JP2012079909A - 位置合わせ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研削装置1の稼働前のメンテナンス時に、搬入搬出アーム13の搬入動作を調整する方法であって、搬入搬出アーム13の搬入動作の開始点をカセット6内のウェーハWの任意の位置に合わせ、終点位置を仮置きテーブル35の中心位置に合わせるステップと、搬入搬出アーム13により仮置きテーブル35上に搬入されたウェーハWの中心位置を検出し、当該ウェーハWの中心位置と仮置きテーブル35の中心位置とから仮置きテーブル35に対するウェーハWの位置ズレ量を算出するステップと、ウェーハWの位置ズレ量に基づいて搬入動作の始点位置を、カセット6内のウェーハWの任意の位置から中心位置に補正するステップとを有する構成とした。
【選択図】図4
Description
3 チャックテーブル
4 研削ユニット(加工手段)
6、7 カセット
13 搬入搬出アーム(第二の搬送手段)
14 ワーク位置検出部(ワーク位置検出手段)
15 洗浄部
16 ウェーハ供給部(第一の搬送手段)
17 ウェーハ回収部
27 吸着面
31 多節リンク機構
32 保持部
33 支持台
34 吸着部
35 仮置きテーブル
36 撮像部
68 支持部
69 治具
71 オリエンテーションフラット
W ウェーハ(ワーク)
Claims (1)
- ワークを保持する保持手段と、
前記保持手段に保持されたワークを研削加工する加工手段と、
前記保持手段にワークを搬入する前に水平方向におけるワークの位置を検出するワーク位置検出手段と、
前記ワーク位置検出手段で検出したワークの位置に基づいて水平方向におけるワークの位置を補正して前記保持手段にワークを搬入する第一の搬送手段と、
前記ワーク位置検出手段にカセットから搬出したワークを搬入する第二の搬送手段と、を有する研削装置において、
前記第二の搬送手段が前記カセットから搬出したワークを前記ワーク位置検出手段に搬入した際に、前記ワーク位置検出手段で検出した水平方向におけるワークの位置を、前記第一の搬送手段が補正できる範囲内の位置に収めるために、
前記第二の搬送手段が前記カセットに収容されたワークを搬出する際の前記第二の搬送手段の水平方向移動位置を調整する位置合わせ方法であって、
前記第二の搬送手段で前記カセットから前記ワーク位置検出手段にワークを搬入し、ワークのズレを検出するズレ検出工程と、
前記ズレ検出工程で検出したズレ量が前記第一の搬送手段が補正できる範囲を超えている場合、前記ズレ量に基づいて前記第二の搬送手段が前記カセットに収容されたワークを搬出する際の前記第二の搬送手段の水平方向移動位置を調整する調整工程と、を含むことを特徴とする位置合わせ方法。
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