JP2012138388A - 異常検知装置、方法およびその方法をコンピュータに実行させるプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態によれば、装置パラメータ取得部11は、装置の動作状態を表す装置パラメータを取得する。データ処理部13は、装置パラメータの時系列データをフィッティング処理する。トレンド取得部14は、フィッティング処理したデータを用いて、装置パラメータ取得時の2階微分値をトレンドの変化情報として取得する。フィッティング誤差取得部15は、取得した装置パラメータと、フィッティング処理したデータと、のフィッティング誤差を装置パラメータの変化の度合い情報として取得する。そして、異常判定部17は、データ挙動取得手段で取得されたトレンドの変化情報と装置パラメータの変化の度合い情報との組み合わせを、装置の動作状態が異常と判定される範囲を規定した異常判定基準情報と比較して、装置の動作状態が異常であるかを判定する。
【選択図】図3
Description
図5は、装置パラメータが正常な場合の異常検知処理の一例を模式的に示す図である。ここでは、時刻t11での異常検知処理の例について説明する。なお、異常検知処理は、異常が検知されるまで所定の間隔で連続的に行われている。
図7は、装置パラメータがベースライン立上り/立下り型の挙動を示す場合の異常検知処理の一例を示す図である。ここでは、時刻t13での異常検知処理の例について説明する。図7(a)に示されるように、時刻t12までは図5に示されるように装置パラメータが正常な挙動を示し、装置は正常であると判定されているものとする。また、時刻t12までは装置パラメータは正常とされる範囲内でベースラインを構成していたが、時刻t12を過ぎてから徐々にベースラインを外れていき、時刻t13になったとする。なお、ここでは時刻t13以降の挙動も便宜上示している。
図8は、装置パラメータが突発型の挙動を示す場合の異常検知処理の一例を示す図である。ここでは、時刻t15での異常検知処理の例について説明する。図8(a)に示されるように、時刻t14までは図5に示されるように装置パラメータが正常な挙動を示し、装置は正常であると判定されているものとする。また、時刻t14までは装置パラメータは正常とされる範囲内でベースラインを構成していたが、時刻t14で突然にベースラインから大きく外れた装置パラメータが観測され、その後徐々にベースラインへと向けて装置パラメータが変化していき、時刻t15になったものとする。なお、ここでは時刻t15以降の挙動も便宜上示している。
Claims (7)
- 装置の動作状態を表す装置パラメータを取得する装置パラメータ取得手段と、
前記装置パラメータの時系列データをフィッティング処理するデータ処理手段と、
前記フィッティング処理したデータについて2階微分を行って、前記装置パラメータ取得時の2階微分値をトレンドの変化情報として取得するトレンド取得手段と、
取得した前記装置パラメータと、前記フィッティング処理したデータと、のフィッティング誤差を前記装置パラメータの変化の度合い情報として取得するフィッティング誤差取得手段と、
前記トレンド取得手段で取得された前記トレンドの変化情報と前記フィッティング誤差取得手段で取得された前記装置パラメータの変化の度合い情報との組み合わせを、前記装置の動作状態が異常と判定される範囲を規定した異常判定基準情報と比較して、前記装置の動作状態が異常であるかを判定する異常判定手段と、
を備えることを特徴とする異常検知装置。 - 前記異常判定基準情報は、前記異常の範囲に応じた前記異常の種類が対応付けられていることを特徴とする請求項1に記載の異常検知装置。
- 前記装置パラメータは、露光装置のフォーカス追従性、露光量またはCVD装置のガスのリーク量であることを特徴とする請求項1または2に記載の異常検知装置。
- 装置の動作状態を表す装置パラメータを取得する装置パラメータ取得工程と、
前記装置パラメータの時系列データをフィッティング処理するデータ処理工程と、
前記フィッティング処理したデータいついて2階微分を行って、前記装置パラメータ取得時の2階微分値をトレンドの変化情報として取得するトレンド取得工程と、
取得した前記装置パラメータと、前記フィッティング処理したデータと、のフィッティング誤差を装置パラメータの変化の度合い情報として取得するフィッティング誤差取得工程と、
前記トレンドの変化情報と前記装置パラメータの変化の度合い情報との組み合わせを、前記装置の動作状態が異常と判定される範囲を規定した異常判定基準情報と比較して、前記装置の動作状態が異常であるかを判定する異常判定工程と、
を含むことを特徴とする異常検知方法。 - 前記異常判定基準情報は、前記異常の範囲に応じた前記異常の種類が対応付けられていることを特徴とする請求項4に記載の異常検知方法。
- 前記装置パラメータは、露光装置のフォーカス追従性、露光量またはCVD装置のガスのリーク量であることを特徴とする請求項4または5に記載の異常検知方法。
- 請求項4〜6のいずれか1つに記載の異常検知方法をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
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