JP2012168137A - 画像測定装置 - Google Patents
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 76
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 9
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
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- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
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- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
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- G03B13/00—Viewfinders; Focusing aids for cameras; Means for focusing for cameras; Autofocus systems for cameras
- G03B13/32—Means for focusing
- G03B13/34—Power focusing
- G03B13/36—Autofocus systems
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B15/00—Special procedures for taking photographs; Apparatus therefor
- G03B15/02—Illuminating scene
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B3/00—Focusing arrangements of general interest for cameras, projectors or printers
- G03B3/10—Power-operated focusing
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- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
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- H04N23/67—Focus control based on electronic image sensor signals
- H04N23/673—Focus control based on electronic image sensor signals based on contrast or high frequency components of image signals, e.g. hill climbing method
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Abstract
【解決手段】画像測定装置は、ワークを撮像するローリングシャッター式の撮像装置と、撮像装置の合焦位置を制御して合焦位置を合焦軸方向の位置情報として出力する位置制御システムと、撮像装置から取得した画像情報から画像情報のコントラスト情報を算出する演算処理装置とを備え、演算処理装置は、取得した画像を複数の領域に分割し、各領域の、画像内における位置とコントラスト情報とに基づいて画像情報のコントラスト情報を補正する。
【選択図】図8
Description
次に、本発明の第1実施形態に係る画像測定装置の構成について図面を参照して詳細に説明する。
Claims (3)
- ワークを撮像するローリングシャッター式の撮像装置と、
前記撮像装置の合焦位置を制御して前記合焦位置を合焦軸方向の位置情報として出力する位置制御システムと、
前記撮像装置から取得した画像情報から前記画像情報のコントラスト情報を算出する演算処理装置と
を備え、
前記演算処理装置は、
取得した画像を複数の領域に分割し、
前記各領域の、画像内における位置とコントラスト情報とに基づいて前記画像情報のコントラスト情報を補正する
ことを特徴とする画像測定装置。 - 前記演算処理装置は、連続して撮像した前後の前記画像情報における前記各領域のコントラスト情報及び撮像タイミングから、その領域のコントラスト情報を補正する
ことを特徴とする請求項1記載の画像測定装置。 - 前記演算処理装置は、前記前後の画像情報の対応する領域のコントラスト情報をそれぞれ算出し、前記コントラスト情報にそれぞれの撮像タイミングに応じた重みを乗じて足し合わせる
ことを特徴とする請求項2記載の画像測定装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011031483A JP5668227B2 (ja) | 2011-02-17 | 2011-02-17 | 画像測定装置 |
US13/398,042 US9354433B2 (en) | 2011-02-17 | 2012-02-16 | Image measuring apparatus |
EP12001076.4A EP2490069B1 (en) | 2011-02-17 | 2012-02-17 | Image measuring apparatus |
CN201210038008.8A CN102645160B (zh) | 2011-02-17 | 2012-02-17 | 图像测量设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011031483A JP5668227B2 (ja) | 2011-02-17 | 2011-02-17 | 画像測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012168137A true JP2012168137A (ja) | 2012-09-06 |
JP5668227B2 JP5668227B2 (ja) | 2015-02-12 |
Family
ID=45655098
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011031483A Active JP5668227B2 (ja) | 2011-02-17 | 2011-02-17 | 画像測定装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9354433B2 (ja) |
EP (1) | EP2490069B1 (ja) |
JP (1) | JP5668227B2 (ja) |
CN (1) | CN102645160B (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2990850B1 (en) * | 2013-04-26 | 2020-09-16 | Hamamatsu Photonics K.K. | Image acquisition device and method and system for acquiring focusing information for specimen |
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US9213880B2 (en) | 2013-11-26 | 2015-12-15 | Symbol Technologies, Llc | Method of optimizing focus plane position of imaging scanner |
US9064166B2 (en) | 2013-11-26 | 2015-06-23 | Symbol Technologies, Llc | Optimizing focus plane position of imaging scanner |
JP7112863B2 (ja) * | 2018-03-22 | 2022-08-04 | 株式会社ミツトヨ | 情報処理装置、情報処理方法、プログラム、及び画像測定装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6538249B1 (en) | 1999-07-09 | 2003-03-25 | Hitachi, Ltd. | Image-formation apparatus using charged particle beams under various focus conditions |
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US8587681B2 (en) | 2008-11-21 | 2013-11-19 | Omnivision Technologies, Inc. | Extended depth of field for image sensor |
FR2940841B1 (fr) | 2009-01-06 | 2011-04-22 | Dxo Labs | Systeme de capture d'images et utilisation associee pour ameliorer la qualite des images acquises |
-
2011
- 2011-02-17 JP JP2011031483A patent/JP5668227B2/ja active Active
-
2012
- 2012-02-16 US US13/398,042 patent/US9354433B2/en active Active
- 2012-02-17 CN CN201210038008.8A patent/CN102645160B/zh active Active
- 2012-02-17 EP EP12001076.4A patent/EP2490069B1/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20120212607A1 (en) | 2012-08-23 |
EP2490069A1 (en) | 2012-08-22 |
EP2490069B1 (en) | 2014-12-17 |
US9354433B2 (en) | 2016-05-31 |
CN102645160A (zh) | 2012-08-22 |
JP5668227B2 (ja) | 2015-02-12 |
CN102645160B (zh) | 2015-06-24 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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