JP2012151198A - バスバと配線の接合構造 - Google Patents

バスバと配線の接合構造 Download PDF

Info

Publication number
JP2012151198A
JP2012151198A JP2011007466A JP2011007466A JP2012151198A JP 2012151198 A JP2012151198 A JP 2012151198A JP 2011007466 A JP2011007466 A JP 2011007466A JP 2011007466 A JP2011007466 A JP 2011007466A JP 2012151198 A JP2012151198 A JP 2012151198A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bus bar
wiring
resin
bonding
bonding tape
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2011007466A
Other languages
English (en)
Inventor
Nobuaki Inagaki
信明 稲垣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyota Motor Corp
Original Assignee
Toyota Motor Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyota Motor Corp filed Critical Toyota Motor Corp
Priority to JP2011007466A priority Critical patent/JP2012151198A/ja
Publication of JP2012151198A publication Critical patent/JP2012151198A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/4501Shape
    • H01L2224/45012Cross-sectional shape
    • H01L2224/45014Ribbon connectors, e.g. rectangular cross-section
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45117Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 400°C and less than 950°C
    • H01L2224/45124Aluminium (Al) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48135Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/48137Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48135Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/48137Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate
    • H01L2224/48139Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate with an intermediate bond, e.g. continuous wire daisy chain
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/4846Connecting portions with multiple bonds on the same bonding area
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/4847Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond
    • H01L2224/48472Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond the other connecting portion not on the bonding area also being a wedge bond, i.e. wedge-to-wedge
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/4901Structure
    • H01L2224/4903Connectors having different sizes, e.g. different diameters
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1305Bipolar Junction Transistor [BJT]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1305Bipolar Junction Transistor [BJT]
    • H01L2924/13055Insulated gate bipolar transistor [IGBT]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Inverter Devices (AREA)

Abstract

【課題】バスバに対する配線の接合強度を大きくしたバスバと配線の接合構造を提供すること。
【解決手段】バスバと配線の接合構造では、バスバ40が樹脂でインサート成型されることにより樹脂ケース50に埋設され、樹脂ケース50から露出するバスバ40の上面40aにボンディングテープ70の一端部70aが超音波接合されている。このバスバと配線の接合構造において、バスバ40は、ボンディングテープ70の一端部70aとバスバ40の上面40aとの接合部分41に対する反対側の部分に、硬化した凸状樹脂51と係合する凹部40dを有している。この係合により、バスバ40の樹脂ケース50に対する振動方向の拘束力が強くなっている。このため、ボンディングテープ70の一端部70aを超音波接合する際、振動エネルギーのロスが少なくなり、バスバ40に対するボンディングテープ70の接合強度を大きくすることができる。
【選択図】 図3

Description

本発明は、樹脂でインサート成型されたバスバと配線の接合構造に関し、特に、バスバに対する配線の接合強度を大きくしたバスバと配線の接合構造に関する。
ハイブリッド自動車や電気自動車に搭載されているインバータ装置は、内部にDC−AC間の電力変換を行う電力変換器としてのパワーモジュールを備えている。このパワーモジュールでは、スイッチング素子としてのIGBTやダイオード等の半導体素子が、配線としてのボンディングワイヤやボンディングテープ等によって、バスバに電気的に接続されている。
ところで、例えば下記特許文献1に記載されているように、バスバがインサート成型された後、ボンディングワイヤ等の配線の一端部がバスバに接合(接続)されている。即ち、先ず、バスバ単体が用意され、このバスバが樹脂でインサート成型される。これにより、図8に示したように、バスバ240は、樹脂ケース(硬化した樹脂)250に埋設されることになり、埋設された部分が樹脂ケース250で電気的に絶縁されるとともに拘束される。その後、配線270の一端部270aが樹脂ケース250から露出したバスバ240の上面(一端面)240aに重ね合わされ、この重ね合わされた部分にツール280から超音波振動が印加される。これにより、配線270の一端部270aとバスバ240の上面240aとが擦り合わされて、配線270の一端部270aがバスバ240に接合されている。
特開2009−238831号公報
しかしながら、従来のバスバと配線の接合構造には、以下の問題点があった。
即ち、バスバ240がインサート成型されるとき、溶けた樹脂が冷える際に金型内でバスバ240の表面から離れるように熱収縮し、図8に示したように、バスバ240の側面240bと樹脂ケース250の埋設部(窪み部)250aの周面250bとの間に僅かな隙間SPが生じる。この隙間SPは、樹脂の熱収縮のコントロールが難しいため、避けられないものであった。
この結果、バスバ240が樹脂ケース250に完全に拘束されておらず、バスバ240の樹脂ケース250に対する振動方向(バスバ240の平面方向であって図8の矢印で示した方向)の拘束力が弱い。このため、ツール280が配線270の一端部270aに超音波振動を印加するとき、バスバ240が配線270につられて振動方向に共振する。これにより、配線270をバスバ240に接合させる振動エネルギーがロスして、配線270の一端部270aとバスバ240の上面240aとの間の摩擦が小さくなり、配線270の一端部270aがバスバ240の上面240aに適切に接合しないおそれがあった。特に近年、ボンディングワイヤの本数を削減するため、配線270としてボンディングテープが採用されるようになっていて、ボンディングワイヤに比べて接合部分が大きいボンディングテープでは、バスバ240に接合させるために大きな振動エネルギーが必要であり、上述した振動エネルギーのロスによって、バスバ240に適切に接合しない場合(接触不良)があった。
本発明は、上記した課題を解決するためになされたものであり、バスバに対する配線の接合強度を大きくしたバスバと配線の接合構造を提供することを目的とする。
上記した課題を達成するために、本発明のバスバと配線の接合構造は、以下の構成を有する。
(1)バスバが樹脂でインサート成型されることにより樹脂ケースに埋設され、前記樹脂ケースから露出する前記バスバの一端面に配線の一端部が超音波接合されている、バスバと配線の接合構造において、前記バスバは、前記配線の一端部と前記バスバの一端面との接合部分に対する反対側の部分に、硬化した樹脂と係合する係合部を有するものであること特徴とする。
(2)(1)に記載するバスバと配線の接合構造において、前記バスバの係合部は、凹部であることを特徴とする。
(3)(1)又は(2)に記載するバスバと配線の接合構造において、前記配線は、ボンディングテープであることを特徴とする。
上記したバスバと配線の接合構造の作用及び効果について説明する。
(1)本発明のバスバと配線の接合構造によれば、配線の一端部を樹脂ケースから露出するバスバの一端面に対して超音波接合する際、この接合部分と反対側の部分で、バスバの係合部が硬化した樹脂と係合している。このため、バスバの樹脂ケースに対する振動方向の拘束力を強くすることができ、特に、接合部分と反対側の部分で固定点が存在することにより、バスバが配線につられて振動方向に共振することを抑制できる。これにより、バスバの側面と樹脂ケースの埋設部の周面との間に隙間が生じていても、配線をバスバに接合させる振動エネルギーのロスが少なくなる。よって、配線の一端部とバスバの一端面との間の摩擦を大きくすることができ、バスバに対する配線の接合強度を大きくすることができる。
(2)バスバの係合部が凹部である場合には、バスバがインサート成型されるとき、溶けた樹脂が凹部に均一にたまる。その後、樹脂が冷えて固まる際、凹部にたまった樹脂では、バスバの水平方向(振動方向)の熱収縮が、バスバの厚さ方向の熱収縮より小さくなる。即ち、凹部にたまった樹脂は、バスバの水平方向に縮み難い。これにより、この凹部では熱収縮による振動方向の隙間が小さく、バスバにその他の係合部を形成する場合に比して、バスバの樹脂ケースに対する振動方向の拘束力を強くすることができる。また、バスバの係合部が凹部である場合には、例えばバスバの係合部が凸部である場合に比して、容易に係合部を形成することができる。
(3)配線がボンディングテープである場合には、配線がボンディングワイヤに比して、接合部分が大きいため、バスバに接合するために大きな振動エネルギーが必要である。このため、上述したように振動エネルギーのロスを少なくすることによって、配線がボンディングテープであっても、ボンディングテープの一端部をバスバに適切に接合させることができる。
パワーモジュールの一部を示した斜視図である。 図1に示したボンディングテープの一端部とバスバとを示した拡大平面図である。 図2に示したIII−III断面図である。 従来のバスバとボンディングテープの接合構造を示した図2相当の平面図である。 (A)溶けた樹脂が凹部に入り込む状態を示した説明図である。(B)凹部にたまった樹脂が熱収縮する状態を示した説明図である。 第2実施形態における図3相当の断面図である。 第3実施形態における図3相当の断面図である。 従来のバスバとボンディングテープの接合構造を示した図3相当の断面図である。
本発明に係るバスバと配線の接合構造について、図面を参照しながら以下に、第1実施形態を説明する。図1は、電力変換器としてのパワーモジュールの一部を示した斜視図である。図1では、パワーモジュールの構成部品のうち、半導体素子としてのIGBT10及びダイオード20と、バスバ30,40と、樹脂ケース50と、配線としての複数のボンディングワイヤ60及びボンディングテープ70とが示されている。
バスバ30,40は、導電性の金属板であり、例えばアルミニウム、銅等で構成されていて、図示しない外部の回路要素に電気的に接続されている。樹脂ケース50は、バスバ30,40をインサート材として熱可塑性樹脂(以下、「樹脂」と呼ぶ)でインサート成型することにより、形成されたものである。この樹脂ケース50は、バスバ30,40を埋設していて、バスバ30,40の埋設した部分を電気的に絶縁状態にするとともに拘束している。
各ボンディングワイヤ60は、アルミニウムで構成されたワイヤ状の電線であり、IGBT10とバスバ30とを電気的に接続するものである。各ボンディングワイヤ60の一端部60aがバスバ30に超音波接合され、各ボンディングワイヤ60の他端部60bがIGBT10に超音波接合されている。各ボンディングテープ70は、アルミニウムで構成されたテープ状の電線であり、ダイオード20及びIGBT10とバスバ40とを電気的に接続するものである。各ボンディングテープ70の一端部70aがバスバ40に超音波接合され、各ボンディングテープ70の中間部70bがダイオード20に超音波接合され、各ボンディングテープ70の他端部70cがIGBT10に超音波接合されている。
各ボンディングワイヤ60は、制御線として機能するものであり、その線径(太さ)は、100〜200μm程度である。また、各ボンディングテープ70の厚さ(太さ)は、200μm程度であり、各ボンディングテープ70の幅は、2mm程度である。なお、従来ではボンディングテープ70に換えて線径が300〜400μm程度のボンディングワイヤが用いられていたが、ボンディングテープ70はボンディングワイヤに比して大きな電流を流すことができ、1本のボンディングテープ70が3〜4本のボンディングワイヤに相当する。
ここで、図2は、図1に示したボンディングテープ70の一端部70aとバスバ40とを示した拡大平面図である。また、図3は、図2に示したIII−III断面図である。バスバ40は、図2及び図3に示し
たように、樹脂ケース50の窪み部50aに囲まれていて、上面(一端面)40aが樹脂ケース50の窪み部50aから露出している。このボンディングテープ70の一端部70aは、以下のようにしてバスバ40の上面40aに接合されている。
即ち、図3に示したように、ボンディングテープ70の一端部70aがバスバ40の上面40aに重ね合わされ、この重ね合わされた部分にツール80から超音波振動が印加される。これにより、ボンディングテープ70の一端部70aとバスバ40の上面40aとが、振動方向(バスバ40の水平方向であって、図3の矢印で示した方向)に擦り合わされる。こうして、ボンディングテープ70の一端部70aがバスバ40の上面40aに接合されている。なお、図2では、ボンディングテープ70の一端部70aとバスバ40の上面40aとの超音波振動による接合部分41が、概略的に矩形状で示されている。
ところで、図3に示したように、バスバ40の側面40bと樹脂ケース50の埋設部(窪み部)50aの周面50bとの間に、僅かな隙間SPが生じる。この隙間SPが生じるのは、バスバ40がインサート成型されるとき、溶けた樹脂が冷える際に金型内でバスバ40の表面から離れるように熱収縮するためである。この隙間SPは、樹脂の熱収縮のコントロールが難しいため、避けられないものであり、数十μm程度の大きさである。この隙間SPにより、バスバ40の樹脂ケース50に対する振動方向の拘束力が弱くなる。
そこで、この第1実施形態においては、隙間SPが生じていても、バスバ40の樹脂ケース50に対する振動方向の拘束力を強くするため、バスバ40は、図2及び図3に示したように、各ボンディングテープ70の一端部70aに対応する下面40cに、それぞれ係合部としての凹部40dを有している。
この凹部40dは、例えば、アルミニウム等の素材をプレス加工してバスバ40を形成するときに、バスバ40の下面40cに一体的に形成されるものであり、又は、プレス加工によりバスバ40を形成した後に、切削加工によりバスバ40の下面40cに形成されるものである。なお、図3において、隙間SPの大きさが誇張して示されている。また、バスバ40の下面40cと樹脂ケース50の埋設部50aの下面との間にも熱収縮によって隙間が生じているが、この隙間については省略する。
バスバ40の凹部40dでは、溶けた樹脂が入り込んで冷えることにより、硬化した凸状樹脂51が形成されている。こうして、凹部40dと凸状樹脂51が係合して、バスバ40の樹脂ケース50に対する振動方向の拘束力が強くなっている。また、凹部40dは、各接合部分41に対する反対側の部分に形成されているため、各接合部分41の直下で固定点P1が存在することになる。接合部分41に対する反対側の部分、言い換えると、接合部分41の直下とは、図2に示したように、平面視において接合部分41と重なる領域の部分を意味する。
ここで、従来のバスバとボンディングテープの接合構造について、図4を用いて説明する。図4は、ボンディングテープ170の一端部170aとバスバ140とを示した図2相当の平面図である。バスバ140は、図4に示したように、接合部分141に対してバスバの平面方向(図4の上下方向)に離れた部分に、切欠き140e及び貫通孔140fを有している。これらバスバ140の切欠き140e及び貫通孔140fでは、溶けた樹脂が入り込んで冷えることにより、硬化した樹脂が係合している。こうして、従来では、各接合部分141に対してバスバの平面方向に離れた部分に固定点P2が存在する。しかし、この場合には、各接合部分141に超音波振動が印加されるとき、各固定点P2の位置が節となり、各固定点P2の間の位置で腹が生じるため、各接合部分141の位置によって共振を抑制できないおそれがある。これに対して、この実施形態においては、図2に示したように、各接合部分41の直下で固定点P1が存在するため、各接合部分41に超音波振動が印加されるとき、各固定点P1(各接合部分41)の位置が節となって、全ての接合部分41で共振を抑制することができる。
第1実施形態の作用効果について説明する。
第1実施形態のバスバと配線の接合構造によれば、図3に示したように、各ボンディングテープ70の一端部70aをバスバ40の上面40aに対して超音波接合する際、この接合部分41と反対側の部分で、バスバ40の凹部40dが硬化した凸状樹脂51と係合している。このため、バスバ40の樹脂ケース50に対する振動方向の拘束力を強くすることができ、特に、接合部分41の直下で固定点P1が存在することにより、バスバ40がボンディングテープ70につられて振動方向に共振することを抑制できる。これにより、バスバ40の側面40bと樹脂ケース50の埋設部50aの周面50bとの間に隙間SPが生じていても、ボンディングテープ70をバスバ40に接合させる振動エネルギーのロスが少なくなる。よって、ボンディングテープ70の一端部70aとバスバ40の上面40aとの間の摩擦を大きくすることができ、バスバ40に対するボンディングテープ70の接合強度を大きくすることができる。
次に、バスバ40の係合部が凹部40dである場合の作用効果について図5を用いて説明する。図5(A)は、溶けた樹脂が凹部40dに入り込む状態を示した説明図であり、図5(B)は、凹部40dにたまった樹脂が熱収縮する状態を示した説明図である。図5(A)に示したように、バスバ40がインサート成型されるとき、溶けた樹脂は凹部40dに均一にたまる。その後、図5(B)に示したように、樹脂が冷えて固まる際、凹部40dにたまった樹脂では、バスバ40の水平方向(振動方向)の熱収縮量Xが、バスバ40の厚さ方向の熱収縮量Yより小さくなる。即ち、凹部40dにたまった樹脂は、バスバ40の水平方向に縮み難い。これにより、この凹部40dでは熱収縮による振動方向の隙間が小さく、バスバ40にその他の係合部を形成する場合に比して、バスバ40の樹脂ケース50に対する振動方向の拘束力を強くすることができる。また、バスバ40の係合部が凹部40dである場合には、容易に係合部を形成することができる。
ところで、ボンディングテープは、ボンディングワイヤに比べて接合部分が大きく、バスバに接合するために大きな振動エネルギーが必要である。このため、従来において、ボンディングテープでは、上述したように隙間SPに基づく振動エネルギーのロスによって、接合するための振動エネルギーが不足し、ボンディングワイヤに比べてバスバに対する接触不良が生じ易かった。そこで、この問題に対処すべく、この第1実施形態では、ボンディングテープ70が接合するバスバ40に凹部40dが形成されている。これにより、ボンディングテープ70であっても、上述したように一端部70aをバスバ40に適切に接合させることができ、バスバ40に対する接触不良を防止できる。
次に、第2実施形態について図6を用いて説明する。図6は、第2実施形態における図3相当の断面図である。バスバ40は、樹脂ケース50に対する振動方向の拘束力を強くするために、下面40cに係合部としての凸部40eを有している。この凸部40eは、例えば、アルミニウム等の素材をプレス加工してバスバ40を形成するときに、バスバ40の下面40cに一体的に形成されるものであり、又は、プレス加工によりバスバ40を形成した後に、バスバ40の下面40cに別体的に接合されるものである。バスバ40の凸部40eでは、周りで溶けた樹脂が冷えることにより、硬化した凹状樹脂52が形成されている。
こうして、バスバ40の凸部40eと凹状樹脂52が係合して、バスバ40の樹脂ケース50に対する振動方向の拘束力が強くなっている。また、バスバ40の凸部40eは、接合部分41に対する反対側の部分に形成されているため、接合部分41の直下で固定点P1が存在することになる。上記した構成以外の構成は、第1実施形態の構成と同様であるため、対応する部位に同一符号を付して、その説明を省略する。また、上記した第2実施形態の作用効果は、第1実施形態の作用効果と同様であるため、その説明を省略する。
次に、第3実施形態について図7を用いて説明する。図7は、第3実施形態における図3相当の断面図である。バスバ40は、樹脂ケース50に対する振動方向の拘束力を強くするために、下面40cに係合部としての粗面部40fを有している。この粗面部40fは、例えば、アルミニウム等の素材をプレス加工してバスバ40を形成した後に、バスバ40の下面40cを砥粒で研磨して粗くした部分である。バスバ40の粗面部40fでは、周りで溶けた樹脂が冷えることにより、硬化した鋸状樹脂53が形成されている。
こうして、バスバ40の粗面部40fと鋸状樹脂53が係合して、バスバ40の樹脂ケース50に対する振動方向の拘束力が強くなっている。また、バスバ40の粗面部40fは、接合部分41に対する反対側の部分に形成されているため、この接合部分41の直下で固定点P1が存在することになる。上記した構成以外の構成は、第1実施形態の構成と同様であるため、対応する部位に同一符号を付して、その説明を省略する。また、上記した第3実施形態の作用効果は、第1実施形態の作用効果と同様であるため、その説明を省略する。
以上、本発明に係るバスバと配線の接合構造において、本発明はこれに限定されることはなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、各実施形態において、ボンディングテープ70の一端部70aが接合するバスバ40に、凹部40d,凸部40e,粗面部40fを形成したが、ボンディングワイヤ60の一端部60aが接合するバスバ30に、凹部,凸部,粗面部を形成しても良い。
また、各実施形態において、一つの接合部分41の直下に、一つの係合部(凹部40d,凸部40e,粗面部40f)を設けたが、一つの接合部分41の直下に、複数の係合部を設けても良い。
10 IGBT
20 ダイオード
30 バスバ
40 バスバ
40a 上面
40b 側面
40c 下面
40d 凹部
40e 凸部
40f 粗面部
41 接合部分
50 樹脂ケース
50a 埋設部
50b 周面
51 凸状樹脂
52 凹状樹脂
53 鋸状樹脂
60 ボンディングワイヤ
60a 一端部
70 ボンディングテープ
70a 一端部
80 ツール

Claims (3)

  1. バスバが樹脂でインサート成型されることにより樹脂ケースに埋設され、
    前記樹脂ケースから露出する前記バスバの一端面に配線の一端部が超音波接合されている、バスバと配線の接合構造において、
    前記バスバは、前記配線の一端部と前記バスバの一端面との接合部分に対する反対側の部分に、硬化した樹脂と係合する係合部を有するものであること特徴とするバスバと配線の接合構造。
  2. 請求項1に記載するバスバと配線の接合構造において、
    前記バスバの係合部は、凹部であることを特徴とするバスバと配線の接合構造。
  3. 請求項1に記載するバスバと配線の接合構造において、
    前記配線は、ボンディングテープであることを特徴とするバスバと配線の接合構造。
JP2011007466A 2011-01-18 2011-01-18 バスバと配線の接合構造 Pending JP2012151198A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011007466A JP2012151198A (ja) 2011-01-18 2011-01-18 バスバと配線の接合構造

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011007466A JP2012151198A (ja) 2011-01-18 2011-01-18 バスバと配線の接合構造

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2012151198A true JP2012151198A (ja) 2012-08-09

Family

ID=46793206

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011007466A Pending JP2012151198A (ja) 2011-01-18 2011-01-18 バスバと配線の接合構造

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2012151198A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102017106174A1 (de) 2016-03-29 2017-10-05 Keihin Corporation Leistungswandlungsvorrichtung und Verfahren zum Herstellen derselben
JP2018179994A (ja) * 2017-04-20 2018-11-15 旭化成エレクトロニクス株式会社 磁気検出装置、電流検出装置、磁気検出装置の製造方法、及び電流検出装置の製造方法
JP2022016475A (ja) * 2017-04-20 2022-01-21 旭化成エレクトロニクス株式会社 磁気検出装置、電流検出装置、磁気検出装置の製造方法、及び電流検出装置の製造方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09107059A (ja) * 1995-10-11 1997-04-22 Toshiba Corp 半導体装置及びその製造方法
JP2000332179A (ja) * 1999-05-18 2000-11-30 Fujitsu Ten Ltd 端子の固定構造
JP2007234696A (ja) * 2006-02-28 2007-09-13 Toyota Industries Corp 半導体モジュール
JP2009238831A (ja) * 2008-03-26 2009-10-15 Toyota Motor Corp バスバー及びその製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09107059A (ja) * 1995-10-11 1997-04-22 Toshiba Corp 半導体装置及びその製造方法
JP2000332179A (ja) * 1999-05-18 2000-11-30 Fujitsu Ten Ltd 端子の固定構造
JP2007234696A (ja) * 2006-02-28 2007-09-13 Toyota Industries Corp 半導体モジュール
JP2009238831A (ja) * 2008-03-26 2009-10-15 Toyota Motor Corp バスバー及びその製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102017106174A1 (de) 2016-03-29 2017-10-05 Keihin Corporation Leistungswandlungsvorrichtung und Verfahren zum Herstellen derselben
JP2018179994A (ja) * 2017-04-20 2018-11-15 旭化成エレクトロニクス株式会社 磁気検出装置、電流検出装置、磁気検出装置の製造方法、及び電流検出装置の製造方法
JP2022016475A (ja) * 2017-04-20 2022-01-21 旭化成エレクトロニクス株式会社 磁気検出装置、電流検出装置、磁気検出装置の製造方法、及び電流検出装置の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101915873B1 (ko) 전력용 반도체 장치 및 그 제조 방법
KR101186781B1 (ko) 전력 반도체 회로 장치 및 그 제조 방법
JP6337957B2 (ja) 半導体モジュールユニットおよび半導体モジュール
JP5279632B2 (ja) 半導体モジュール
JP6143884B2 (ja) パワーモジュール
JP4973059B2 (ja) 半導体装置及び電力変換装置
US9831160B2 (en) Semiconductor device
CN110828409B (zh) 半导体装置、电力变换装置及它们的制造方法
US9917064B2 (en) Semiconductor device with a plate-shaped lead terminal
JP5245939B2 (ja) リアクトル
JP6331294B2 (ja) 半導体装置
JP2012151198A (ja) バスバと配線の接合構造
JP6906611B2 (ja) 半導体素子接合用基板、半導体装置および電力変換装置
JP2012004346A (ja) 半導体装置
JP5440427B2 (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP4614107B2 (ja) 半導体装置
JP4981848B2 (ja) 電力変換装置及びその製造方法
JP5368357B2 (ja) 電極部材およびこれを用いた半導体装置
JP6567957B2 (ja) パワー半導体モジュールの製造方法
JP6865094B2 (ja) パワーモジュール
JP2009295713A (ja) モールドパッケージの実装構造
JP5217014B2 (ja) 電力変換装置およびその製造方法
JP5659171B2 (ja) 半導体装置およびそれを用いたインバータ装置
JP2011198804A (ja) 半導体装置
WO2021065736A1 (ja) 半導体装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20131011

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140213

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140225

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20140624