JP2012145509A - プローブカード - Google Patents
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 123
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims abstract description 147
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 43
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 21
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 claims description 11
- 230000008602 contraction Effects 0.000 abstract description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 description 17
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 7
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
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Abstract
【構成】 プローブカードは、第1面とその裏側の第2面とを有するメイン基板100と、メイン基板100の第1面に固着された補強板200と、熱膨張係数が補強板200よりも小さい環状の補強部材300と、補強部材300の内側に保持されたプローブユニット400と、メイン基板100の第2面側で補強部材300を補強板200に固定する固定手段500とを備えている。
【選択図】 図3
Description
補強板200:SUS303(熱膨張係数17.ppm/℃)
プローブ基板:セラミック(熱膨張係数6ppm/℃)
補強部材300:42合金(熱膨張係数4.2ppm/℃)
A7075(熱膨張係数23ppm/℃)
200・・・補強板
300・・・補強部材
400・・・プローブユニット
500・・・固定手段
Claims (4)
- 第1面とその裏側の第2面とを有するメイン基板と、
前記メイン基板の第1面に固着された補強板と、
熱膨張係数が前記補強板よりも小さい補強部材と、
前記メイン基板の第2面側で前記補強部材を前記補強板に固定する固定手段とを備えているプローブカード。 - 請求項1記載のプローブカードにおいて、
前記補強部材に保持されるプローブユニットを更に備えているプローブカード。 - 請求項1記載のプローブカードにおいて、
前記補強部材のメイン基板非対向面に設けられたプローブを更に備えているプローブカード。 - 80〜150℃の温度下の半導体デバイスの高温テスト又は−20〜40℃の温度下の半導体デバイスの低温テストで使用される請求項1乃至3の何れかに記載のプローブカードにおいて、
前記補強部材の熱膨張係数が1〜5ppm/℃、前記補強板の熱膨張係数が10〜25ppm/℃であるプローブカード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011005362A JP5581234B2 (ja) | 2011-01-14 | 2011-01-14 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011005362A JP5581234B2 (ja) | 2011-01-14 | 2011-01-14 | プローブカード |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012145509A true JP2012145509A (ja) | 2012-08-02 |
JP5581234B2 JP5581234B2 (ja) | 2014-08-27 |
Family
ID=46789195
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011005362A Active JP5581234B2 (ja) | 2011-01-14 | 2011-01-14 | プローブカード |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5581234B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112858885A (zh) * | 2021-01-14 | 2021-05-28 | 强一半导体(苏州)有限公司 | 一种宽温度范围工作环境下芯片测试方法 |
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2011
- 2011-01-14 JP JP2011005362A patent/JP5581234B2/ja active Active
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WO2022151703A1 (zh) * | 2021-01-14 | 2022-07-21 | 强一半导体(苏州)有限公司 | 一种宽温度范围工作环境下芯片测试方法 |
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JP5581234B2 (ja) | 2014-08-27 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
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