JP2012141168A - 筐体の密閉性検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】開口部の形状が複雑な筐体であっても、十分な密閉性を得て密閉性の検査ができるとともに、検査装置の製造コストの低減と製造納期の短縮。
【解決手段】本発明に係る筐体の密閉性検査装置は、開口部を備えた筐体の密閉性を検査する装置において、前記開口部から前記筐体の内部空間に挿入し得る第１および第２プレートと、前記２枚のプレートの外周縁部において前記２枚のプレート間に挟まれた状態で配設された弾性部材と、前記第１プレートと第２プレートの隙間を縮小して前記弾性部材を押圧することによって前記弾性部材を弾性変形させて前記２枚のプレートの外周縁から外側へ膨出させて前記筐体の内壁面に密着させる押圧手段と、前記膨出させた弾性部材によって密閉された前記筐体の内部空間内の流体を減圧もしくは加圧する圧力制御手段と、前記筐体の内部空間内の圧力変化を計測する圧力計測手段とを備えている。
【選択図】図１

Description

本発明は、防水機能を備えた無線機等の各種の機器の筐体における防水性や密閉性の評価検査に使用する密閉性検査装置に関するものである。

前述したような筐体の密閉性検査の方法としては、検査対象の筐体の開口部を密閉手段で閉じて、筐体の内部空間を密閉状態にして、前記内部空間を所定の圧力に減圧もしくは加圧して、時間の経過による前記内部空間の圧力変化を測定して、圧力の変化が所定の基準より少ない場合には密閉性が十分であると評価し、所定の基準より大きい場合には密閉性が不十分であると評価することが行われている。
このような密閉性の検査方法の従来例が特許文献１に開示されている。

特開平７−１２００８号公報

例えば、図８に示した例のような開口部９０１を備えた筐体９００の密閉性を検査する場合には、前記筐体９００の前記開口部９０１に、パッキン５００を挟んでプレート状の密閉手段２００を押しつけて、前記開口部９０１を密閉状態にしてから、前記密閉手段２００に設けられた減圧配管６００を真空ポンプ（図示は省略。）に接続して、前記筐体９００の内部空間を減圧する必要が有る。
この場合、前記筐体９００の前記開口部９０１と前記密閉手段２００との当接部分は十分な密閉性が要求されるため、前記パッキン５００が用いられている。前記開口部９０１が、図８に示したように仮想的な平面に接するような形状である場合には、密閉手段２００は前記仮想的な平面と同じような平面とすればよいので、密閉性が得られやすい。
特許文献１に開示された検査方法においては、検査対象のオイルパンの開口部が仮想的な平面に接する形状であるので、密閉手段としてのベッドの方も前記仮想的な平面と同じ平面としてある。

しかし、図９に示した例の筐体９１０のように、開口部９１１に段差や凹凸構造９１２があると、プレート等の密閉手段２１０側の当接部分を、前記凹凸構造９１２に応じた構造に成形する必要が有るが、そのような場合には、パッキン５１０を挟み込んでも、前記凹凸構造９１２の当接部分における密閉性が低下するという問題が発生する。
特に、前記開口部９１１に鋭角状の凹凸構造９１２がある場合には、パッキン５１０が前記凹凸構造９１２の細部までは密着しないので、十分な密閉性を得ることは困難である。
また、検査対象の筐体の開口部の形状に合わせてプレート等の密閉手段を作成しなければならないので、密閉手段の製造コストと製造納期がかかるという問題がある。

そこで、本発明は、開口部の形状が複雑な筐体であっても、十分な密閉性を得て密閉性の検査ができるとともに、検査装置の製造コストの低減と製造納期の短縮を目的としている。

本発明の請求項１に係る筐体の密閉性検査装置は、
開口部を備えた筐体の密閉性を検査する装置において、
前記開口部から前記筐体の内部空間に挿入し得る第１および第２プレートと、
前記２枚のプレートの外周縁部において前記２枚のプレート間に挟まれた状態で配設された弾性部材と、
前記第１プレートと第２プレートの隙間を縮小して前記弾性部材を押圧することによって前記弾性部材を弾性変形させて前記２枚のプレートの外周縁から外側へ膨出させて前記筐体の内壁面に密着させる押圧手段と、
前記膨出させた弾性部材によって密閉された前記筐体の内部空間内の流体を減圧もしくは加圧する圧力制御手段と、
前記筐体の内部空間内の圧力変化を計測する圧力計測手段と
を備えている。
請求項２では、
押圧された弾性部材が前記２枚の周縁から内側へ変形することを規制する規制手段を備えている。
請求項３では、
開口部を備えた筐体の密閉性を検査する装置において、
前記筐体を内部空間に挿入し得る箱状の容器と、
前記容器の開口した１面を封止する第１プレートと、
この第１プレートに重ねて配設された第２プレートと、
前記２枚のプレートにそれぞれ設けられた、前記筐体を挿入し得る挿入孔の内周縁部において前記２枚のプレート間に挟まれた状態で配設された弾性部材と、
前記第１プレートと第２プレートの隙間を縮小して前記弾性部材を押圧することによって前記弾性部材を弾性変形させて前記挿入孔の内周縁から内側へ膨出させて前記筐体の外壁面に密着させる押圧手段と、
前記膨出させた弾性部材によって密閉された前記容器の内部空間内の流体を減圧もしくは加圧する圧力制御手段と、
前記内部空間内の圧力変化を計測する圧力計測手段と
を備えている。
請求項４では、
押圧された弾性部材が前記挿入孔の内周縁から外側へ変形することを規制する規制手段を備えている。
請求項５では、
前記圧力計測手段は、所定の圧力に到達してから所定の時間が経過した時点まで計測するタイマを備え、前記所定の時間経過後の圧力を計測するように構成されている。
請求項６では、
前記圧力制御手段は、前記筐体の内部空間の気体を減圧する減圧ポンプと減圧配管とを含み、
前記圧力計測手段は、前記減圧配管中の圧力変換を計測するように構成されている。

本発明の請求項１にかかる筐体の密閉性検査装置によれば、
筐体の内部空間に第１および第２プレートを挿入し、前記２枚のプレートの外周縁部において前記２枚のプレート間に挟まれた状態で配設された弾性部材と、前記第１プレートと第２プレートの隙間を縮小することによって、前記２枚のプレートの外周縁部において前記２枚のプレート間に挟まれた状態で配設された弾性部材を押圧して、前記弾性部材を外側へ膨出させて前記筐体の内壁面に密着させて、前記筐体の内部空間内の流体を減圧もしくは加圧するので、前記筐体の開口部に凹凸形状があって複雑な形状をしている場合でも、前記内壁面に確実に密着させることができ、適正な密閉状態が得られるか否かを検査することができる。
また、２枚のプレートの形状は、検査対象の筐体の内壁面の形状に合わせて作成するので、製造コストが低減されるとともに製造納期が短縮できる。
また、筐体を内部空間に挿入し得る箱状の容器の開口した１面を２枚のプレートで封止し、前記２枚のプレート間に挟まれた状態で配設された弾性部材を押圧することによって弾性変形させて内側へ膨出させて前記筐体の外壁面に密着させ、密閉性を検査してもよい。

本発明にかかる筐体の密閉性検査装置の外形図である。 検査対象とする筐体の概略を示した断面図である。 検査対象とする筐体を用いた電子機器の概略を示した断面図である。 前記筐体の密閉性検査装置の要部の断面図である。 前記筐体の密閉性検査装置の要部の断面図である。 前記筐体の密閉性検査装置の要部の断面図である。 実施例２の筐体の密閉性検査装置の要部の断面図である。 従来例の検査装置による簡単な形状の筐体の密閉性検査を説明する説明図である。 従来例の検査装置による複雑な形状の筐体の密閉性検査を説明する説明図である。

以下に本発明にかかる筐体の密閉性検査装置を実施するための形態を、図１、２、３、４を参照して説明する。
図１に示した密閉性検査装置１は、
図２に示したような筐体をセットするための保持手段２を備え、前記保持手段２は、２枚のプレート３１、３２を備えた密閉手段３と、前記密閉手段３が配設された基台２１と、前記密閉手段３にセットされた筐体を上から押さえて筐体の浮き上がり等の動きを規制するための昇降可能な保持機構２２とを備えている
前記筐体は、図２に示したように、防水型の電子機器等の筐体のように防水機能を要する筐体９であり、例えば、図３に示した中間シャーシ９２等の別の構成部材を挿入するための開口部９１を備えるとともに、操作ボタン等が配設される表パネル９３を備えており、基本的な形状としてはほぼ箱状の筐体となっている。この場合には、前記表パネル９３が筒状の筐体の底に対応している。
前記密閉性検査装置１は、前記筐体９における前記開口部９１以外のピンホールやクラックの有無を確認するために、前記筐体９の内部空間の密閉性を検査するものである。

前記筐体９を電子機器の筐体として使用する場合には、図３に示したように、
前記中間シャーシ９２は、例えば、１面側には電子回路はスイッチ等の電子部品９４が配設されており、他面側は、例えばバッテリー等の電源部９５を収納するように構成されている。
前記中間シャーシ９２の外周縁に形成されたパッキン装着部９９には、弾性部材で構成された環状のパッキン９６が装着されており、前記パッキン９６を装着した状態で前記中間シャーシ９２を、前記筐体９の内部空間に押しこむことにより、前記パッキン９６は、前記筐体９の内壁面９７に密着して防水性が確保されるように構成されている。このとき、前記電子部品９４は、前記筐体９の内壁面と前記中間シャーシ９２とで閉じられた空間Ｓに配置されるように構成されている。

前記電子部品９４のうちのスイッチ等の操作部品は、前記筐体９の表パネル９３の外側から操作し得るように配設されているとともに、防水性のシート材等により防水性が確保されるような構造になっている。
このようにして、前記電子部品９４は、防水性が確保された空間Ｓ内に配置されることになり、正常に動作することができる。
前記筐体９に前記中間シャーシ９２を嵌め込んだ後、さらに、裏パネル９８を被せて、ボルトなどで固定することによって、電子機器の筐体が構成される。

つぎに、図１、２、３、４を参照して、本発明にかかる筐体の密閉性検査装置の実施例１を説明する。
図１に示したように、
実施例１の筐体の密閉性検査装置１は、前記筐体を所定の検査位置に位置決めして保持する保持手段２を備え、この保持手段２は、第１プレート３１と第２プレート３２からなる２枚のプレートを備えた密閉手段３と、前記密閉手段３が配設された基台２１と、前記密閉手段３にセットされた筐体を上から押さえて動きを規制する昇降可能な保持機構２２とを備えている。

前記密閉手段３は、要部の断面を示した図４に示したように、下側の固定プレート３１と、上側の可動プレート３２とを備えている。前記２枚のプレート３１、３２の外形は、２枚ともほぼ同じ外形に成形されており、前記外形は、図２に示した前記筐体９の内部空間Ｓに挿入し得るように、前記筐体９の内壁面９７で囲まれた前記内部空間Ｓの断面形状より少し小さな形状に成形されている。
前記２枚のプレート３１、３２の外形は、前記筐体９の内部空間Ｓの断面形状とほぼ同じ形状、すなわち、図３に示した前記中間シャーシ９２の前記パッキン装着部９９の外形とほぼ同じ外形に成形されている。
前記中間シャーシ９２の前記パッキン装着部９９が、図示したように、例えば側面視で傾斜部を持った形状である場合には、前記２枚のプレート３１、３２の外形も、前記同様に傾斜部を持った形状とする。

前記２枚のプレート３１、３２は少しの隙間Ｄを持たせて配設されている。そして、駆動機構４によって、前記可動プレート３２を前記固定プレート３１に対して相対的に昇降させることによって、前記隙間Ｄを拡大・縮小するように構成されている。
前記２枚のプレート３１、３２の外周縁には弾性部材装着部３３が形成され、この弾性部材装着部３３には弾性部材で構成されたリング状の弾性部材５が装着されている。
前記２枚のプレート３１、３２の外周に形成されている弾性部材装着部３３の外形は、前記中間シャーシ９２の前記パッキン装着部９９の外形とほぼ同じ外形に成形されている。前記中間シャーシ９２の前記パッキン装着部９９が、例えば側面視で傾斜部を持った形状である場合には、前記弾性部材装着部３３の外形も、前記同様に傾斜部を持った形状とする。
このように、前記弾性部材装着部３３の外形を、前記パッキン装着部９９の外形とほぼ同じ外形とすることによって、図３のように、前記中間シャーシ９２を装着した状態での前記パッキン９６が、前記筐体９の内壁面９７に密着する状態と同等の状態で、前記弾性部材５が前記筐体９の内壁面９７に密着することができるので、実際の完成状態の筐体９に要求される条件と同じ条件で密閉性を検査することができる。
また、図３のように、前記中間シャーシ９２を装着した状態で、前記パッキン９６が前記筐体９に密着する内壁面９７は、密閉性を確保するために十分に平滑状態に成形されているので、前記密閉性検査装置１を用いた検査においても、十分に平滑状態に成形されている前記内壁面９７を利用して検査することができるのである。

図４に示したように、前記駆動機構４は、例えばエアーシリンダ等の駆動手段に昇降駆動されるシャフト４１を備えており、前記シャフト４の上端は前記基台２１と前記固定プレート３１とを貫通する孔を通って前記可動プレート３２に固定されている。前記固定プレート３１は、前記基台２１に固定されており、昇降することはない。

つぎに、図４を参照して、前記密閉手段３の詳細を説明する。
前記可動プレート３２は、前記固定プレート３１の上側に隙間Ｄをもって重ねるように配設されている。２枚のプレート３１、３２の外周縁には、前記弾性部材５を装着するための前記弾性部材装着部３３が形成されている。この弾性部材装着部３３は、前記２枚のプレート３１、３２のいずれに設けられていてもよく、両方にわたって設けられていてもよいが、ここに装着される弾性部材５が押圧されて弾性変形するときに内側に膨出して変形することを規制するための規制手段３４が形成されていることが好ましい。この規制手段３４は、例えば外周壁３５を持った段差３６で構成することができる。

前記可動プレート３２の上面に開口した吸引口６１は、減圧配管６２を用いて、減圧ポンプ６３と接続されており、前記減圧ポンプ６３を作動させることによって、前記筐体９の内部空間を減圧するように構成されている。そして、前記減圧配管６２には、配管中の圧力変化を計測するための圧力計測手段６４が備えられている。
前記吸引口６１、前記減圧配管６２、前記減圧ポンプ６３によって、圧力制御手段６を構成している。

７は制御装置であり、前記駆動手段４の昇降駆動と、前記減圧ポンプ６３のオン／オフ制御と、所定の圧力に減圧した時点から所定の検査時間が経過した後の圧力変化を計測して、圧力変化が規定の基準値以内であれば検査合格と判定し、圧力変化が規定の基準値を越えて変化した場合には検査不合格と判定して、これらの判定結果を出力もしくは表示するように構成されている。

図５は、図４に示した密閉性検査装置１の前記密閉手段３に、検査対象の筐体９をセットした状態の、要部の断面図を示している。
なお、図５においては、図１に示した前記保持機構２２は下降して前記筐体９を上から押さえた状態になっているが、図示は省略している。
この状態では、前記可動プレート３２は、図４と同じように、上昇位置にあるので前記弾性部材５は押圧されておらず、前記弾性部材５の外周面は、前記筐体９の内壁面９７に密着した状態ではない。

図６は、図５に示した状態から、前記可動プレート３２を下降させた状態の断面図を示している。
なお、図６においても前記保持機構２２の図示は省略している。
この状態では、前記可動プレート３２は、前記駆動手段４による下降駆動されて下降位置にあるので、前記２枚のプレート３１、３２間の隙間Ｄは縮小され、前記弾性部材５は前記２枚のプレート３１、３２間で押圧される。
２枚のプレート３１、３２の間で上下方向に押圧された弾性部材５は横方向に弾性変形して膨出しようとするが、前記弾性部材５の内側は前記規制手段３４の前記外壁面３５によって内側への膨出が阻止されているので、外側へのみ弾性変形して膨出する。
したがって、前記弾性部材５の外周面は、前記筐体９の内壁面９７に密着した状態となる。

この状態では、前記筐体９の内面と、前記弾性部材５と、前記可動プレート３２とで囲まれた空間Ｓは密閉空間となる。
しかも、前記弾性部材５の外周面は、膨出することによって、前記筐体９の内壁面９７と十分に強い圧力で密着状態となるので、十分な密閉性が確保される。

続いて、本発明にかかる筐体の密閉性検査装置１を用いて筐体の密閉性の検査を行う手順を説明する。
まず、図４に示した２枚のプレート３１、３２を備えた密閉手段３に、図５のように筐体９の開口部９１を下側にして被せる。
なお、前記筐体９は、予め、表パネルに設けられた操作ボタン用の孔などを、防水シート等を用いて封止して、開口部６１以外の部分の気密状態を確保しておく。

つぎに、筐体９のセットが完了した時点で、検査スタートスイッチ等を押すと、前記制御装置７からの駆動信号に基づいて、前記保持機構２２が降下して前記筐体９を押さえ、さらに、前記駆動手段４が作動して前記シャフト４１を引き下げる。これによって、前記シャフト４１に固定された前記可動プレート３２は下降して、前記２枚のプレート間の隙間Ｄを縮小する。前記隙間Ｄによって押圧された弾性部材５は外側へ膨出して、前記筐体９の内壁面９７に密着して、前記筐体９の内部空間Ｓは気密状態となる。

前記制御装置７は、前記シャフト４１が規定量だけ下降したことをリミットスイッチ等で確認すると、下降を停止して、その位置で保持し、続いて、減圧ポンプ６３を制御して減圧を開始する。そして、前記圧力計測手段６４による圧力計測値を監視して、規定の検査圧力まで減圧したことを確認すると、前記減圧ポンプ６３による減圧を停止して、例えば減圧ポンプ６３の吸引口の電動三方弁などの弁を閉じて、前記内部空間Ｓの圧力変化の計測を開始する。そして、タイマに設定された規定の経過時間後における前記圧力計測手段６４による圧力変化の計測値を規定の基準値と比較して、前記圧力変化が規定の基準値以内であれば検査合格と判定し、圧力変化が規定の基準値を越えて変化した場合には検査不合格と判定して、これらの判定結果をブザーや合成音等による音声出力もしくは、合否判定ランプ等の点灯により表示する。

このようにして、ひとつの筐体の検査が終了した後には、前記弁を開いて減圧配管６２内に外気を導入し、前記制御装置７から前記駆動手段４に制御信号を送り、前記可動プレート３２を元の位置まで上昇させる。これによって、弾性部材５は元の状態に弾性復元するので、弾性部材５は膨出状態ではなくなり、前記筐体９の内壁面９７から離れる。この状態で、前記保持機構２２を上昇させて、筐体９を基台２１から取り外す。
そして、次の筐体を検査する場合には、上記手順を繰り返す。

なお、以上の説明では、２枚のプレートのうち、上側のプレートを可動プレートとしたが、下側のプレートを可動プレートとして、２枚のプレート間の隙間を縮小できる構成とすることもできる。
また、以上の説明では、筐体９の開口部９１を下向きにしてセットしたが、前記２枚のプレートを上方から下降させるように支持し、開口部９１を上向きにしてセットした筐体９の内部空間に挿入するような筐体の密閉性検査装置の構成としてもよい。

以上の実施例１の説明においては、２枚のプレートに挟まれた弾性部材を、筐体の内部空間に挿入し、前記弾性部材を押圧することによって外側に膨出させ、筐体の内壁面に密着するような構成について説明したが、逆の構成とすることも可能である。
例えば、図７の（Ａ）に示した実施例２の筐体の密閉性検査装置１Ｂのように、検査対象の筐体９Ｂの外形より大きな挿入孔３３Ｂを備えた上側のプレート３１Ｂと、前記挿入孔３３Ｂと同じ大きさの挿入孔３４Ｂを備えた下側のプレート３２Ｂを備え、前記下側のプレート３２Ｂは、前記挿入孔３３Ｂ、３４Ｂの外形より大きな基台プレート２１Ｂに密着されている。
そして、前記２枚のプレート３１Ｂ、３２Ｂの間に形成された隙間の内周縁側に、弾性部材５Ｂを配設し、前記２枚のプレート３１Ｂ、３２Ｂのうちの例えば下側のプレート３２Ｂを上昇させることによって、前記隙間を縮小し、間に挟まれた前記弾性部材５Ｂを内側に膨出させて、内側に膨出した弾性部材５Ｂが、前記筐体９Ｂの外周面に密着するように構成してもよい。

続いて、前記膨出させた弾性部材５Ｂによって密閉された、前記筐体９Ｂの内部空間ＳＢを減圧して、規定の圧力に達した後に、減圧を停止して、所定の時間が経過するまでの、前記内部空間ＳＢ内の圧力変化を計測することによって、前記筐体９Ｂの密閉性を検査するように構成することもできる。
なお、実施例２の説明においては、圧力制御手段と圧力計測手段とに関する説明は省略した。

図７の（Ｂ）に示した実施例３の筐体の密閉性検査装置１Ｃは、検査対象の筐体９Ｃより大きな箱２１の底を一枚のプレート３１Ｃに置き代え、前記プレート３１Ｃには、前記筐体９Ｃを挿入し得る挿入孔３３Ｃを設け、前記プレート３１Ｃの下側に重ねて配設した下側プレート３２Ｃにも、前記挿入孔３３Ｃと同等の挿入孔３４Ｃを設け、
前記２枚のプレート３１Ｃ、３２Ｃの間に形成された隙間の内周縁側に、弾性部材５Ｃを配設し、前記２枚のプレート３１Ｃ、３２Ｃのうちの例えば下側のプレート３２Ｃを上昇させることによって、前記隙間を縮小し、間に挟まれた前記弾性部材５Ｃを内側に膨出させて、内側に膨出した弾性部材５Ｃが、前記筐体９Ｃの外周面に密着するように構成してもよい。
この場合には、前記箱２１の内部空間ＳＣは前記弾性部材５Ｃで密閉することができるので、上記同様にして、前記内部空間ＳＣの密閉性の検査を行うことができる。
なお、実施例３の説明においては、圧力制御手段と圧力計測手段とに関する説明は省略した。
前記箱２１は、特許請求の範囲に記載された箱状の容器に対応し、前記プレート３１Ｃは、特許請求の範囲に記載された第１のプレートに対応し、前記下側プレート３２Ｃは、特許請求の範囲に記載された第２のプレートに対応している。
前記箱２１と前記プレート３１Ｃは一体成形したものでもよい。

なお、本発明における密閉性の検査とは、防水性の検査、水密性の検査、および気密性の検査を包含する検査である。
したがって、密閉性の検査においては、筐体の検査対象の空間を減圧してもよいが加圧して検査してもよい。また、前記空間の気体を減圧もしくは加圧して検査してもよいが、前記空間に充填した液体を減圧もしくは加圧して検査してもよい。

本発明にかかる密閉性の検査装置は、電子機器の筐体に限らず、精密機械の筐体や、腐食性ガス環境下において用いられる機器の筐体の密閉性の検査に広く応用することができる。

１ 密閉性検査装置
２ 保持手段
２１ 基台
２２ 保持機構
３ 密閉手段
３１ 固定プレート
３２ 可動プレート
３３ 弾性部材装着部
Ｄ 隙間
４ 駆動機構
５ 弾性部材
９ 筐体
Ｓ 内部空間
９１ 開口部
９７ 内壁面
１Ｂ 密閉性検査装置
３１Ｂ 固定プレート
３２Ｂ 可動プレート
５Ｂ 弾性部材
１Ｃ 密閉性検査装置
３１Ｃ 固定プレート
３２Ｃ 可動プレート
５Ｃ 弾性部材

Claims (6)

1. 開口部を備えた筐体の密閉性を検査する装置において、
   前記開口部から前記筐体の内部空間に挿入し得る第１および第２プレートと、
   前記２枚のプレートの外周縁部において前記２枚のプレート間に挟まれた状態で配設された弾性部材と、
   前記第１プレートと第２プレートの隙間を縮小して前記弾性部材を押圧することによって前記弾性部材を弾性変形させて前記２枚のプレートの外周縁から外側へ膨出させて前記筐体の内壁面に密着させる押圧手段と、
   前記膨出させた弾性部材によって密閉された前記筐体の内部空間内の流体を減圧もしくは加圧する圧力制御手段と、
   前記筐体の内部空間内の圧力変化を計測する圧力計測手段と
   を備えたことを特徴とする筐体の密閉性検査装置。
2. 押圧された弾性部材が前記２枚の周縁から内側へ変形することを規制する規制手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載の筐体の密閉性検査装置。
3. 開口部を備えた筐体の密閉性を検査する装置において、
   前記筐体を内部空間に挿入し得る箱状の容器と、
   前記容器の開口した１面を封止する第１プレートと、
   この第１プレートに重ねて配設された第２プレートと、
   前記２枚のプレートにそれぞれ設けられた、前記筐体を挿入し得る挿入孔の内周縁部において前記２枚のプレート間に挟まれた状態で配設された弾性部材と、
   前記第１プレートと第２プレートの隙間を縮小して前記弾性部材を押圧することによって前記弾性部材を弾性変形させて前記挿入孔の内周縁から内側へ膨出させて前記筐体の外壁面に密着させる押圧手段と、
   前記膨出させた弾性部材によって密閉された前記容器の内部空間内の流体を減圧もしくは加圧する圧力制御手段と、
   前記内部空間内の圧力変化を計測する圧力計測手段と
   を備えたことを特徴とする筐体の密閉性検査装置。
4. 押圧された弾性部材が前記挿入孔の内周縁から外側へ変形することを規制する規制手段を備えていることを特徴とする請求項３に記載の筐体の密閉性検査装置。
5. 前記圧力計測手段は、所定の圧力に到達してから所定の時間が経過した時点まで計測するタイマを備え、前記所定の時間経過後の圧力を計測するように構成されていることを特徴とする請求項１乃至４に記載の筐体の密閉性検査装置。
6. 前記圧力制御手段は、前記筐体の内部空間の気体を減圧する減圧ポンプと減圧配管とを含み、
   前記圧力計測手段は、前記減圧配管中の圧力変換を計測するように構成されていることを特徴とする請求項１乃至５に記載の筐体の密閉性検査装置。

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