JP2012124362A - 絶縁性基板の静電吸着方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】静電吸着機構を備えたプラズマ処理装置において、静電吸着機構に絶縁性基板を載置して、高周波電力を印加して絶縁性基板に面した空間にプラズマを形成する。該プラズマによって静電吸着機構を不必要に加熱することなく、被処理基板のみを急速に加熱することが出来る。これにより絶縁性基板の静電吸着を短時間で行うことが可能となる。
【選択図】図2
Description
また特許文献2に示されたように静電吸着機構にヒータを内蔵させ、ガラス基板を加熱することで、1kV程度の電圧で吸着する方法があるが、これには以下の様な問題点がある。第1に静電吸着機構自体が加熱されてから、静電吸着機構との接触により基板が加熱されるので、基板が加熱されるまでに時間が掛かってしまうこと、そして第2に静電吸着機構が加熱されるため、吸着後のプロセスにおいて基板を所望の温度に調整するのに時間を要してしまうことである。
本発明は、上述した課題に鑑み、ガラス基板やガラス基板にSiを貼り付けた絶縁性基板を、プラズマ処理装置において短時間で静電吸着することを目的とする。また静電吸着後の基板を速やかに所望の温度に調整することが可能な静電吸着方法を提供することを目的とする。
真空容器1のほぼ中央部には基板保持台2が設けられている。基板保持台2は、上面が基板搭載面となっており、静電吸着機構を備えている。基板3は静電吸着機構により静電吸着され保持される。基板保持台2は下側のホルダ21と上側の静電吸着板22からなる。ホルダ21と静電吸着板22は、例えば、円盤状の形態を有する。ホルダ21の内部にはヒータによる加熱または冷却水等による冷却機構を有する。静電吸着板22の上面は上述したように基板搭載面となる。静電吸着板22の電極4には静電吸着用電源5が接続され、電極4に静電吸着のために必要な電圧を印加する。すなわち、電極4に所要の電圧が印加されると、静電吸着力が発生し、静電吸着板22に載置された基板3が固定される。また、ホルダ、静電吸着板には熱伝導用の裏面ガスを供給するためのガス経路6が形成されている。裏面ガスはホルダ21の熱が基板3に効率よく伝達されるようにするためのガスであり、従来では、アルゴンガスやヘリウムガス等が用いられている。加熱・冷却機構は静電吸着板22を所望の温度にし、さらに基板3を望ましい温度に設定し保持するための機構である。
ガス供給機構12から供給されるガスのガス通路6にはマスフローコントローラ(以下MFC)7が設けられ、さらに隔膜真空計8が設けられている。マスフローコントローラ7はガス通路6を流れる裏面ガスの流量を制御する。また隔膜真空計8は裏面ガスの圧力を測定する。これによって裏面ガスの圧力状態が常時モニタされる。隔膜真空計8による測定で得られた裏面ガスの圧力に係る信号は制御部9に入力される。制御部9は成膜中の裏面ガスの導入においてその圧力を制御する機能を有している。基板3の裏面にガスを導入するときにおいてその圧力を制御する機構はAPC機構と呼ばれている。APC機構は隔膜真空計8によってモニタされた裏面ガスの圧力情報に基いて、圧力が規定圧力まで達したときに裏面ガスの供給を停止又は減少させ圧力封止にて裏面圧力を維持し、規定圧力を下回ったときに設定流量又は適正流量にて裏面ガスを供給し規定圧力まで昇圧させるという作用を有する。以上のように制御部9は裏面ガスの流量を変えるべくマスフローコントローラ7に指示信号をあたえる。
ターゲット10には所要の電力を供給するための高周波電源13と整合器14が設けられている。高周波電源13を利用することで、プラズマ密度を高め、スパッタ粒子のイオン化率を上げ、良好なステップカバレッジが得られる。また所要のスパッタ膜厚を得るための成膜時間を短縮するために、DC電源15も設けられ、DC電源15からターゲットへ電力を供給される。なお真空容器1には前述の通り内部を所要の真空状態にするための真空排気機構や圧力センサが設けられているが、図示は省略されている。また真空容器1内でターゲット10をスパッタするためのプラズマを生成するプロセスガスの供給管(図示せず)が設けられている。そして処理対象である基板3を基板保持台2の上に搭載するための基板搬入・搬出機構、および基板を出し入れするための出入り口、ゲートバルブ等が設けられているが、それらの図示も省略されている。
2 基板保持台
3 基板
4 電極
5 静電吸着用電源
6 ガス通路
7 マスフローコントローラ
8 隔膜真空計
9 制御部
10 ターゲット
11 マグネット
12 ガス供給機構
13 高周波電源
14 整合器
15 直流電源
21 ホルダ
22 静電吸着板
Claims (9)
- 静電吸着機構を備えたプラズマ処理装置における基板の静電吸着方法であって、
絶縁性である前記基板を前記静電吸着機構に載置し、
高周波電力を印加して前記プラズマ処理装置内でプラズマを形成し、
前記プラズマによって前記基板の加熱を行い、前記基板の静電吸着を行うことを特徴とする静電吸着方法。 - 静電吸着機構及びターゲットを備えたプラズマ処理装置における基板の静電吸着方法であって、
絶縁性である前記基板を前記静電吸着機構に載置し、
高周波電力を印加して前記プラズマ処理装置内でプラズマを形成し、
前記プラズマによって前記ターゲットのスパッタリングを行い、
前記プラズマと前記スパッタリングによって前記基板の加熱を行い、前記基板の静電吸着を行うことを特徴とする静電吸着方法。 - 前記ターゲットに直流電力が印加されていないことを特徴とする請求項2に記載の静電吸着方法。
- 前記プラズマ処理装置内の圧力が10Pa以下であることを特徴とする請求項2または3に記載の静電吸着方法。
- 前記プラズマ処理装置内の圧力が1Pa以下であることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載の静電吸着方法。
- 静電吸着機構及びターゲットを備えたプラズマ処理装置における基板への膜の作製方法であって、
絶縁性である前記基板を前記静電吸着機構に載置し、
前記ターゲットに高周波電力を印加してプラズマを形成し、
前記プラズマによって前記ターゲットをスパッタリングし、
前記プラズマと前記スパッタリングによって前記基板を加熱し、前記基板を静電吸着させる静電吸着工程と、
前記基板の裏面に基板温度調整用ガスを流し、前記基板の温度を調整する温度調整工程と、
前記ターゲットをスパッタリングし、前記基板へ膜を成膜する成膜工程とを有することを特徴とする膜の作製方法。 - 前記静電吸着工程において、前記ターゲットに直流電力が印加されていないことを特徴とする請求項6に記載の膜の作製方法。
- 前記静電吸着工程における前記プラズマ処理装置内の圧力が、前記成膜工程における圧力よりも低く且つ10Pa以下であることを特徴とする請求項6または7に記載の膜の作製方法。
- 前記静電吸着工程における前記プラズマ処理装置内の圧力が、前記成膜工程における圧力よりも低く且つ1Pa以下であることを特徴とする請求項6乃至8のいずれか1項に記載の膜の作製方法。
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JP2010274500A JP2012124362A (ja) | 2010-12-09 | 2010-12-09 | 絶縁性基板の静電吸着方法 |
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
WO2017117207A1 (en) | 2015-12-29 | 2017-07-06 | Corning Incorporated | Electrostatic chucking of cover glass substrates in a vacuum coating process |
WO2017197305A1 (en) | 2016-05-12 | 2017-11-16 | Corning Incorporated | Electrostatic chucking of cover glass with irregular surface flatness |
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-
2010
- 2010-12-09 JP JP2010274500A patent/JP2012124362A/ja active Pending
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