JP2012103562A - 露光方法及び露光位置の確認方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】露光対象部材2は、露光パターン形成用領域及びその周囲の少なくとも一部の非パターン形成領域を備えている。この露光対象部材2の非パターン形成領域における露光パターンの延長上にある領域に露光光の照射により変色する光変色材料を塗布するか、又は露光光の照射により変色する光変色部材を貼付し、マスクに透過させた露光光を露光対象部材に照射する際に、露光パターン形成用領域の他に、光変色材料又は光変色部材からなる光変色領域22にも照射してこれを変色させる。そして、この光変色領域22の変色により、露光パターン形成領域における露光位置を確認し、露光不良の有無を判定する。
【選択図】図1
Description
Claims (6)
- 露光パターン形成用領域及びその周囲の少なくとも一部の非パターン形成領域を備えた露光対象部材に対して、露光光源から出射した露光光をマスクを介して照射することにより、前記露光パターン形成用領域に前記マスク上のマスクパターンを露光する露光方法において、
前記非パターン形成領域における露光パターンの延長上にある領域に前記露光光の照射により変色する光変色材料を塗布するか、又は前記露光光の照射により変色する光変色部材を貼付し、前記マスクに透過させた露光光を前記露光対象部材に照射する際に、前記露光パターン形成用領域の他に、前記光変色材料又は前記光変色部材にも照射してこれを変色させることを特徴とする露光方法。 - 前記光変色材料又は光変色部材は、前記露光光の照射回数及び/又は照射時間により、変色の度合いが異なることを特徴とする請求項1に記載の露光方法。
- 前記露光対象部材には、前記露光パターン形成用領域が複数形成されており、この露光パターン形成用領域間に前記非パターン形成領域が形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の露光方法。
- 前記露光対象部材の2以上の露光パターン形成用領域を同時露光する際に、露光対象の露光パターン形成用領域間の非パターン形成領域に前記光変色材料又は前記光変色部材を施工することを特徴とする請求項3に記載の露光方法。
- 前記露光光を前記マスクに連続的に透過させながら前記露光対象部材を1方向に移動させて前記露光対象部材の移動方向に並ぶ複数の露光パターン形成用領域を連続的に露光する露光方法であって、前記露光対象部材の移動方向に並ぶ前記パターン形成用領域間の非パターン形成領域に前記光変色材料又は前記光変色部材を施工することを特徴とする請求項3に記載の露光方法。
- 前記請求項1乃至5のいずれかの露光方法により露光された露光対象部材における露光位置の確認方法であって、前記露光光の照射により変色させた前記光変色材料又は光変色部材の変色により、前記露光パターン形成領域における露光位置を確認することを特徴とする露光位置の確認方法。
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