JP2012160566A - 気化装置及び成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液体ソースを貯留するための気化室3の天井部に面接触した状態で、毛細管現象により液体ソースが広がる繊維体からなる面状体41を設ける。また、一端側が前記面状体41に接続され、他端側が前記気化室3内の液体ソースに接触するように、前記液体ソースを毛細管現象により吸い上げて面状体41に供給する吸い上げ部42を設ける。気化室3を加熱することにより、面状体41が加熱され、液体ソースが液面から気化すると共に、面状体41の表面からも気化するので、処理ガス濃度を高めることができる。また、吸い上げ部42のみが液体ソースに接触しているので、液面の高さ位置が変動しても、面状体への液体ソースの拡散状態に影響がなく、安定した気化量を確保することができる。
【選択図】 図1
Description
液体ソースを気化して成膜処理に用いられる処理ガスを得るための気化装置において、
液体ソースを貯留するための容器と、
この容器を加熱する加熱部と、
前記容器の天井部に面接触した状態で当該容器内に設けられ、毛細管現象により液体ソースが広がる繊維体からなる面状体と、
一端側が前記面状体に接続されると共に、他端側が前記容器内の液体ソースに接触するように設けられ、前記液体ソースを毛細管現象により吸い上げて面状体に供給する吸い上げ部と、
前記容器内にキャリアガスを導入するガス導入ポートと、
前記容器内にて気化された処理ガスを取り出すための取り出しポートと、を備えたことを特徴とする。
液体ソースを貯留すると共に、その天井部に繊維体からなる面状体が面接触した状態で設けられた容器を加熱する工程と、
一端側が前記面状体に接続されると共に、他端側が前記容器内の液体ソースに接触するように設けられた吸い上げ部により、前記液体ソースを毛細管現象により吸い上げて前記面状体に供給する工程と、
前記面状体に液体ソースを毛細管現象により広げる工程と、
前記液体ソースの表面及び面状体の表面において前記液体ソースを気化させる工程と、
前記容器内にキャリアガスを導入する工程と、
前記容器内にて気化された処理ガスをキャリアガスと共に取り出す工程と、を含むことを特徴とする。
基板に処理ガスを供給して成膜処理を行う成膜装置において、
その内部に基板が設けられた処理容器と、
液体ソースを気化して成膜処理に用いられる処理ガスを得るための気化装置と、
当該気化装置にて得た処理ガスを前記処理容器内に供給するための処理ガス供給路と、
前記処理容器内を排気するための排気路と、を備え、
前記気化装置として、既述の気化装置を用いることを特徴とする。
2 成膜装置
21 反応管
23 ウエハボート
27 排気路
28 真空ポンプ
3 気化室
31 容器部
32 蓋体
36a,36b,37 加熱ヒータ
4 毛細管現象形成部材
41 面状体
42 吸い上げ部
51 導入孔
52 取出孔
55 処理ガス供給路
63 ガス供給ノズル
65 酸化ガス供給路
W 半導体ウエハ
Claims (9)
- 液体ソースを気化して成膜処理に用いられる処理ガスを得るための気化装置において、
液体ソースを貯留するための容器と、
この容器を加熱する加熱部と、
前記容器の天井部に面接触した状態で当該容器内に設けられ、毛細管現象により液体ソースが広がる繊維体からなる面状体と、
一端側が前記面状体に接続されると共に、他端側が前記容器内の液体ソースに接触するように設けられ、前記液体ソースを毛細管現象により吸い上げて面状体に供給する吸い上げ部と、
前記容器内にキャリアガスを導入するガス導入ポートと、
前記容器内にて気化された処理ガスを取り出すための取り出しポートと、を備えたことを特徴とする気化装置。 - 前記容器の天井部は、前記容器の蓋体であることを特徴とする請求項1記載の気化装置。
- 前記面状体と前記吸い上げ部とは一体に設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載の気化装置。
- 前記液体ソースは液体金属化合物であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の気化装置。
- 前記面状体及び吸い上げ部は、ステンレスの繊維の集合体であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の気化装置。
- 前記加熱部は、少なくとも容器の天井部に設けられていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一つに記載の気化装置。
- 液体ソースを気化して成膜処理に用いられる処理ガスを得るための気化方法において、
液体ソースを貯留すると共に、その天井部に繊維体からなる面状体が面接触した状態で設けられた容器を加熱する工程と、
一端側が前記面状体に接続されると共に、他端側が前記容器内の液体ソースに接触するように設けられた吸い上げ部により、前記液体ソースを毛細管現象により吸い上げて前記面状体に供給する工程と、
前記面状体に液体ソースを毛細管現象により広げる工程と、
前記液体ソースの表面及び面状体の表面において前記液体ソースを気化させる工程と、
前記容器内にキャリアガスを導入する工程と、
前記容器内にて気化された処理ガスをキャリアガスと共に取り出す工程と、を含むことを特徴とする気化方法。 - 前記液体ソースは液体金属化合物であることを特徴とする請求項7記載の気化方法。
- 基板に処理ガスを供給して成膜処理を行う成膜装置において、
その内部に基板が設けられた処理容器と、
液体ソースを気化して成膜処理に用いられる処理ガスを得るための気化装置と、
当該気化装置にて得た処理ガスを前記処理容器内に供給するための処理ガス供給路と、
前記処理容器内を排気するための排気路と、を備え、
前記気化装置は、請求項1〜6のいずれかに記載の気化装置を用いることを特徴とする成膜装置。
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