JP2012156378A - 半導体レーザ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体レーザは、回折格子10が設けられたDBR(Distributed Bragg Reflector)領域11と、回折格子10が設けられていないFP(Fabry-Perot)領域12とを有する。DBR領域11と出射端面13との間に光導波路部14が配置されている。共振器長方向において、光導波路部14の長さはDBR領域11の長さ以上である。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る半導体レーザの共振器長方向に沿った断面図である。n型GaAs基板1上に、n型AlGaInPクラッド層2、光ガイド層3、活性層4、光ガイド層5、回折格子層6、埋め込み層7、p型AlGaInPクラッド層8、及びp型コンタクト層9が順番に積層されている。
図2は、本発明の実施の形態2に係る半導体レーザの共振器長方向に沿った断面図である。DBR領域11とFP領域12の間に第1のテーパ導波路15が設けられ、DBR領域11と光導波路部14の間に第2のテーパ導波路16が設けられている。第1及び第2のテーパ導波路15,16において、DBR領域11に向かって半導体層が次第に薄くなる。
図3は、本発明の実施の形態3に係る半導体レーザの共振器長方向に沿った上面図である。図4は図3のA−A´に沿った断面図であり、図5は図3のB−B´に沿った断面図である。DBR領域11とFP領域12の間に第1のテーパ導波路15が設けられ、DBR領域11と光導波路部14の間に第2のテーパ導波路16が設けられている。DBR領域11、FP領域12、光導波路部14、及び第1及び第2のテーパ導波路15,16においてリッジ17が設けられている。第1及び第2のテーパ導波路15,16において、DBR領域11に向かってリッジ17の幅が次第に狭くなる。DBR領域11、FP領域12、及び光導波路部14では、リッジ17はストレート形状である。
図6は、本発明の実施の形態4に係る半導体レーザの共振器長方向に沿った断面図である。n型GaAs基板1上に、n型AlGaInPクラッド層2、光ガイド層3、活性層4、光ガイド層5、p型AlGaInPクラッド層18、回折格子層6、埋め込み層7、p型AlGaInPクラッド層8、及びp型コンタクト層9が順番に積層されている。
6 回折格子層
7 埋め込み層
8,18 p型AlGaInPクラッド層
10 回折格子
11 DBR領域
12 FP領域
13 出射端面
14 光導波路部
15 第1のテーパ導波路
16 第2のテーパ導波路
17 リッジ
Claims (5)
- 回折格子が設けられたDBR(Distributed Bragg Reflector)領域と、前記回折格子が設けられていないFP(Fabry-Perot)領域とを有する半導体レーザにおいて、
前記DBR領域と出射端面との間に配置された光導波路部を備え、
共振器長方向において、前記光導波路部の長さは前記DBR領域の長さ以上であることを特徴とする半導体レーザ。 - 前記回折格子は、回折格子層の一部を周期的にエッチングで除去し、その上に埋め込み層を成長させることで設けられ、
前記回折格子層と前記埋め込み層の平均屈折率は、前記回折格子層と前記埋め込み層にそれぞれ隣接する半導体層の屈折率よりも高いことを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ。 - 前記DBR領域と前記FP領域の間に設けられた第1のテーパ導波路と、
前記DBR領域と前記光導波路部の間に設けられた第2のテーパ導波路とを更に備え、
前記第1及び第2のテーパ導波路において、前記DBR領域に向かって半導体層が次第に薄くなることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体レーザ。 - 前記DBR領域と前記FP領域の間に設けられた第1のテーパ導波路と、
前記DBR領域と前記光導波路部の間に設けられた第2のテーパ導波路とを更に備え、
前記DBR領域、前記FP領域、前記光導波路部、及び前記第1及び第2のテーパ導波路においてリッジが設けられ、
前記第1及び第2のテーパ導波路において、前記DBR領域に向かって前記リッジの幅が次第に狭くなることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体レーザ。 - 活性層と、
前記活性層を挟むAlGaInPクラッド層と、
前記AlGaInPクラッド層内に設けられた埋め込み層と、
前記埋め込み層内に埋め込まれ、回折格子が形成された回折格子層とを備え、
前記埋め込み層は、AlGaAs、又は前記AlGaInPクラッド層と異なるAl組成比を持つAlGaInPであり、
前記回折格子層は、前記埋め込み層とAl組成比の異なるAlGaAs、InGaP、又は前記AlGaInPクラッド層及び前記埋め込み層と異なるAl組成比を持つAlGaInPであることを特徴とする半導体レーザ。
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