JP2012173373A - オートフォーカス装置及び顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】オートフォーカス装置1は、第1対物レンズ12を介してスリット板22のスリット像(投影像)を標本18に照射するフォーカス用照明光学系5と、標本18からの投影像の反射光を第1対物レンズ12を介して受光し、この投影像の反射像を結像させるフォーカス用結像光学系7と、この反射像を検出するオートフォーカス用CCDセンサ30と、投影像及び反射像の少なくとも一方の結像位置を光軸方向に移動させる焦点位置調節レンズ8と、フォーカスアクチュエータの作動を制御するための信号を出力するオートフォーカス用信号処理部31と、を有し、フォーカス用照明光学系5及びフォーカス用結像光学系7の少なくとも一方に可変絞り2を設け、フォーカス用照明光の開口数若しくは反射光の開口数を変化させる。
【選択図】図1
Description
図4は、本実施形態に係るオートフォーカス装置1を有する顕微鏡100の光学系の第1実施例を示している。なお、図4においてはオートフォーカス用の赤外光を実線で示し、観察光を点線で示している。この第1実施例において、可変絞り2は第1瞳制限マスク24と第1ハーフミラー25との間、つまり、フォーカス用照明光学系5の光路上に位置し、アフォーカル系に配設されている。この図4には、可変絞り2を絞ると標本位置付近におけるオートフォーカス用赤外光の開口数が小さくなる様子が表されている。なお、図4は、説明に関係しない構成要素は省略している。
本実施形態に係るオートフォーカス装置1を有する顕微鏡100の光学系の第2実施例を図5に示す。この図5において、可変絞り2′は第1ハーフミラー25とオートフォーカス用第2対物レンズ26との間、つまり、フォーカス用結像光学系7の光路上に位置し、アフォーカル系に配設されている。可変絞り2′を絞るとカバーガラス14で反射したオートフォーカス用赤外光のうち、開口数が小さい成分のみがフォーカス用結像光学系7に届く様子が表されている。なお、この第2実施例において、使用する第1対物レンズ12と可変絞り2′の絞り量との関係については、第1実施例における第1対物レンズ12と可変絞り2の絞り量との関係に等しく、それぞれ表1、表2と同様になる。
5 フォーカス用照明光学系 7 フォーカス用結像光学系
8 焦点位置調節レンズ(結像位置調節部材)
12 第1対物レンズ(対物レンズ) 18 標本
20 LED光源(フォーカス用照明光源)
22 スリット板(フォーカス用照明光源)
30 オートフォーカス用CCDセンサ(光電変換器)
31 オートフォーカス用信号処理部(信号出力部)
32 移動量検出部 34 ステージ駆動部 35 対物レンズ駆動部
41 CPU(制御部) 42 メモリ(記憶部) 100 顕微鏡
Claims (5)
- 標本と対物レンズとの相対位置を変化させる駆動部の作動を制御することにより、前記対物レンズの焦点を前記標本に対する所望の位置に維持させるオートフォーカス装置であって、
前記標本に前記対物レンズを介して所定の投影像を形成するフォーカス用照明光学系と、
前記対物レンズを介して前記投影像の前記標本による反射光を受光し、前記投影像の反射像を結像させるフォーカス用結像光学系と、
前記フォーカス用結像光学系による前記反射像の結像位置に設けられ、前記反射像を検出する光電変換器と、
前記投影像及び前記反射像の少なくとも一方の結像位置を光軸方向に移動させる結像位置調節部材と、
前記光電変換器で得られた前記反射像の信号に基づいて、前記駆動部の作動を制御するための信号を出力する信号出力部と、を有し、
前記フォーカス用照明光学系及び前記フォーカス用結像光学系の少なくとも一方に可変絞りを設け、該可変絞りを制御することにより、前記可変絞りの配置位置に対応して前記フォーカス用照明光の開口数及び前記反射光の開口数の少なくとも一方を変化可能に構成したことを特徴とするオートフォーカス装置。 - 前記結像位置調節部材による前記結像位置の移動量を検出する移動量検出部と、
前記移動量検出部により検出された前記移動量に応じて前記可変絞りの開口径を変化させる制御部と、を有することを特徴とする請求項1に記載のオートフォーカス装置。 - 前記結像位置調節部材の作動量を記憶する記憶部と、
前記作動量に応じて前記可変絞りの開口径を変化させる制御部と、を有することを特徴とする請求項1に記載のオートフォーカス装置。 - 前記制御部は、前記可変絞りの開口径に応じて前記フォーカス用照明光源の光量を変化させることを特徴とする請求項2又は3に記載のオートフォーカス装置。
- 対物レンズと、
標本と前記対物レンズとの相対位置を変化させる駆動部と、
請求項1〜4のいずれか一項に記載のオートフォーカス装置と、を有することを特徴とする顕微鏡。
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