JP2012103041A - 流体流れの可視化装置および可視化方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定対象物の流体の流れを可視化する際、トレーサとして第1流体をノズル孔から第2流体の流れ場内に供給し、前記第1流体が光吸収する波長を備えるレーザ光が前記流れ場内を横切るように、前記レーザ光を照射する。その際、前記レーザ光の照射位置が前記流れ場内をスキャンするように制御される。一方、前記流れ場内を通過したレーザ光を受光し、受光したレーザ光のスキャン強度信号を用いて、前記第1流体がレーザ光を横切る位置を求めることにより、第2流体の流れを可視化する。前記第1流体が前記レーザ光を横切る位置は、前記スキャン強度信号の値が設定された閾値より小さくなる時間軸上の位置に基づいて求められる。
【選択図】 図2
Description
一般に、流体の流れを可視化する場合は、流体内にトレーサを流し、そのトレーサが流体に沿って分散した状態を画像として捕らえて観測することによって、流体の流れは可視化される。トレーサには、例えば蛍光微粒子、油煙、あるいは水素気泡等が用いられる。
また、一旦分散した流体を、測定対象物を通過した流体の下流側で回収する必要もある。
上記細径管に、管軸方向のすり割り細隙又は微小穴群を設けて、管内に発煙用液を流すので、この液はすり割り細隙又は微小穴群に均等に浸透し、通電加熱により一様に発煙する。
トレーサとして第1流体をノズル孔から第2流体の流れ場に供給する流体供給ユニットと、
前記第1流体が光吸収する波長を備えるレーザ光が前記流れ場内を横切るように、前記レーザ光を照射し、かつ、前記レーザ光の照射位置が前記流れ場内をスキャンするように制御されるレーザ光供給ユニットと、
前記流れ場内を横切ったレーザ光を受光する受光ユニットと、
受光したレーザ光のスキャン強度信号を用いて、前記流れ場における前記第2流体の流れを可視化する処理ユニットと、を備える。
前記処理ユニットは、前記スキャン強度信号が設定された閾値より小さくなる時間軸上の位置を求め、この位置に基いて前記第1流体が前記レーザ光を横切る位置を特定することが好ましい。
当該方法は、
トレーサとして第1流体をノズル孔から第2流体の流れ場内に供給するステップと、
前記第1流体が光吸収する波長を備えるレーザ光が前記流れ場内を横切るように、前記レーザ光を照射し、かつ、前記レーザ光の照射位置が前記流れ場内をスキャンするように制御されるステップと、
前記流れ場内を通過したレーザ光を受光するステップと、
受光したレーザ光のスキャン強度信号を用いて、第2流体の流れを可視化するステップと、を備える。
前記第1流体が前記レーザ光を横切る位置は、前記スキャン強度信号の値が設定された閾値より小さくなる時間軸上の位置に基づいて求められる、ことが好ましい。
風洞システム10は、一定の気体が流れる流体の流れ場内に測定対象物として物体を置き、物体周りの流れを可視化する。
具体的には、風洞システム10では、空気が一定速度で流れる空気の流れ場12中に物体14が置かれる。
流体供給ユニット16は、トレーサとして二酸化炭素ガスを複数のノズル孔18から流体の流れ場12に供給する。図1に示すように、ノズル孔18を供給点とし、後述するスキャンされるレーザ光Lに対して直交する方向で、空気の流れに沿って二酸化炭素ガスは供給される。二酸化炭素ガスの供給速度は、空気の流れる速度と同じになるように調整される。ノズル孔18は、二酸化炭素ガスの図示されないタンクに接続される。タンクに接続される途中、二酸化炭素ガスが所定の供給速度になるように調整する調整機構が設けられている。したがって、二酸化炭素ガスは、ノズル孔18を供給点として流れ場12内に供給されて流れ場12に沿って流れる。
レーザ光源23は、二酸化炭素を光吸収する波長を備えるレーザ光Lを出射する。図2に示すように、量子カスケードレーザ(Quantum Cascade Laser:QCL)がレーザ光源23として用いられる。QCLは、例えば、4.3μmの波長のレーザ光Lを出射する。この4.3μmのレーザ光Lは、二酸化炭素が光吸収する波長である。
ガルバノミラー25は、レーザ光源23から出射したレーザ光Lの反射角度を変更しながら放物面ミラー26に向けるミラーである。ガルバノミラー25の反射面の向きが、ガルバノミラードライバ28から送られる制御信号によって制御されてレーザ光Lの反射角度が変更される。ガルバノミラー25のレーザ光Lの反射面は、後述するように、レーザ光Lが配列されたノズル孔18の配列方向に対して直交する方向に照射し、かつ流れ場12内を平面状にスキャンするように、駆動される。
放物面ミラー32は、受光部34の受光面の一点を焦点とし、流れ場12内を横切ったレーザ光Lを受光部34の受光面の一点に収束させるように設けられている。したがって、流れ場12をスキャンしたレーザ光Lは受光部34で受光される。
コンピュータ36は、ガルバノミラー25の反射面の向きを制御するようにガルバノミラードライバ28に指示する他、受光部34から出力されたスキャン強度信号のデジタル信号を用いて、以降に示す処理を行って、複数のノズル孔18から供給された二酸化炭素ガスがレーザ光Lを横切る空間上の位置を求める。これにより、コンピュータ36は、流れ場12における空気の流れを可視化する。
コンピュータ36の上記指示及び処理は、コンピュータ36内の図示されないメモリに記憶されたプログラムを呼び出して実行することにより行われる。すなわち、上記指示および処理は、ソフトウェアにより行われる。
A/Dコンバータ40は、受光部34から出力されたスキャン強度信号をデジタル信号に変換する。さらに、A/Dコンバータ40は、レーザ光源23でレーザ光Lの駆動電流をモニタリングのために、さらに、後述する処理のトリガー信号として取り込んでデジタル信号に変換する。
コンピュータ36はスキャン強度信号から、二酸化炭素ガスの濃度0.3%の強度信号のレベルを基準とする相対的なスキャン強度信号を求め、このスキャン強度信号のレベルと設定された上記閾値とのレベルを比較し、スキャン強度信号の値が設定された閾値より小さくなる時間軸上の位置を抽出する。
図4(b)に示す例では、時間軸上の時間tA,tB及びtCの位置が抽出される。この3つの位置は、図1に示すように一列に並んだノズル孔18のうち、3つのノズル孔18から供給された二酸化炭素ガスがレーザ光Lを横切る空間上の位置に対応する。一般に流れ場内では、流れは分岐しないし合流しないので、スキャンによって得られた時間tA,tB及びtCに対応する空間上の位置が、ノズル列の各ノズル孔18からトレーサとして供給された二酸化炭素ガスの通過する位置となる。
一方、コンピュータ36は、ガルバノミラー25の反射面の向きを制御するので、ガルバノミラー25の反射面の向きに基いて、流れ場12においてレーザ光Lが横切る位置を特定することができる。すなわち、ガルバノミラー25の反射面の角度とレーザ光Lの流れ場12を横切る位置を関連付けることができる。つまり、コンピュータ36は、抽出した上記時間tA,tB及びtCに対応したガルバノミラー25の反射面の向きに基いて、レーザ光Lの流れ場12内の照射位置を求めることができる。したがって、コンピュータ36は、一列に並んだノズル孔18から供給された二酸化炭素ガスの、レーザ光Lを横切る空間上の位置を特定することができる。
このような流れ場12においてレーザ光Lの平面状にスキャンする位置を、流れ場12の上流側、あるいは下流側の方向に移動させることにより、流れ場12の流れの可視化、すなわち、流線を求めることができる。本実施形態のレーザ光供給ユニット20と受光ユニット22とは、流れ場12の上流側、あるいは下流側の方向に移動させる機構を備える。
次に、レーザ光供給ユニット20は、二酸化炭素ガスが光吸収する波長を備えるレーザ光Lが流れ場12内を横切るように、レーザ光Lを照射する。その際、ガルバノミラー25の反射面の制御により、レーザ光Lの照射位置が流れ場12内をスキャンするように制御される。
一方、流れ場12の、レーザ光供給ユニット20と反対側の位置に設けられた受光ユニット22は、流れ場12内をスキャンしたレーザ光Lを受光する。
受光したレーザ光Lのスキャン強度信号は、A/Dコンバータ40において、デジタル信号とされ、コンピュータ36に取り込まれる。A/Dコンバータ40に出力されたレーザ光源23のドライブ電流もデジタル化され、このドライブ電流も、レーザ光Lの強度のモニタリングのためにコンピュータ36に取り込まれる。
本実施形態では、一列に並んだ複数のノズル18のノズル列によって二酸化炭素ガスが供給され、この前記ノズル列は、レーザ光Lが前記流れ場内を横切る方向と直交するように設けられるので、レーザ光Lのスキャンにより、二酸化炭素がレーザ光Lを横切る複数の位置を同時に得ることができ、流れ場12の流れを可視化するのに効率がよい。
12 流れ場
14 物体
16 流体供給ユニット
18 ノズル孔
20 レーザ光供給ユニット
22 受光ユニット
23 レーザ光源
24 制御処理ユニット
25 ガルバノミラー
26,32 放物面ミラー
28 ガルバノミラードライバ
34 受光部
36 コンピュータ
38 D/Aコンバータ
40 A/Dコンバータ
Claims (9)
- 測定対象物の流体の流れを可視化する流体流れの可視化装置であって、
トレーサとして第1流体をノズル孔から第2流体の流れ場に供給する流体供給ユニットと、
前記第1流体が光吸収する波長を備えるレーザ光が前記流れ場内を横切るように、前記レーザ光を照射し、かつ、前記レーザ光の照射位置が前記流れ場内をスキャンするように制御されるレーザ光供給ユニットと、
前記流れ場内を横切ったレーザ光を受光する受光ユニットと、
受光したレーザ光のスキャン強度信号を用いて、前記流れ場における前記第2流体の流れを可視化する処理ユニットと、を備えることを特徴とする流体流れの可視化装置。 - 前記処理ユニットは、前記スキャン強度信号を用いて前記第1流体がレーザ光を横切る位置を求め、求めた前記位置に基いて、前記流れ場における前記第2流体の流れを可視化する、請求項1に記載の流体流れの可視化装置。
- 前記処理ユニットは、前記スキャン強度信号が設定された閾値より小さくなる時間軸上の位置を求め、この位置に基いて前記第1流体が前記レーザ光を横切る位置を特定する、請求項2に記載の流体流れの可視化装置。
- 前記レーザ光供給ユニットは、レーザ光源と、前記レーザ光源から出射したレーザ光を反射するガルバノミラーと、前記ガルバノミラーで反射されたレーザ光が前記流れ場内で一定の方向に向くように、前記レーザ光を反射する放物面ミラーと、を含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の流体流れの可視化装置。
- 前記処理ユニットは、前記レーザ光のスキャン強度信号の値が前記閾値より小さくなる時間軸上の位置を求め、この位置に対応する前記ガルバノミラーの向きに基づいて前記レーザ光のスキャン位置を特定する、請求項4に記載の流体流れの可視化装置。
- 前記流体供給ユニットは、前記ノズル孔を、前記第2流体を供給する複数のノズル孔とともに配列したノズル列を備え、
前記ノズル列は、前記レーザ光が前記流れ場内を横切る方向と直交するように設けられる、請求項1〜5のいずれか1項に記載の流体流れの可視化装置。 - 測定対象物の流体の流れを可視化する流体流れの可視化方法であって、
トレーサとして第1流体をノズル孔から第2流体の流れ場内に供給するステップと、
前記第1流体が光吸収する波長を備えるレーザ光が前記流れ場内を横切るように、前記レーザ光を照射し、かつ、前記レーザ光が前記流れ場内をスキャンするように制御されるステップと、
前記流れ場内を通過したレーザ光を受光するステップと、
受光したレーザ光のスキャン強度信号を用いて、第2流体の流れを可視化するステップと、を備えることを特徴とする流体流れの可視化方法。 - 前記第2流体の流れを可視化するとき、前記スキャン強度信号を用いて前記第1流体がレーザ光を横切る位置を求め、求めた前記位置に基いて、前記第2流体の流れを可視化する、請求項7に記載の流体流れの可視化方法。
- 前記第1流体が前記レーザ光を横切る位置は、前記スキャン強度信号の値が設定された閾値より小さくなる時間軸上の位置に基づいて求められる、請求項8に記載の流体流れの可視化方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016159863A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | 富士重工業株式会社 | 航空機翼の水滴離脱性試験方法、及び、航空機翼の水滴離脱性試験装置 |
KR20210047619A (ko) * | 2019-10-22 | 2021-04-30 | 한국수력원자력 주식회사 | 유동 가시화 실험장치 |
CN113155402A (zh) * | 2021-03-02 | 2021-07-23 | 浙江工业大学 | 一种气体静压轴承微间隙气膜流场观测装置 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103487232B (zh) * | 2013-06-28 | 2015-09-02 | 江苏大学 | 一种透明喷嘴内部空穴流动可视化研究的自循环装置 |
CN104266815B (zh) * | 2014-09-30 | 2017-12-01 | 中车青岛四方机车车辆股份有限公司 | 高速列车转向架舱内流场状态测试装置及方法 |
DE102015214302B4 (de) | 2015-04-28 | 2021-02-11 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung zur Erzeugung zweidimensionaler Beleuchtungsmuster und Vorrichtung zur optischen Bestimmung von Geschwindigkeitsfeldern in Fluidströmungen |
CN106226027B (zh) * | 2016-09-21 | 2018-07-06 | 大连理工大学 | 一种烟线流动显示控制装置 |
CN106895951B (zh) * | 2017-02-22 | 2020-01-03 | 中国科学技术大学 | 高超声速内转式进气道及隔离段流场层析显示方法、系统 |
CN107290127B (zh) * | 2017-06-09 | 2019-06-28 | 华南农业大学 | 一种旋翼无人机雾流场的可视化装置及控制方法 |
US11293876B2 (en) * | 2017-06-29 | 2022-04-05 | Tokai University Education System | Fluid measurement method, fluid measurement device, and measurement system |
CN115184239A (zh) * | 2018-04-17 | 2022-10-14 | 中国矿业大学 | 一种破碎煤岩体渗透注浆可视化试验装置及其试验方法 |
CN112867927B (zh) * | 2018-10-15 | 2023-07-07 | 诺基亚技术有限公司 | 用于处理流体区域的装置和方法 |
TWI730486B (zh) | 2019-11-01 | 2021-06-11 | 財團法人工業技術研究院 | 流場可視化觀測裝置與流場可視化觀測方法 |
CN114414201B (zh) * | 2021-12-31 | 2023-07-04 | 浙江大学 | 一种青瓷窑炉内部流场模拟可视化装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59195163A (ja) * | 1983-04-21 | 1984-11-06 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 流場計測装置 |
JPH0552523A (ja) * | 1991-08-27 | 1993-03-02 | Matsushita Electric Works Ltd | 光学式寸法測定器 |
JP2001356130A (ja) * | 2000-06-15 | 2001-12-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液流または噴射流可視化装置 |
JP2004069396A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-03-04 | Kri Inc | 流体検出器 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5127264A (en) * | 1991-05-20 | 1992-07-07 | Thermal Surveys, Inc. | Methods of infrared visualization of air flow |
JPH0663902B2 (ja) | 1992-03-16 | 1994-08-22 | 株式会社未来技術研究所 | 流線観測方法と、その観測用風洞 |
JP3685256B2 (ja) * | 2001-09-14 | 2005-08-17 | 東京電力株式会社 | 流体の流動計測システム |
DE10325537B4 (de) * | 2003-06-04 | 2006-08-17 | Fuchs Petrolub Ag | Vorrichtung und Verfahren zum automatischen Detektieren von wenigstens einem in einem flüssigen Betriebsstoff enthaltenen fluoreszierenden und/oder lichtabsorbierenden Indikator während des Einfüllvorgangs des Betriebsstoffs in eine Maschine |
-
2010
- 2010-11-08 JP JP2010249725A patent/JP5646957B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
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- 2011-11-04 CN CN201180046413.8A patent/CN103124909B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59195163A (ja) * | 1983-04-21 | 1984-11-06 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 流場計測装置 |
JPH0552523A (ja) * | 1991-08-27 | 1993-03-02 | Matsushita Electric Works Ltd | 光学式寸法測定器 |
JP2001356130A (ja) * | 2000-06-15 | 2001-12-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液流または噴射流可視化装置 |
JP2004069396A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-03-04 | Kri Inc | 流体検出器 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016159863A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | 富士重工業株式会社 | 航空機翼の水滴離脱性試験方法、及び、航空機翼の水滴離脱性試験装置 |
US9804061B2 (en) | 2015-03-05 | 2017-10-31 | Subaru Corporation | Method and device for testing water droplet shedding ability of aircraft wing |
KR20210047619A (ko) * | 2019-10-22 | 2021-04-30 | 한국수력원자력 주식회사 | 유동 가시화 실험장치 |
KR102251464B1 (ko) * | 2019-10-22 | 2021-05-13 | 한국수력원자력 주식회사 | 유동 가시화 실험장치 |
CN113155402A (zh) * | 2021-03-02 | 2021-07-23 | 浙江工业大学 | 一种气体静压轴承微间隙气膜流场观测装置 |
CN113155402B (zh) * | 2021-03-02 | 2022-04-19 | 浙江工业大学 | 一种气体静压轴承微间隙气膜流场观测装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103124909B (zh) | 2016-01-13 |
US9182422B2 (en) | 2015-11-10 |
EP2639588A4 (en) | 2014-05-14 |
US20130220009A1 (en) | 2013-08-29 |
CN103124909A (zh) | 2013-05-29 |
EP2639588A1 (en) | 2013-09-18 |
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