスロットを円周状に配置した従来のスロットの幅とほぼ同等とされ、外側のスロット141の間のフレーム部分141a(継ぎ目部分)と内側のスロット142の間のフレーム部分142a(継ぎ目部分)が径方向で重ならないようになっている。すなわち、円周方向に隣接するスロットとスロットとの継ぎ目部分が、スロットに覆われるように構成され、周方向に外側のスロット141および内側のスロット142の少なくとも一方が必ず存在するようにしている。図9では、外側のスロット141の間のフレーム部分141aが内側のスロット142の中央に位置し、内側のスロット142の間のフレーム部分142aが外側のスロット141の中央に位置している。
次に、以上のように構成される表面波プラズマ処理装置100における動作について説明する。
まず、ウエハWをチャンバ1内に搬入し、サセプタ11上に載置する。そして、プラズマガス供給源27から配管28およびプラズマガス導入部材26を介してチャンバ1内にプラズマガス、例えばArガスを導入しつつ、マイクロ波プラズマ源2からマイクロ波をチャンバ1内に導入して表面波プラズマを生成する。
2;マイクロ波プラズマ源
11;サセプタ
12;支持部材
15;排気管
16;排気装置
17;搬入出口
20;シャワープレート
30;マイクロ波出力部
31;マイクロ波電源
32;マイクロ波発振器
40;マイクロ波供給部
41;マイクロ波導入機構
43;アンテナ部
44;導波路
52;外側導体
53;内側導体
54;給電機構
55;マイクロ波電力導入ポート
56;同軸線路
58;反射板
59;遅波材
60;チューナ
81;表面波プラズマ発生用アンテナ
90;給電アンテナ
100;表面波プラズマ処理装置
110;制御部
121,131,141,142;スロット
121a,131a;中央部
121b,131b;第1の端部
121c,131c;第2の端部
W;半導体ウエハ
Claims (10)
- マイクロ波出力部から、外側導体と内側導体とからなる同軸状の導波路を介して伝送されたマイクロ波をチャンバ内に放射して、チャンバ内に表面波プラズマを発生させるための、表面波プラズマ発生用アンテナであって、
平面状をなすとともに複数のスロットが円周状に形成され、かつ、円周方向に隣接するスロットとスロットとの継ぎ目部分がスロットに覆われるように構成されていることを特徴とする表面波プラズマ発生用アンテナ。 - 前記隣接するスロットとスロットとは、その継ぎ目部分において、径方向に重なっていることを特徴とする請求項1に記載の表面波プラズマ発生用アンテナ。
- 前記スロットは、中央部とそこから両側に延びる第1の端部および第2の端部を有しており、隣接するスロットのうち一方の第1の端部と他方の第2の端部とが径方向に重なっていることを特徴とする請求項2に記載の表面波プラズマ発生用アンテナ。
- 前記中央部、前記第1の端部、および前記第2の端部は、実質的に同じ長さを有していることを特徴とする請求項3に記載の表面波プラズマ発生用アンテナ。
- 前記スロットの前記中央部は所定幅を有し、前記第1の端部および前記第2の端部は前記中央部の幅の半分以下の幅を有し、前記第1の端部と前記第2の端部とが重なる部分は、前記中央部と同じ幅を有し、前記複数のスロットの存在領域が円環状をなしていることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の表面波プラズマ発生用アンテナ。
- 前記スロットは細長い形状に形成されており、前記複数のスロットは、円環領域に内包するように設けられ、前記第1の端部が隣接するスロットの第2の端部の外側に形成され、前記第2の端部が隣接するスロットの第1の端部の内側に形成され、前記中央部は、外側の第1の端部から内側の第2の端部に向けて、前記円環領域の外側部分から内側部分を斜めに横切るように設けられていることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の表面波プラズマ発生用アンテナ。
- 前記複数のスロットは、円周状に複数形成された外側円弧状スロットと、その内側に円周状に複数形成された内側円弧状スロットとで構成され、前記外側円弧状スロット同士の継ぎ目部分と前記内側円弧状スロット同士の継ぎ目部分が径方向に重ならないように設けられていることを特徴とする請求項1に記載の表面波プラズマ発生用アンテナ。
- 被処理基板を収容するチャンバと、
前記チャンバ内にガスを供給するガス供給機構と、
マイクロ波電源を有し、マイクロ波を生成して出力するマイクロ波出力部、および出力されたマイクロ波を前記チャンバ内に導入するマイクロ波導入機構を備え、前記チャンバ内にマイクロ波を導入して前記チャンバ内に供給されたガスの表面波プラズマを発生させるマイクロ波プラズマ源と
を具備し、
前記マイクロ波導入機構は、外側導体と内側導体とからなる同軸状の導波路と、導波路を介して伝送されたマイクロ波を、チャンバ内に放射するための、表面波プラズマ発生用アンテナとを有し、前記表面波プラズマ発生用アンテナとして、請求項1から請求項7のいずれかに記載のものを用いることを特徴とする表面波プラズマ処理装置。 - 前記マイクロ波導入機構は、前記導波路に設けられた、前記チャンバ内の負荷のインピーダンスを前記マイクロ波電源の特性インピーダンスに整合させるチューナをさらに有することを特徴とする請求項8に記載の表面波プラズマ処理装置。
- 前記マイクロ波導入機構を複数有することを特徴とする請求項8または請求項9に記載の表面波プラズマ処理装置。
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