JP2012079594A - 有機el装置及びその製造方法 - Google Patents
有機el装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012079594A JP2012079594A JP2010225052A JP2010225052A JP2012079594A JP 2012079594 A JP2012079594 A JP 2012079594A JP 2010225052 A JP2010225052 A JP 2010225052A JP 2010225052 A JP2010225052 A JP 2010225052A JP 2012079594 A JP2012079594 A JP 2012079594A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- organic
- layer
- substrate
- laminate
- dark spot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 55
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 37
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 31
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 25
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 20
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 15
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract description 120
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 abstract description 31
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 68
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 35
- 239000010408 film Substances 0.000 description 28
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 28
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 28
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 13
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 13
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 12
- -1 unsaturated alicyclic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 10
- 239000002585 base Substances 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 8
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 8
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 7
- 229920000089 Cyclic olefin copolymer Polymers 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 5
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 5
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 4
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XJHCXCQVJFPJIK-UHFFFAOYSA-M caesium fluoride Chemical compound [F-].[Cs+] XJHCXCQVJFPJIK-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- JKQOBWVOAYFWKG-UHFFFAOYSA-N molybdenum trioxide Chemical compound O=[Mo](=O)=O JKQOBWVOAYFWKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N norbornene Chemical compound C1[C@@H]2CC[C@H]1C=C2 JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N 0.000 description 4
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 3
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 3
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 3
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 3
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- WSSSPWUEQFSQQG-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-1-pentene Chemical compound CC(C)CC=C WSSSPWUEQFSQQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920008347 Cellulose acetate propionate Polymers 0.000 description 2
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUMBMVFBXHLACL-UHFFFAOYSA-N Melanin Chemical compound O=C1C(=O)C(C2=CNC3=C(C(C(=O)C4=C32)=O)C)=C2C4=CNC2=C1C XUMBMVFBXHLACL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920012266 Poly(ether sulfone) PES Polymers 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 2
- ZSWFCLXCOIISFI-UHFFFAOYSA-N cyclopentadiene Chemical compound C1C=CC=C1 ZSWFCLXCOIISFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 2
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 229920001643 poly(ether ketone) Polymers 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 2
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 2
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 229920005749 polyurethane resin Polymers 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 2
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K tri(quinolin-8-yloxy)alumane Chemical compound [Al+3].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N Calcium oxide Chemical compound [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002134 Carboxymethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 229920000298 Cellophane Polymers 0.000 description 1
- 229920000623 Cellulose acetate phthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920001747 Cellulose diacetate Polymers 0.000 description 1
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N Ethenol Chemical compound OC=C IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000663 Hydroxyethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000004354 Hydroxyethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000020 Nitrocellulose Substances 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920010524 Syndiotactic polystyrene Polymers 0.000 description 1
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 1
- FJWGYAHXMCUOOM-QHOUIDNNSA-N [(2s,3r,4s,5r,6r)-2-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-dinitrooxy-2-(nitrooxymethyl)-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-trinitrooxy-2-(nitrooxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-3-yl]oxy-3,5-dinitrooxy-6-(nitrooxymethyl)oxan-4-yl] nitrate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](O[N+]([O-])=O)[C@H]1O[N+]([O-])=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](O[N+]([O-])=O)[C@H](O[N+]([O-])=O)[C@@H](CO[N+]([O-])=O)O1)O[N+]([O-])=O)CO[N+](=O)[O-])[C@@H]1[C@@H](CO[N+]([O-])=O)O[C@@H](O[N+]([O-])=O)[C@H](O[N+]([O-])=O)[C@H]1O[N+]([O-])=O FJWGYAHXMCUOOM-QHOUIDNNSA-N 0.000 description 1
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- 229920000180 alkyd Polymers 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Chemical compound [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 1
- TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N caesium atom Chemical compound [Cs] TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 1
- 239000001768 carboxy methyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010948 carboxy methyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 239000008112 carboxymethyl-cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- HKQOBOMRSSHSTC-UHFFFAOYSA-N cellulose acetate Chemical compound OC1C(O)C(O)C(CO)OC1OC1C(CO)OC(O)C(O)C1O.CC(=O)OCC1OC(OC(C)=O)C(OC(C)=O)C(OC(C)=O)C1OC1C(OC(C)=O)C(OC(C)=O)C(OC(C)=O)C(COC(C)=O)O1.CCC(=O)OCC1OC(OC(=O)CC)C(OC(=O)CC)C(OC(=O)CC)C1OC1C(OC(=O)CC)C(OC(=O)CC)C(OC(=O)CC)C(COC(=O)CC)O1 HKQOBOMRSSHSTC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006217 cellulose acetate butyrate Polymers 0.000 description 1
- 229940081734 cellulose acetate phthalate Drugs 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010549 co-Evaporation Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229920000547 conjugated polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001925 cycloalkenes Chemical class 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 239000012769 display material Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 235000019447 hydroxyethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- BLFVVZKSHYCRDR-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(n-naphthalen-2-ylanilino)phenyl]phenyl]-n-phenylnaphthalen-2-amine Chemical group C1=CC=CC=C1N(C=1C=C2C=CC=CC2=CC=1)C1=CC=C(C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=C3C=CC=CC3=CC=2)C=C1 BLFVVZKSHYCRDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001220 nitrocellulos Polymers 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 229920013716 polyethylene resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 239000011116 polymethylpentene Substances 0.000 description 1
- 229920000306 polymethylpentene Polymers 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 235000019422 polyvinyl alcohol Nutrition 0.000 description 1
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 1
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 1
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L terephthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=C(C([O-])=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
【解決手段】
基板2上に少なくとも、透光性を有する第1電極層3と、機能層5と、第2電極層6が積層された有機EL装置1において、
通電時に発光すべき領域に下記(1)〜(3)の全ての条件を満足するダークスポットが形成されており、前記基材の表面に光を散乱させる散乱層が設けられている構成となっている。
(1)直径が1mm以上のダークスポットが存在しない。
(2)直径が50μm以上のダークスポットが1平方センチメートル当たり1個以上存在する。
(3)直径が20μm以上のダークスポットが1平方センチメートル当たり5個以上存在する。
【選択図】図1
Description
また、有機EL素子は、一方又は双方が透光性を有する2つの電極を対向させ、この電極の間に有機化合物からなる発光層を積層したものである。有機EL装置は、電気的に励起された電子と正孔との再結合のエネルギーによって発光する。
有機EL装置は、自発光デバイスであるため、ディスプレイ材料として使用すると高コントラストの画像を得ることができる。また、発光層の材料を適宜選択することにより、種々の波長の光を発光することができる。また、白熱灯や蛍光灯に比べて厚さが極めて薄く、且つ面状に発光するので、設置場所の制約が少ない。
また、機能層203は、複数の有機化合物の薄膜が積層されたものである。機能層203の膜厚は通常、数百nmと言う極めて薄い膜厚で形成される。
ここで、ダークスポットとは例えば封止が不十分な時に、水分や酸素に起因して発生する非発光点である。発生したダークスポットは、成長し拡大化すると、有機EL装置の耐久性や品質に悪影響を及ぼす。一般的に、十分に封止された素子では水分や酸素の影響はないため、ダークスポットは発生しない。しかし、素子を水分や酸素に曝した状態で点灯させると裏面電極に酸化物が形成される。その酸化物が形成された箇所は部分的に絶縁化されるため、素子を通電した場合に該当箇所が非発光、即ちダークスポットになると考えられる。
また、有機EL装置を製品として出荷するためには良好な視認性が求められる。一定時間点灯し安定した状態の出荷時に、基準以上のダークスポットが発生していると、視覚性が悪くなるため、製品として欠陥品として扱われ、即ち、歩留まり低下の原因となる。
しかし、本発明者は、あらかじめ通電時に発光すべき領域に酸化物の形成に起因するダークスポットを形成し、電流リーク箇所を絶縁体にしておくことによって、上述した欠陥に起因するショートの発生を防止できることを見出した。即ち、裏面電極に用いられる金属層はかなりの水分や酸素の遮断効果を持っているが、電流リーク箇所には透明電極層に生じている急峻な凹凸やゴミに起因する裏面電極の不連続点があり、そこから水分や酸素が浸入してダークスポットが発生しやすいと考えられるため、電極リーク箇所を優先的に絶縁化してショートの発生を防止することができることを見出した。また、ダークスポット形成後に封止をすることにより、ダークスポットの成長の抑制も可能であることを見出した。さらに、この方法に基づきダークスポットを形成すると、場合によって見た目が悪いものとなってしまう可能性があるが、本発明者はさらなる改良を加え、鋭意検討を重ねた結果、基材の表面に光を散乱する散乱層を設けることを発明した。
(1)直径が1mm以上のダークスポットが存在しない。
(2)直径が50μm以上のダークスポットが1平方センチメートル当たり1個以上存在する。
(3)直径が20μm以上のダークスポットが1平方センチメートル当たり5個以上存在する。
また、基材の表面に光を散乱させる散乱層が設けられているため、発光効率の向上が可能である。また、ダークスポットによる見た目の悪さも改善できる。
(4)直径が50μm以上のダークスポットが複数存在し、最も距離の近い2個のダークスポットの中心間距離が2mm以上である。
(1)前記積層体を水蒸気の雰囲気に晒す。
(2)前記積層体に液体を噴霧する。
(3)前記積層体を液体に浸漬する。
(4)前記積層体を有酸素雰囲気に晒す。
(5)前記積層体を活性ガス雰囲気に晒す。
(6)前記積層体を大気中に晒す。
さらに封止部材8の素子側に水分吸収材や酸素吸収材を設けても良いし、封止部材自体に配合してもよい。水分吸収材や酸素吸収材を設ける構成を適応することにより、後述するダークスポット形成・成長過程にて不要となった、水分や酸素を取り除くことが可能になり、素子の更なる長寿命化が図られる。このような吸収材としては、例えば、酸化バリウム(BaO)、酸化カルシウム(CaO)、アルカリ金属、アルカリ土類金属あるいは活性酸化鉄微粉末等が利用可能である。
有機EL装置1は、図示しない真空蒸着装置と、図示しないレーザスクライブ装置を使用して製造される。
第1電極層3には、酸化インジウム錫(ITO)、酸化錫(SnO2)酸化亜鉛(ZnO)等が用いられる。第1電極層3は、スパッタ法やCVD法によって基板2に形成される。
(1)直径が1mm以上のダークスポットが存在しない。
(2)直径が50μm以上のダークスポットが1平方センチメートル当たり1個以上存在する。
(3)直径が20μm以上のダークスポットが1平方センチメートル当たり5個以上存在する。
(4)直径が50μm以上のダークスポットが複数存在し、最も距離の近い2個のダークスポットの中心間距離が2mm以上である。
(1)積層体を水蒸気の雰囲気に晒す。
(2)積層体に液体を噴霧する。
(3)積層体を液体に浸漬する。
(4)積層体を有酸素雰囲気に晒す。
(5)積層体を活性ガス雰囲気に晒す。
(6)前記積層体を大気中に晒す。
その後、封止部材8による封止の作業を行い本実施形態の有機EL装置1が完成する。
有機EL装置を形成するための基板としては、第1電極層としてITO(インジウム・錫酸化物、膜厚150nm)がパターニング形成されているガラス基板を用いた。この基板を界面活性剤によりブラシを用いて洗浄し、純水にて超音波洗浄した後、基板をオーブン中で乾燥した。この基板を真空蒸着装置に移動させ、真空中で以下のように材料を成膜した。
最後に陰極としてAlを真空蒸着法にて150nm(蒸着速度0.3nm/sec〜0.5nm/sec)の膜厚で成膜し、18mm×18mmを発光領域とする有機EL積層体を作製した。
比較例1の有機EL装置のガラス基板の外面上、すなわち光取り出し側に、散乱層7として、直径32μm、高さ8μmの凸型半球レンズ構造を表面に持つ全反射低減フィルム(ベースフィルム:ポリエチレンテレフタレート(屈折率:1.57、厚み:25μm)、レンズ部:熱可塑性樹脂(屈折率:1.58))を用い、接着剤(屈折率:1.53)を介して基板2上に形成した。これを実施例1とした。
比較例1の作製手順において、各材料を真空蒸着にて成膜後、大気中に取り出して静置した時間を3時間とした。それ以外は、全く同様の方法で有機EL装置を作製し、比較例2とした。
実施例1の作製手順において、各材料を真空蒸着にて成膜後、大気中に取り出して静置した時間を3時間とした。それ以外は、全く同様の方法で有機EL装置を作製し、実施例2とした。
比較例1の作製手順において、各材料を真空蒸着にて成膜後、大気中に取り出して静置した時間を20分とした。それ以外は、全く同様の方法で有機EL装置を作製し、比較例3とした。
比較例1の作製手順において、各材料を真空蒸着にて成膜後、大気中に取り出さず、真空雰囲気から窒素雰囲気で満たされたグローブボックスに移動させて封止を行なった。それ以外は、全く同様の方法で有機ELを作製し、比較例4とした。
これら実施例1、2及び比較例3、4の有機EL装置をそれぞれ32.4mA(10mA/cm2)条件下で駆動させ、電流発光効率を測定した。その測定結果を表1に記す。
各実施例及び各比較例において、目視による発光状態の観察を行ない、ダークスポットによる視認性を測定した。その測定結果を表2に記す。
大気中での放置時間を48時間としたことを除いて、比較例1と同様にして有機EL装置を作製した。この有機EL装置の発光状態を、光学顕微鏡を用いて観察した結果、直径1mm以上のダークスポットが観察された。この装置に実施例1と同様にして散乱層7として全反射低減フィルムを形成したが、ダークスポットの存在が目視で確認されない実施例1とは異なり、フィルム越しにダークスポットの存在が確認できる外観の悪い装置となった。
ブラシによる洗浄を比較例1の4分の1の時間に短縮したことを除いて、比較例1と同様にして有機EL装置を作製した。この有機EL装置の発光状態を、光学顕微鏡を用いて観察した結果、直径60μm以上のダークスポットが中心間距離1mm程度で複数存在する様子が観察された。この装置に実施例1と同様にして散乱層7として全反射低減フィルムを形成し目視で観察したところ、フィルム越しにダークスポットの存在が確認できる程外観の悪いわけではないが、フィルム越しに発光面内の明るさにバラツキが確認され、若干外観が悪い装置となった。
2 基板(基材)
3 第1電極層
5 機能層(有機発光層)
6 第2電極層
7 散乱層
10 凸部
11 積層体
12 欠陥部
20 有機EL装置
21 基板(基材)
22 凸部
Claims (7)
- 基材上に少なくとも、透光性を有する第1電極層と、有機発光層と、第2電極層が積層された有機EL装置において、
通電時に発光すべき領域に下記(1)〜(3)の全ての条件を満足するダークスポットが形成されており、
前記基材の表面に光を散乱させる散乱層が設けられていることを特徴とする有機EL装置。
(1)直径が1mm以上のダークスポットが存在しない。
(2)直径が50μm以上のダークスポットが1平方センチメートル当たり1個以上存在する。
(3)直径が20μm以上のダークスポットが1平方センチメートル当たり5個以上存在する。 - 請求項1に記載の有機EL装置であって、さらに、
前記通電時に発光すべき領域に下記(4)の条件を満足するダークスポットが形成されている有機EL装置。
(4)直径が50μm以上のダークスポットが複数存在し、最も距離の近い2個のダークスポットの中心間距離が2mm以上である。 - 散乱層はシートであり、基材の表面に前記シートが設けられて散乱層が形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の有機EL装置。
- 基材の表面に凹凸が形成されて散乱層が形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の有機EL装置。
- 基材上に少なくとも、透光性を有する第1電極層と、有機発光層と、第2電極層が積層され、前記積層体が封止部材で封止された有機EL装置を製造する方法において、基材の表面に光を散乱させる散乱層を形成する工程と、前記積層体を封止部材で封止する前に、通電時にダークスポットとなる欠陥部を形成する工程を有することを特徴とする有機EL装置の製造方法。
- 通電時にダークスポットとなる欠陥部を形成する工程は、次の少なくともいずれかの方法によって行われることを特徴とする請求項5に記載の有機EL装置の製造方法。
(1)前記積層体を水蒸気の雰囲気に晒す。
(2)前記積層体に液体を噴霧する。
(3)前記積層体を液体に浸漬する。
(4)前記積層体を有酸素雰囲気に晒す。
(5)前記積層体を活性ガス雰囲気に晒す。
(6)前記積層体を大気中に晒す。 - 通電時にダークスポットとなる欠陥部を形成する工程は、積層体への通電下で行われることを特徴とする請求項5又は6に記載の有機EL装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010225052A JP5620217B2 (ja) | 2010-10-04 | 2010-10-04 | 有機el装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010225052A JP5620217B2 (ja) | 2010-10-04 | 2010-10-04 | 有機el装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012079594A true JP2012079594A (ja) | 2012-04-19 |
JP5620217B2 JP5620217B2 (ja) | 2014-11-05 |
Family
ID=46239591
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010225052A Active JP5620217B2 (ja) | 2010-10-04 | 2010-10-04 | 有機el装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5620217B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013235973A (ja) * | 2012-05-09 | 2013-11-21 | Kaneka Corp | 有機el装置、及び有機elモジュール |
JP2016518000A (ja) * | 2013-04-01 | 2016-06-20 | エルジー・ケム・リミテッド | 有機発光素子およびその製造方法 |
US9530986B2 (en) | 2014-01-14 | 2016-12-27 | Panasonic Corporation | Laminated substrate, light-emitting device, and method for producing light-emitting device |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08315985A (ja) * | 1995-05-16 | 1996-11-29 | Sanyo Electric Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JPH11126689A (ja) * | 1997-10-21 | 1999-05-11 | Tdk Corp | 有機el素子の製造方法および有機el素子 |
JPH11260559A (ja) * | 1998-03-11 | 1999-09-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 有機薄膜el素子およびその製造方法 |
JP2002050472A (ja) * | 2000-08-04 | 2002-02-15 | Toray Ind Inc | 有機電界発光装置およびその製造方法 |
JP2002056975A (ja) * | 2000-08-09 | 2002-02-22 | Konica Corp | 有機エレクトロルミネッセンス素子、重合性環状構造を有する化合物又はその重合体ならびに蛍光性薄膜 |
JP2004031242A (ja) * | 2002-06-27 | 2004-01-29 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 有機elディスプレイおよびその製造方法 |
JP2004055452A (ja) * | 2002-07-23 | 2004-02-19 | Canon Inc | 有機発光デバイスの製造方法 |
JP2009110865A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 表示装置 |
-
2010
- 2010-10-04 JP JP2010225052A patent/JP5620217B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08315985A (ja) * | 1995-05-16 | 1996-11-29 | Sanyo Electric Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JPH11126689A (ja) * | 1997-10-21 | 1999-05-11 | Tdk Corp | 有機el素子の製造方法および有機el素子 |
JPH11260559A (ja) * | 1998-03-11 | 1999-09-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 有機薄膜el素子およびその製造方法 |
JP2002050472A (ja) * | 2000-08-04 | 2002-02-15 | Toray Ind Inc | 有機電界発光装置およびその製造方法 |
JP2002056975A (ja) * | 2000-08-09 | 2002-02-22 | Konica Corp | 有機エレクトロルミネッセンス素子、重合性環状構造を有する化合物又はその重合体ならびに蛍光性薄膜 |
JP2004031242A (ja) * | 2002-06-27 | 2004-01-29 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 有機elディスプレイおよびその製造方法 |
JP2004055452A (ja) * | 2002-07-23 | 2004-02-19 | Canon Inc | 有機発光デバイスの製造方法 |
JP2009110865A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 表示装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013235973A (ja) * | 2012-05-09 | 2013-11-21 | Kaneka Corp | 有機el装置、及び有機elモジュール |
JP2016518000A (ja) * | 2013-04-01 | 2016-06-20 | エルジー・ケム・リミテッド | 有機発光素子およびその製造方法 |
US9530986B2 (en) | 2014-01-14 | 2016-12-27 | Panasonic Corporation | Laminated substrate, light-emitting device, and method for producing light-emitting device |
US9923172B2 (en) | 2014-01-14 | 2018-03-20 | Panasonic Corporation | Light-emitting device with transparent substrate |
US10236472B2 (en) | 2014-01-14 | 2019-03-19 | Panasonic Corporation | Light-emitting device with transparent substrate |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5620217B2 (ja) | 2014-11-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2021153072A (ja) | 発光装置 | |
JP5523870B2 (ja) | 面発光素子 | |
JP4611829B2 (ja) | 自発光パネルの製造方法、および自発光パネル | |
US9960373B2 (en) | Substrate for photoelectric device and photoelectric device comprising same | |
JP2011048937A (ja) | 有機el発光素子 | |
TWI411351B (zh) | 具改良穩定性,發光性及效率之有機發光二極體(oled) | |
JP2004001296A (ja) | 積層膜付きフィルムとその製造方法及びフィルム型表示素子 | |
KR101608273B1 (ko) | 유기발광소자용 광추출 기판 제조방법, 유기발광소자용 광추출 기판 및 이를 포함하는 유기발광소자 | |
WO2016009958A1 (ja) | 有機電界発光素子 | |
US8409788B2 (en) | Laser induced thermal imaging method, method of patterning organic layer using the same and method of fabricating organic light emitting diode display device using the same | |
JP5620217B2 (ja) | 有機el装置の製造方法 | |
KR20070122079A (ko) | 유기전계발광소자 및 그 제조방법 | |
JP2010055894A (ja) | 発光素子用封止フィルム | |
JP2017091695A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子、並びに照明装置、面状光源及び表示装置 | |
JP2015191787A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子用基板、有機エレクトロルミネッセンス素子、照明装置及び表示装置 | |
KR20140074446A (ko) | 광추출 효율이 향상된 발광 소자 및 그 제조 방법 | |
JP2007150162A (ja) | 面発光体 | |
JP2015511759A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスデバイス及びその製造方法 | |
US20230329039A1 (en) | Display panel and display device | |
KR101861630B1 (ko) | 발광장치 및 그 제조방법 | |
US20130270542A1 (en) | Method for producing an optoelectronic component and optoelectronic component | |
KR20130066965A (ko) | 전면 발광형 유기 발광 다이오드 및 그 제조 방법 | |
KR101924083B1 (ko) | 발광장치 및 그 제조방법 | |
JP2010198974A (ja) | 有機el発光素子 | |
JP2012079515A (ja) | 有機el装置及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130822 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140319 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140403 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140502 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140724 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140729 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140821 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140918 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5620217 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |