JP2012119494A - ロータリー式ピックアップ機構及びそれを備えた半導体処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ロータリー式ピックアップ機構6では、ピックアップ部材であるピックアップヘッド61が4本、駆動軸60に対し円周等配位置に、十字状に延びて取り付けられている。各ピックアップヘッド61は、少なくとも中心線が、駆動軸60を中心とした円(図2にて一点鎖線にて図示)の半径の延長線よりも回転方向と逆方向にずらして配置されている。
【選択図】図1
Description
図1に示すように、本実施形態に係るロータリー式ピックアップ機構6では、ピックアップ部材であるピックアップヘッド61が4本、駆動軸60に対し円周等配位置に(つまり90度ごとに)、十字状に延びて取り付けられている。各ピックアップヘッド61は、少なくとも中心線が、駆動軸60を中心とした円(図2にて一点鎖線にて図示)の半径の延長線よりも回転方向と逆方向にずらして配置された点に特徴がある。
本実施形態に係る半導体処理装置10(図2に図示)は、図5、図6に示した従来例と同じく、ウエハ移動機構2、デバイス剥離機構3及びテストハンドラ5を備えている。本実施形態の半導体処理装置10では、上記ロータリー式ピックアップ機構6にて、ウエハ移動機構2からデバイスSを受け取り、テストハンドラ5の吸着ノズル52に受け渡すようになっている。なお、図2に示すように、テストハンドラ5の各吸着ノズル52の上部には吸着ノズル52を上下動させる吸着ノズル駆動機構50が取り付けられている。ターンテーブル51が間欠回転するとき、吸着ノズル52は上昇位置である搬送ラインに保持される。
続いて、本実施形態の動作について説明する。ロータリー式ピックアップ機構6では、ピックアップノズル64がデバイス剥離位置Pに対向する時、突上げピン31にて突き上げられたデバイスSをウエハWから受け取り、これを吸着保持する。ピックアップノズル64によるデバイスSのピックアップ動作が終了すると、ピックアップヘッド61が回転を開始する。また、ウエハ移動機構2によるウエハリングRのピッチ移動がなされる。
以上のようなロータリー式ピックアップ機構6によれば、デバイスSの表裏を反転させながら、デバイスSをウエハWから受け取り、連続的にテストハンドラ5に供給することができる。しかも、デバイスSの受け取りと受け渡しを並行して処理可能なので、処理時間の短縮化が図れる。
上記の実施形態は、例として提示したものでありそのほかの様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
2…ウエハ移動機構
3…デバイス剥離機構3
31…突上げピン
4、6…ロータリー式ピックアップ機構
40、60…駆動軸
41、61…ピックアップヘッド
42、62…ノズル保持アーム
43、63…ノズルホルダ
44、64…ピックアップノズル
45、65…ボールスプライン
5…テストハンドラ
50…吸着ノズル駆動機構
51…ターンテーブル
52…吸着ノズル
53…不良品排出ユニット
54…外観検査ユニット
55…方向回転ユニット
56…テーピングユニット
61…ピックアップヘッド
62…ノズル保持アーム
63…ノズルホルダ
64…ピックアップノズル
C…ピックアップカメラ
P…デバイス剥離位置
PR…プリズム
R…ウエハリング
S…デバイス
W…ウエハ
Claims (2)
- ウエハに載置されたデバイスをピックアップする複数のピックアップ部材が、駆動軸に対し、該駆動軸を中心とした円の円周等配位置に取り付けられ、前記ピックアップ部材がピックアップする前のデバイスの画像データを取り込むピックアップカメラが設けられたロータリー式ピックアップ機構において、
前記ピックアップ部材の少なくとも中心線が、前記駆動軸を中心とした円の半径の延長線よりも回転方向と逆方向にずらして配置されたことを特徴とするロータリー式ピックアップ機構。 - 請求項1に記載のロータリー式ピックアップ機構と、
前記デバイスを載置するウエハを保持し当該ウエハを所定の方向に移動させるウエハ移動機構と、
前記ロータリー式ピックアップ機構からデバイスを受け取りデバイスに各種の工程処理を施す工程処理ユニットにデバイスを順次搬送するテストハンドラが設けられ、
前記ウエハ移動機構は、前記ピックアップカメラの取り込んだデバイスの画像データに基づいて前記ウエハの位置補正を行うように構成されたことを特徴とする半導体処理装置。
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