JP2012101432A - 微細構造の転写方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平面状のガラス基板1の表面に紫外線硬化樹脂5を滴下し、微細な凹凸形状を有するNi原版3を紫外線硬化樹脂5に密着させ、ガラス基板1の裏面から紫外線レーザー光6を走査して移動させ、紫外線硬化樹脂5を順次硬化し、然る後、Ni原版3をガラス基板1から剥離して、紫外線硬化樹脂5の表面にNi原版3の凹凸形状(デジタル形状)を転写すると共に、紫外線硬化樹脂5とNi原版3との密着した面内を予め用意した画像に基づいて分割し、分割した領域毎に紫外線レーザー光6の走査速度、走査方向を制御して縞模様(アナログ形状)を作製する。
【選択図】図1
Description
また、請求項3に係る微細構造の転写方法は、前記画像の輝度に対応させて前記光線の走査方向を変化させることを特徴とする。
また、請求項4に係る微細構造の転写方法は、前記画像を走査速度用と走査方向用に2枚用意し、夫々の画像の輝度に対応させて前記光線の走査速度と走査方向の両方を変化させることを特徴とする。
また、請求項6に係る微細構造の転写方法は、前記画像はビットマップパターンからなることを特徴とする。
また、請求項7に係る微細構造の転写方法は、前記面内の光線の走査線は一筆書き状であることを特徴とする。
また、請求項3の発明によれば、画像の輝度に対応させて光線の走査方向を制御させることによって回折光の方向を制御することができる。
また、請求項4の発明によれば、光線の走査速度と走査方向の両方の数値を制御することでデザイン性を向上することができる。
また、請求項6の発明によれば、画像がビットマップパターンであることにより、情報の扱いが容易である。
また、請求項7の発明によれば、光線の走査線が一筆書き状であることにより、面内に繋ぎが発生せず、転写面内の平面性を保つことが可能である。
(実施の形態1)
図1は、本実施形態の微細構造の転写方法を実施化した転写装置の概略構成を示す斜視図である。
装置には透明基板であるガラス基板1が搭載され、当該ガラス基板1の図示上面である表面には後述するシランカップリング剤によるシランカップリング処理4が施され、その図示上面に紫外線硬化樹脂5が滴下されている。
ガラス基板1の図示上方には上下方向に移動する昇降ヘッドが配設され、その図示下面に、微細な凹凸形状を有するNi原版2が貼り付けられている。
さらに、Xスキャナー18により走査されたレーザー光6を、Yスキャナー19のミラーに入射し、Xスキャナー18の走査方向と直交する方向に走査する。He−Cdレーザー15が発振するレーザー光の波長は紫外線である。
前述したように、ガラス基板1の表面には、シランカップリング剤によるシランカップリング処理4が施されている。
シランカップリング処理とは、ガラスと紫外線硬化樹脂との密着性を向上させるもので、シランカップリング剤は、分子中に無機質材料と化学的結合をする反応基と、有機材料と化学的結合をする反応基の2種以上の異なった反応基を持っている。
以上のような表面処理を行ったガラス基板1の表面上で、Ni原版3の降下する位置に、未硬化の紫外線硬化樹脂5を滴下する。
図3は、微細な凹凸形状を有する比較的平面的なNi原版3を、未硬化の紫外線硬化樹脂5に密着させ、透明基板であるガラス基板1とNi原版3を近接配置し、紫外線によって紫外線硬化樹脂5を硬化する硬化工程の説明図である。
図4は、Ni原版3を透明基板であるガラス基板1から剥離する剥離工程の説明図である。
以上説明した工程を経て、ガラス基板1の表面に紫外線硬化樹脂5を硬化して微細構造を転写することができる。
上述では、主に本実施形態の微細構造の転写工程について述べた。次に紫外線硬化樹脂の硬化方法について詳しく述べる。
図5は、前述のようにシランカップリング処理を施したガラス基板1に紫外線硬化樹脂5を滴下し、Ni原版3を貼り付けた昇降ヘッド2を降下して、紫外線硬化樹脂5にNi原版3を密着したところに、ガラス基板1の反対側から紫外線のレーザー光6を滴下した紫外線硬化樹脂5に照射した状態の説明図である。
このとき、レーザー光6の走査速度が速いと、収縮した分の樹脂を補う時間がなく、次の位置の硬化が始まる。そのため、樹脂の収縮による歪みが生じる。この現象が連続的に起こることで走査方向とは垂直に縞模様が発生する。この縞模様が回折格子として機能し、回折光を観察することができる。
図6(a)は、走査速度用の画像10を示した図であり、輝度が高い部分(速い)と輝度が低い(遅い)ことを示している。走査速度は図6(a)の輝度により設定する。設定方法としては輝度を0〜255段階に分け、走査速度範囲を2.0m/sから0.001m/sとする。輝度が0の場合には走査速度を2.0m/sに設定する。また輝度が255の場合には、走査速度を0.001m/sに設定する。このように設定することにより、回折光によるグラデーション効果を表現することが可能でデザイン性を向上させることができる。
以下に、本実施形態における転写方法の一例を示す。
図7は、本実施形態の微細構造の転写に用いるNi原版13を示しており、図中の星部分は電子線描画装置により1mmに500本の回折格子14が作製されている。その他の部分は鏡面であり、微細構造はない。
輝度が0の場合には0度であり、輝度が147の場合には、90度に設定する。このとき0度とは時計で12時方向であり、時計回りを正とする。実際の走査間隔は50μmであり、便宜上拡大図示している。
2・・・昇降ヘッド
3・・・Ni原版
4・・・シランカップリング処理
5・・・紫外線硬化樹脂(光硬化樹脂)
6・・・レーザー光(ビーム状の光線)
7・・・転写パターン
10・・・走査速度用の画像
11・・・縞模様
12・・・鏡面
13・・・Ni原版
14・・・回折格子
15・・・He−Cdレーザー
16・・・ミラー
17・・・シャッター
18・・・Xスキャナー
19・・・Yスキャナー
20・・・走査速度用の画像
21・・・走査方向用の画像
Claims (8)
- 平面状の透明基板表面に光硬化樹脂を塗布する工程と、微細な凹凸形状を有する原版を、前記光硬化樹脂に密着させ、前記透明基板と当該原版とを近接配置する工程と、前記透明基板に原版と反対側から、ビーム状の光線を走査して移動させ、前記光硬化樹脂を順次硬化し、前記原版を透明基板から剥離する工程とを有する微細構造の転写方法において、
前記光硬化樹脂と原版との密着した面内を予め用意した画像に基づいて分割し、前記光線の走査速度を前記分割した領域毎に制御して微細構造を転写することを特徴とする微細構造の転写方法。 - 前記画像の輝度に対応させて前記光線の走査速度を増減させることを特徴とする請求項1に記載の微細構造の転写方法。
- 前記画像の輝度に対応させて前記光線の走査方向を変化させることを特徴とする請求項1に記載の微細構造の転写方法。
- 前記画像を走査速度用と走査方向用に2枚用意し、夫々の画像の輝度に対応させて前記光線の走査速度と走査方向の両方を変化させることを特徴とする請求項1に記載の微細構造の転写方法。
- 前記画像は2値画像であり且つ2種の走査速度又は走査方向を対応させたことを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項に記載の微細構造の転写方法。
- 前記画像はビットマップパターンからなることを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項に記載の微細構造の転写方法。
- 前記面内の光線の走査線は一筆書き状であることを特徴とする請求項1乃至6の何れか一項に記載の微細構造の転写方法。
- 前記透明基板がガラス基板であり、当該ガラス基板の表面にシランカップリング処理を施したことを特徴とする請求項1乃至7の何れか一項に記載の微細形状の転写方法。
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JP2005215282A (ja) * | 2004-01-29 | 2005-08-11 | Toppan Printing Co Ltd | 微細な凹凸パターンの転写方法及びそれにより得られた複製版 |
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