JP2012056808A - カルボン酸パラジウムを使用したカーボンナノチューブの製造方法 - Google Patents
カルボン酸パラジウムを使用したカーボンナノチューブの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012056808A JP2012056808A JP2010202598A JP2010202598A JP2012056808A JP 2012056808 A JP2012056808 A JP 2012056808A JP 2010202598 A JP2010202598 A JP 2010202598A JP 2010202598 A JP2010202598 A JP 2010202598A JP 2012056808 A JP2012056808 A JP 2012056808A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- palladium
- reaction tube
- catalyst
- cnt
- quartz
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 84
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 title abstract description 56
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 52
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 title abstract description 37
- LWHYKTAISUZRAD-UHFFFAOYSA-L palladium(2+);carbonate Chemical compound [Pd+2].[O-]C([O-])=O LWHYKTAISUZRAD-UHFFFAOYSA-L 0.000 title abstract 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 72
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims abstract description 59
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 47
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 40
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 136
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 92
- -1 palladium carboxylate Chemical class 0.000 claims description 52
- YJVFFLUZDVXJQI-UHFFFAOYSA-L palladium(ii) acetate Chemical group [Pd+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O YJVFFLUZDVXJQI-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 30
- 239000002048 multi walled nanotube Substances 0.000 claims description 18
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 117
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 102
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 102
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 52
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 18
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 12
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 11
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 11
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 11
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 7
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 7
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 7
- GOKIPOOTKLLKDI-UHFFFAOYSA-N acetic acid;iron Chemical compound [Fe].CC(O)=O.CC(O)=O.CC(O)=O GOKIPOOTKLLKDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- QAHREYKOYSIQPH-UHFFFAOYSA-L cobalt(II) acetate Chemical compound [Co+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O QAHREYKOYSIQPH-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 5
- 229940011182 cobalt acetate Drugs 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- MQRWBMAEBQOWAF-UHFFFAOYSA-N acetic acid;nickel Chemical compound [Ni].CC(O)=O.CC(O)=O MQRWBMAEBQOWAF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 4
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- OPQARKPSCNTWTJ-UHFFFAOYSA-L copper(ii) acetate Chemical compound [Cu+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O OPQARKPSCNTWTJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- 229940078494 nickel acetate Drugs 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 4
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HDYRYUINDGQKMC-UHFFFAOYSA-M acetyloxyaluminum;dihydrate Chemical compound O.O.CC(=O)O[Al] HDYRYUINDGQKMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 3
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 3
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229940009827 aluminum acetate Drugs 0.000 description 3
- 238000001505 atmospheric-pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 3
- KTWOOEGAPBSYNW-UHFFFAOYSA-N ferrocene Chemical compound [Fe+2].C=1C=C[CH-]C=1.C=1C=C[CH-]C=1 KTWOOEGAPBSYNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 3
- 239000006200 vaporizer Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001237 Raman spectrum Methods 0.000 description 2
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical compound C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YZXBAPSDXZZRGB-DOFZRALJSA-N arachidonic acid Chemical compound CCCCC\C=C/C\C=C/C\C=C/C\C=C/CCCC(O)=O YZXBAPSDXZZRGB-DOFZRALJSA-N 0.000 description 2
- 238000001241 arc-discharge method Methods 0.000 description 2
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 2
- 239000012018 catalyst precursor Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- ZBYYWKJVSFHYJL-UHFFFAOYSA-L cobalt(2+);diacetate;tetrahydrate Chemical compound O.O.O.O.[Co+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O ZBYYWKJVSFHYJL-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 2
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 2
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 2
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BSYNRYMUTXBXSQ-UHFFFAOYSA-N Aspirin Chemical compound CC(=O)OC1=CC=CC=C1C(O)=O BSYNRYMUTXBXSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-M Butyrate Chemical compound CCCC([O-])=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N Butyric acid Natural products CCCC(O)=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-K Citrate Chemical compound [O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-M Formate Chemical compound [O-]C=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 1
- JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-M Lactate Chemical compound CC(O)C([O-])=O JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- OYHQOLUKZRVURQ-HZJYTTRNSA-N Linoleic acid Chemical compound CCCCC\C=C/C\C=C/CCCCCCCC(O)=O OYHQOLUKZRVURQ-HZJYTTRNSA-N 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-L Malonate Chemical compound [O-]C(=O)CC([O-])=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229940091179 aconitate Drugs 0.000 description 1
- GTZCVFVGUGFEME-UHFFFAOYSA-N aconitic acid Chemical compound OC(=O)CC(C(O)=O)=CC(O)=O GTZCVFVGUGFEME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- JAZBEHYOTPTENJ-JLNKQSITSA-N all-cis-5,8,11,14,17-icosapentaenoic acid Chemical compound CC\C=C/C\C=C/C\C=C/C\C=C/C\C=C/CCCC(O)=O JAZBEHYOTPTENJ-JLNKQSITSA-N 0.000 description 1
- 150000001413 amino acids Chemical class 0.000 description 1
- 229940114079 arachidonic acid Drugs 0.000 description 1
- 235000021342 arachidonic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001628 carbon nanotube synthesis method Methods 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 229940114081 cinnamate Drugs 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- NWFNSTOSIVLCJA-UHFFFAOYSA-L copper;diacetate;hydrate Chemical compound O.[Cu+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O NWFNSTOSIVLCJA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-M dodecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCC([O-])=O POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229940066279 eicosapentaenoate Drugs 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000004108 freeze drying Methods 0.000 description 1
- LNTHITQWFMADLM-UHFFFAOYSA-N gallic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC(O)=C(O)C(O)=C1 LNTHITQWFMADLM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010574 gas phase reaction Methods 0.000 description 1
- JFCQEDHGNNZCLN-UHFFFAOYSA-N glutaric acid Chemical compound OC(=O)CCCC(O)=O JFCQEDHGNNZCLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-M heptanoate Chemical compound CCCCCCC([O-])=O MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-M hexadecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-M hexanoate Chemical compound CCCCCC([O-])=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000003622 immobilized catalyst Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- QQVIHTHCMHWDBS-UHFFFAOYSA-L isophthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=CC(C([O-])=O)=C1 QQVIHTHCMHWDBS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229940070765 laurate Drugs 0.000 description 1
- 229940049918 linoleate Drugs 0.000 description 1
- 229940040452 linolenate Drugs 0.000 description 1
- DTOSIQBPPRVQHS-PDBXOOCHSA-M linolenate Chemical compound CC\C=C/C\C=C/C\C=C/CCCCCCCC([O-])=O DTOSIQBPPRVQHS-PDBXOOCHSA-M 0.000 description 1
- 229940049920 malate Drugs 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N malic acid Chemical compound OC(=O)C(O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KEMQGTRYUADPNZ-UHFFFAOYSA-M margarate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O KEMQGTRYUADPNZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 229940105132 myristate Drugs 0.000 description 1
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 description 1
- LJDZFAPLPVPTBD-UHFFFAOYSA-N nitroformic acid Chemical compound OC(=O)[N+]([O-])=O LJDZFAPLPVPTBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FBUKVWPVBMHYJY-UHFFFAOYSA-M nonanoate Chemical compound CCCCCCCCC([O-])=O FBUKVWPVBMHYJY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-M octanoate Chemical compound CCCCCCCC([O-])=O WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229940049964 oleate Drugs 0.000 description 1
- ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N oleic acid Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N 0.000 description 1
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 1
- ZVSLRJWQDNRUDU-UHFFFAOYSA-L palladium(2+);propanoate Chemical compound [Pd+2].CCC([O-])=O.CCC([O-])=O ZVSLRJWQDNRUDU-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L phthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=CC=C1C([O-])=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-M salicylate Chemical compound OC1=CC=CC=C1C([O-])=O YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229960001860 salicylate Drugs 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-L succinate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)CCC([O-])=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L terephthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=C(C([O-])=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- TUNFSRHWOTWDNC-UHFFFAOYSA-N tetradecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCC(O)=O TUNFSRHWOTWDNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930192474 thiophene Natural products 0.000 description 1
- WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M trans-cinnamate Chemical compound [O-]C(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 229940070710 valerate Drugs 0.000 description 1
- NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N valeric acid Chemical compound CCCCC(O)=O NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 230000004580 weight loss Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Catalysts (AREA)
Abstract
【解決手段】比較的入手が容易なカルボン酸パラジウムを担体に担持することなしに触媒として使用し、500〜1200℃の反応温度でメタンなどの気体状態の炭素含有化合物と接触させることにより、多層カーボンナノチューブを効率的に、かつ大量に製造できる。
【選択図】なし
Description
(1) 気体の炭素含有化合物とカルボン酸パラジウム触媒を500℃〜1200℃で接触させることを特徴とする多層カーボンナノチューブの製造方法。
(2) 気体の炭素含有化合物と固体のカルボン酸パラジウム触媒を500℃〜1200℃で接触させ、触媒上に多層カーボンナノチューブを成長させることを特徴とする(1)に記載の多層カーボンナノチューブの製造方法。
(3) 気体の炭素含有化合物と気化したカルボン酸パラジウム触媒を500℃〜1200℃で接触させ多層カーボンナノチューブを成長させることを特徴とする(1)に記載の多層カーボンナノチューブの製造方法。
(4) 粉体のカルボン酸パラジウム触媒に気体の炭素含有化合物を導入してカルボン酸パラジウム触媒を飛散させながら、気体の炭素含有化合物とカルボン酸パラジウム触媒を500℃〜1200℃で接触させ多層カーボンナノチューブを成長させることを特徴とする(1)に記載の多層カーボンナノチューブの製造方法。
(5) 前記カルボン酸パラジウムが酢酸パラジウムであることを特徴とする(1)ないし(4)のいずれかの1項に記載の多層カーボンナノチューブの製造方法。
(6) 炭素含有化合物がメタンであることを特徴とする(1)ないし(5)のいずれか1項に記載の多層カーボンナノチューブの製造方法。
高温の反応炉内に固体のカルボン酸パラジウムを触媒として置き、そこに気体の炭素含有化合物を供給することにより、触媒と炭素含有化合物を接触させ、触媒上にカーボンナノチューブを成長させる方法である。
(i)カルボン酸パラジウムを載せた石英ボートを耐熱性反応管後方7に挿入する。
(ii)窒素、ヘリウム等の不活性ガスを供給し、装置内を不活性ガスで置換し無酸素雰囲気にする。
(iii)その後、炭素含有化合物ガスを供給し装置内を炭素含有化合物ガスで置換する。
(iv)装置内を反応温度まで昇温する。
(v)反応温度に到達後、所定の時間反応させることで、カルボン酸パラジウム触媒上にCNTを成長させる。
(vi)CNT成長後、炭素含有化合物ガスの供給を停止し、再び不活性ガスを供給する。その後、室温まで冷却する。
(vii)冷却後、装置内の石英ボートを取り出し、成長したCNTを取り出す。
高温の反応路内に、気化させたカルボン酸パラジウム触媒と気体の炭素含有化合物を導入し、触媒と炭素含有化合物を接触させ、カーボンナノチューブを成長させる方法である。
(i)装置内に不活性ガスを供給し、装置内を不活性ガスで置換し無酸素雰囲気にする。
(ii)反応管後方7を反応温度まで昇温する。
(iii)Y字型反応管を用いた場合、カルボン酸パラジウムを載せた石英ボートを設置した反応管前方8の一方の枝管をカルボン酸パラジウムが気化する温度に昇温する。その間、不活性ガスを供給し続ける。カルボン酸パラジウムは加熱により気化し、不活性ガス供給により反応温度に加熱された石英反応管後方7に供給される。もう一方の枝管からは炭素含有化合物ガスを供給する。反応温度に加熱された反応管後方でカルボン酸パラジムガスと炭素含有化合物ガスが気相反応を生じ、CNTが生成する。
(iv)CNT成長後、炭素含有化合物ガスの供給を停止し、再び不活性ガスを供給する。その後、室温まで冷却する。
(v)冷却後、装置内からCNTを取り出す。
高温の反応路内に、炭素含有ガスと粉体のカルボン酸パラジウム触媒を飛散させながら導入し、触媒と炭素含有化合物を接触させ、カーボンナノチューブを成長させる方法である。
固相流動法とは、飛散している触媒(カルボン酸パラジウム)と炭素源となる気体(メタンガス等)の反応からCNTを合成する方法である。一般に固相流動法では、石英、SiC、アルミナなどの耐熱性反応管と電気炉からなる常圧CVD装置と固体原料供給器(サイクロン等)が用いられる。耐熱性反応管は縦型、横型いずれのものも使用できる。
図3に固相流動法に用いられる反応装置の概略を示す。図1、図2と異なるのは、カルボン酸パラジウム触媒を飛散させて供給するための固体原料供給器6が耐熱性反応管1の上流側に設けられている点である。
固体原料供給器はサイクロンなど、粉体を飛散させることのできる装置であればどのようなものでも使用できる。
(i)カルボン酸パラジウムを固体原料供給器に設置する。
(ii)固体原料供給器に不活性ガスを供給し、装置内を不活性ガスで置換する。
(iii)耐熱性反応管を反応温度に昇温する。
(iv)炭素含有化合物ガスを固体原料供給器から供給することで、カルボン酸パラジウム粉体を耐熱性反応管内に飛散させ、CNTを成長させる。
(v)CNT成長後、炭素含有化合物ガスの供給を停止し、不活性ガスを供給する。その後、室温まで冷却する。
(vi)冷却後、装置内CNTを取り出す。
反応温度は、いずれの方法を用いた場合(固定床法、気相流動法、固相流動法)においても、500〜1200℃、好ましくは550〜1000℃、さらに好ましくは、600℃〜900℃で行う。500℃未満だと炭素含有化合物ガスが分解しないためCNTが生成せず、1200℃を超えると炭素含有化合物ガスがベンゼンやトルエンに変化し、CNTが生成される効率が下がったり、触媒であるカルボン酸パラジウムのパラジウム金属がシンタリングを起こし粒径が大きくなりCNTが生成されにくくなるなどの不都合が生じる。
ガスの流速は早いほど成長量が増えるので、装置が耐えうる限り流速は早い方がいい。
いずれの方法を用いた場合(固定床法、気相流動法、固相流動法)においても、反応時間が長ければCNTの長さや量が増えるが、生成されたCNTによって反応管内の気流が阻まれる前に反応を止める必要がある。
CNTの合成には、図4に示すような常圧CVD(Chemical Vapor Deposition)装置を用いた。装置は、原料ガス供給系、石英反応管1、電気炉2、排気系から構成されている。石英反応管の直径:50mm、長さ:900mmである。電気炉は炉心部分が直径:50mm、長さ:600mmの抵抗加熱炉であり、2箇所で温度制御が可能である。石英ボート3中に粉末の酢酸パラジウム1gをのせ、石英反応管の後方(原料供給部側から450mmの位置)に設置した(あらかじめ、石英ボートの重量と石英ボートと酢酸パラジウム合計の重量をそれぞれ測定しておく。)。酢酸パラジウムを含む石英ボートを石英反応管中に設置後、窒素ガスを300sccm(Standard Cubic Centimeter per Minutes)で供給し、10分間置換(酸素フリーの状態)を行なった。引き続き、電気炉により石英反応管全体を800℃に昇温した。石英反応管が800℃に到達した後、メタンガスを流量2000sccmで供給し、酢酸パラジウム上に30分間成長を行なった。30分後、石英反応管へのメタンガスの供給を停止し、窒素ガスを300sccm供給した。電気炉を開放し、室温まで冷却したした後、石英ボートを取り出し、触媒を含むCNTを回収した。電子天秤により回収したCNTの重量を測定した。酢酸パラジウムはCNT成長直前までに56%重量減、すなわち0.44gまで減少することがわかっている。この酢酸パラジウムの重量減を含めたCNTの成長量を算出すると、約25g/30分でCNTが成長していた。図5に成長したCNTのSEM像を示す。成長したCNTの径は100−300nm、長さは平均10μmであった。実施例1で得られたCNTのラマンスペクトルを測定し、図7に示した。図7から明らかなように、単層CNTに特有の200〜600cm−1にはピークがなかったので、得られたCNTは単層ではないと推定された。
CNTの合成には、実施例1と同様な装置を用いた。図6に装置の概略図を示す。石英ボート中に粉末の酢酸パラジウム1gをのせ、石英反応管の前方(原料供給部側から150mmの位置)に設置した。酢酸パラジウムを含む石英ボートを石英反応管中に設置後、窒素ガスを300sccmで供給し、10分間置換を行なった。その後、CNT原料となるメタンガスを供給した。石英反応管内にメタンガスを300sccmで10分間供給し置換を行なった。引き続き、電気炉を昇温した。まず、石英反応管後方を800℃まで昇温し、その後石英反応管前方を400℃まで昇温した(昇温速度25℃/1分。酢酸パラジウムは248℃で気化し始める。)。石英反応管前方が400℃に到達後、メタンガスの流量を2000sccmに増加させ、30分間成長を行なった。気化した酢酸パラジウムとメタンガスが石英反応管後部で反応し、CNTが成長した。30分後、石英反応管へのメタンガスの供給を停止し、窒素ガスを300sccm供給した。石英反応管の温度が650℃まで降温した後、電気炉を開放し、室温まで冷却した。石英反応管が室温まで冷却した後、石英ボートを取り出し、触媒を含むCNTを回収した。電子天秤により回収したCNTの重量を測定した。CNTの成長量を算出すると、約1g以上/30分でCNTが成長していた。成長したCNTの径は50〜100nm、長さは100μm以上であった。
固体原料供給器としてサイクロンを用いた。サイクロン容器内の酢酸パラジウム粉体にメタンガスを供給することで飛散させ、実施例1と同様の装置(固定床法)に供給することでCNT成長を行なった。まず、サイクロン容器内に酢酸パラジウム粉体(アルドリッチ社製 酢酸パラジウム(II)98%)3gを設置した。サイクロン容器および石英反応管中に窒素ガスを300sccmで供給し、10分間置換(酸素フリーの状態)を行なった。引き続き、電気炉により石英反応管全体を650℃に昇温した(昇温速度25℃/1分)。その後、メタンガス650sccmをサイクロン容器に供給した。飛散された酢酸パラジウム粉体を650℃に加熱された石英反応管に供給した。30分間成長を行ない、成長終了後石英反応管へのメタンガスの供給を停止し、窒素ガスを300sccm供給した。石英反応管の温度が650℃まで降温した後、電気炉を開放し、室温まで冷却した。石英反応管が室温まで冷却した後、石英反応管内の触媒を含むCNTを回収した。CNTの成長量は5g、CNT径は10〜20nm、長さ5μm以上であった。
実施例1と同様の装置を用いて、酢酸コバルトを触媒とするCNT成長を行なった。まず、酢酸コバルト4水和物を120℃・1時間乾燥し脱水を行なった。脱水処理された酢酸コバルトを石英ボート中に1gをのせ、石英反応管の後方に設置した。酢酸コバルトを含む石英ボートを石英反応管中に設置後、窒素ガスを300sccmで供給し、10分間置換(酸素フリーの状態)を行なった。その後、CNT原料となるメタンガスを供給した。石英反応管内にメタンガスを500sccmで10分間供給し置換を行なった。引き続き、電気炉により石英反応管全体を650℃に昇温した(昇温速度25℃/1分)。石英反応管が650℃に到達した後、30分間成長を行なった。30分後、石英反応管へのメタンガスの供給を停止し、窒素ガスを300sccm供給した。石英反応管の温度が650℃まで降温した後、電気炉を開放し、室温まで冷却した。石英反応管が室温まで冷却した後、石英ボートを取り出し、触媒を含むCNTを回収した。電子天秤により回収したCNTの重量を測定した。重量増加は確認されず、SEM観察においてもCNTは確認されなかった。酢酸コバルト4水和物上でもCNT成長は確認されなかった。以上の結果より、酢酸コバルト上でのCNT成長は不可能であることがわった(CNTが成長しないのは、酢酸コバルトが200〜300℃で分解し、コバルトの凝集が著しく促進されることによるものと思われる。)。
実施例1と同様の装置を用いて、酢酸鉄を触媒とするCNT成長を行なった。酢酸鉄を石英ボート中に1gをのせ、石英反応管の後方に設置した。酢酸鉄を含む石英ボートを石英反応管中に設置後、窒素ガスを300sccmで供給し、10分間置換(酸素フリーの状態)を行なった。その後、CNT原料となるメタンガスを供給した。石英反応管内にメタンガスを300sccmで10分間供給し置換を行なった。引き続き、電気炉により石英反応管全体を750℃に昇温した(昇温速度25℃/1分)。石英反応管が750℃に到達した後、30分間成長を行なった。30分後、石英反応管へのメタンガスの供給を停止し、窒素ガスを300sccm供給した。石英反応管の温度が650℃まで降温した後、電気炉を開放し、室温まで冷却した。石英反応管が室温まで冷却した後、石英ボートを取り出し、触媒を含むCNTを回収した。電子天秤により回収したCNTの重量を測定した。重量増加は確認されず、SEM観察においてもCNTは確認されなかった。以上の結果より、酢酸鉄上でのCNT成長は不可能であることがわった(CNTが成長しないのは、酢酸鉄が200〜300℃で分解し、鉄の凝集が著しく促進されることによるものと思われる。)。
実施例1と同様の装置を用いて、酢酸銅を触媒とするCNT成長を行なった。まず、酢酸銅1水和物を120℃・1時間乾燥し脱水を行なった。脱水処理された酢酸銅を石英ボート中に1gをのせ、石英反応管の後方に設置した。酢酸銅を含む石英ボートを石英反応管中に設置後、窒素ガスを300sccmで供給し、10分間置換(酸素フリーの状態)を行なった。その後、CNT原料となるメタンガスを供給した。石英反応管内にメタンガスを500sccmで10分間供給し置換を行なった。引き続き、電気炉により石英反応管全体を800℃に昇温した(昇温速度25℃/1分)。石英反応管が800℃に到達した後、30分間成長を行なった。30分後、石英反応管へのメタンガスの供給を停止し、窒素ガスを300sccm供給した。石英反応管の温度が550℃まで降温した後、電気炉を開放し、室温まで冷却した。石英反応管が室温まで冷却した後、石英ボートを取り出し、触媒を含むCNTを回収した。電子天秤により回収したCNTの重量を測定した。重量増加は確認されず、SEM観察においてもCNTは観察されなかった(CNTが成長しないのは、酢酸銅が200〜300℃で分解し、銅の凝集が著しく促進されることによるものと思われる。)。
実施例1と同様の装置を用いて、塩基性酢酸アルミニウム粉体に酢酸パラジウムを担持させた触媒(Al/Pd=0.25/1)を用いてCNT成長を行なった。酢酸パラジウム/塩基性酢酸アルミニウムを石英ボート中に1gをのせ、石英反応管の後方に設置した。酢酸パラジウム/塩基性酢酸アルミニウムを含む石英ボートを石英反応管中に設置後、窒素ガスを300sccmで供給し、10分間置換(酸素フリーの状態)を行なった。その後、CNT原料となるメタンガスを供給した。石英反応管内にメタンガスを300sccmで10分間供給し置換を行なった。引き続き、電気炉により石英反応管全体を650℃に昇温した(昇温速度25℃/1分)。石英反応管が650℃に到達した後、30分間成長を行なった。30分後、石英反応管へのメタンガスの供給を停止し、窒素ガスを300sccm供給した。石英反応管の温度が550℃まで降温した後、電気炉を開放し、室温まで冷却した。石英反応管が室温まで冷却した後、石英ボートを取り出し、触媒を含むCNTを回収した。電子天秤により回収したCNTの重量を測定した。0.4gの重量増加が確認され、SEM観察においてCNTが観察された。観察されたCNTの径は70〜100nm、長さ3μmであった(これまでの実験より担持した場合、還元操作が必要であると思われる。しなしながら、還元すると酢酸パラジウム自身も分解が促進し、CNTは成長しないものと思われる。)。
実施例1と同様の装置で、水素キャリアガスを用いてフェロセン(2.5wt%)/トルエン溶液をスプレーで供給しCNT成長を行なった。まず、スプレー気化器および石英反応管中に窒素ガスを300sccmで供給し、10分間置換(酸素フリーの状態)を行なった。引き続き、電気炉により石英反応管全体を650℃に昇温した(昇温速度25℃/1分)。その後、水素キャリアガス1000sccm(200〜1500sccm)をスプレー気化器に供給した。スプレー気化器により液滴化したフェロセン(2.5wt%)/トルエン溶液を800℃に加熱された反応管に供給した。30分間成長を行ない、成長終了後石英反応管へのフェロセン(2.5wt%)/トルエン溶液の供給を停止し、窒素ガスを300sccm供給した。石英反応管の温度が650℃まで降温した後、電気炉を開放し、室温まで冷却した。石英反応管が室温まで冷却後、反応管内の触媒を含むCNTを回収した。電子天秤により回収したCNTの重量を測定した。石英反応管内外でのCNT成長は確認されなかった(この実験を1050℃〜1100℃で行なうとCNTが成長する。CNT原料となるトルエンをベンゼン等の他の溶媒に変更したり、生成促進剤であるチオフェンの添加等を試みたが成長温度の低温化は出来なかった。)。
サイクロン容器内の酢酸ニッケル粉体にメタンガスを供給することで飛散させ、実施例1と同様の装置に供給することでCNT成長を行なった。まず、サイクロン容器内に酢酸ニッケル粉体(平均粒子径:3μm)を3g設置した。サイクロン容器および石英反応管中に窒素ガスを300sccmで供給し、10分間置換(酸素フリーの状態)を行なった。引き続き、電気炉により石英反応管全体を850℃(550℃〜800℃)に昇温した(昇温速度25℃/1分)。その後、メタンガス1000sccm(300〜2000sccm)をサイクロン容器に供給した。飛散された酢酸ニッケル粉体を850℃に加熱された石英反応管に供給した。30分間成長を行ない、成長終了後石英反応管へのメタンガスの供給を停止し、窒素ガスを300sccm供給した。石英反応管の温度が650℃まで降温した後、電気炉を開放し、室温まで冷却した。石英反応管が室温まで冷却した後、石英反応管内の触媒を含むCNTを回収した。石英反応管内外での黒色堆積物が確認された。SEM観察からこの黒色堆積物はCNTであることを確認した。CNTの成長量は0.5g、CNT径は20nm、長さ3μm以下であった(酢酸パラジウムを用いた実施例3の固相流動法に比較して、CNT生成量は少なく、CNT長も短い。)。
2 電気炉
3 石英ボート
4 CNT
5 カルボン酸パラジウム
6 固体原料供給器
7 反応管後方
8 反応管前方
Claims (6)
- 気体の炭素含有化合物とカルボン酸パラジウム触媒を500℃〜1200℃で接触させることを特徴とする多層カーボンナノチューブの製造方法。
- 気体の炭素含有化合物と固体のカルボン酸パラジウム触媒を500℃〜1200℃で接触させ、触媒上に多層カーボンナノチューブを成長させることを特徴とする請求項1に記載の多層カーボンナノチューブの製造方法。
- 気体の炭素含有化合物と気化したカルボン酸パラジウム触媒を500℃〜1200℃で接触させ多層カーボンナノチューブを成長させることを特徴とする請求項1に記載の多層カーボンナノチューブの製造方法。
- 粉体のカルボン酸パラジウム触媒に気体の炭素含有化合物を導入してカルボン酸パラジウム触媒を飛散させながら、気体の炭素含有化合物とカルボン酸パラジウム触媒を500℃〜1200℃で接触させ多層カーボンナノチューブを成長させることを特徴とする請求項1に記載の多層カーボンナノチューブの製造方法。
- 前記カルボン酸パラジウムが酢酸パラジウムであることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかの1項に記載の多層カーボンナノチューブの製造方法。
- 炭素含有化合物がメタンであることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の多層カーボンナノチューブの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010202598A JP5700983B2 (ja) | 2010-09-10 | 2010-09-10 | カルボン酸パラジウムを使用したカーボンナノチューブの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010202598A JP5700983B2 (ja) | 2010-09-10 | 2010-09-10 | カルボン酸パラジウムを使用したカーボンナノチューブの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012056808A true JP2012056808A (ja) | 2012-03-22 |
JP5700983B2 JP5700983B2 (ja) | 2015-04-15 |
Family
ID=46054349
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010202598A Active JP5700983B2 (ja) | 2010-09-10 | 2010-09-10 | カルボン酸パラジウムを使用したカーボンナノチューブの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5700983B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019097756A1 (ja) * | 2017-11-15 | 2019-05-23 | 住友電気工業株式会社 | カーボンナノ構造体製造方法、カーボンナノ構造体及びカーボンナノ構造体製造装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0251411A (ja) * | 1988-04-19 | 1990-02-21 | Vses N I Inst Tekhn Ugleroda | 多孔性炭素質材料 |
JP2001512087A (ja) * | 1997-08-04 | 2001-08-21 | ハイピリオン カタリシス インターナショナル インコーポレイテッド | 非担持金属触媒と一重ナノチューブを用いた一重ナノチューブの製法 |
US6696387B1 (en) * | 1994-05-12 | 2004-02-24 | Hyperion Catalysis International, Inc. | Catalysts for the manufacture of carbon fibrils and methods of use thereof |
JP2010510948A (ja) * | 2006-11-24 | 2010-04-08 | 本田技研工業株式会社 | カーボンナノチューブ合成用大量エアロゾル粉末噴射装置 |
-
2010
- 2010-09-10 JP JP2010202598A patent/JP5700983B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0251411A (ja) * | 1988-04-19 | 1990-02-21 | Vses N I Inst Tekhn Ugleroda | 多孔性炭素質材料 |
US6696387B1 (en) * | 1994-05-12 | 2004-02-24 | Hyperion Catalysis International, Inc. | Catalysts for the manufacture of carbon fibrils and methods of use thereof |
JP2001512087A (ja) * | 1997-08-04 | 2001-08-21 | ハイピリオン カタリシス インターナショナル インコーポレイテッド | 非担持金属触媒と一重ナノチューブを用いた一重ナノチューブの製法 |
JP2010510948A (ja) * | 2006-11-24 | 2010-04-08 | 本田技研工業株式会社 | カーボンナノチューブ合成用大量エアロゾル粉末噴射装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019097756A1 (ja) * | 2017-11-15 | 2019-05-23 | 住友電気工業株式会社 | カーボンナノ構造体製造方法、カーボンナノ構造体及びカーボンナノ構造体製造装置 |
JPWO2019097756A1 (ja) * | 2017-11-15 | 2020-12-03 | 住友電気工業株式会社 | カーボンナノ構造体製造方法、カーボンナノ構造体及びカーボンナノ構造体製造装置 |
JP7167053B2 (ja) | 2017-11-15 | 2022-11-08 | 住友電気工業株式会社 | カーボンナノ構造体製造方法及びカーボンナノ構造体製造装置 |
US11685655B2 (en) | 2017-11-15 | 2023-06-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Carbon nanostructure producing method, carbon nanostructure and carbon nanostructure producing apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5700983B2 (ja) | 2015-04-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6538115B2 (ja) | 高品質なカーボン単層ナノチューブの合成 | |
Ionescu et al. | Hydrogen-free spray pyrolysis chemical vapor deposition method for the carbon nanotube growth: parametric studies | |
JP5550833B2 (ja) | 高品質単層カーボンナノチューブ成長の方法および装置 | |
Abbaslou et al. | The effects of carbon concentration in the precursor gas on the quality and quantity of carbon nanotubes synthesized by CVD method | |
JP2001512087A (ja) | 非担持金属触媒と一重ナノチューブを用いた一重ナノチューブの製法 | |
JP2009084148A (ja) | 炭素ナノチューブの製造装置及びこれを利用した炭素ナノチューブの製造方法 | |
JP4443423B2 (ja) | 単層カーボンナノチューブの製造方法および製造装置 | |
Yah et al. | Synthesis of large carbon nanotubes from ferrocene: the chemical vapour deposition technique | |
WO2009135344A1 (zh) | 化学气相沉积合成无金属催化剂自组生长碳纳米管的方法 | |
Qian et al. | Surface growth of single-walled carbon nanotubes from ruthenium nanoparticles | |
Zhang et al. | Layered growth of aligned carbon nanotube arrays by pyrolysis | |
JP5700983B2 (ja) | カルボン酸パラジウムを使用したカーボンナノチューブの製造方法 | |
Donato et al. | Influence of carbon source and Fe-catalyst support on the growth of multi-walled carbon nanotubes | |
Liu et al. | Effects of argon flow rate and reaction temperature on synthesizing single-walled carbon nanotubes from ethanol | |
KR100596677B1 (ko) | 기상합성법에 의한 이중벽 탄소나노튜브의 대량 합성 방법 | |
Yoshihara et al. | Growth mechanism of carbon nanotubes over gold-supported catalysts | |
KR100596676B1 (ko) | 기상합성법에 의한 단일벽 탄소 나노튜브의 대량 합성 방법 | |
Zhao et al. | Carbon nanotube formation over plasma reduced Pd/HZSM-5 | |
JP2015229706A (ja) | カーボンナノチューブを用いた漆黒性顔料 | |
Tian et al. | Fabrication and growth mechanism of carbon nanospheres by chemical vapor deposition | |
WO2022047600A1 (zh) | 一种制备多壁碳纳米管的方法 | |
JP2003313018A (ja) | カーボンナノチューブの製造方法 | |
Wu et al. | Thin-walled carbon nanotubes grown using a zirconium catalyst | |
Geng et al. | Temperature Threshold and Water role in cVD growth of single-Walled carbon nanotubes | |
AU2016342606A1 (en) | Method of preparing aluminum oxide-carbon nanotube composite powder material |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130509 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140123 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140225 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140311 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20141014 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141110 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20141224 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150127 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150217 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5700983 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |