JP2012078861A - 光走査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】各種光学部品を配置した樹脂ハウジング2外にポリゴンミラー3とこれを回転駆動するポリゴンモータ4を収納して成る光走査装置において、前記ポリゴンモータ4を前記樹脂ハウジング2とは別体で該樹脂ハウジング2よりも熱伝導率の高いモータベース8上に配置するとともに、前記樹脂ハウジング2とは別体で前記モータベース8よりも熱伝導率の低いモータカバー9で覆い、該モータカバー9を前記樹脂ハウジング2と前記モータベース8の間に設け、前記モータベース9を前記樹脂ハウジング2に締結する。
【選択図】図6
Description
図1は本発明の参考例1に係る光走査装置の内部構造を示す平面図、図2は図1のA−A線断面図、図3は図1のB−B線断面図、図4は同光学走査装置の偏向走査部の模式的断面図である。
次に、本発明の参考例2を図5に基づいて説明する。
図6は本発明の実施の形態1に係る光学走査装置の偏向走査部の模式的断面図であり、本図においては図5に示したものと同一要素には同一符号を付している。尚、以下に説明する本実施の形態1〜3に係る光走査装置は、樹脂ハウジング2外にポリゴンミラー3とこれを回転駆動するポリゴンモータ4を収容した点以外は図1〜図3に示した参考例1,2に係る光走査装置1と同じ構成を有している。
次に、本発明の実施の形態2を図7に基づいて説明する。
次に、本発明の実施の形態3を図8に基づいて説明する。
2 樹脂ハウジング
3 ポリゴンミラー
4 ポリゴンモータ
5 走査レンズ(光学部品)
6 折り返しミラー(光学部品)
7 光源
8 モータベース
9 モータカバー
10 ボルト
11 断熱層
12 断熱パッキン(断熱部材)
Claims (5)
- 各種光学部品を配置した樹脂ハウジング外にポリゴンミラーとこれを回転駆動するポリゴンモータを収納して成る光走査装置において、
前記ポリゴンモータを前記樹脂ハウジングとは別体で該樹脂ハウジングよりも熱伝導率の高いモータベース上に配置するとともに、前記樹脂ハウジングとは別体で前記モータベースよりも熱伝導率の低いモータカバーで覆い、該モータカバーを前記樹脂ハウジングと前記モータベースの間に設け、前記モータベースを前記樹脂ハウジングに締結したことを特徴とする光走査装置。 - 前記モータベースを熱伝導率70〜260w/m・kの高熱伝導部材で構成し、前記モータカバーを熱伝導率0.02〜0.2w/m・kの低熱伝導部材で構成したことを特徴とする請求項1記載の光走査装置。
- 前記モータカバーを前記モータベース上に設置したことを特徴とする請求項1又は2記載の光走査装置。
- 前記モータベースを断熱部材を介して前記樹脂ハウジングに締結したことを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の光走査装置。
- 前記モータベースを前記モータカバーを介して前記樹脂ハウジングに締結したことを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の光走査装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN106980177A (zh) * | 2016-01-19 | 2017-07-25 | 佳能株式会社 | 光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品制造方法 |
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2011
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