JP2012161910A - 複雑な穴開き微細機械部品 - Google Patents

Abstract

【課題】一体成形材でできた微細機械部品を、高材料歩留まり、かつ少ない工程で作製する方法を提供する。
【解決手段】（ａ）作製すべき微細機械部品のためのネガ型キャビティを含む基材を形成するステップ、（ｂ）基材の一部に犠牲層を形成するステップ、（ｃ）微細機械部品の骨子となる粒子を基材上に被着するステップ、（ｄ）犠牲層を除去することにより基材の一部を選択的に粒子が全く無い状態にするステップ、（ｅ）粒子が残存する箇所にのみ被着するように、化学気相蒸着法によって材料の層を被着するステップ、（ｆ）上記ネガ型キャビティに形成した微細機械部品を外すために、基材を除去するステップを含む。
【選択図】なし

Description

本発明は、任意の材料、例えば炭素系材料でできた複雑な微細機械部品、及びそうした部品を作製する方法に関する。

純粋に合成ダイヤモンド又はＤＬＣ（ダイヤモンド状炭素）から微細機械部品を作製するのは、極めて高価であり、厚い層を被着する工程又は固体エッチング法で得られる粗度は好ましくないため、摩擦学的に不利である。よって、現在は、合成ダイヤモンド又はＤＬＣの薄層を使用して微細機械部品を被覆するのが好ましいとされ、それによりあらゆる形状を得られるが、特に部品の一部分を穿孔する必要がある場合に、好ましいとされている。

本発明の目的は、貫通穴を有する複雑な形状をした微細機械部品を作製する方法を提案することによって、上記欠点の全て又は一部を解消することであり、該方法では、最小量の材料及び最少ステップを使用し、粗度を大幅に改善した、スクラップ率や製造コストが極めて好ましい部品を提供できる。

よって、本発明は、一体成形材の微細機械部品を作製する方法に関し、該方法は、
（ａ）作製される上記微細機械部品のためのネガ型キャビティ（ｎｅｇａｔｉｖｅ ｃａｖｉｔｙ）を含む基材を形成するステップ、
（ｂ）基材の一部に犠牲層を形成するステップ、
（ｃ）成長点を形成する目的で、基材上に粒子を被着するステップ、
（ｄ）基材の一部分を選択的に粒子が全く無い状態にするために、犠牲層を除去するステップ、
（ｅ）粒子が残存する箇所にのみ、化学気相蒸着法によって材料の層を被着するステップ、
（ｆ）上記ネガ型キャビティに形成した微細機械部品を外すために、基材を除去するステップ
を含むことを特徴とする。

従って、明らかに、本方法により、一体成形の、即ち材料の継ぎ目がない微細機械部品を作製でき、この微細機械部品は、材料の「表皮」、即ち少量の材料しか有さず、その外面が基材の極めて好ましい粗度を反映したものになる。これにより、外層に必要な材料のコストを極めて大幅に削減でき、全体的な粗度を、特に外面に関して改善でき、そのトライボロジー(摩擦学的特性）を改善する。その上、最終的な被覆に必要な材料量だけを被着することによって、その後の変形ステップを必要とせずに、材料を選択的に被着する。

本発明の他の有利な特徴によれば、
−ステップ（ｆ）の前に、本方法は、ステップ（ｇ）：上記ネガ型キャビティ内の上記材料層から限定した厚さを残すために、基材から、被着層の厚さより大きな厚さ分を除去するステップを含み、
−ステップ（ｂ）を、フォトリソグラフィによって行い、
−ステップ（ｃ）は、段階（１）：上記粒子を含むコロイド溶液で基材を被覆する、及び段階（２）：基材上に粒子のみを残すように、コロイド溶液から溶媒を除去する、を含み、
−粒子を、ステップ（ｅ）で被着した材料と同じ性質のものとし、
−ステップ（ｅ）で被着した材料を、シリコン系化合物又は一部を炭素同素体から形成し、
−ステップ（ｅ）の後に、本方法は、ステップ（ｈ）：第２材料で補強及び／又は装飾した第１材料製微細機械部品を得るために、ステップ（ｅ）で被着した材料で被覆した型を、第２材料で充填するステップを含み、
−ステップ（ｈ）で、上記微細機械部品の追加機能要素を形成するために、第２材料を、上記キャビティから突出させて形成し、
−第２材料は、金属又は合金を含む。

他の特徴及び効果については、添付図を参照して、非限定的な説明として示した以下の説明から明確になるであろう。

本発明の第１実施形態による作製方法の連続するステップに関する模式図である。 本発明の第１実施形態による作製方法の連続するステップに関する模式図である。 本発明の第１実施形態による作製方法の連続するステップに関する模式図である。 本発明の第１実施形態による作製方法の連続するステップに関する模式図である。 本発明の第１実施形態による作製方法の連続するステップに関する模式図である。 本発明の第１実施形態による作製方法の連続するステップに関する模式図である。 本発明の第１実施形態による作製方法の連続するステップに関する模式図である。 本発明の第１実施形態による作製方法の連続するステップに関する模式図である。 本発明の第１実施形態により得た、例示的な微細機械部品の模式図である。 本発明の第２実施形態による作製方法の連続するステップに関する模式図である。 本発明の第２実施形態による作製方法の連続するステップに関する模式図である。 本発明の第２実施形態による作製方法の連続するステップに関する模式図である。 本発明の第２実施形態による作製方法の連続するステップに関する模式図である。 本発明の第２実施形態による作製方法の連続するステップに関する模式図である。 本発明の第３実施形態による作製方法の連続するステップに関する模式図である。 本発明の第３実施形態による作製方法の連続するステップに関する模式図である。 本発明の第３実施形態による作製方法の連続するステップに関する模式図である。 本発明の第３実施形態により得た、例示的な微細機械部品の模式図である。 本発明の第４実施形態による作製方法の連続するステップに関する模式図である。 本発明の第４実施形態による作製方法の連続するステップに関する模式図である。 本発明の第４実施形態により得た、例示的な微細機械部品の模式図である。

本発明は、例えば、炭素系材料でできた、一体成形の微細機械部品を作製する方法に関する。「炭素系」とは、ダイヤモンド又は１層若しくは数層のグラフェン等の結晶の形態をした、或いはＤＬＣ等の非結晶の形態をした合成炭素同素体を意味する。

勿論、本発明によれば、有利には、層の形態で被着でき、摩擦学的な利点を有する他の種類の材料を、合成炭素同素体の代わりに使用することができる。この代替材料は、例えば、シリコン系化合物、即ち、例えば窒化ケイ素、酸化ケイ素又は炭化ケイ素であってよい。

この微細機械部品は、時計製造分野に適用するために考案したものである。しかしながら、特に航空学、宝飾品類、自動車産業等他の領域も想定され得る。

時計製造分野では、この微細機械部品で、例えば、腕時計の外装部品、ひげゼンマイ、テンプ、アンクル、ブリッジ、又はガンギ車等の歯車セットを、全体的又は部分的に、合成炭素同素体、又は上記で説明したような代替材料のベースから形成してもよい。

この微細機械部品を作製する方法の第１実施形態について、図１〜図８に示す。ステップ（ａ）では、本方法は、基材１に、これから作製する微細機械部品のためのネガ型キャビティ３を形成することから成る。様々な基材１が使用可能である。好適には、基材１の材料を、低粗度、即ち滑らかな表面特性を元々持つことだけでなく、被着ステップにおける衝撃に対する耐性も考慮して選択する。

一例として、図１及び図２では、極めて良好な粗度、即ち算術平均値Ｒａが略１０ｎｍ未満となる粗度を得られるシリコン基材１から形成されるステップ（ａ）を示す。

従って、図１に示す第１段階では、基材１を、穴４を有するマスク２で被覆し、該穴で、基材１の上部を露出状態にする。第２段階では、エッチングを穴４に行う。このエッチングは、ウェット又はドライエッチングであってよい。最後に、図２に示す第３段階では、マスク２を除去し、ネガ型キャビティ３だけが基材１に作製された状態にする。

図３に示す第２ステップ（ｂ）では、基材１を犠牲層５で被覆し、該犠牲層により、基材１の複数の領域を露出状態にする。好適には、ステップ（ｂ）を、ポジ型又はネガ型感光性樹脂を使用してフォトリソグラフィによって行う。

図４に示すように、第３ステップ（ｃ）は、次の被着のための成長点を形成するために、粒子６で基材１全体を被覆することから成る。

好適には、ステップ（ｃ）は、上記粒子を含むコロイド溶液を使用して、基材１を被覆する第１段階を含む。従って、粒子が最も均等に溶液中に分布できるよう、粒子が溶媒中で移動するように意図的にしてある溶液中に、基材１を少なくとも部分的に浸漬することで、この被覆を得ることができる。一例として、溶媒中における粒子の移動性は、超音波撹拌によって獲得できる。最後に、溶媒はアルコール又は水から構成してもよいが、それらに限定するものではない。

粒子６を、成長点として使用する。その際、粒子は次の被着材料に対して不純物であっても、又は次の被着材料と同じ性質のものであってもよい。好適には、粒子の直径を、数ナノメートル〜数十ナノメートルの範囲とする。

ステップ（ｃ）は、第２段階へと続くが、該段階では、溶液から溶媒を除去して、基材１上に粒子６を形成するものとする。この第２段階を、例えば、溶媒を蒸発させて達成してもよい。

図５に示す第４ステップ（ｄ）では、本方法は、基材１の粒子６の一部分を取除くために、基材１から犠牲層５を除去することから成る。その結果、明らかに、粒子６がある部分は、犠牲層５が全くない領域となる。ステップ（ｄ）を、非限定的な実施例として、犠牲層５を溶解する、又は選択的に化学エッチングすることで達成してもよい。

第１実施形態の第５ステップ（ｅ）では、本方法は、粒子６のみを被着又は残存させるように、化学気相蒸着法によって材料７を被着することから成る。図６に示すように、ステップ（ｅ）の終わりには、材料７の所望する部分的な層が直接形成された基材１を得ることができる。

本発明による方法は、任意の第６ステップ（ｇ）を含んでもよい。ステップ（ｇ）は、上記ネガ型キャビティ３内に限定した厚さの層７を残すために、該層７で被覆した基材１の一部分を除去するためのものである。好適には、本発明によると、図７で示すように、層７の厚さｅ₁より大きな厚さｅ₂分を基材１から除去する。その結果、明らかに、層７は確実に基材１のキャビティ３以外には存在しなくなる。

第１実施形態の最終段階（ｆ）では、本方法は、少なくとも部分的にキャビティ３に形成した微細機械部品を外すために、基材１を除去することから成る。よって、基材１をシリコン製とした上記実施例では、ステップ（ｆ）は、シリコンを選択的にエッチングすることから構成してもよい。これを、例えば、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ及びＴＭＡＯＨ）を含む浴を用いた化学エッチングで、行ってもよい。

ステップ（ｆ）の終わりには、図８に示したように、少なくとも部分的にキャビティ３に合致する形状をした、層７のみで形成した微細機械部品が得られる。外面、即ち、基材１と直接接触していた面は、極めて良好な粗度、即ち基材１の粗度に相当する粗度を有し、該面を機械的接触面として使用するとよい。

最後に、微細機械部品の高さｅ₃を１０〜５００μｍとするために、層７は、０．２〜２０μｍの厚さｅ₁だけ被着させる。従って、こうして被着時間をステップ（ｅ）で短縮することで、材料費や製造コストを節約できることは、極めて明らかである。

その結果、微細機械部品が如何に複雑になろうと、本方法は実行しにくくなることはない。一例として、キャビティ３の壁で歯を形成して、微細機械部品に整合歯を形成することに関しても難度は増加しない。

非限定的な実施例として、第１実施形態により得られる微細機械部品１１について、図９に示す。微細機械部品１１は略円盤状プレート１３を含み、該プレートは、その中心に、例えば、枢動ピンと協働できる穴１８を有する。更に、穴１８と同軸に、複数のアーム１４と連結するハブ１２をフェロー１６へと延設している。歯１５は、フェロー１６の外周部から直交方向に突出する。従って、図９では、歯１５及びプレート１３の厚さを、本方法のステップ（ｅ）で被着させる層７の厚さｅ₁で形成することを、示している。

有利には、材料を、任意の次なる変形ステップを必要とせず、最終的な被覆に必要な量の材料だけを被着することによって、選択的に被着する。その結果、材料を除去する処理で発生するスクラップ率（基材１の損傷や被着部７の断裂等）を低減できる。また、これにより、被着部７に関するステップ（ｅ）を短縮し、材料７の使用量を削減し、あらゆる機械的除去処理が無くなることで、製造コストを削減できる。

第１実施形態とは別の第２実施形態は、図１０〜図１４に示してある。第２実施形態によるステップ（ａ）は、第１実施形態と同じであり、基材２１に、これから作製する、第１実施形態と同じ変更例及び効果を有する微細機械部品のためのネガ型キャビティ２３を形成する。

図１０に示す第２ステップ（ｂ）では、基材２１を犠牲層２５で被覆し、それにより基材２１の複数の領域を露出状態にする。好適には、ステップ（ｂ）を、ポジ型又はネガ型感光性樹脂を使用してフォトリソグラフィによって行う。

図１１に示すように、第３ステップ（ｃ）は、次の被着のための成長点を形成するために、粒子２６で基材２１全体を被覆することから成り、第１実施形態のステップ（ｃ）と同じ変更例及び効果を有する。

図１２に示す第４ステップ（ｄ）では、本方法は、基材２１の粒子２６の一部分を取除くために、基材２１から犠牲層２５を除去することから成る。従って、明らかに、粒子２６を有する部分は、犠牲層２５が全くない領域となる。ステップ（ｄ）を、非限定的な実施例として、犠牲層２５を溶解する、又は選択的に化学エッチングすることで達成してもよい。

第２実施形態の第５ステップ（ｅ）では、本方法は、粒子２６のみを被着又は残存させるように、化学気相蒸着法によって材料２７を被着することから成る。図１３に示すように、ステップ（ｅ）の終わりには、材料２７の所望する部分的な層が直接形成された基材１を得ることができる。

本発明の第２実施形態による方法は、任意の第６ステップ（ｇ）を含んでもよく、該ステップ（ｇ）は、第１実施形態と同じであるが、図示してはいない。

第２実施形態の最終段階（ｆ）では、本方法は、キャビティ２３に形成した微細機械部品を外すために、基材２１を除去することから成り、第１実施形態のステップ（ｃ）と同じ変形例及び効果を有する。

ステップ（ｆ）の終わりには、図１４に示したように、少なくとも部分的にキャビティ２３に合致する形状をした、層２７のみで形成した微細機械部品を得られる。有利には、任意のステップ（ｇ）を行わない場合、層２７の厚さｅ₁を、第１実施形態の微細機械部品の高さｅ₃に加えて、図１４に示した全高にしてもよい。

さらに、第２実施形態では、キャビティ２３内に層２７を限定するのにステップ（ｇ）が不要なことも、明らかである。事実、キャビティ２３の他に、基材２１全体に犠牲層２５を形成するだけで、同じ結果を得られる。

従って、第１実施形態と同様に、微細機械部品が如何に複雑になろうと、本方法は実行しにくくなることはない。一例として、キャビティ２３の壁で歯を形成して、微細機械部品に整合歯を形成することに関しても、難度は増加しない。従って、明らかに、図９の微細機械部品１１を、第２実施形態を使用しても作製できる。

よって、第２実施形態では、第１実施形態のように、キャビティ２３の少なくとも一部分に合致する形状をした、層２７のみで形成した微細機械部品を得られる。有利には、外面、即ち、基材２１と直接接触していた面は、極めて良好な粗度、即ち基材２１の粗度に相当する粗度を有し、好適には、該面を機械的接触面として使用する。

さらに、第２実施形態では、有利には、材料を、任意の次なる変形ステップを必要とせず、最終的な被覆に必要な量の材料だけを被着することによって、選択的に被着する。この結果、材料を除去する処理で発生するスクラップ率（基材２１の損傷や被着部２７の断裂等）を低減できる。また、これにより、被着ステップ（ｅ）を短縮し、材料２７の使用量を削減し、あらゆる機械的除去処理が無くなることで、製造コストを削減できる。

以上説明した第１及び第２実施形態に対する変形例を形成する第３実施形態について、図１５〜図１７に示す。ステップ（ａ）〜（ｅ）は、それぞれ第１及び第２実施形態と同じままである。しかしながら、図１５で示したように、キャビティ３、２３の窪みを、第１材料７、２７で被覆して、第２材料８で充填することから成るステップ（ｈ）をステップ（ｅ）の後に行う。

従って、第１及び第２実施形態と同様に、図１６及び図１７でそれぞれ示した任意のステップ（ｇ）の後及びステップ（ｆ）の後に適宜、初めの２実施形態と同じ変更例及び効果を有する第１材料７、２７製の微細機械部品が得られ、第１材料７、２７を、第２材料８で更に補強及び／又は装飾する。

本発明の別の効果によると、例えば圧力、温度又は使用する化合物等の、薄い層を被着させるのに必要な特定の条件のために今まで被覆が不可能であった部品を、薄い層で被覆することが、今後は可能となる。現在、出願人が知る限り、ダイヤモンドで金属部品を被覆するのはまだ難しいとされているにも関わらず、本発明による非限定的な実施例として、また有利には、被着部８から、層７、２７に由来するダイヤモンド層で被覆された、主に金属からなる部分を形成することが可能になる。

また、図１５に示すように、ステップ（ｈ）の前に、第２材料８を無にした穴１０をステップ（ｈ）中に形成するように、ロッド９を形成することもできる。ロッド９を除去すると、図１７に示すように、最終部品がそのように穴１０で貫通して穿孔されているのが見て取れる。非限定的な方法では、ロッド９を、ポジ型又はネガ型感光性樹脂を使用してフォトリソグラフィで形成してもよい。

好適には、窪みを充填するステップ（ｈ）を、ガルバニック堆積又は熱変形によって行う。第２材料を、好適には、非晶質であってもなくてもよい金属又は合金とする。しかしながら、被着の種類及び／又は被着材料の性質を変更しても全く支障はない。

よって、この第３実施形態では、任意のステップ（ｇ）を使用して、上記ネガ型キャビティ３、２３の上記層７、２７の厚さを限定してもよい他、上記限定部分に対して第２材料の被着部８を平坦にしてもよい。

また、明らかに、初めの２実施形態と同程度複雑な微細機械部品を得ることも可能である。非限定的な実施例として、第１実施形態により得られる微細機械部品３１を、図１８に示す。微細機械部品３１は、略環状プレート３３を含み、該プレートの外周部から歯３５が直交方向に突出し、残部を、例えば、枢動ピンと協働する穴３８を残して、ステップ（ｈ）の被着部８で形成する部分３２で充填する。従って、歯３５の厚さを、本方法のステップ（ｅ）で被着した層７、２７の厚さｅ₁で形成し、被着部８をステップ（ｈ）で得る。

これまでに説明した第１及び第２実施形態とは別の第４実施形態を、図１９及び図２０に示す。ステップ（ａ）〜（ｅ）は第１及び第２実施形態と同じままである。しかしながら、図１９で示したように、第６ステップ（ｈ）をステップ（ｅ）の後に行い、ステップ（ｈ）は、第１材料７、２７で被覆したキャビティ３、２３の窪みを、第２材料２８で充填することから成る。従って、初めの３実施形態と同様な、図２０で示したステップ（ｆ）の後に、第１材料７、２７製で、第２材料２８を補強及び／又は装飾し、初めの３実施形態と同じ変更例及び効果を有する微細機械部品を得られる。

第３実施形態と共通する効果によると、例えば圧力、温度又は使用する化合物等の、薄い層を被着させるのに必要な特定の条件のために今まで被覆が不可能であった部品を、薄い層で被覆することが、今後は可能となる。現在、出願人が知る限り、ダイヤモンドで金属部品を被覆するのはまだ難しいとされているにも関わらず、本発明の第４実施形態による非限定的な実施例として、また有利なことに、被着部２８から、層７、２７に由来するダイヤモンド層で被覆された、主に金属からなる部分を形成することが可能になる。

第３実施形態のステップ（ｈ）と比較すると、第４実施形態によるステップ（ｈ）は、キャビティ３、２３の窪みを充填するためのもので、有利には、微細機械部品の追加機能要素を形成するために厚さｅ₃の突出レベルを形成することもできる。

好適には、第４実施形態のステップ（ｈ）は、ステップ（ｅ）の後に基材１、２１上に型３０を構築する段階を含む。その後、キャビティ３、２３の窪みと型３０の穴とで合せて形成した凹部を充填する段階がある。最終に、ステップ（ｈ）は、基材１、２１の表面から型３０を除去する段階を含む。

例えば、型３０を構築する段階を、ポジ型又はネガ型感光性樹脂を使用してフォトリソグラフィによって形成してもよい。更に、例えば、充填段階を、ガルバニック堆積（ｇａｌｖａｎｏｐｌａｓｔｙ）を用いて行ってもよい。基材１、２１を、強くドープされたシリコン等の導電材料製とすると、ガルバニック堆積は実行し易くなる。好適には、第２材料を、非晶質であってもなくてもよい金属又は合金系とする。しかしながら、被着の種類及び／又は被着材料の性質を変更しても全く支障はない。

また、図１９に示すように、第２材料２８が全く無い穴２０をステップ（ｈ）で形成するために、型３０と同時にロッド２９を形成することもできる。ロッド２９を除去すると、図２０に示すように、最終部品がそのように穴２０で貫通して穿孔されているのが見て取れる。

また、ステップ（ｈ）は、被着部２８の上部をラッピング及び／又は研磨する最終段階を含んでもよい。よって、第４実施形態の最終段階（ｆ）では、本方法は、少なくとも部分的にキャビティ３に形成した、第１実施形態と同じ変形例及び効果を有する微細機械部品を外すために、基材１、２１を除去することから成る。

ステップ（ｆ）の終わりに、図２０に示したように、少なくとも部分的にキャビティ３、２３に合致する形状をした、層７、２７で形成した微細機械部品を得られ、層７、２７を被着部２８で補強及び／又は装飾する。有利には、外底面を層７、２７で形成する、即ち、基材１、２１と直接接触していた面は、極めて良好な粗度、即ち基材１、２１の粗度に相当する粗度を有し、好適には、該面を接触面として使用する。

また、微細機械部品の追加機能要素を形成するために、微細機械部品は、被着部２８で完全に形成した、即ち、層７、２７の無い、２段目部分を含む。この機能要素を、非限定的な方法で、例えば、別の部材と協働するよう意図した歯２２、穴２０、及び／又は肩部２４としてもよい。

初めの３実施形態のように、層７、２７の被着ステップを短縮することで、材料費や製造コストを節約できることは、極めて明らかであり、部品の残部を、それ程高価でない被着部２８で形成できるだけでなく、極めて複雑になり得る形状も提供できる。

よって、明らかに、初めの３実施形態と同程度に複雑な微細機械部品を得ることができる。非限定的な実施例として、第４実施形態により得られる微細機械部品４１を、図２１に示す。微細機械部品４１は、図１８のプレート３３に相当する略環状プレート４３を含み、該プレートの外周部から歯４５が直交方向に突出し、残部を、例えば、枢動ピンと協働する穴４８を残して、ステップ（ｈ）の被着部２８で形成する部分４２で充填する。従って、歯４５の厚さを、本方法のステップｅで被着した層７、２７の厚さｅ₁で形成し、被着部２８をステップ（ｈ）で得る。被着部２８のみで形成した２段目では、微細機械部品４１は、歯車４４を含み、該歯車の外周部は、歯４６を含み、該歯車の中心は、例えば枢動ピンと協働するよう意図した穴４８を延伸させた穴を有する。

勿論、本発明は、図示した実施例に限定するものではなく、当業者が考え得る様々な変形例や変更例が可能である。特に、同じ設計でもよい又は同じ設計でなくてもよい複数の微細機械部品を、同じ基材上に同時に作製してもよい。更に、基材１、２１の下部を使用しても全く支障はない。

このように、本発明は複数の同じ又は異なるキャビティ３、２３を基材１、２１上に形成してもよいだけでなく、基材１、２１の複数の面上に形成してもよい、即ち、本方法の様々な実施形態のステップを、基材１、２１の複数の面に適用できる。

Claims (10)

1. 一体成形材で微細機械部品（１１、３１、４１）を作製する方法であって、該方法は、
   （ａ）作製される前記微細機械部品のためのネガ型キャビティ（３、２３）を含む基材（１、２１）を形成するステップ、
   （ｂ）前記基材（１、２１）の一部に犠牲層（５、２５）を形成するステップ、
   （ｃ）成長点を形成する目的で、前記基材（１、２１）上に粒子（６、２６）を被着するステップ、
   （ｄ）前記基材（１、２１）の一部を選択的に前記粒子（６、２６）が全く無い状態にするために、前記犠牲層（５、２５）を除去するステップ、
   （ｅ）材料（７、２７）を、前記粒子（６、２６）が残存する箇所にのみ被着させるように、化学気相蒸着法によって前記材料の層を被着するステップ、
   （ｆ）前記ネガ型キャビティに形成した前記微細機械部品を外すために、前記基材（１、２１）を除去するステップ
   を含むことを特徴とする方法。
2. ステップ（ｆ）の前に、
   （ｇ）前記ネガ型キャビティ内の前記材料層から限定した厚さを残すために、前記基材（１、２１）から、前記被着層（７、２７）の厚さ（ｅ₁）より大きな厚さ（ｅ₂）分を除去するステップ
   を含むことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
3. ステップ（ｂ）を、フォトリソグラフィによって達成することを特徴とする、請求項１又は２に記載の方法。
4. ステップ（ｃ）は、
   （１）前記粒子を含むコロイド溶液を使用して、前記基材（１、２１）を被覆する段階、
   （２）前記基材（１、２１）上の前記粒子（６、２６）のみを残すために、前記コロイド溶液から溶媒を除去する段階
   を含むことを特徴とする、請求項１乃至３の何れかに記載の方法。
5. 前記粒子（６、２６）を、ステップ（ｅ）で被着した前記材料（７、２７）と同じ性質のものとすることを特徴とする、請求項１乃至４の何れかに記載の方法。
6. ステップ（ｅ）で被着する前記材料（７、２７）を、炭素同素体から形成することを特徴とする、請求項１乃至５の何れかに記載の方法。
7. ステップ（ｅ）で被着する材料（７、２７）を、シリコン系化合物から形成することを特徴とする、請求項１乃至５の何れかに記載の方法。
8. ステップ（ｅ）の後に、
   （ｈ）第２材料（８、２８）で補強及び／又は装飾した第１材料（７、２７）製微細機械部品（３１、４１）を得るために、ステップ（ｅ）で被着した材料（７、２７）で被覆したキャビティ（３、２３）を、第２材料（８、２８）で充填するステップ
   を含むことを特徴とする、請求項１乃至７の何れかに記載の方法。
9. 前記微細機械部品（４１）の追加機能要素（２０、２２、２４、４４）を形成するために、ステップ（ｈ）で、前記第２材料（２８）を、前記キャビティから突出させて形成することを特徴とする、請求項８に記載の方法。
10. 前記第２材料（８、２８）は、金属又は合金を含むことを特徴とする、請求項８又は９に記載の方法。

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