JP2012036022A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. （ｉ）カーボンナノチューブを形成するためのカーボンナノチューブ形成面をもつ対象物を用意すると共に、
   前記対象物を収容するための反応室と、前記反応室に収容される前記対象物の前記カーボンナノチューブ形成面に間隔を隔てて対面しつつ前記カーボンナノチューブ形成面が延設する面方向に沿って延設されたガス供給室と、前記ガス供給室と前記反応室とを連通させると共に前記ガス供給室の反応ガスを前記反応室に吹き出す複数の吹出口とを有するガス通路形成部材と、前記対象物の前記カーボンナノチューブ形成面、前記ガス通路形成部材、前記反応ガスのうちの少なくとも一つをカーボンナノチューブ形成温度に加熱させる加熱源とを用意する準備工程と、
   （ｉｉ）前記対象物の前記カーボンナノチューブ形成面、前記ガス通路形成部材、前記反応ガスのうちの少なくとも一つをカーボンナノチューブ形成温度に加熱させた状態で、
   前記反応ガスを前記ガス供給室に供給することにより、前記反応室内の前記対象物の前記カーボンナノチューブ形成面が延設する面方向に対して交差する方向に沿って、前記ガス供給室の前記反応ガスを前記吹出口から前記対象物の前記カーボンナノチューブ形成面に向けて吹き出し、前記対象物の前記カーボンナノチューブ形成面に前記カーボンナノチューブを形成するカーボンナノチューブ形成工程とを実施するにあたり、
   前記対象物の前記カーボンナノチューブ形成面は、第１カーボンナノチューブ形成面と第２カーボンナノチューブ形成面とを有しており、前記第１カーボンナノチューブ形成面に前記カーボンナノチューブを形成する第１操作と、前記第２カーボンナノチューブ形成面に前記カーボンナノチューブを形成する第２操作とを独立に制御するカーボンナノチューブ製造方法。
2. 請求項１において、前記反応ガスの吹き出しの際に、前記吹出口から前記対象物の前記カーボンナノチューブ形成面までの最短距離Ｌを１００として相対表示するとき、各前記吹出口にわたり最短距離Ｌは７５〜１２５の範囲内に設定され、各前記吹出口から前記対象物の前記カーボンナノチューブ形成面までの最短距離Ｌが各前記吹出口について均衡化されていることを特徴とするカーボンナノチューブ製造方法。
3. カーボンナノチューブを形成するためのカーボンナノチューブ形成面をもつ対象物にカーボンナノチューブを製造するカーボンナノチューブ製造装置であって、
   （ｉ）基体と、
   （ｉｉ）前記基体に設けられ、前記対象物の前記カーボンナノチューブ形成面に間隔を隔てて対面しつつ前記対象物の前記カーボンナノチューブ形成面が延設する面方向に沿って延設された対面壁と、前記対面壁にこれを貫通するように形成された複数の吹出口と、前記対面壁を用いて前記対象物の前記カーボンナノチューブ形成面が延設する面方向に沿って延設され且つ前記吹出口に連通するガス供給室と、前記反応室に連通するガス排出通路とを有するガス通路形成部材と、
   （ｉｉｉ）前記基体に設けられ、前記対象物の前記カーボンナノチューブ形成面、前記ガス通路形成部材、前記反応ガスのうちの少なくとも一つをカーボンナノチューブ形成温度に加熱させる加熱源とを具備し、
   前記対象物の前記カーボンナノチューブ形成面は、互いに異なる位置に設けられた第１カーボンナノチューブ形成面と第２カーボンナノチューブ形成面とを有しており、
   前記対面壁は、前記対象物の前記第１カーボンナノチューブ形成面に第１間隔を隔てて対面する第１対面壁と、前記対象物の前記第２カーボンナノチューブ形成面に第２間隔を隔てて対面する第２対面壁とを有しており、
   前記吹出口は、前記第１対面壁に形成された第１吹出口と、前記第２対面壁に形成された第２吹出口とを有しており、
   前記ガス供給室は、第１ガス供給通路に繋がると共に前記第１吹出口に連通する第１ガス供給室と、第２ガス供給通路に繋がると共に前記第２吹出口に連通する第２ガス供給室とを有しており、
   前記加熱源は、前記第１カーボンナノチューブ形成面に前記カーボンナノチューブを形成する第１反応ガス、前記対象物の前記第１カーボンナノチューブ形成面、前記第１ガス供給室のうちの少なくとも一つを第１カーボンナノチューブ形成温度に加熱させる第１加熱源と、前記第２カーボンナノチューブ形成面にカーボンナノチューブを形成する第２反応ガス、前記対象物の第２カーボンナノチューブ形成面、前記第２ガス供給室のうちの少なくとも一つを第２カーボンナノチューブ形成温度に加熱させる第２加熱源とを具備するカーボンナノチューブ製造装置。
4. 請求項３において、各前記吹出口の中心線から前記対象物に向けて延びる延長線は、前記対象物の前記カーボンナノチューブ形成面が延設する面方向に対して所定角度θ（θ＝７０〜１１０°）以内で交差するように設定されているカーボンナノチューブ製造装置。
5. 請求項３または４において、前記ガス通路形成部材の前記反応室の出口は、前記対象物の側端面に対面する位置に配置されているカーボンナノチューブ製造装置。