JP2012152668A - 付着物除去装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズル本体のノズル孔の内周面に付着した付着物を確実に除去できるようにする。
【解決手段】ノズル保持部３０により、ノズル本体５０の先端部を貯留槽２０内の液媒体に浸漬させ、ノズル本体５０の先端部が貯留槽２０の底面と所定の間隙を存して対向するようにノズル本体５０を保持する。そして、超音波振動子２１によってノズル本体５０を振動させている間に、吸引部４０によってノズル本体５０のノズル孔５０ａを介して液媒体を吸引する。
【選択図】図５

Description

本発明は、ノズル本体のノズル孔の内周面に付着した付着物を除去するための付着物除去装置に関するものである。

従来より、ディスペンサ装置から供給される半田や銀ペーストが塗布された基板上に、ＩＣチップ等の電子部品を搭載するマウンタと呼ばれる部品搭載装置が知られている。

このマウンタは、装置の前後左右方向及び上下方向に可動するマウンタヘッドを備えている。マウンタヘッドには、電子部品を吸着保持するマウンタノズルが取り付けられている（例えば、特許文献１参照）。

ところで、このマウンタノズルは、負圧によって電子部品を吸着保持している。そのため、吸着動作を行う際に埃や半田を吸い込むことがあり、マウンタノズルのノズル孔が目詰まりし、電子部品を吸着する吸着力が低下してしまうという問題がある。

一方、ディスペンサ装置には、半田や銀ペーストを供給するためのディスペンサノズルが取り付けられている。このディスペンサノズルでは、ノズル孔の内周面に半田や銀ペーストが付着して目詰まりし、基板に塗布する半田や銀ペーストの供給量にバラツキが生じてしまうという問題がある。

そこで、マウンタノズルやディスペンサノズルでは、定期的に装置から取り外して洗浄し、ノズル孔の内周面に付着した付着物を除去する必要がある。例えば、特許文献２に従来例（図５参照）として記載されているような超音波洗浄技術を用いて洗浄を行っている。

具体的に、この超音波洗浄装置では、洗浄槽の底板裏面に超音波振動子を取り付けておき、洗浄槽内に洗浄液を満たし、超音波振動子を振動させて洗浄槽を介して洗浄液を振動させることで、洗浄液中に小さな気泡を発生させ、この気泡が基板に当たって壊れるときの衝撃波で、マウンタノズルやディスペンサノズルに付着した付着物を引き剥がすようにしている。

特開平５−３４３８９２号公報 特開２０００−１０７７１２号公報

しかしながら、従来の超音波洗浄装置では、洗浄液中に小さな気泡を発生させて付着物を引き剥がすようにしているため、ノズル孔の孔径が小さい場合には、気泡がノズル孔内に入り込むことができず、ノズル孔の内周面に付着した付着物を十分に除去できないという問題があった。

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ノズル本体のノズル孔の内周面に付着した付着物を確実に除去できるようにすることにある。

本発明は、ノズル本体の軸方向に貫通するノズル孔の内周面に付着した付着物を除去するための付着物除去装置を対象とし、次のような解決手段を講じた。

すなわち、第１の発明は、振動伝達媒体としての液媒体を貯留する貯留槽と、
前記ノズル本体の先端部を前記液媒体に浸漬させ、且つ該ノズル本体の先端部が前記貯留槽の底面と所定の間隙を存して対向するように該ノズル本体を保持するノズル保持部と、
前記貯留槽に取り付けられ、前記液媒体を介して前記ノズル本体に振動を与える超音波振動子と、
前記超音波振動子によって前記ノズル本体を振動させている間に、該ノズル本体のノズル孔を介して前記液媒体を吸引する吸引部とを備えたことを特徴とするものである。

第２の発明は、ノズル本体の軸方向に貫通するノズル孔の内周面に付着した付着物を除去するための付着物除去装置を対象とし、次のような解決手段を講じた。

すなわち、第２の発明は、振動伝達媒体としての液媒体を貯留する貯留槽と、
前記ノズル本体の先端部を前記液媒体に浸漬させ、且つ該ノズル本体の先端部が前記貯留槽の底面と所定の間隙を存して対向するように該ノズル本体を保持するノズル保持部と、
前記ノズル保持部に取り付けられ、前記ノズル本体に振動を与える超音波振動子と、
前記超音波振動子によって前記ノズル本体を振動させている間に、該ノズル本体のノズル孔を介して前記液媒体を吸引する吸引部とを備えたことを特徴とするものである。

第３の発明は、第１の発明において、
前記超音波振動子は、前記ノズル保持部にも取り付けられ、前記ノズル本体に振動を与えるように構成されていることを特徴とするものである。

第４の発明は、第１の発明において、
前記貯留槽の底面から前記ノズル本体の先端までの距離は、前記超音波振動子の振動周波数の１／４波長以下に設定されていることを特徴とするものである。

第５の発明は、第１乃至第４の発明のうち何れか１つにおいて、
前記吸引部は、前記ノズル本体のノズル孔を介して前記液媒体を吸引する吸引動作と、吸引動作を停止する停止動作とを、所定の周期で切り換えるように構成されていることを特徴とするものである。

第６の発明は、第１乃至第５の発明のうち何れか１つにおいて、
前記ノズル本体の基端部には、前記ノズル孔よりも大径の凹部が形成され、
前記ノズル保持部には、前記ノズル本体を保持する際に前記凹部に嵌合される筒状の嵌合部材が設けられていることを特徴とするものである。

第７の発明は、第１乃至第６の発明のうち何れか１つにおいて、
前記吸引部は、付着物の除去が完了した前記ノズル本体のノズル孔内に残存する前記液媒体を吸引除去して該ノズル孔を乾燥させる乾燥動作を行うように構成されていることを特徴とするものである。

第１の発明によれば、超音波振動子によって液媒体を介してノズル本体を振動させている間に、ノズル本体のノズル孔を介して液媒体を吸引するようにしたから、ノズル本体を伝搬する振動と、ノズル孔内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動によって、ノズル孔の内周面に付着した付着物を剥離させて除去することができる。

さらに、例えば、銀ペーストが付着したノズル本体に対して本発明を適用すれば、ノズル本体から剥離させた銀成分を回収して再利用することもできる。

第２の発明によれば、超音波振動子によってノズル本体を振動させている間に、ノズル本体のノズル孔を介して液媒体を吸引するようにしたから、ノズル本体を伝搬する振動と、ノズル孔内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動によって、ノズル孔の内周面に付着した付着物を剥離させて除去することができる。

第３の発明によれば、貯留槽とノズル保持部とにそれぞれ取り付けられた超音波振動子によってノズル本体を振動させることができ、ノズル本体を伝搬する振動と、ノズル孔内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動をさらに大きくして、ノズル孔の内周面に付着した付着物を剥離させて除去することができる。

第４の発明によれば、貯留槽の底面からノズル本体の先端までの距離を、超音波振動子の振動周波数の１／４波長以下となるように設定したから、振動のプラスとなる強い振動波のみをノズル本体の先端に伝達させることが可能となり、ノズル本体の振動効率をさらに高めることができて、ノズル孔から付着物を効率的に剥離することができる。

第５の発明によれば、ノズル本体のノズル孔を介して液媒体を吸引する吸引動作と、吸引動作を停止する停止動作とを、所定の周期で切り換えるようにしたから、常に吸引動作を行う場合に比べて、ノズル孔の内周面に付着した付着物の剥離効果が向上し、付着物を確実に除去することができる。

第６の発明によれば、ノズル本体の基端部に形成された凹部に液媒体が残存するのを抑制することができる。具体的に、ノズル本体の基端部には、マウンタヘッドに取り付けるための接続口としての凹部が開口している。この凹部は、ノズル孔よりも大径であるため、凹部とノズル孔との間には段差部が形成されることとなる。そして、吸引部によってノズル本体の基端側から液媒体を吸引すると、この段差部に液媒体が残存するおそれがある。

これに対し、本発明では、ノズル本体の凹部に筒状の嵌合部材を嵌合するようにしたから、ノズル孔から吸引された液媒体は、段差部を通ることなく嵌合部材の内部を通過することとなり、ノズル孔と凹部との段差部に液媒体が残存するのを抑制することができる。

第７の発明によれば、付着物の除去が完了した後、引き続き吸引部を作動させることで、ノズル本体のノズル孔内に残存する液媒体を吸引除去してノズル孔を乾燥させることができる。これにより、１つの吸引部で、付着物の除去作業とノズル本体の乾燥作業とを行うことができる。

本発明の実施形態に係る付着物除去装置の構成を示す正面図である。 付着物除去装置の構成を示す平面図である。 貯留槽の構成を示す平面図である。 貯留槽の構成を示す側面図である。 ノズル保持部及び吸引部の構成を示す正面断面図である。 ノズル本体をノズル保持部に保持する手順を説明する図である。 ノズル本体の凹部に嵌合チューブを嵌合する手順を説明する図である。 本変形例に係る付着物除去装置の構成を示す正面図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。

《全体構成》
図１は、本発明の実施形態に係る付着物除去装置の構成を示す正面図、図２は平面図である。図１及び図２に示すように、付着物除去装置１０は、本体架台１１を備え、本体架台１１の上部には、貯留槽２０、ノズル保持部３０、及び吸引部４０が配設されている。

本体架台１１内の下部には、電源ＯＮ／ＯＦＦや各種設定を行うための複数のスイッチ等が設けられた制御ボックス１２が収容されている。また、本体架台１１の下面の４隅には、本体架台１１を支持する支持脚１３が取り付けられている。本体架台１１の奥側（図２における上側）には、振動伝達媒体としての液媒体を貯留する回収タンク１５が配設されている。本実施形態では、液媒体として強アルカリ水や電解水を用いている。

回収タンク１５には、吸引ポンプ２４と、給水ポンプ２５とが接続されている。具体的に、吸引ポンプ２４は、ポンプ配管２４ａを介して回収タンク１５に接続され、回収タンク１５内の空気を吸引することで、回収タンク１５内を負圧とする。その結果、後述する排水管２７及び吸引管４４を介して回収タンク１５内に液媒体が回収される。給水ポンプ２５は、給水管２６を介して回収タンク１５に接続され、回収タンク１５から汲み上げた液媒体を貯留槽２０に供給する。

図３は、貯留槽の構成を示す平面図、図４は側面図である。図３及び図４に示すように、貯留槽２０は、回収タンク１５から供給された液媒体を貯留するものであり、その底板裏面の中央位置には、超音波振動子２１が取り付けられている。超音波振動子２１は、貯留槽２０の底板を振動させることで、液媒体に振動を与える。なお、本実施形態では１個の超音波振動子２１を用いた構成について説明しているが、個数は特に限定するものではなく、貯留槽２０の大きさ等に応じて適宜設定可能である。

貯留槽２０には、給水孔２１ａ、排水孔２１ｂ、及びオーバーフロー孔２１ｃが形成されている。給水孔２１ａと回収タンク１５とは、給水管２６を介して接続されている。給水ポンプ２５（図２参照）によって回収タンク１５から汲み上げられた液媒体は、給水管２６及び給水孔２１ａを介して貯留槽２０に供給される。

貯留槽２０内における給水孔２１ａの上方には、遮蔽板２２が配設されている。遮蔽板２２は、給水孔２１ａから貯留槽２０内に供給される液媒体が勢いよく吹き出した際に、液媒体が貯留槽２０外にこぼれないように給水孔２１ａの上方を覆っている。

排水孔２１ｂと回収タンク１５とは、排水管２７を介して接続されている。ここで、貯留槽２０内に給水される液媒体の給水量と、排水管２７から排水される液媒体の排水量とは、略同じ流量となるように設定されている。これにより、貯留槽２０における液媒体の液深を一定に保つとともに、貯留槽２０内において給水孔２１ａから排水孔２１ｂに向かう液媒体の循環流路を形成することができる。

オーバーフロー孔２１ｃと回収タンク１５とは、排水管２７を介して接続されている。オーバーフロー孔２１ｃには、貯留槽２０内で上方に延びる筒状部材２３が取り付けられている。筒状部材２３は、貯留槽２０から液媒体がオーバーフローするのを防止するためのものであり、液媒体の水位が筒状部材２３の上端よりも高くなったときに、筒状部材２３及びオーバーフロー孔２１ｃを介して液媒体が排水されるようになっている。

図５は、ノズル保持部及び吸引部の構成を示す正面断面図である。図５に示すように、ノズル本体５０は、基板上にＩＣチップ等の電子部品を搭載するマウンタ装置に取り付けられ、電子部品を吸着保持するマウンタノズルである。なお、ノズル本体５０は、半田や銀ペーストを供給するディスペンサ装置に取り付けられるディスペンサノズルであってもよい。

ノズル本体５０には、軸方向に貫通するノズル孔５０ａが形成されている。ノズル本体５０の基端部（図５で上側）には、マウンタ装置に取り付けるための接続口として、ノズル孔５０ａよりも大径の凹部５０ｂが形成されている。ノズル本体５０の軸方向の中央位置には、径方向に拡がるフランジ部５１が設けられている。本実施形態に係る付着物除去装置１０では、このノズル孔５０ａの内周面に付着した半田や銀ペースト等の付着物を除去することを目的としている。

ノズル保持部３０は、ノズル本体５０のフランジ部５１を挟み込んで保持する一対のベース板３１及び保持板３２を備えている。図６にも示すように、ベース板３１には、ノズル本体５０のフランジ部５１を収容する複数の収容凹部３１ａが形成されている。具体的に、収容凹部３１ａは、左右方向に間隔をあけて４つ形成された列が、奥行方向（図２で上下方向）に間隔をあけて５列形成され、合計２０個のノズル本体５０を収容できるようになっている。なお、収容凹部３１ａの個数や配置はあくまでも一例であり、この形態に限定するものではない。

収容凹部３１ａの中央位置には、挿通孔３１ｂが形成されている。ノズル本体５０の先端部を挿通孔３１ｂに挿通させることで、ベース板３１の下面からノズル本体５０の先端部が突出した状態となる。

保持板３２には、ノズル本体５０の基端部に嵌合する嵌合孔３２ａが形成されている。嵌合孔３２ａの上下両端部は、テーパー状に形成されている。ノズル本体５０は、そのフランジ部５１がベース板３１と保持板３２とに挟まれて保持される。

保持板３２の上部には、チューブ保持板３３が取り付けられる。チューブ保持板３３には、ベース板３１に形成された複数の収容凹部３１ａの配置（つまり、ノズル本体５０の配置）に対応して、複数の嵌合チューブ３５（嵌合部材）が埋め込まれている。具体的に、保持板３２には、左右方向に間隔をあけて４つ形成された列が、奥行方向（図２で上下方向）に間隔をあけて５列形成され、合計２０個の嵌合チューブ３５が設けられている。嵌合チューブ３５の下端部は、ノズル本体５０の凹部５０ｂ内に嵌合されている。

チューブ保持板３３は、吸引部４０の下部に取り付けられている。このとき、ノズル保持部３０に保持されたノズル本体５０の先端部は、貯留槽２０に貯留された液媒体に浸漬されている。これにより、超音波振動子２１から液媒体に与えられた振動は、液媒体を介してノズル本体５０に伝達され、ノズル本体５０が振動するようになっている。

ノズル本体５０の先端部は、貯留槽２０の底面と所定の間隙を存して対向している。具体的に、貯留槽２０の底面からノズル本体５０の先端までの距離は、超音波振動子２１の振動周波数の１／４波長以下となるように設定されている。このようにすれば、振動のプラスとなる強い振動波のみをノズル本体５０の先端に伝達させることが可能となり、ノズル本体５０の振動効率をさらに高めることができて、ノズル孔５０ａの内周面に付着した付着物を効率的に剥離することができる。

吸引部４０は、内部に負圧室４５を有する吸引タンク４１と、吸引ポンプ２４（図２参照）とを備えている。吸引タンク４１は、上方が開口した箱状に形成された本体部４３と、本体部４３の上方開口を覆う透明板４６とを備えている。本体部４３の上方開口の周縁には、フランジ面４３ａが形成されている。フランジ面４３ａと透明板４６との間にはシール材４８が挟み込まれてシールされている。透明板４６は、取付板４７によって本体部４３のフランジ面４３ａに取り付けられている。具体的に、取付板４７は、透明板４６の４辺にそれぞれ沿って延びる４枚の板状部材で構成され、締結ボルト（図示省略）で締結されている。このように、吸引タンク４１の上部に透明板４６を取り付けることで、負圧室４５内の様子を透明板４６から視認することができる。

吸引タンク４１の底板には、矩形状の開口孔４１ａと、吸引孔４１ｂとが形成されている。開口孔４１ａは、チューブ保持板３３によって塞がれている。チューブ保持板３３と開口孔４１ａの周縁との間にはシール材４８が挟み込まれてシールされている。

吸引孔４１ｂと回収タンク１５とは、吸引管４４を介して接続されている。回収タンク１５内は、吸引ポンプ２４によって負圧とされている。そのため、吸引タンク４１の負圧室４５内の空気が回収タンク１５内に吸引され、負圧室４５内が負圧とされる。

ここで、ノズル保持部３０で保持されたノズル本体５０の先端部は、貯留槽２０の液媒体に浸漬している。また、ノズル本体５０は、超音波振動子２１で発生させた超音波振動により、液媒体を介して振動している。つまり、吸引タンク４１の負圧室４５内には、ノズル本体５０が振動している間に、ノズル本体５０のノズル孔５０ａ及び嵌合チューブ３５を介して貯留槽２０内の液媒体が吸引される。このようにすれば、ノズル本体５０を伝搬する振動と、ノズル孔５０ａ内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動によって、ノズル孔５０ａの内周面に付着した付着物が剥離して除去される。

吸引タンク４１の負圧室４５内に吸引された液媒体及び付着物は、吸引孔４１ｂ及び吸引管４４を介して回収タンク１５内に回収される。なお、ノズル本体５０の内周面に付着する付着物が銀ペーストであれば、ノズル本体５０から剥離させた銀成分を回収タンク１５内に堆積させて回収して、銀成分を再利用することもできる。

−付着物除去動作−
次に、ノズル本体５０のノズル孔５０ａの内周面に付着した付着物を付着物除去装置１０で除去するための動作手順について説明する。

まず、図６に示すように、ノズル本体５０の先端部をベース板３１の挿通孔３１ｂに挿通させるとともに、ノズル本体５０のフランジ部５１をベース板３１の収容凹部３１ａに嵌め込む。そして、ノズル本体５０の基端部を保持板３２の嵌合孔３２ａに嵌合させ、ノズル本体５０のフランジ部５１をベース板３１と保持板３２とで挟み込んで保持する。

次に、図７に示すように、吸引部４０の吸引タンク４１の下部にノズル保持部３０を取り付ける。このとき、ノズル本体５０の凹部５０ｂ内に、チューブ保持板３３に埋め込まれた嵌合チューブ３５を嵌合する。

このように、ノズル本体５０の凹部５０ｂに嵌合チューブ３５を嵌合すれば、凹部５０ｂ内に液媒体が残存するのを抑制することができる。具体的に、凹部５０ｂは、ノズル孔５０ａよりも大径であるため、凹部５０ｂとノズル孔５０ａとの間には段差部が形成されることとなる。そして、吸引部４０によってノズル本体５０の基端側から液媒体を吸引すると、この段差部に液媒体が残存するおそれがある。

これに対し、本実施形態では、ノズル本体５０の凹部５０ｂに嵌合チューブ３５を嵌合するようにしたから、ノズル孔５０ａから吸引された液媒体は、段差部を通ることなく嵌合チューブ３５の内部を通過することとなり、ノズル孔５０ａと凹部５０ｂとの段差部に液媒体が残存するのを抑制することができる。

そして、図１及び図２に示すように、給水ポンプ２５を作動させ、回収タンク１５内の液媒体を給水管２６を介して貯留槽２０内に供給する。貯留槽２０内に液媒体が貯留されると、ノズル保持部３０で保持されているノズル本体５０の先端部が液媒体に浸漬される。

貯留槽２０に液媒体が貯留された後、貯留槽２０の底板裏面に取り付けられた超音波振動子２１を作動させ、貯留槽２０の底板を厚さ方向に振動させる。このとき、超音波振動子２１で発生させた振動が液媒体を介してノズル本体５０に向かって伝達され、ノズル本体５０が超音波振動する。

そして、ノズル本体５０を振動させている間に、吸引ポンプ２４を作動させることで、吸引部４０の負圧室４５内を負圧にする。これにより、ノズル本体５０のノズル孔５０ａを介して貯留槽２０の液媒体が負圧室４５内に吸引される。このようにすれば、ノズル本体５０を伝搬する振動と、ノズル孔５０ａ内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動によって、ノズル孔５０ａの内周面に付着した半田や埃等の付着物が剥離される。

ここで、吸引ポンプ２４は、その作動又は停止を所定の周期で繰り返すように制御される。つまり、ノズル本体５０のノズル孔５０ａを介して液媒体を吸引する吸引動作と、吸引動作を停止する停止動作とを、所定の周期で切り換えるようにしている。このようにすれば、常に吸引動作を行う場合に比べて、ノズル孔５０ａの内周面に付着した付着物の剥離効果が向上し、付着物を確実に除去することができる。

そして、ノズル孔５０ａの内周面から剥離された付着物は、液媒体とともに吸引タンク４１の負圧室４５内に吸引される。負圧室４５内に吸引された液媒体及び付着物は、吸引孔４１ｂ及び吸引管４４を介して回収タンク１５に回収される。付着物は、回収タンク１５の底面に堆積して分離される。液媒体は、給水ポンプ２５によって汲み上げられて再び貯留槽２０に供給される。

このような処理を繰り返すことにより、ノズル孔５０ａの内周面に付着する付着物の除去が完了する。そして、付着物の除去が完了した後、給水ポンプ２５を停止させることで、貯留槽２０内の液媒体を排水する。

そして、吸引ポンプ２４を引き続き作動させたままとすることで、ノズル本体５０の乾燥動作を行う。具体的に、貯留槽２０に液媒体が貯留されていない状態で、吸引ポンプ２４によってノズル本体５０のノズル孔５０ａを介して空気を吸引する。これにより、ノズル孔５０ａ内に残存する液媒体を吸引除去して、ノズル孔５０ａを乾燥させることができる。なお、この乾燥動作を行う際にも、吸引ポンプ２４の作動又は停止を所定の周期で繰り返すように制御してもよい。

以上のように、本実施形態に係る付着物除去装置１０によれば、超音波振動子２１によって液媒体を介してノズル本体５０を振動させている間に、ノズル本体５０のノズル孔５０ａを介して液媒体を吸引するようにしたから、ノズル本体５０を伝搬する振動と、ノズル孔５０ａ内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動によって、ノズル孔５０ａの内周面に付着した付着物を剥離させて除去することができる。

《変形例》
図８は、本変形例に係る付着物除去装置の構成を示す図である。図８に示すように、本変形例では、ノズル保持部３０にも超音波振動子２１が取り付けられている。そして、貯留槽２０とノズル保持部３０とにそれぞれ取り付けられた超音波振動子２１によってノズル本体５０を振動させている間に、ノズル本体５０のノズル孔５０ａを介して液媒体を吸引するようにしている。

このような構成とすれば、ノズル本体５０を伝搬する振動と、ノズル孔５０ａ内の液媒体を伝搬する振動との伝搬速度差による振幅変動をさらに大きくして、ノズル孔５０ａの内周面に付着した付着物を剥離させて除去することができる。

なお、本変形例では、貯留槽２０とノズル保持部３０とにそれぞれ超音波振動子２１を取り付けた構成について説明したが、例えば、ノズル保持部３０にのみ超音波振動子２１を取り付け、貯留槽２０に超音波振動子２１を取り付けない構成としてもよい。

以上説明したように、本発明は、ノズル本体のノズル孔の内周面に付着した付着物を確実に除去できるという実用性の高い効果が得られることから、きわめて有用で産業上の利用可能性は高い。

１０ 付着物除去装置
２０ 貯留槽
２１ 超音波振動子
３０ ノズル保持部
３５ 嵌合チューブ（嵌合部材）
４０ 吸引部
５０ ノズル本体
５０ａ ノズル孔
５０ｂ 凹部

Claims (7)

1. ノズル本体の軸方向に貫通するノズル孔の内周面に付着した付着物を除去するための付着物除去装置であって、
   振動伝達媒体としての液媒体を貯留する貯留槽と、
   前記ノズル本体の先端部を前記液媒体に浸漬させ、且つ該ノズル本体の先端部が前記貯留槽の底面と所定の間隙を存して対向するように該ノズル本体を保持するノズル保持部と、
   前記貯留槽に取り付けられ、前記液媒体を介して前記ノズル本体に振動を与える超音波振動子と、
   前記超音波振動子によって前記ノズル本体を振動させている間に、該ノズル本体のノズル孔を介して前記液媒体を吸引する吸引部とを備えたことを特徴とする付着物除去装置。
2. ノズル本体の軸方向に貫通するノズル孔の内周面に付着した付着物を除去するための付着物除去装置であって、
   振動伝達媒体としての液媒体を貯留する貯留槽と、
   前記ノズル本体の先端部を前記液媒体に浸漬させ、且つ該ノズル本体の先端部が前記貯留槽の底面と所定の間隙を存して対向するように該ノズル本体を保持するノズル保持部と、
   前記ノズル保持部に取り付けられ、前記ノズル本体に振動を与える超音波振動子と、
   前記超音波振動子によって前記ノズル本体を振動させている間に、該ノズル本体のノズル孔を介して前記液媒体を吸引する吸引部とを備えたことを特徴とする付着物除去装置。
3. 請求項１において、
   前記超音波振動子は、前記ノズル保持部にも取り付けられ、前記ノズル本体に振動を与えるように構成されていることを特徴とする付着物除去装置。
4. 請求項１において、
   前記貯留槽の底面から前記ノズル本体の先端までの距離は、前記超音波振動子の振動周波数の１／４波長以下に設定されていることを特徴とする付着物除去装置。
5. 請求項１乃至４のうち何れか１つにおいて、
   前記吸引部は、前記ノズル本体のノズル孔を介して前記液媒体を吸引する吸引動作と、吸引動作を停止する停止動作とを、所定の周期で切り換えるように構成されていることを特徴とする付着物除去装置。
6. 請求項１乃至５のうち何れか１つにおいて、
   前記ノズル本体の基端部には、前記ノズル孔よりも大径の凹部が形成され、
   前記ノズル保持部には、前記ノズル本体を保持する際に前記凹部に嵌合される筒状の嵌合部材が設けられていることを特徴とする付着物除去装置。
7. 請求項１乃至６のうち何れか１つにおいて、
   前記吸引部は、付着物の除去が完了した前記ノズル本体のノズル孔内に残存する前記液媒体を吸引除去して該ノズル孔を乾燥させる乾燥動作を行うように構成されていることを特徴とする付着物除去装置。

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