JP2012149617A - 電源装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】イオン加速装置のアノード電極14へ印加されるアノード電圧Va、ガス流量系へのガス流量Q、磁場生成用コイル12,13に流れるコイル電流Icを制御する制御手段28を備えると共にアノード電極14に流れるアノード電流Iaを計測する電流計測手段29を有し、制御手段28は、一時的に磁場生成用コイル12,13へ流れるコイル電流Icを一定範囲内で変化させるとともに、そのコイル電流Icの変化に伴って電流計測手段29で計測されるアノード電流Iaの計測値に基づいて磁場生成用コイル12,13へ流すコイル電流Icが最適値となるように調整する。
【選択図】図1
Description
上記の特許文献1に記載の従来技術では、このようなホールスラスタのチャネルの経時変化に伴う最適点の変化について十分に考慮されておらず、その対策が不十分であった。
図1は本発明の実施の形態1におけるホールスラスタおよびその電源装置を示す構成図である。
すなわち、最適磁場制御回路28bは、主制御回路28aからの指令に基づき、図4および図5に示すように、経時変化前の初期段階においてコイル電流Icを通常の運用状態では一定値に保つ。いまこの値をIc1とする。ホールスラスタ1の経時変化に伴う安定動作領域の変化に追従して最適なコイル電流Icを見つけ出すため、最適磁場制御回路28bは、一時的にコイル電流IcをIc1から一定範囲内にわたって増減させる。そして、このコイル電流Icの変化に伴って電流計29で得られるアノード電流Iaを計測し、その平均値|Ia|や標準偏差σIaを求める。なお、ここではコイル電流Icは正弦波を重畳させたような形で増減させているが、必ずしも正弦波である必然性はなく、直線状に変化させたり、三角波状に変化させてもよい。
図7は本発明の実施の形態2におけるホールスラスタおよびその電源装置を示す構成図であり、図1に示した実施の形態1と対応もしくは相当する構成部分には同一の符号を付す。
図8は本発明の実施の形態3におけるホールスラスタおよびその電源装置を示す構成図であり、図1に示した実施の形態1と対応もしくは相当する構成部分には同一の符号を付す。
14 アノード電極、18 ガス流量調節器、2 電源装置、21 アノード電源、
22 内部コイル電源(磁場生成用コイル)、
23 外部コイル電源(磁場生成用コイル)、24 トリムコイル電源、
25 ガス流量制御装置、28 制御器(制御手段)、28a 主制御回路、
28b 最適磁場制御回路、29 電流計(電流計測手段)、4 光学的計測手段、
5 イオンコレクタ(発散角計測手段)。
Claims (12)
- アノード電極、ガス流量系、および磁場生成用コイルを有するイオン加速装置を駆動制御する電源装置であって、
上記アノード電極へ印加されるアノード電圧、上記ガス流量系へのガス流量、および上記磁場生成用コイルに流れるコイル電流を制御する制御手段と、上記アノード電極に流れる電流を計測する電流計測手段とを備え、上記制御手段は、一時的に上記磁場生成用コイルへ流れるコイル電流を一定範囲内で変化させるとともに、そのコイル電流の変化に伴って上記電流計測手段で計測される計測信号に基づいて上記磁場生成用コイルへ流すコイル電流を調整するものである電源装置。 - 上記制御手段は、上記コイル電流を変化させたときにこれに伴って上記電流計測手段で計測される計測信号に基づくアノード電流の平均値が常に最小になるように、上記磁場生成用コイルへ流すコイル電流値を決定するものである請求項1に記載の電源装置。
- 上記制御手段は、上記コイル電流を変化させたときにこれに伴って上記電流計測手段で計測される計測信号に基づくアノード電流の振幅、あるいは上記アノード電流の標準偏差が常に最小になるように、上記磁場生成用コイルへ流すコイル電流値を決定するものである請求項1に記載の電源装置。
- 上記制御手段は、上記コイル電流を変化させたときにこれに伴って上記電流計測手段で計測される計測信号に基づくアノード電流の振幅、あるいは上記アノード電流の標準偏差が予め設定された許容範囲内で、上記アノード電流の平均値が常に最小になるように、上記磁場生成用コイルへ流すコイル電流値を決定するものである請求項1に記載の電源装置。
- アノード電極、ガス流量系、および磁場生成用コイルを有するイオン加速装置を駆動制御する電源装置であって、
上記アノード電極へ印加されるアノード電圧、上記ガス流量系へのガス流量、および上記磁場生成用コイルに流れるコイル電流を制御する制御手段と、上記イオン加速装置のイオンビーム噴射端の近傍にチャネル構成材の飛散量を光学的に計測する光学的計測手段とを備え、上記制御手段は、一時的に上記磁場生成用コイルへ流れるコイル電流を一定範囲内で変化させるとともに、そのコイル電流の変化に伴って上記光学的計測手段で得られる計測信号に基づいて上記磁場生成用コイルへ流すコイル電流を調整するものである電源装置。 - 上記制御手段は、上記コイル電流の変化に伴って上記光学的計測手段で得られる計測信号に基づいて上記チャネル構成材の飛散量が最小になるように上記磁場生成用コイルへ流すコイル電流を調整するものである請求項5に記載の電源装置。
- アノード電極、ガス流量系、および磁場生成用コイルを有するイオン加速装置を駆動制御する電源装置であって、
上記アノード電極へ印加されるアノード電圧、上記ガス流量系へのガス流量、および上記磁場生成用コイルに流れるコイル電流を制御する制御手段と、上記イオン加速装置のイオンビームの発散角を計測する発散角計測手段とを備え、上記制御手段は、一時的に上記磁場生成用コイルへ流れるコイル電流を一定範囲内で変化させるとともに、そのコイル電流の変化に伴って上記発散角計測手段で得られる計測信号に基づいて上記磁場生成用コイルへ流すコイル電流を調整するものである電源装置。 - 上記制御手段は、上記コイル電流の変化に伴って上記発散角計測手段で得られる計測信号に基づいて上記イオンビームの発散角が最小になるように上記磁場生成用コイルへ流すコイル電流を調整するものである請求項7に記載の電源装置。
- 上記磁場生成用コイルは内側コイルと外側コイルを有し、上記制御手段は上記各コイルに流れるコイル電流の値を個別に制御するものである請求項1ないし請求項8のいずれか1項に記載の電源装置。
- 上記ガス流量系のガス流量が一定値に固定されている請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載の電源装置。
- 上記アノード電極に印加されるアノード電圧が一定値に固定されている請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載の電源装置。
- 上記イオン加速装置は、ホール効果を用いたイオン加速装置である請求項1ないし請求項11のいずれか1項に記載の電源装置。
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