JP2012038976A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】量子カスケードレーザ素子は、量子井戸層およびバリア層が交互に積層された多重量子井戸構造を有し、活性領域および注入領域からなる複数の単位構造が積層方向に配置された量子カスケード構造部を備える。活性領域は、3層の量子井戸層16a〜16cを含む。該3層の量子井戸層16a〜16cのうち中央に位置する量子井戸層16bは、他の2層の量子井戸層16a,16cより薄い。
【選択図】図4
Description
量子井戸層101a:GaInAs、1.0nm
バリア層102a:AlInAs、2.0nm
量子井戸層101b:GaInAs、5.1nm
バリア層102b:AlInAs、1.9nm
及び量子井戸層101c:GaInAs、3.9nm
また、上位準位と下位準位との間の遷移エネルギー差により定まる発光波長は5μmであり、下位準位と基底準位とのエネルギー差は33meVである。
量子井戸層16a:GaInAs、4.2nm
バリア層16d:AlInAs、1.2nm
量子井戸層16b:GaInAs、0.9nm
バリア層16e:AlInAs、1.2nm
及び量子井戸層16c:GaInAs、3.4nm
なお、このように、中央に位置する量子井戸層16bを除く他の2層の量子井戸層16a,16cの厚さは互いに異なっていてもよい。
τ31=2.44ps
τ32=3.05ps
τ21=0.37ps
z=1.80nm
一方、図5に示された従来の量子カスケードレーザ素子における各数値は以下のようになる。
τ31=2.83ps
τ32=2.33ps
τ21=0.26ps
z=1.53nm
Claims (4)
- 量子井戸層およびバリア層が交互に積層された多重量子井戸構造を有し、活性領域および注入領域からなる複数の単位構造が積層方向に配置された量子カスケード構造部を備え、
前記活性領域が3層の前記量子井戸層を含み、該3層の量子井戸層のうち中央に位置する前記量子井戸層が、他の2層の前記量子井戸層より薄いことを特徴とする、半導体発光素子。 - 前記3層の量子井戸層が、互いに結合した波動関数を有することを特徴とする、請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記他の2層の量子井戸層の厚さが互いに異なることを特徴とする、請求項1または2に記載の半導体発光素子。
- 前記中央に位置する量子井戸層の厚さが0.5nm以上1.5nm以下であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体発光素子。
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