JP2012181019A5 - - Google Patents

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ここで、測位方向（Ｘ方向）の任意の位置における、第１トラック２０１の反射率分布として読み取り領域２１３のＹ方向（測位方向に垂直な方向）幅の範囲でのＹ方向（測位方向に垂直な方向）への積分を考える。その結果は、測位方向に変調振幅が一定である１００μｍ周期（細周期Ｐ）の変調成分と、測位方向に変調振幅が一定である７００μｍ周期（粗周期Ｘ０）の変調成分との和となっている。
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Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5919363B1 (ja) 2014-11-28 2016-05-18 ファナック株式会社 ロータリーエンコーダ
WO2016171931A1 (en) * 2015-04-22 2016-10-27 Faro Technologies, Inc. Indexed optical encoder
JP6705649B2 (ja) * 2015-12-22 2020-06-03 株式会社ミツトヨ エンコーダ
JP6664211B2 (ja) * 2015-12-22 2020-03-13 株式会社ミツトヨ エンコーダ
JP6684631B2 (ja) * 2016-03-31 2020-04-22 シチズン時計株式会社 位置変換器
DE102017100506A1 (de) * 2017-01-12 2018-07-12 Sick Ag Optoelektronisches Positionserfassungssystem und Verfahren zur Positionsbestimmung
JP2018138350A (ja) * 2017-02-24 2018-09-06 セイコーエプソン株式会社 記録装置
KR20190139860A (ko) * 2017-04-13 2019-12-18 소니 주식회사 위치 검출 장치 및 위치 검출 방법
US10754261B2 (en) * 2017-06-06 2020-08-25 Kla-Tencor Corporation Reticle optimization algorithms and optimal target design
JP7028652B2 (ja) * 2018-01-16 2022-03-02 株式会社ミツトヨ 測定装置
JP7222081B2 (ja) * 2018-06-07 2023-02-14 エム． ジョンソン、フィリップ 線形及び回転マルチトラック絶対位置エンコーダ並びにそれを使用した方法
JP7148337B2 (ja) * 2018-09-14 2022-10-05 キヤノン株式会社 位置検出装置、リソグラフィ装置、力覚センサ及び力覚センサを有する装置
CN111457948A (zh) * 2019-01-22 2020-07-28 大银微系统股份有限公司 光学编码器及其控制方法
US20200271484A1 (en) * 2019-02-25 2020-08-27 Hiwin Mikrosystem Corp. Optical encoder and control method thereof

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3757128A (en) * 1972-03-20 1973-09-04 Ibm Multiphase tachometer
JPH01113616A (ja) 1987-10-27 1989-05-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 位置検出装置
DE19962278A1 (de) * 1999-12-23 2001-08-02 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
JP4156223B2 (ja) * 2001-10-19 2008-09-24 サムタク株式会社 リニアスケール
JP2007183116A (ja) 2006-01-04 2007-07-19 Fuji Electric Holdings Co Ltd 光学式エンコーダ
JP2009198318A (ja) 2008-02-21 2009-09-03 Mitsutoyo Corp 光電式エンコーダ
TWI416082B (zh) * 2008-06-05 2013-11-21 Mitsubishi Electric Corp 光學式編碼器
US7934657B2 (en) 2008-06-25 2011-05-03 Xerox Corporation Encoder home position sensing method and system
US7608813B1 (en) 2008-11-18 2009-10-27 Mitutoyo Corporation Scale track configuration for absolute optical encoder including a detector electronics with plurality of track detector portions
JP5566061B2 (ja) * 2009-07-31 2014-08-06 オリンパス株式会社 光学式変位検出装置

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