JP2012117830A - 形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、反射型サンプル基板2上の被検パタン領域に対し、空間領域及び/又は時間領域でのコヒーレントな光を、照射位置をシフトさせながら複数回照射する照射部10と、照射部10により照射された被検パタン領域からの回折光を受光する撮像素子15と、撮像素子15による受光結果である画像情報を記録する記録部16aと、記録部16aに記録された画像情報から、反復計算により演算に最適な照明形状を導出し、記録部16aに記録された画像情報のうち、導出された照明形状を用いて、実波長でのパタン形状ならび欠陥を抽出する測定処理部16とを備える。
【選択図】 図1
Description
Claims (2)
- 反射型サンプル基板上の被検パタン領域に対し、空間領域及び/又は時間領域でのコヒーレントな光を、照射位置をシフトさせながら複数回照射する照射手段と、
上記照射手段により照射された被検パタン領域からの回折光を受光する受光手段と、
上記受光手段による受光結果である画像情報を記録する記録手段と、
上記記録手段に記録された画像情報から、反復計算により、形状が既知のパタンに対して演算に最適な照明形状を導出する導出手段と、
上記記録手段に記録された画像情報から、上記導出手段により導出された照明形状を用いて、実波長でのパタン形状ならびに欠陥を抽出する演算手段とを備える形状測定装置。 - 上記演算手段は、上記記録手段に記録された画像情報のうち、上記導出手段により導出された照明形状を用いて、実波長でのパタン形状ならびに欠陥を抽出するため、抽出したパタン形状ならびに欠陥に現れる周期成分をフィルタリングして出力する請求項1記載の形状測定装置。
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