JP2012037424A - セラミック球体検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】セラミック球体Sを所定の位置で自転可能に支持し、投光手段110の照射光を受光手段120で検出して表面層の内部状態を評価するセラミック球体検査装置100であって、受光手段120が投光手段110から照射される照射光のセラミック球体の表面での反射光を検出しないように構成されていること。
【選択図】図2
Description
また、特に高圧下で高速開閉する流体弁では剛性が高く軽量で長寿命の弁体が必須であり、弁体としてセラミック球体を採用するメリットも非常に大きい。
例えば、公知の特許文献1には、転動体表面のキズや亀裂などの欠陥が品質の信頼性の低下を招くため、焼結体の気孔率および粒界相中の最大気孔径について規定することで転がり寿命の優れた窒化珪素質焼結体製耐摩耗性部材が得られることが開示されている。
このスノーフレークはSEM観察では見られないことから、特許文献2で開示されているマイクロポアの集合体からなる白い樹枝状のものではなく、スノーフレーク部分は、それ以外の部分と結晶粒界相のわずかな組成の違いがある部分と考えられ、このわずかな組成の違いが耐摩耗性および耐久性に大きく影響している。
本発明の第1実施例であるセラミック球体検査装置100は、図2、図3に示すように、被検査体であるセラミック球体Sを所定の位置で自転可能に支持する回転支持手段と、セラミック球体Sの表面に向けて照射光を照射する投光手段110と、セラミック球体Sからの反射光を検査光として検出する受光手段120と、該受光手段120からの検出出力を受けてセラミック球体Sの表面層の内部状態を評価する処理手段140とを有している。
保持体134は、その揺動軸135を中心に揺動支持部133に揺動可能に支持されることで、セラミック球体Sを1つの駆動ローラ131と複数の従動ローラ132の間に自転可能に保持するとともに、セラミック球体Sを保持から解放可能に構成されている。
受光手段120は、光量検出部121と、セラミック球体Sからの検査光を光量検出部121に導く受光部122とを有している。
投光部112と受光部122の先端は、セラミック球体Sの表面と接触可能な接触面をなしており、保持体134に、図示しない進退機構によってセラミック球体Sの表面方向に進退可能に保持されている。
例えば、前述した、本発明者が見出した窒化珪素焼結体は表面および表面近傍の欠陥およびスノーフレークの有無について観察する場合、ハロゲン光で約250μmまで透過可能であり、500nm〜800nmの波長の光で観察できることから、一般的なハロゲン光源等を採用し、レーザー等のコストの高い光源としたり、複雑な光学システム等を設けなくても良い。
また、投光部112と受光部122は、接触面以外からの光を遮断可能に構成されていれば良く、例えば光ファイバー等を用いれば良い。
このことで、表面層の内部の欠陥や結晶粒界相のわずかな組成の相違に基づき形成されるスノーフレークFを、セラミック球体を破壊することなく、かつ、表面状態に左右されることなく、受光手段が検出する検査光の変化として正確に検出することができるとともに、全体的な検査光の多寡を観察することで、セラミック球体の材質や焼結の良否を検査することもできる。
投光部112と受光部122の両方が固定されている場合は、駆動ローラ131は間欠駆動でなく連続的に駆動されても良い。
例えば、ハロゲン光源を照射した場合、アルミナであれば3〜8mm程度、ジルコニアであれば2〜3mm程度透過可能な材質が知られており、これらの材質の検査が可能である。
本発明の第2実施例であるセラミック球体検査装置200は、回転支持手段については第1実施例と同様に、1つの駆動ローラ231と複数の従動ローラ232とからなり、複数の従動ローラ232が保持体234に回転可能に軸支されている。
このことで、セラミック球体Sを1回転自転させるだけで、全表面を観察することができ、セラミック球体Sを効率よく検査することができる。
また、投光部212を受光部222よりも少ない数としても良い。
駆動ローラ331の回転軸線C1の傾き角度θは、セラミック球体Sを自転で一周させたとき、複数の受光部322の幅分だけずれるように設定されている。
全表面を観察するためには、セラミック球体Sを複数回自転させる必要があるが、第2実施例より少ない数の受光部322で全表面を観察することができる。
また、投光部312を受光部322よりも少ない数としても良い。
このことで、複数の投光部および受光部の光量や感度を調整する作業が一切不要となり、検査精度の維持メンテが容易となる。
この構成で、対向する2個の従動ローラ432の回転軸437に、それぞれ歯車436を偏心量rだけ偏心させて取り付け、2個の従動ローラ432の回転速度をそれぞれ周期的に変動させることで、セラミック球体Sを自転させるとともに捻り運動を加えてセラミック球体Sの表面全体をくまなく観察することができる。
図9に示す実施形態では、軸状の駆動ローラ531の約半周にわたって円周方向に延びる複数の平行溝538が形成されており、該平行溝538に連続して残りの約半周で隣接する平行溝538と接続するように延びる複数のネジ溝539が形成されている。
このことで、セラミック球Sは、図9における左方向から連続的に導入され、順次右方向の平行溝538部分に送られ、それぞれの平行溝538に対応した受光部522によって、順次自転軸を変更しながら観察され、連続的に全球面が観察される。
110 ・・・投光手段
111 ・・・ハロゲン光源
112、212、312 ・・・投光部
120 ・・・受光手段
121 ・・・光量検出部
122、222、322 、522 ・・・受光部
131、231、331、431、531 ・・・駆動ローラ
132、232、332、432 ・・・従動ローラ
133 ・・・揺動支持部
134 ・・・保持体
135 ・・・揺動軸
436 ・・・歯車
437 ・・・回転軸
538 ・・・平行溝
539 ・・・ネジ溝
S ・・・セラミック球体
F ・・・スノーフレークF
Claims (7)
- セラミック球体を所定の位置で自転可能に支持する回転支持手段と、セラミック球体の表面に向けて照射光を照射する投光手段と、セラミック球体からの反射光を検査光として検出する受光手段と、該受光手段からの検出出力を受けてセラミック球体の表面層の内部状態を評価する処理手段とを備えたセラミック球体検査装置であって、
前記受光手段が、前記投光手段から照射される照射光のセラミック球体の表面での反射光を検出しないように構成されていることを特徴とするセラミック球体検査装置。 - 前記投光手段が、光源と、該光源の光を照射光としてセラミック球体の表面に導く投光部とを有し、
前記受光手段が、光量検出部と、前記セラミック球体からの検査光を光量検出部に導く受光部とを有し、
前記投光部あるいは受光部の少なくとも一方が、先端にセラミック球体の表面と接触可能な接触面を有していることを特徴とする請求項1に記載のセラミック球体検査装置。 - 前記受光部が、セラミック球体の中心を通る断面の外周円の半円周にわたって複数設けられており、
前記回転支持手段が、前記受光部の設けられた外周円に対し直角方向にセラミック球体を自転させるように構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のセラミック球体検査装置。 - 前記受光部が、セラミック球体の中心を通る断面の外周円の一部に沿って複数設けられており、
前記回転支持手段が、前記受光部の設けられた外周円に対し直角方向にセラミック球体を自転させるとともに、
自転で一周したときに前記複数の受光部の幅分だけずれるように、前記受光部の設けられた外周円方向にセラミック球体を回転させるように構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のセラミック球体検査装置。 - 前記受光部が、1つのみ設けられており、
前記回転支持手段が、所定の方向にセラミック球体を自転させるとともに、該自転方向と直角方向にわずかに回転させるように構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のセラミック球体検査装置。 - 前記投光部が、前記複数の受光部と同じ個数設けられ、1個ずつそれぞれ隣接するように設けられていることを特徴とする請求項3乃至請求項5のいずれかに記載のセラミック球体検査装置。
- 前記回転支持手段が、間欠的に駆動可能に構成され、
前記投光部あるいは受光部の少なくとも一方が、セラミック球体の表面方向に進退可能に構成され、
前記投光部あるいは受光部の少なくとも一方の先端の接触面が、前記回転支持手段の駆動停止時にセラミック球体の表面に密着し、前記回転支持手段の駆動時にセラミック球体の表面から離脱するように構成されていることを特徴とする請求項2乃至請求項6のいずれかに記載のセラミック球体検査装置。
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