JP2012160503A - Composite film, device and method for producing composite film - Google Patents

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Makoto Mishiro
真琴 三代
Taku Inada
卓 稲田
Kazuyoshi Tsutsui
一喜 筒井
Yusuke Ota
雄介 太田
Kei Inada
敬 稲田
Taiji Nishikawa
泰司 西川
Masato Mori
眞人 森
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve such a problem that there is a case where conventional heat conduction films cannot sufficiently suppress generation of heat spots.SOLUTION: A composite film 100 comprises: a first heat conduction layer 110 having heat conductivity in the surface direction higher than that in the thickness direction; and a first adhesion layer 120 laminated on one surface side of the first heat conduction layer 110 and having an opening penetrating through the first adhesion layer in the thickness direction. In the composite film 100, for example, an opening 122 is arranged on a location facing a heat source via the first heat conduction layer 110, so that heat spots generated in a member facing the heat source can be suppressed.

Description

本発明は、複合フィルム、デバイス、および複合フィルムの製造方法に関する。   The present invention relates to a composite film, a device, and a method for producing the composite film.

電子機器に実装されるバッテリまたは半導体素子などの熱源が発熱することにより、電子機器の特定の部分の温度が周囲の温度よりも上昇するヒートスポットが発生することがある。このようなヒートスポットを抑制すべく、面方向の熱伝導率が厚み方向の熱伝導率より高い熱伝導フィルムが利用されている(例えば、特許文献1〜3参照)。
特許文献1 特開2009−94196号公報
特許文献2 特許第3810734号公報
特許文献3 特許第4498419号公報
When a heat source such as a battery or a semiconductor element mounted on the electronic device generates heat, a heat spot in which the temperature of a specific part of the electronic device is higher than the ambient temperature may occur. In order to suppress such a heat spot, a thermal conductive film having a thermal conductivity in the plane direction higher than that in the thickness direction is used (for example, see Patent Documents 1 to 3).
Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 2009-94196 Patent Document 2 Japanese Patent No. 3810734 Patent Document 3 Japanese Patent No. 4498419

しかしながら、上記のような従来の熱伝導フィルムでは、ヒートスポットを十分に抑制できない場合がある。   However, the conventional heat conductive film as described above may not sufficiently suppress the heat spot.

上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る複合フィルムは、面方向の熱伝導率が厚み方向の熱伝導率より高い第1熱伝導層と、第1熱伝導層の一方の面側に積層されており、開口を有する第1バッファ層とを備える。   In order to solve the above problems, a composite film according to one embodiment of the present invention includes a first thermal conductive layer having a thermal conductivity in a plane direction higher than a thermal conductivity in a thickness direction, and one side of the first thermal conductive layer. And a first buffer layer having an opening.

上記複合フィルムは、第1熱伝導層を介して熱源に対向する位置に開口が配置されることにより、熱源に対向する部材に発生するヒートスポットを抑制するヒートスポット抑制フィルムでもよい。   The composite film may be a heat spot suppressing film that suppresses a heat spot generated in a member facing the heat source by disposing an opening at a position facing the heat source via the first heat conductive layer.

上記複合フィルムは、熱源に対向する部材の熱源側の面に第1バッファ層が貼り付けられることにより、開口が密閉されてもよい。   The composite film may be hermetically sealed by attaching a first buffer layer to a surface on the heat source side of a member facing the heat source.

上記複合フィルムは、第1バッファ層は、熱源に対向する部材と第1熱伝導層とを接着する接着層でもよい。   In the composite film, the first buffer layer may be an adhesive layer that bonds the member facing the heat source and the first heat conductive layer.

上記複合フィルムにおいて、第1バッファ層は、第1熱伝導層の第1バッファ層側の面を保護する保護層と、熱源に対向する部材と保護層とを接着する接着層を有してもよい。   In the composite film, the first buffer layer may include a protective layer that protects the surface of the first heat conductive layer on the first buffer layer side, and an adhesive layer that bonds the member facing the heat source and the protective layer. Good.

上記複合フィルムにおいて、接着層に開口が設けられてもよい。   In the composite film, an opening may be provided in the adhesive layer.

上記複合フィルムにおいて、接着層は、両面粘着フィルムでもよい。   In the composite film, the adhesive layer may be a double-sided adhesive film.

上記複合フィルムにおいて、保護層に開口が設けられてもよい。   In the composite film, an opening may be provided in the protective layer.

上記複合フィルムにおいて、開口は、開口が設けられる層を厚み方向に貫通していてもよい。   In the composite film, the opening may penetrate the layer in which the opening is provided in the thickness direction.

上記複合フィルムは、第1バッファ層は、配列された複数の開口を有してもよい。   In the composite film, the first buffer layer may have a plurality of openings arranged.

上記複合フィルムは、第1熱伝導層の第1バッファ層側の面と反対側の面を保護する保護層をさらに備えてもよい。   The composite film may further include a protective layer that protects the surface of the first heat conductive layer opposite to the surface on the first buffer layer side.

上記複合フィルムは、第1バッファ層の第1熱伝導層側の面とは反対側の面側に積層されており、面方向の熱伝導率が厚み方向の熱伝導率より高い第2熱伝導層と、第2熱伝導層の第1バッファ層側の面とは反対側の面側に積層されており、開口を有する第2バッファ層とをさらに備えてもよい。   The composite film is laminated on the surface side of the first buffer layer opposite to the surface on the first heat conductive layer side, and the second heat conductivity is higher in the surface direction than in the thickness direction. The layer may be further provided with a second buffer layer that is laminated on the surface of the second heat conductive layer opposite to the surface on the first buffer layer side and that has an opening.

上記複合フィルムは、第1バッファ層の開口の面積は、第2バッファ層の開口の面積と異なってもよい。   In the composite film, the opening area of the first buffer layer may be different from the opening area of the second buffer layer.

上記複合フィルムは、第1バッファ層の開口の面積は、第2バッファ層の開口の面積より小さくてもよい。   In the composite film, the opening area of the first buffer layer may be smaller than the opening area of the second buffer layer.

上記複合フィルムは、第1バッファ層および第2バッファ層は、複数の開口を有し、第1バッファ層が有する複数の開口の合計面積は、第2バッファ層が有する複数の開口の合計面積より小さくてもよい。   In the composite film, the first buffer layer and the second buffer layer have a plurality of openings, and the total area of the plurality of openings of the first buffer layer is greater than the total area of the plurality of openings of the second buffer layer. It may be small.

上記複合フィルムは、第1熱伝導層は、高分子フィルムを熱処理して作製されるグラファイトフィルムでもよい。   In the composite film, the first heat conductive layer may be a graphite film produced by heat-treating a polymer film.

本発明の一態様に係るデバイスは、熱源と、熱源を収容する筐体と、熱源と筐体の内壁との間に配置される上記複合フィルムとを備え、第1バッファ層は、第1熱伝導層より筐体の内壁側に設けられており、開口は、熱源に対向する位置に配置されている。   A device according to one embodiment of the present invention includes a heat source, a housing that houses the heat source, and the composite film that is disposed between the heat source and the inner wall of the housing, and the first buffer layer includes the first heat layer. It is provided on the inner wall side of the housing from the conductive layer, and the opening is arranged at a position facing the heat source.

上記デバイスにおいて、複合フィルムは、筐体の内壁に貼り付けられてもよい。   In the above device, the composite film may be attached to the inner wall of the housing.

本発明の一態様に係る複合フィルムの製造方法は、両面粘着フィルムに、開口を形成する工程と、開口が形成された両面粘着フィルムを、面方向の熱伝導率が厚み方向の熱伝導率より高い熱伝導フィルムに貼り付ける工程とを備える。   The manufacturing method of the composite film which concerns on 1 aspect of this invention is the process of forming an opening in a double-sided adhesive film, and the double-sided adhesive film in which opening was formed. And a step of attaching to a high heat conductive film.

本発明の一態様に係る複合フィルムは、厚み方向に貫通する開口を有し、面方向の熱伝導率が厚み方向の熱伝導率より高い熱伝導層と、熱伝導層の一方の面に積層されている第1バッファ層と、熱伝導層の他方の面に積層されている第2バッファ層とを備え、第1バッファ層と第2バッファ層とにより開口が密閉されている。   The composite film according to one embodiment of the present invention has an opening penetrating in the thickness direction, and is laminated on one surface of the heat conduction layer, with a heat conductivity in the surface direction higher than the heat conductivity in the thickness direction. The first buffer layer and the second buffer layer stacked on the other surface of the heat conductive layer are provided, and the opening is sealed by the first buffer layer and the second buffer layer.

上記複合フィルムは、熱源に対向する位置に開口が配置されることにより、熱源に対向する部材に発生するヒートスポットを抑制するヒートスポット抑制フィルムでもよい。   The composite film may be a heat spot suppressing film that suppresses a heat spot generated in a member facing the heat source by arranging an opening at a position facing the heat source.

上記複合フィルムにおいて、第1バッファ層は、熱源に対向する部材と熱伝導層とを接着する接着層を有してもよい。   In the composite film, the first buffer layer may include an adhesive layer that bonds the member facing the heat source and the heat conductive layer.

上記複合フィルムにおいて、第2バッファ層は、熱伝導層を保護する保護層を有してもよい。   In the composite film, the second buffer layer may include a protective layer that protects the heat conductive layer.

上記複合フィルムにおいて、熱伝導層は、高分子フィルムを熱処理して作製されるグラファイトフィルムでもよい。   In the composite film, the heat conductive layer may be a graphite film produced by heat-treating a polymer film.

本発明の一態様に係るデバイスは、熱源と、熱源を収容する筐体と、熱源と筐体の内壁との間に配置される上記複合フィルムとを備え、開口は、熱源に対向する位置に配置されている。   A device according to one embodiment of the present invention includes a heat source, a housing that houses the heat source, and the composite film that is disposed between the heat source and the inner wall of the housing, and the opening is located at a position facing the heat source. Is arranged.

上記デバイスにおいて、複合フィルムは、筐体の内壁に貼り付けられていてもよい。   In the above device, the composite film may be attached to the inner wall of the housing.

本発明の一態様に係るデバイスは、面方向の熱伝導率が厚み方向の熱伝導率より高い熱伝導フィルムに、厚み方向に貫通する開口を形成する工程と、開口が形成された熱伝導フィルムの一方の面に、開口の一方の面側を塞ぐ第1フィルムを貼り付ける工程と、開口が形成された熱伝導フィルムの他方の面に、開口の他方の面側を塞ぐ第2フィルムを貼り付ける工程とを備える。   A device according to an aspect of the present invention includes a step of forming an opening penetrating in a thickness direction in a heat conductive film having a thermal conductivity in a plane direction higher than a thermal conductivity in a thickness direction, and a heat conductive film in which the opening is formed A step of attaching a first film that covers one side of the opening to one side of the opening, and a second film that closes the other side of the opening to the other surface of the heat conductive film in which the opening is formed. Attaching.

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。   It should be noted that the above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention. In addition, a sub-combination of these feature groups can also be an invention.

複合フィルムの平面図である。It is a top view of a composite film. 複合フィルムの断面図を示す図である。It is a figure which shows sectional drawing of a composite film. 複合フィルムの製造方法について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of a composite film. 複合フィルムの製造方法について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of a composite film. 複合フィルムの製造方法について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of a composite film. 複合フィルムの製造方法について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of a composite film. 複合フィルムが貼り付けられたデバイスの断面図を示す図である。It is a figure which shows sectional drawing of the device with which the composite film was affixed. 複合フィルムの断面図を示す図である。It is a figure which shows sectional drawing of a composite film. 複合フィルムの断面図を示す図である。It is a figure which shows sectional drawing of a composite film. 複合フィルムの平面図である。It is a top view of a composite film. 複合フィルムの断面図を示す図である。It is a figure which shows sectional drawing of a composite film. 複合フィルムの断面図を示す図である。It is a figure which shows sectional drawing of a composite film. 複合フィルムの断面図を示す図である。It is a figure which shows sectional drawing of a composite film. 複合フィルムの断面図を示す図である。It is a figure which shows sectional drawing of a composite film. 複合フィルムの断面図を示す図である。It is a figure which shows sectional drawing of a composite film. 複合フィルムの製造方法について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of a composite film. 複合フィルムの製造方法について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of a composite film. 複合フィルムの製造方法について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of a composite film. 複合フィルムの製造方法について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of a composite film. 複合フィルムの製造方法について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of a composite film. 評価に使用したサンプルを含む構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure containing the sample used for evaluation.

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。   Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention, but the following embodiments do not limit the invention according to the claims. In addition, not all the combinations of features described in the embodiments are essential for the solving means of the invention.

本実施形態に係る複合フィルムは、熱伝導層、およびバッファ層を備える。熱伝導層は、面方向の熱伝導率が厚み方向の熱伝導率より高い異方性を有する素材である。バッファ層は、熱伝導層に積層される層である。バッファ層は、例えば、接着層、保護層、絶縁層、粘着層などから構成され、一層で構成されてもよいし、二層以上であって、同種又は異種の層から構成されていてもよい。   The composite film according to the present embodiment includes a heat conductive layer and a buffer layer. The heat conductive layer is a material having anisotropy in which the thermal conductivity in the plane direction is higher than the thermal conductivity in the thickness direction. The buffer layer is a layer laminated on the heat conductive layer. The buffer layer is composed of, for example, an adhesive layer, a protective layer, an insulating layer, an adhesive layer, etc., and may be composed of a single layer, or may be composed of two or more layers, and may be composed of the same or different layers. .

図1Aは、本実施形態に係る複合フィルム100の平面図を示す。図1Bは、図1Aに示すA−A線における複合フィルム100の断面図を示す。   FIG. 1A shows a plan view of a composite film 100 according to this embodiment. FIG. 1B shows a cross-sectional view of the composite film 100 taken along line AA shown in FIG. 1A.

複合フィルム100は、バッテリまたは半導体素子などの熱源を収容する筐体の人体が接触する外壁の裏面である内壁などに貼り付けられる。これにより、熱源に対向する筐体の外壁などに発生するヒートスポットを抑制する。   The composite film 100 is affixed to an inner wall, which is the back surface of the outer wall with which a human body of a housing that houses a heat source such as a battery or a semiconductor element comes into contact. Thereby, the heat spot which generate | occur | produces on the outer wall etc. of the housing | casing facing a heat source is suppressed.

複合フィルム100は、第1熱伝導層110および第1接着層120を備える。第1接着層120は、第1バッファ層の一例である。第1接着層120は、第1熱伝導層110の一方の面110aに積層され、開口122を有する。本実施形態では、開口122は、第1接着層120において厚み方向に貫通している例について説明する。他の実施形態では、開口122は、厚み方向に貫通していなくてもよい。開口122は、例えば第1接着層120のいずれかの面に形成される凹状の開口でもよい。   The composite film 100 includes a first heat conductive layer 110 and a first adhesive layer 120. The first adhesive layer 120 is an example of a first buffer layer. The first adhesive layer 120 is laminated on one surface 110 a of the first heat conductive layer 110 and has an opening 122. In the present embodiment, an example in which the opening 122 penetrates in the thickness direction in the first adhesive layer 120 will be described. In other embodiments, the opening 122 may not penetrate in the thickness direction. The opening 122 may be a concave opening formed on any surface of the first adhesive layer 120, for example.

第1熱伝導層110は、上記の通り、面方向の熱伝導率が厚み方向の熱伝導率より高い異方性を有する素材である。第1熱伝導層110として、例えば高分子フィルムを熱処理することにより生成されるグラファイトフィルムを使用できる。このようなグラファイトフィルムの面方向の熱伝導率は、好ましくは750W/m・K以上であり、より好ましくは900W/m・K以上、さらに好ましくは1100W/m・K以上である。また、このようなグラファイトフィルムの厚み方向の熱伝導率は10W/m・K以下であってもよい。また、第1熱伝導層110として、天然グラファイトなどの結晶化が進んだグラファイト粉末を酸処理および熱処理することにより生成されるグラファイトフィルムを使用することもできる。このようなグラファイトフィルムの面方向の熱伝導率は、好ましくは200W/m・K以上であり、より好ましくは300W/m・K以上、さらに好ましくは400W/m・K以上である。また、このようなグラファイトフィルムの厚みの熱伝導率は10W/m・K以下であってもよい。なお、第1熱伝導層110の厚さは、好ましくは10μm以上、より好ましくは20μm以上、さらに好ましくは30μm以上である。   As described above, the first heat conductive layer 110 is a material having anisotropy in which the thermal conductivity in the plane direction is higher than the thermal conductivity in the thickness direction. As the 1st heat conductive layer 110, the graphite film produced | generated by heat-processing a polymer film can be used, for example. The thermal conductivity in the plane direction of such a graphite film is preferably 750 W / m · K or more, more preferably 900 W / m · K or more, and further preferably 1100 W / m · K or more. Further, the thermal conductivity in the thickness direction of such a graphite film may be 10 W / m · K or less. Further, as the first heat conductive layer 110, a graphite film produced by acid treatment and heat treatment of graphite powder that has been crystallized, such as natural graphite, can be used. The thermal conductivity in the plane direction of such a graphite film is preferably 200 W / m · K or more, more preferably 300 W / m · K or more, and further preferably 400 W / m · K or more. Further, the thermal conductivity of the thickness of such a graphite film may be 10 W / m · K or less. In addition, the thickness of the 1st heat conductive layer 110 becomes like this. Preferably it is 10 micrometers or more, More preferably, it is 20 micrometers or more, More preferably, it is 30 micrometers or more.

第1接着層120は、筐体の内壁などの特定の部位に複合フィルム100を接着させる。第1接着層120の厚さは、好ましくは10μm以上、より好ましくは20μm以上、さらに好ましくは30μm以上である。   The first adhesive layer 120 adheres the composite film 100 to a specific part such as the inner wall of the housing. The thickness of the 1st contact bonding layer 120 becomes like this. Preferably it is 10 micrometers or more, More preferably, it is 20 micrometers or more, More preferably, it is 30 micrometers or more.

第1接着層120として、例えば両面粘着フィルム、接着剤、または粘着剤を使用できる。両面粘着フィルムとして、例えば樹脂フィルムに粘着剤が塗布されたものを使用できる。接着剤として、例えばエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂等を使用できる。また、粘着剤として、例えばアクリル系、シリコーン系等の樹脂を使用できる。   As the 1st contact bonding layer 120, a double-sided adhesive film, an adhesive agent, or an adhesive can be used, for example. As the double-sided adhesive film, for example, a resin film coated with an adhesive can be used. As an adhesive, for example, an epoxy resin, a phenol resin, a polyimide resin, or the like can be used. Moreover, as an adhesive, resin, such as an acrylic type and a silicone type, can be used, for example.

図2A〜図2Dは、複合フィルム100の製造方法を示す。なお、図2A〜図2Dは、第1接着層120として両面粘着フィルムを使用した場合の複合フィルム100の製造方法を示す。   2A to 2D show a method for manufacturing the composite film 100. 2A to 2D show a method of manufacturing the composite film 100 when a double-sided pressure-sensitive adhesive film is used as the first adhesive layer 120.

第1接着層120の一例としての両面粘着フィルムAを準備する(図2A)。ついで、両面粘着フィルムAの特定の部分、例えば中央部などの周縁部以外の部分に、カッターなどを使用して厚み方向に貫通する開口122を形成する(図2B)。また、第1熱伝導層110の一例であるグラファイトフィルムGを準備する(図2C)。次いで、両面粘着フィルムAとグラファイトフィルムGとを貼り付けて、複合フィルム100を作製する(図2D)。以上の通り、開口が形成された両面粘着フィルムをグラファイトフィルムに貼り付けるだけで複合フィルムを作製できる。したがって、製造コストの上昇が抑えられる。   A double-sided pressure-sensitive adhesive film A as an example of the first adhesive layer 120 is prepared (FIG. 2A). Next, an opening 122 penetrating in the thickness direction is formed using a cutter or the like in a specific portion of the double-sided pressure-sensitive adhesive film A, for example, a portion other than the peripheral portion such as the central portion (FIG. 2B). Moreover, the graphite film G which is an example of the 1st heat conductive layer 110 is prepared (FIG. 2C). Next, the double-sided pressure-sensitive adhesive film A and the graphite film G are attached to produce a composite film 100 (FIG. 2D). As described above, a composite film can be produced simply by attaching a double-sided pressure-sensitive adhesive film having an opening to a graphite film. Therefore, an increase in manufacturing cost can be suppressed.

なお、第1接着層120として接着剤または粘着剤を使用する場合には、第1熱伝導層110の面110aの開口122に対応する領域に予めマスク層を形成しておく。さらにマスク層が形成された面110aに接着剤または粘着剤を塗布した後に、マスク層を除去することで、複合フィルム100を作製できる。   When an adhesive or a pressure sensitive adhesive is used as the first adhesive layer 120, a mask layer is formed in advance in a region corresponding to the opening 122 of the surface 110a of the first heat conductive layer 110. Furthermore, after applying an adhesive or an adhesive to the surface 110a on which the mask layer is formed, the composite film 100 can be manufactured by removing the mask layer.

ここで、第1熱伝導層110として高分子フィルムを熱処理することにより生成されるグラファイトフィルムを使用する場合には、以下に示す製造方法により作製されたグラファイトフィルムを使用できる。   Here, when using the graphite film produced | generated by heat-processing a polymer film as the 1st heat conductive layer 110, the graphite film produced by the manufacturing method shown below can be used.

グラファイトフィルムの製造に適した高分子フィルムとして、ポリイミド、ポリアミド、ポリオキサジアゾール、ポリベンゾチアゾール、ポリベンゾビスアゾール、ポリベンゾオキサゾール、ポリベンゾビスオキサゾール、ポリパラフェニレンビニレン、ポリベンゾイミダゾール、ポリベンゾビスイミダゾール、ポリチアゾールのうちから選択された少なくとも一種類以上の高分子フィルムを例示できる。   Polymer films suitable for the production of graphite films include polyimide, polyamide, polyoxadiazole, polybenzothiazole, polybenzobisazole, polybenzoxazole, polybenzobisoxazole, polyparaphenylene vinylene, polybenzimidazole, polybenzo Examples thereof include at least one polymer film selected from bisimidazole and polythiazole.

特に、高分子フィルムとして好ましいのは、ポリイミドフィルムである。ポリイミドフィルムは、他の有機材料を原料とする高分子フィルムよりも、炭化および黒鉛化によりグラファイトの層構造が発達し易いためである。   In particular, a polyimide film is preferable as the polymer film. This is because a polyimide layer structure is easily developed by carbonization and graphitization in a polyimide film as compared with a polymer film using other organic materials as a raw material.

ポリイミドフィルムの複屈折について特に制限はない。しかし、複屈折が0.08以上であれば、フィルムの炭化、黒鉛化が進行し易くなるので、グラファイト層が発達したグラファイトフィルムが得られ易くなる。なお、複屈折とは、フィルム面内の任意方向の屈折率と厚さ方向の屈折率との差を意味する。   There is no restriction | limiting in particular about the birefringence of a polyimide film. However, if the birefringence is 0.08 or more, carbonization and graphitization of the film easily proceeds, so that a graphite film having a developed graphite layer is easily obtained. Birefringence means a difference between a refractive index in an arbitrary direction in the film plane and a refractive index in the thickness direction.

高分子フィルムからグラファイトフィルムを得るには、炭化工程、黒鉛化工程は連続で行われてもよいし、非連続で行われてもよい。炭化工程では、出発物質である高分子フィルムを減圧下もしくは不活性ガス中で予備加熱処理して炭化する。この炭化は、通常1000℃程度の温度で行う。例えば、10℃/分昇温速度で予備加熱処理を行った場合には、1000℃の温度領域で30分程度保持することが望ましい。予備加熱処理の段階では、高分子フィルムの配向性が失われないように面方向の圧力を加えてもよい。炭化工程の次の黒鉛化工程は、炭素化された炭素化フィルムを超高温炉内にセットして行われる。黒鉛化工程は、減圧下もしくは不活性ガス中で行われるが、不活性ガスとしてはアルゴンが最も適当であり、アルゴンに少量のヘリウムを加えるとさらに好ましい。黒鉛化の熱処理温度としては、最低でも2400℃以上、より好ましくは2600℃以上、さらに好ましくは2800℃以上、特に好ましくは、2900℃以上である。   In order to obtain a graphite film from the polymer film, the carbonization step and the graphitization step may be performed continuously or discontinuously. In the carbonization step, the polymer film as a starting material is carbonized by preheating treatment under reduced pressure or in an inert gas. This carbonization is usually performed at a temperature of about 1000 ° C. For example, when the preheating treatment is performed at a rate of temperature increase of 10 ° C./min, it is desirable to keep the temperature in the temperature range of 1000 ° C. for about 30 minutes. In the preheating treatment stage, pressure in the surface direction may be applied so that the orientation of the polymer film is not lost. The graphitization step subsequent to the carbonization step is performed by setting a carbonized carbonized film in an ultrahigh temperature furnace. The graphitization step is performed under reduced pressure or in an inert gas. Argon is most suitable as the inert gas, and it is more preferable to add a small amount of helium to the argon. The heat treatment temperature for graphitization is at least 2400 ° C. or more, more preferably 2600 ° C. or more, further preferably 2800 ° C. or more, and particularly preferably 2900 ° C. or more.

なお、2500℃以上の超高温を作り出すには、例えば、グラファイトヒータに直接電流を流し、そのジュール熱を利用して加熱する方法を挙げることができる。黒鉛化は、前処理で作製した炭素化フィルムをグラファイト構造に軟化することによって行う。高分子フィルムの分子配向は炭素化フィルムの炭素の配列に影響を与える。その影響により黒鉛化工程における炭素―炭素結合の開裂・再結合化のエネルギーが小さくなる。したがって、分子が配向するように分子設計を行い、高度な配向を実現することで低温での黒鉛化と良質のグラファイトフィルムへの軟化が可能になる。   In order to create an ultra-high temperature of 2500 ° C. or higher, for example, a method can be mentioned in which an electric current is directly applied to a graphite heater and the Joule heat is used for heating. Graphitization is performed by softening the carbonized film prepared in the pretreatment to a graphite structure. The molecular orientation of the polymer film affects the carbon alignment of the carbonized film. As a result, the carbon-carbon bond cleavage / recombination energy in the graphitization process is reduced. Therefore, the molecular design is performed so that the molecules are oriented, and by realizing a high degree of orientation, graphitization at a low temperature and softening to a high-quality graphite film are possible.

図3は、内壁に複合フィルム100が貼り付けられたデバイス200の断面図を示す。デバイス200は、筐体10、基板20、および基板20に実装される電子部品22を備える。複合フィルム100は、熱源になる電子部品22に対向する位置に開口122が位置づけられ、第1接着層120を介して筐体10の内壁10aに貼り付けられている。   FIG. 3 shows a cross-sectional view of the device 200 with the composite film 100 attached to the inner wall. The device 200 includes a housing 10, a substrate 20, and an electronic component 22 mounted on the substrate 20. The composite film 100 has an opening 122 positioned at a position facing the electronic component 22 serving as a heat source, and is attached to the inner wall 10 a of the housing 10 via the first adhesive layer 120.

このように構成することで、電子部品22から発生し、複合フィルム100に伝達された熱は、第1熱伝導層110の面方向に伝達され拡散される。また、開口122は、第1熱伝導層110と内壁10aとにより密閉空間を構成し、その密閉空間が断熱層として機能する。よって、第1熱伝導層110の厚み方向に伝達された熱が、開口122に対向する筐体10の外壁10bの領域に伝達されにくくなる。したがって、本実施形態によれば、第1熱伝導層110により面方向に熱を拡散させる。さらに第1接着層120の開口122が断熱層として機能する。よって、電子部品22が発熱することにより筐体10の外壁10bに発生するヒートスポットを抑制できる。   With this configuration, the heat generated from the electronic component 22 and transmitted to the composite film 100 is transmitted and diffused in the surface direction of the first heat conductive layer 110. The opening 122 forms a sealed space by the first heat conductive layer 110 and the inner wall 10a, and the sealed space functions as a heat insulating layer. Therefore, the heat transmitted in the thickness direction of the first heat conductive layer 110 is not easily transmitted to the region of the outer wall 10 b of the housing 10 that faces the opening 122. Therefore, according to the present embodiment, heat is diffused in the surface direction by the first heat conductive layer 110. Further, the opening 122 of the first adhesive layer 120 functions as a heat insulating layer. Therefore, the heat spot which generate | occur | produces in the outer wall 10b of the housing | casing 10 when the electronic component 22 generates heat | fever can be suppressed.

ここで、熱源に対向する位置とは、厚み方向において熱源と少なくとも一部分が重なる位置のほか、厚み方向において熱源と異なる、熱源と重ならない位置も含む。また、熱源に対向する位置とは、熱源となる電子部品22が有するいずれの面に対向する位置でもよい。例えば、熱源に対向する位置とは、電子部品22の基板20への接合面、接合面と反対側の面である上面、あるいは、接合面および上面以外の側面に対向する位置でもよい。   Here, the position facing the heat source includes not only a position where at least a part of the heat source overlaps in the thickness direction but also a position which does not overlap the heat source in the thickness direction. Further, the position facing the heat source may be a position facing any surface of the electronic component 22 serving as the heat source. For example, the position facing the heat source may be a bonding surface of the electronic component 22 to the substrate 20, an upper surface that is a surface opposite to the bonding surface, or a position facing the bonding surface and a side surface other than the upper surface.

図3では、複合フィルム100の厚み方向において電子部品22と開口122とが重なる位置に配置される例を示している。しかし、開口122が配置される位置は、ヒートスポットが発生しうる位置に対応する位置であればよい。したがって、ヒートスポットが発生する位置が、厚み方向において電子部品22とは重ならない位置である場合には、厚み方向において電子部品22と開口122とは重ならない位置に配置される場合もある。例えば、電子部品22と筐体10との間に他の部材が配置される場合、または筐体10の厚みが均一ではない場合には、厚み方向において熱源と重なる位置にヒートスポットが発生するとは限らない。この場合には、開口122は、厚み方向において熱源と重ならない位置に配置されてもよい。   FIG. 3 shows an example in which the electronic component 22 and the opening 122 are arranged in the overlapping direction in the thickness direction of the composite film 100. However, the position where the opening 122 is disposed may be a position corresponding to a position where a heat spot can be generated. Therefore, when the position where the heat spot is generated is a position where the electronic component 22 does not overlap in the thickness direction, the electronic component 22 and the opening 122 may be disposed where they do not overlap in the thickness direction. For example, when another member is disposed between the electronic component 22 and the housing 10 or when the thickness of the housing 10 is not uniform, a heat spot is generated at a position overlapping the heat source in the thickness direction. Not exclusively. In this case, the opening 122 may be disposed at a position that does not overlap the heat source in the thickness direction.

図4は、複合フィルム100の変形例である複合フィルム100Aの断面図を示す。複合フィルム100Aは、第1熱伝導層110および第1接着層120に加えて、第1熱伝導層110の熱源側の面110bを保護する保護層130を備える。保護層130は、第1熱伝導層110の面110b側に配置される。よって、開口122を熱源に対向する位置に位置づけて複合フィルム100Aを配置することにより、複合フィルム100Aの熱源とは反対側の面100a側に配置される部材に発生するヒートスポットを抑制できる。さらに、保護層130を設けることにより、例えば第1熱伝導層110を構成するグラファイトフィルムの一部が剥離し、剥離した一部が他の部材に付着することによる不具合を防止できる。   FIG. 4 is a cross-sectional view of a composite film 100 </ b> A that is a modification of the composite film 100. The composite film 100 </ b> A includes a protective layer 130 that protects the surface 110 b on the heat source side of the first heat conductive layer 110 in addition to the first heat conductive layer 110 and the first adhesive layer 120. The protective layer 130 is disposed on the surface 110b side of the first heat conductive layer 110. Therefore, by positioning the composite film 100A with the opening 122 positioned at a position facing the heat source, it is possible to suppress a heat spot generated on a member disposed on the surface 100a side opposite to the heat source of the composite film 100A. Furthermore, by providing the protective layer 130, for example, a part of the graphite film constituting the first heat conductive layer 110 is peeled off, and a problem caused by the peeled part adhering to another member can be prevented.

なお、保護層130として、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステルなどの樹脂フィルムの片面に、アクリル系、シリコーン系、エポキシ系、ポリイミド系等の粘着剤または接着剤が塗布された樹脂テープを使用できる。また、保護層130として、ポリエステル系などのホットメルトタイプ(熱可塑性)のテープを使用することもできる。さらに、保護層130は、エポキシ、フェノールまたはゴム系の塗料などを使用してコーティングすることで、第1熱伝導層110の面110bに積層してもよい。   As the protective layer 130, a resin tape in which an adhesive or adhesive such as acrylic, silicone, epoxy, or polyimide is applied to one surface of a resin film such as polyimide, polyethylene terephthalate, polyethylene, polypropylene, or polyester. Can be used. Further, as the protective layer 130, a hot melt type (thermoplastic) tape such as polyester can be used. Furthermore, the protective layer 130 may be laminated on the surface 110b of the first heat conductive layer 110 by coating using an epoxy, phenol or rubber-based paint.

図5は、複合フィルム100の変形例である複合フィルム100Bの断面図を示す。複合フィルム100Bは、第1熱伝導層110の熱源とは反対側の面110aを保護する保護層140を備える。保護層140は、第1バッファ層の一例であり、第1熱伝導層110の面110aに積層され、厚み方向に貫通する開口142を有する。保護層140は、保護層130と同一の材料を使用できる。接着層120'は、厚み方向に貫通する開口を有さず、第2保護層140の一方の面140aに積層される。よって、第1熱伝導層110と第1接着層120'とにより開口142が密閉され、密閉空間が形成される。つまり、開口142が断熱層として機能する。したがって、開口142を熱源に対向する位置に位置づけて複合フィルム100Bを配置することにより、複合フィルム100Bの熱源とは反対側の部材に発生するヒートスポットを抑制できる。なお、接着層120'は、開口142に対応する位置に厚み方向に貫通する開口を有してもよい。この場合には、保護層140と接着層120'が第1バッファ層の一例である。また、第1熱伝導層110の他方の面110bに複合フィルム100Aと同様に保護層130を積層してもよい。   FIG. 5 shows a cross-sectional view of a composite film 100 </ b> B that is a modification of the composite film 100. The composite film 100 </ b> B includes a protective layer 140 that protects the surface 110 a opposite to the heat source of the first heat conductive layer 110. The protective layer 140 is an example of a first buffer layer, and has an opening 142 that is stacked on the surface 110a of the first heat conductive layer 110 and penetrates in the thickness direction. The same material as the protective layer 130 can be used for the protective layer 140. The adhesive layer 120 ′ does not have an opening penetrating in the thickness direction, and is laminated on one surface 140 a of the second protective layer 140. Therefore, the opening 142 is sealed by the first heat conductive layer 110 and the first adhesive layer 120 ′, and a sealed space is formed. That is, the opening 142 functions as a heat insulating layer. Therefore, by positioning the composite film 100B with the opening 142 positioned at a position facing the heat source, it is possible to suppress heat spots generated on the member on the opposite side to the heat source of the composite film 100B. Note that the adhesive layer 120 ′ may have an opening penetrating in the thickness direction at a position corresponding to the opening 142. In this case, the protective layer 140 and the adhesive layer 120 ′ are examples of the first buffer layer. Further, the protective layer 130 may be laminated on the other surface 110b of the first heat conductive layer 110 in the same manner as the composite film 100A.

以上、上記の実施形態では、第1接着層120、または保護層130に、単一の開口を有する例について説明した。しかし、第1接着層120、または保護層130は、配列された複数の開口を有してもよい。また、開口の形状は、矩形ではなく、円形など他の形状でもよい。   As described above, in the above embodiment, the example in which the first adhesive layer 120 or the protective layer 130 has a single opening has been described. However, the first adhesive layer 120 or the protective layer 130 may have a plurality of openings arranged. Also, the shape of the opening is not rectangular but may be other shapes such as a circle.

図6Aは、複合フィルム100の変形例である複合フィルム100Cの平面図を示す。図6Bは、図6Aに示すA−A線における複合フィルム100Cの断面を示す。複合フィルム100Cは、格子状に配列された複数の開口122を有する第1接着層120を備える。   FIG. 6A shows a plan view of a composite film 100 </ b> C that is a modification of the composite film 100. FIG. 6B shows a cross section of the composite film 100C taken along line AA shown in FIG. 6A. The composite film 100C includes a first adhesive layer 120 having a plurality of openings 122 arranged in a lattice pattern.

ここで、複数の開口122のそれぞれの面積は、第1接着層120の全体の面積より十分に小さくてもよい。より具体的には、複数の開口122のそれぞれの面積は、第1接着層120の全体の面積の好ましくは20%以下、より好ましくは10%以下、さらに好ましくは5%以下である。   Here, the area of each of the plurality of openings 122 may be sufficiently smaller than the entire area of the first adhesive layer 120. More specifically, the area of each of the plurality of openings 122 is preferably 20% or less, more preferably 10% or less, and even more preferably 5% or less of the entire area of the first adhesive layer 120.

開孔の面積は、好ましくは5mm以上、より好ましくは10mm以上、さらに好ましくは20mm以上である。 The area of the opening is preferably 5 mm 2 or more, more preferably 10 mm 2 or more, and further preferably 20 mm 2 or more.

このように、比較的面積の小さい複数の開口122を格子状に配列することにより、開口122により形成される密閉空間が押し潰されにくくなる。よって、複数の開口122のそれぞれがより確実に断熱層として機能できる。   Thus, by arranging the plurality of openings 122 having a relatively small area in a lattice shape, the sealed space formed by the openings 122 is less likely to be crushed. Therefore, each of the plurality of openings 122 can function as a heat insulating layer more reliably.

なお、第1接着層120に配列された複数の開口122を形成する場合には、第1熱伝導層110の熱源とは反対側の面110aに接着剤または粘着剤をメッシュ状に塗布してもよい。これにより、メッシュ状に配置された複数の開口122を有する第1接着層120を形成し、複合フィルム100Cを作製できる。   When forming a plurality of openings 122 arranged in the first adhesive layer 120, an adhesive or a pressure-sensitive adhesive is applied to the surface 110a opposite to the heat source of the first heat conductive layer 110 in a mesh shape. Also good. Thereby, the 1st contact bonding layer 120 which has the some opening 122 arrange | positioned at mesh shape is formed, and the composite film 100C can be produced.

さらに、上記の実施形態では、開口122の面積は、電子部品22の面積より大きい例について説明した。しかし、開口122の面積は、電子部品22の面積より小さいまたは同一でもよい。   Furthermore, in the above embodiment, an example in which the area of the opening 122 is larger than the area of the electronic component 22 has been described. However, the area of the opening 122 may be smaller than or the same as the area of the electronic component 22.

また、上記の実施形態では、複合フィルム100は、筐体10の人体が接触する外壁10bの裏面である内壁10aに貼り付けられる例について説明した。しかし、複合フィルム100は、内壁10a以外にも筐体10が実装する他の電子部品または基板に貼り付けられてもよい。また、複合フィルム100は、内壁10aおよび電子部品22のそれぞれに接触していてもよい。   In the above-described embodiment, the composite film 100 has been described as being attached to the inner wall 10a that is the back surface of the outer wall 10b with which the human body of the housing 10 comes into contact. However, the composite film 100 may be affixed to other electronic components or substrates mounted on the housing 10 besides the inner wall 10a. The composite film 100 may be in contact with each of the inner wall 10a and the electronic component 22.

図7は、複合フィルム100の変形例である複合フィルム100Dの断面図を示す。複合フィルム100Dは、熱伝導層および接着層(バッファ層)を複数積層することで構成されている。第2熱伝導層150は、面方向の熱伝導率が厚み方向の熱伝導率より高い異方性を有する。第2熱伝導層150は、第1接着層120の一方の面120aに積層される。第2接着層160は、厚み方向に貫通する開口162を有し、第2熱伝導層150の一方の面150aに積層される。このように、熱伝導層および接着層を複数積層することにより、より確実にヒートスポットを抑制できる。なお、第1熱伝導層110および第2熱伝導層150は、面方向および厚み方向の熱伝導率が同一のグラファイトフィルムを使用してもよいし、これらの熱伝導率が異なる他のグラファイトフィルムを使用してもよい。   FIG. 7 shows a cross-sectional view of a composite film 100 </ b> D that is a modification of the composite film 100. The composite film 100D is configured by laminating a plurality of heat conductive layers and adhesive layers (buffer layers). The second heat conductive layer 150 has an anisotropy in which the thermal conductivity in the plane direction is higher than the thermal conductivity in the thickness direction. The second heat conductive layer 150 is stacked on one surface 120 a of the first adhesive layer 120. The second adhesive layer 160 has an opening 162 penetrating in the thickness direction, and is laminated on one surface 150 a of the second heat conductive layer 150. Thus, a heat spot can be suppressed more reliably by laminating a plurality of heat conductive layers and adhesive layers. In addition, the 1st heat conductive layer 110 and the 2nd heat conductive layer 150 may use the graphite film with the same thermal conductivity of a surface direction and the thickness direction, and these other graphite films from which these heat conductivities differ. May be used.

加えて、複合フィルム100を熱伝導層およびバッファ層を複数積層することで構成する場合、それぞれの開口の面積を異なるものにしてもよい。より具体的には、熱源により近いバッファ層の開口の面積は、熱源からより遠い接着層の開口の面積より小さくてもよい。さらに、バッファ層が複数の開口を有する場合には、熱源により近層の複数の開口の合計面積は、熱源からより遠いバッファ層の複数の開口の合計面積より小さくてもよい。   In addition, when the composite film 100 is configured by laminating a plurality of heat conductive layers and buffer layers, the area of each opening may be different. More specifically, the area of the opening of the buffer layer closer to the heat source may be smaller than the area of the opening of the adhesive layer farther from the heat source. Further, in the case where the buffer layer has a plurality of openings, the total area of the plurality of openings close to the heat source may be smaller than the total area of the plurality of openings of the buffer layer farther from the heat source.

図8は、複合フィルム100の変形例である複合フィルム100Eの断面図を示す。複合フィルム100Eは、単一の開口122を有する第1接着層120と、単一の開口162を有する第2接着層160とを備える。第1接着層120の開口122の面積は、第2接着層160の開口162の面積より小さい。   FIG. 8 shows a cross-sectional view of a composite film 100E that is a modification of the composite film 100. FIG. The composite film 100E includes a first adhesive layer 120 having a single opening 122 and a second adhesive layer 160 having a single opening 162. The area of the opening 122 of the first adhesive layer 120 is smaller than the area of the opening 162 of the second adhesive layer 160.

図9は、複合フィルム100の変形例である複合フィルム100Fの断面図を示す。複合フィルム100Fは、複数の開口122を有する第1接着層120と、複数の開口162を有する第2接着層160とを備える。第1接着層120が有する複数の開口122の合計面積は、第2接着層160が有する複数の開口162の合計面積より小さい。   FIG. 9 shows a cross-sectional view of a composite film 100 </ b> F that is a modification of the composite film 100. The composite film 100 </ b> F includes a first adhesive layer 120 having a plurality of openings 122 and a second adhesive layer 160 having a plurality of openings 162. The total area of the plurality of openings 122 included in the first adhesive layer 120 is smaller than the total area of the plurality of openings 162 included in the second adhesive layer 160.

図8または図9に示すように構成することで、第1接着層120の開口122により構成される断熱層の全体面積が比較的小さい。したがって、熱源により近い第1熱伝導層110から第2熱伝導層150への熱の伝導がしやすくなる。よって、複数の熱伝導層を介した面方向への熱の拡散がよりしやすくなる。一方、熱源からより遠い第2接着層160の開口の全体面積は比較的大きい。したがって、第2接着層160が貼り付けられる筐体などの面への熱の伝達はしにくくなる。よって、このように構成することで、筐体などの面に発生するヒートスポットをより確実に抑制できる。   By configuring as shown in FIG. 8 or FIG. 9, the entire area of the heat insulating layer constituted by the opening 122 of the first adhesive layer 120 is relatively small. Therefore, heat conduction from the first heat conductive layer 110 closer to the heat source to the second heat conductive layer 150 is facilitated. Therefore, it becomes easier to diffuse the heat in the surface direction via the plurality of heat conductive layers. On the other hand, the entire area of the opening of the second adhesive layer 160 farther from the heat source is relatively large. Therefore, it becomes difficult to transfer heat to a surface such as a housing to which the second adhesive layer 160 is attached. Therefore, by comprising in this way, the heat spot which generate | occur | produces on surfaces, such as a housing | casing, can be suppressed more reliably.

図10は、複合フィルム100の変形例である複合フィルム100Gの断面図を示す。複合フィルム100Gは、熱伝導層または熱伝導フィルムの一例である第1熱伝導層110と第1バッファ層または第1フィルムの一例である接着層120'と第2バッファ層または第2フィルムの一例である保護層130とを備える。第1熱伝導層110は、厚み方向に貫通する開口112を有する。第1熱伝導層110の熱源側の面110aに接着層120'が積層され、熱源とは反対側の面110bに保護層130が積層される。   FIG. 10 shows a cross-sectional view of a composite film 100G, which is a modification of the composite film 100. The composite film 100G includes a first heat conductive layer 110 that is an example of a heat conductive layer or a heat conductive film, an adhesive layer 120 ′ that is an example of a first buffer layer or a first film, and an example of a second buffer layer or a second film. And a protective layer 130. The first heat conductive layer 110 has an opening 112 penetrating in the thickness direction. The adhesive layer 120 ′ is laminated on the surface 110a of the first heat conductive layer 110 on the heat source side, and the protective layer 130 is laminated on the surface 110b on the side opposite to the heat source.

複合フィルム100Gでは、保護層130と接着層120'とにより開口112が密閉され、密閉空間が形成される。つまり、開口112が断熱層として機能する。開口112を熱源に対向する位置に位置づけて複合フィルム100Gを配置した場合、熱源から発生した熱は、保護層130に伝達される。保護層130に伝達された熱の少なくとも一部は、第1熱伝導層110に伝達される。ここで、開口112は断熱層として機能するので、開口112による断熱層よりも保護層130と接触している第1熱伝導層110へより多く熱が伝導される。また、第1熱伝導層110に伝達された熱は、面方向に伝達され拡散される。したがって、開口112に対応する接着層120'の領域に熱は伝達されにくくなる。よって、開口112を熱源に対向する位置に位置づけて複合フィルム100Gを配置することにより、複合フィルム100Gの熱源とは反対側の面に配置された部材に発生するヒートスポットを抑制できる。   In the composite film 100G, the opening 112 is sealed by the protective layer 130 and the adhesive layer 120 ′ to form a sealed space. That is, the opening 112 functions as a heat insulating layer. When the composite film 100G is disposed with the opening 112 positioned at a position facing the heat source, the heat generated from the heat source is transmitted to the protective layer 130. At least a part of the heat transferred to the protective layer 130 is transferred to the first heat conductive layer 110. Here, since the opening 112 functions as a heat insulating layer, more heat is conducted to the first heat conductive layer 110 in contact with the protective layer 130 than the heat insulating layer formed by the opening 112. Further, the heat transmitted to the first heat conductive layer 110 is transmitted and diffused in the surface direction. Accordingly, heat is not easily transmitted to the region of the adhesive layer 120 ′ corresponding to the opening 112. Therefore, by positioning the opening 112 at a position facing the heat source and disposing the composite film 100G, heat spots generated on the member disposed on the surface opposite to the heat source of the composite film 100G can be suppressed.

図11A〜図11Eは、複合フィルム100Gの製造方法を示す。なお、図11A〜図11Dは、第1接着層120'として両面粘着フィルム、保護層130としてPETテープを使用した場合の複合フィルム100の製造方法を示す。   11A to 11E show a method for manufacturing the composite film 100G. 11A to 11D show a method for manufacturing the composite film 100 when a double-sided pressure-sensitive adhesive film is used as the first adhesive layer 120 ′ and a PET tape is used as the protective layer 130.

第1熱伝導層110としてグラファイトフィルムGを準備する(図11A)。グラファイトフィルムGの特定の部分、例えば中央部などの周縁部以外の部分に、カッターなどを使用して厚み方向に貫通する開口112を形成する(図11B)。PETテープPを準備して、PETテープPの一方の面とグラファイトフィルムGの一方の面とを張り合わせて、開口112の一方側を塞ぐ(図11C)。また、両面粘着フィルムAを準備して、両面粘着フィルムAの一方の面とグラファイトフィルムGの他方の面とを張り合わせ、開口112の他方側を塞ぎ(図11D)、複合フィルム100Gを作製する(図11E)。   A graphite film G is prepared as the first heat conductive layer 110 (FIG. 11A). An opening 112 penetrating in the thickness direction is formed by using a cutter or the like in a specific portion of the graphite film G, for example, a portion other than the peripheral portion such as the central portion (FIG. 11B). A PET tape P is prepared, and one surface of the PET tape P and one surface of the graphite film G are bonded together to block one side of the opening 112 (FIG. 11C). Moreover, the double-sided adhesive film A is prepared, the one surface of the double-sided adhesive film A and the other surface of the graphite film G are bonded together, and the other side of the opening 112 is closed (FIG. 11D), thereby producing a composite film 100G ( FIG. 11E).

以上により、グラファイトフィルムGに形成された開口112がPETテープPと両面粘着フィルムAとにより密閉された複合フィルム100Gを作製することができる。なお、開口112が形成されたグラファイトフィルムGに両面粘着フィルムAを貼り合わせた後、PETテープPをグラファイトフィルムGに貼り合わせてもよい。また、開口112が形成されたグラファイトフィルムGに、両面粘着フィルムAおよびPETテープPを同時に貼り合わせてもよい。   As described above, the composite film 100G in which the opening 112 formed in the graphite film G is sealed with the PET tape P and the double-sided adhesive film A can be produced. Note that the PET tape P may be bonded to the graphite film G after the double-sided adhesive film A is bonded to the graphite film G in which the opening 112 is formed. Further, the double-sided adhesive film A and the PET tape P may be simultaneously bonded to the graphite film G in which the opening 112 is formed.

なお、複合フィルムは、熱源に直接貼り付けられてもよい。この場合、第1バッファ層より第1熱伝導層を熱源側に配置することが好ましい。また、第1バッファ層の構成は、熱源に対向する部材に複合フィルムを貼り付ける場合の構成と同一でもよい。   The composite film may be directly attached to the heat source. In this case, it is preferable to arrange the first heat conductive layer on the heat source side from the first buffer layer. Further, the configuration of the first buffer layer may be the same as the configuration in the case where the composite film is attached to the member facing the heat source.

以下において、上述の実施形態に係るいくつかの実施例について、比較例とともに説明する。   Hereinafter, some examples according to the above-described embodiment will be described together with comparative examples.

<評価方法>
図12は、評価に使用したサンプルSを含む構成を示す断面図である。図12では、評価対象の複合フィルムの例として、グラファイトフィルムGと、開口Oを有する接着層Aとを備えるサンプルSを示している。発熱体Hが、エポキシ樹脂製基板Eの中央部に固定されている。サンプルSは、発熱体Hと厚み方向において重なる位置に開口Oが配置されて、ABS(アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン)樹脂製の支持体Bに貼り付けられている。
<Evaluation method>
FIG. 12 is a cross-sectional view showing a configuration including the sample S used for the evaluation. In FIG. 12, a sample S including a graphite film G and an adhesive layer A having an opening O is shown as an example of a composite film to be evaluated. A heating element H is fixed to the center of the epoxy resin substrate E. The sample S is attached to a support B made of ABS (acrylonitrile butadiene styrene) resin with an opening O disposed at a position overlapping the heating element H in the thickness direction.

発熱体Hの大きさは、10mm×10mm、厚さ1mmであり、消費電力は1Wである。エポキシ樹脂製基板Eの大きさは、50mm×50mm、厚さ1mmである。サンプルSの大きさは、50mm×50mmであり、開口Oの大きさは、10mm×10mmである。支持体Bの大きさは、60mm×60mm、厚さ1.5mmである。   The size of the heating element H is 10 mm × 10 mm, the thickness is 1 mm, and the power consumption is 1 W. The size of the epoxy resin substrate E is 50 mm × 50 mm and the thickness is 1 mm. The size of the sample S is 50 mm × 50 mm, and the size of the opening O is 10 mm × 10 mm. The support B has a size of 60 mm × 60 mm and a thickness of 1.5 mm.

図12に示す例では、発熱体Hの中央部とサンプルSの中央部とが厚み方向において同一の位置に配置されている。つまり、発熱体Hと開口Oとは厚み方向において重なる位置に配置されている。このようなサンプルの構成において、発熱開始から600秒経過後(定常状態となったとき)の発熱体Hの中心部の温度(℃)および支持体Bの外面中央部(この部分は発熱体Hの中心部の真上に位置する)の温度(℃)を測定することにより、放熱および断熱特性を評価した。   In the example shown in FIG. 12, the central part of the heating element H and the central part of the sample S are arranged at the same position in the thickness direction. That is, the heating element H and the opening O are arranged at positions that overlap in the thickness direction. In such a sample structure, the temperature (° C.) of the central portion of the heating element H after 600 seconds from the start of heat generation (when it reaches a steady state) and the central portion of the outer surface of the support B (this portion is the heating element H). The heat dissipation and heat insulation properties were evaluated by measuring the temperature (° C.) of (located directly above the central part of).

支持体Bの外面中央部の温度の評価は、40℃未満の場合「◎」、40℃〜45℃の場合を「○」、45℃〜50℃の場合を「△」、50℃より高い場合を「×」とした。   The evaluation of the temperature at the center of the outer surface of the support B is “◎” when it is less than 40 ° C., “◯” when it is 40 ° C. to 45 ° C., “Δ” when it is 45 ° C. to 50 ° C., and higher than 50 ° C. The case was set as “x”.

発熱体Hの中心部の温度の評価は、45℃未満の場合「◎」、45℃〜50℃の場合を「△」、50℃より高い場合を「×」とした。   Evaluation of the temperature of the central part of the heating element H was “◎” when the temperature was lower than 45 ° C., “Δ” when the temperature was 45 ° C. to 50 ° C., and “X” when the temperature was higher than 50 ° C.

本評価において使用するグラファイトフィルムGは、以下に示す作製方法により作成されたものを使用する。   As the graphite film G used in this evaluation, a film produced by the production method shown below is used.

4,4'−オキシジアニリンの1当量を溶解したDMF(ジメチルフォルムアミド)溶液に、ピロメリット酸二無水物の1当量を溶解してポリアミド酸溶液(18.5wt%)を得た。この溶解を冷却しながら、ポリアミド酸に含まれるカルボン酸基に対して、1当量の無水酢酸、1当量のイソキノリン、およびDMFを含むイミド化触媒を添加し脱泡した。次にこの混合溶液が、乾燥後に予め定められた厚さ(75μm)になるようにアルミ箔上に塗布した。アルミ箔上の混合溶液層を、熱風オーブン、遠赤外線ヒーターを用いて乾燥した。以上により、厚さ75μmのポリイミドフィルムを作製した。   One equivalent of pyromellitic dianhydride was dissolved in a DMF (dimethylformamide) solution in which one equivalent of 4,4′-oxydianiline was dissolved to obtain a polyamic acid solution (18.5 wt%). While this dissolution was cooled, an imidization catalyst containing 1 equivalent of acetic anhydride, 1 equivalent of isoquinoline, and DMF was added to the carboxylic acid group contained in the polyamic acid to degas. Next, this mixed solution was applied onto an aluminum foil so as to have a predetermined thickness (75 μm) after drying. The mixed solution layer on the aluminum foil was dried using a hot air oven and a far infrared heater. As described above, a polyimide film having a thickness of 75 μm was produced.

このように作製されたポリイミドフィルムを黒鉛板に挟み、電気炉を用いて、1000℃まで昇温して炭化処理を行った。炭化処理により得られた炭素化フィルムを黒鉛板に挟み、黒鉛化炉を用いて昇温速度1℃/minで2900℃まで昇温して黒鉛化処理を行い、厚さ40μmのグラファイトフィルムGを得た。   The polyimide film thus produced was sandwiched between graphite plates, and carbonized by raising the temperature to 1000 ° C. using an electric furnace. A carbonized film obtained by carbonization is sandwiched between graphite plates, and graphitized by heating to 2900 ° C. at a rate of temperature increase of 1 ° C./min using a graphitization furnace to obtain a graphite film G having a thickness of 40 μm. Obtained.

本評価において接着層として使用する両面粘着フィルムAは、厚さ10μm(アクリル系粘着剤:4μm/PET:2μm/アクリル系粘着剤:4μm)の両面粘着テープを使用した。   The double-sided pressure-sensitive adhesive film A used as an adhesive layer in this evaluation was a double-sided pressure-sensitive adhesive tape having a thickness of 10 μm (acrylic pressure-sensitive adhesive: 4 μm / PET: 2 μm / acrylic pressure-sensitive adhesive: 4 μm).

本評価において保護層として使用するPETテープPは、厚さ10μm(PET:6μm/アクリル系粘着剤:4μm)のPET(ポリエチレンテレフタレート)テープを使用した。   The PET tape P used as a protective layer in this evaluation was a PET (polyethylene terephthalate) tape having a thickness of 10 μm (PET: 6 μm / acrylic adhesive: 4 μm).

(実施例1)
実施例1では、サンプルSとして図1A,1Bに示す複合フィルム100を使用した。複合フィルム100の大きさは、50mm×50mmである。第1熱伝導層110に、50mm×50mmの大きさであるグラファイトフィルムGを使用した。第1接着層120に、50mm×50mmの大きさである両面粘着フィルムAを使用した。複合フィルム100についての評価結果を、表1に示した。
Example 1
In Example 1, the composite film 100 shown in FIGS. 1A and 1B was used as the sample S. The size of the composite film 100 is 50 mm × 50 mm. A graphite film G having a size of 50 mm × 50 mm was used for the first heat conductive layer 110. The double-sided pressure-sensitive adhesive film A having a size of 50 mm × 50 mm was used for the first adhesive layer 120. The evaluation results for the composite film 100 are shown in Table 1.

(実施例2)
実施例2では、サンプルSとして図4に示す複合フィルム100Aを使用した。複合フィルム100Aの大きさは、50mm×50mmである。第1熱伝導層110に、50mm×50mmの大きさであるグラファイトフィルムGを使用した。第1接着層120に、50mm×50mmの大きさである両面粘着フィルムAを使用した。保護層130に、50mm×50mmであるPETテープPを使用した。複合フィルム100Aについての評価結果を、表1に示した。
(Example 2)
In Example 2, the composite film 100A shown in FIG. The size of the composite film 100A is 50 mm × 50 mm. A graphite film G having a size of 50 mm × 50 mm was used for the first heat conductive layer 110. The double-sided pressure-sensitive adhesive film A having a size of 50 mm × 50 mm was used for the first adhesive layer 120. A PET tape P having a size of 50 mm × 50 mm was used for the protective layer 130. The evaluation results for the composite film 100A are shown in Table 1.

(実施例3)
実施例3では、サンプルSとして図5に示す複合フィルム100Bを使用した。複合フィルム100Bの大きさは、50mm×50mmである。第1熱伝導層110に、50mm×50mmの大きさであるグラファイトフィルムGを使用した。第1接着層120'に、50mm×50mmの大きさである両面粘着フィルムAを使用した。保護層140に、50mm×50mmの大きさであるPETテープPを使用した。複合フィルム100Bについての評価結果を、表1に示した。
(Example 3)
In Example 3, the composite film 100B shown in FIG. The size of the composite film 100B is 50 mm × 50 mm. A graphite film G having a size of 50 mm × 50 mm was used for the first heat conductive layer 110. The double-sided pressure-sensitive adhesive film A having a size of 50 mm × 50 mm was used for the first adhesive layer 120 ′. A PET tape P having a size of 50 mm × 50 mm was used for the protective layer 140. The evaluation results for the composite film 100B are shown in Table 1.

(実施例4)
実施例4では、サンプルSとして図10に示す複合フィルム100Gを使用した。複合フィルム100Gの大きさは、50mm×50mmである。第1熱伝導層110に、50mm×50mmの大きさであるグラファイトフィルムGを使用した。第1接着層120に、50mm×50mmの大きさである両面粘着フィルムAを使用した。保護層130に、50mm×50mmの大きさであるPETテープPを使用した。複合フィルム100Gについての評価結果を、表1に示した。
Example 4
In Example 4, the composite film 100G shown in FIG. The size of the composite film 100G is 50 mm × 50 mm. A graphite film G having a size of 50 mm × 50 mm was used for the first heat conductive layer 110. The double-sided pressure-sensitive adhesive film A having a size of 50 mm × 50 mm was used for the first adhesive layer 120. A PET tape P having a size of 50 mm × 50 mm was used for the protective layer 130. The evaluation results for the composite film 100G are shown in Table 1.

(比較例1)
比較例1では、50mm×50mmの大きさの複合フィルムXを使用した。複合フィルムXは、開口を有さないグラファイトフィルムGの一方の面に、開口を有さない両面粘着フィルムAの一方の面を貼り合わせて作製した。複合フィルムXは、その中心部が発熱体Hの中心部の真上に配置された状態で、両面粘着フィルムAの他方の面を介して支持体Bに貼り付けられた。複合フィルムXについての評価結果は、表1に示した。
(Comparative Example 1)
In Comparative Example 1, a composite film X having a size of 50 mm × 50 mm was used. The composite film X was produced by bonding one surface of the double-sided pressure-sensitive adhesive film A having no opening to one surface of the graphite film G having no opening. The composite film X was affixed to the support B via the other surface of the double-sided pressure-sensitive adhesive film A in a state where the central portion was disposed directly above the central portion of the heating element H. The evaluation results for the composite film X are shown in Table 1.

(比較例2)
比較例2では、50mm×50mmの大きさの複合フィルムYを使用した。複合フィルムYは、開口を有さないPETテープTの一方の面に、開口を有さないグラファイトフィルムGの一方の面を貼り合わせ、グラファイトフィルムGの他方の面に、開口を有さない両面粘着フィルムAの一方の面を貼り合わせて作製した。複合フィルムYは、その中心部が発熱体Hの中心部の真上に配置された状態で、両面粘着フィルムAの他方の面を介して支持体Bに貼り付けられた。複合フィルムYについての評価結果は、表1に示した。
(Comparative Example 2)
In Comparative Example 2, a composite film Y having a size of 50 mm × 50 mm was used. The composite film Y is bonded to one surface of the PET tape T having no opening on one surface of the graphite film G having no opening, and both surfaces having no opening on the other surface of the graphite film G. One side of the adhesive film A was bonded together. The composite film Y was affixed to the support B via the other surface of the double-sided pressure-sensitive adhesive film A in a state where the central portion was disposed directly above the central portion of the heating element H. The evaluation results for the composite film Y are shown in Table 1.

(比較例3)
比較例3では、50mm×50mmの大きさの複合フィルムZを使用した。複合フィルムZは、10mm×10mmの大きさの開口を中央に有するPETテープTの一方の面に、10mm×10mmの大きさの開口を中央に有するグラファイトフィルムGの一方の面を貼り合わせ、グラファイトフィルムGの他方の面に、10mm×10mmの大きさの開口を中央に有する両面粘着フィルムAの一方の面を貼り合わせて作製した。つまり、複合フィルムZは、厚み方向にすべての層を貫通する10mm×10mmの開口を有する。複合フィルムYは、開口の中心部が発熱体Hの中心部の真上に配置された状態で、両面粘着フィルムAの他方の面を介して支持体Bに貼り付けられた。複合フィルムZについての評価結果は、表1に示した。
(Comparative Example 3)
In Comparative Example 3, a composite film Z having a size of 50 mm × 50 mm was used. The composite film Z is bonded to one surface of a PET tape T having an opening of 10 mm × 10 mm in the center with one surface of a graphite film G having an opening of 10 mm × 10 mm in the center. One side of the double-sided pressure-sensitive adhesive film A having an opening having a size of 10 mm × 10 mm at the center was bonded to the other side of the film G to prepare it. That is, the composite film Z has an opening of 10 mm × 10 mm penetrating all layers in the thickness direction. The composite film Y was affixed to the support B via the other surface of the double-sided pressure-sensitive adhesive film A in a state where the center of the opening was disposed directly above the center of the heating element H. The evaluation results for the composite film Z are shown in Table 1.

Figure 2012160503
Figure 2012160503

以上のように、本実施形態に係る複合フィルムは、面方向に熱を効率的に拡散させ、かつ密閉空間を形成する開口が断熱層として機能するので、熱源が発熱することにより熱源に対向する部材に発生するヒートスポットをより確実に抑制できる。特に実施例1から3に示す複合フィルムはヒートスポットの抑制に優れた効果を発揮する。   As described above, the composite film according to the present embodiment efficiently diffuses heat in the surface direction, and the opening that forms the sealed space functions as a heat insulating layer, so that the heat source generates heat and faces the heat source. A heat spot generated in the member can be more reliably suppressed. In particular, the composite films shown in Examples 1 to 3 exhibit an excellent effect in suppressing heat spots.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。   As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した複合フィルム、デバイス、および複合フィルムの製造方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。   The execution order of each process such as operations, procedures, steps, and stages in the composite film, device, and composite film manufacturing method shown in the claims, the specification, and the drawings is particularly “before”. It should be noted that “preceding” or the like is not specified, and that the output of the previous process can be realized in any order unless it is used in the subsequent process. Regarding the operation flow in the claims, the description, and the drawings, even if it is described using “first”, “next”, etc. for convenience, it means that it is essential to carry out in this order. It is not a thing.

10 筐体
20 基板
22 電子部品
100 複合フィルム
110 第1熱伝導層
120 第1接着層
122 開口
130 保護層
200 デバイス
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Case 20 Board | substrate 22 Electronic component 100 Composite film 110 1st heat conductive layer 120 1st contact bonding layer 122 Opening 130 Protective layer 200 Device

Claims (28)

面方向の熱伝導率が厚み方向の熱伝導率より高い第1熱伝導層と、
前記第1熱伝導層の一方の面側に積層されており、開口を有する第1バッファ層とを備える複合フィルム。
A first thermal conduction layer having a thermal conductivity in the plane direction higher than that in the thickness direction;
A composite film comprising: a first buffer layer laminated on one surface side of the first heat conductive layer and having an opening.
前記第1熱伝導層を介して熱源に対向する位置に前記開口が配置されることにより、前記熱源に対向する部材に発生するヒートスポットを抑制するヒートスポット抑制フィルムである請求項1に記載の複合フィルム。   The heat spot suppressing film according to claim 1, wherein the opening is disposed at a position facing the heat source via the first heat conductive layer, thereby suppressing a heat spot generated in a member facing the heat source. Composite film. 熱源に対向する部材の前記熱源側の面に前記第1バッファ層が貼り付けられることにより、前記開口が密閉される請求項1または請求項2に記載の複合フィルム。   The composite film according to claim 1, wherein the opening is sealed by attaching the first buffer layer to a surface of the member facing the heat source on the heat source side. 前記第1バッファ層は、熱源に対向する部材と前記第1熱伝導層とを接着する接着層である請求項1から請求項3のいずれか1つに記載の複合フィルム。   4. The composite film according to claim 1, wherein the first buffer layer is an adhesive layer that bonds a member facing a heat source and the first heat conductive layer. 5. 前記第1バッファ層は、
前記第1熱伝導層の前記第1バッファ層側の面を保護する保護層と、
熱源に対向する部材と前記保護層とを接着する接着層とを有する請求項1から請求項3のいずれか1つに記載の複合フィルム。
The first buffer layer includes:
A protective layer for protecting the first buffer layer side surface of the first thermal conductive layer;
The composite film according to any one of claims 1 to 3, further comprising a member facing the heat source and an adhesive layer that adheres the protective layer.
前記開口は、前記第1バッファ層を厚み方向に貫通している請求項1から請求項5のいずれか1つに記載の複合フィルム。   The composite film according to any one of claims 1 to 5, wherein the opening penetrates the first buffer layer in a thickness direction. 前記接着層に前記開口が設けられている請求項4または請求項5に記載の複合フィルム。   The composite film according to claim 4, wherein the opening is provided in the adhesive layer. 前記接着層は、両面粘着フィルムである請求項7に記載の複合フィルム。   The composite film according to claim 7, wherein the adhesive layer is a double-sided pressure-sensitive adhesive film. 前記保護層に前記開口が設けられている請求項5に記載の複合フィルム。   The composite film according to claim 5, wherein the opening is provided in the protective layer. 前記開口は、前記開口が設けられる層を厚み方向に貫通している請求項7から請求項9のいずれか1つに記載の複合フィルム。   The composite film according to any one of claims 7 to 9, wherein the opening penetrates a layer in which the opening is provided in a thickness direction. 前記第1バッファ層は、配列された複数の前記開口を有する請求項1から請求項10のいずれか1つに記載の複合フィルム。   The composite film according to claim 1, wherein the first buffer layer has a plurality of the openings arranged. 前記第1熱伝導層の前記第1バッファ層側の面と反対側の面を保護する保護層をさらに備える請求項1から請求項11のいずれか1つに記載の複合フィルム。   The composite film according to any one of claims 1 to 11, further comprising a protective layer that protects a surface of the first thermal conductive layer opposite to the surface on the first buffer layer side. 前記第1バッファ層の前記第1熱伝導層側の面とは反対側の面側に積層されており、面方向の熱伝導率が厚み方向の熱伝導率より高い第2熱伝導層と、
前記第2熱伝導層の前記第1バッファ層側の面とは反対側の面側に積層されており、開口を有する第2バッファ層と
をさらに備える請求項1から請求項12のいずれか1つに記載の複合フィルム。
The second buffer layer is laminated on the surface side opposite to the surface of the first buffer layer on the first heat conductive layer side, and the second heat conductive layer has a higher thermal conductivity in the plane direction than the thermal conductivity in the thickness direction,
13. The semiconductor device according to claim 1, further comprising: a second buffer layer that is laminated on a surface of the second heat conductive layer opposite to the surface on the first buffer layer side and that has an opening. Composite film as described in 1.
前記第1バッファ層の前記開口の面積は、前記第2バッファ層の前記開口の面積と異なる請求項13に記載の複合フィルム。   The composite film according to claim 13, wherein an area of the opening of the first buffer layer is different from an area of the opening of the second buffer layer. 前記第1バッファ層の前記開口の面積は、前記第2バッファ層の前記開口の面積より小さい請求項14に記載の複合フィルム。   The composite film according to claim 14, wherein an area of the opening of the first buffer layer is smaller than an area of the opening of the second buffer layer. 前記第1バッファ層および前記第2バッファ層は、複数の前記開口を有し、
前記第1バッファ層が有する前記複数の開口の合計面積は、前記第2バッファ層が有する前記複数の開口の合計面積より小さい請求項15に記載の複合フィルム。
The first buffer layer and the second buffer layer have a plurality of the openings,
The composite film according to claim 15, wherein a total area of the plurality of openings included in the first buffer layer is smaller than a total area of the plurality of openings included in the second buffer layer.
前記第1熱伝導層は、高分子フィルムを熱処理して作製されるグラファイトフィルムである請求項1から請求項16のいずれか1つに記載の複合フィルム。   The composite film according to any one of claims 1 to 16, wherein the first heat conductive layer is a graphite film produced by heat-treating a polymer film. 熱源と、
前記熱源を収容する筐体と、
前記熱源と前記筐体の内壁との間に配置される請求項1から請求項17のいずれか1つに記載の複合フィルムと
を備え、
前記第1バッファ層は、前記第1熱伝導層より前記筐体の内壁側に設けられており、
前記開口は、前記熱源に対向する位置に配置されているデバイス。
A heat source,
A housing that houses the heat source;
The composite film according to any one of claims 1 to 17, wherein the composite film is disposed between the heat source and an inner wall of the housing.
The first buffer layer is provided on the inner wall side of the housing from the first heat conductive layer,
The opening is a device disposed at a position facing the heat source.
前記複合フィルムは、前記筐体の前記内壁に貼り付けられている請求項18に記載のデバイス。   The device according to claim 18, wherein the composite film is attached to the inner wall of the housing. 両面粘着フィルムに、開口を形成する工程と、
前記開口が形成された前記両面粘着フィルムを、面方向の熱伝導率が厚み方向の熱伝導率より高い熱伝導フィルムに貼り付ける工程と
を備える複合フィルムの製造方法。
Forming an opening in the double-sided adhesive film;
A method of manufacturing a composite film comprising: attaching the double-sided pressure-sensitive adhesive film in which the opening is formed to a heat conductive film having a heat conductivity in a surface direction higher than a heat conductivity in a thickness direction.
厚み方向に貫通する開口を有し、面方向の熱伝導率が厚み方向の熱伝導率より高い熱伝導層と、
前記熱伝導層の一方の面に積層されている第1バッファ層と、
前記熱伝導層の他方の面に積層されている第2バッファ層と
を備え、
前記第1バッファ層と前記第2バッファ層とにより前記開口が密閉された複合フィルム。
A heat conductive layer having an opening penetrating in the thickness direction, the thermal conductivity in the plane direction being higher than the thermal conductivity in the thickness direction;
A first buffer layer laminated on one surface of the heat conducting layer;
A second buffer layer laminated on the other surface of the heat conductive layer,
A composite film in which the opening is sealed by the first buffer layer and the second buffer layer.
熱源に対向する位置に前記開口が配置されることにより、前記熱源に対向する部材に発生するヒートスポットを抑制するヒートスポット抑制フィルムである請求項21に記載の複合フィルム。   The composite film according to claim 21, wherein the composite film is a heat spot suppressing film that suppresses a heat spot generated in a member facing the heat source by disposing the opening at a position facing the heat source. 前記第1バッファ層は、熱源に対向する部材と前記熱伝導層とを接着する接着層を有する請求項21または請求項22に記載の複合フィルム。   23. The composite film according to claim 21, wherein the first buffer layer has an adhesive layer that bonds a member facing a heat source and the heat conductive layer. 前記第2バッファ層は、前記熱伝導層を保護する保護層を有する請求項21から請求項23のいずれか1つに記載の複合フィルム。   The composite film according to any one of claims 21 to 23, wherein the second buffer layer includes a protective layer that protects the heat conductive layer. 前記熱伝導層は、高分子フィルムを熱処理して作製されるグラファイトフィルムである請求項21から請求項24のいずれか1つに記載の複合フィルム。   The composite film according to any one of claims 21 to 24, wherein the heat conductive layer is a graphite film produced by heat-treating a polymer film. 熱源と、
前記熱源を収容する筐体と、
前記熱源と前記筐体の内壁との間に配置される請求項21から請求項25のいずれか1つに記載の複合フィルムと
を備え、
前記開口は、前記熱源に対向する位置に配置されているデバイス。
A heat source,
A housing that houses the heat source;
The composite film according to any one of claims 21 to 25, which is disposed between the heat source and an inner wall of the housing.
The opening is a device disposed at a position facing the heat source.
前記複合フィルムは、前記筐体の前記内壁に貼り付けられている請求項26に記載のデバイス。   27. The device according to claim 26, wherein the composite film is attached to the inner wall of the housing. 面方向の熱伝導率が厚み方向の熱伝導率より高い熱伝導フィルムに、厚み方向に貫通する開口を形成する工程と、
前記開口が形成された前記熱伝導フィルムの一方の面に、前記開口の前記一方の面側を塞ぐ第1フィルムを貼り付ける工程と、
前記開口が形成された前記熱伝導フィルムの他方の面に、前記開口の前記他方の面側を塞ぐ第2フィルムを貼り付ける工程と
を備える複合フィルムの製造方法。
A step of forming an opening penetrating in the thickness direction in the heat conductive film having a thermal conductivity in the plane direction higher than the thermal conductivity in the thickness direction;
A step of attaching a first film that closes the one surface side of the opening to the one surface of the heat conductive film in which the opening is formed;
A method of manufacturing a composite film, comprising: attaching a second film that closes the other surface side of the opening to the other surface of the heat conductive film in which the opening is formed.
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