JP2012028132A

JP2012028132A - Ｘ線管

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Publication number: JP2012028132A
Application number: JP2010165038A
Authority: JP
Inventors: Kazutaka Suzuki; 一隆鈴木; Takuya Motome; 卓也本目; Motoaki Tanaka; 幹章田中
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 2010-07-22
Filing date: 2010-07-22
Publication date: 2012-02-09
Anticipated expiration: 2030-07-22
Also published as: JP5555083B2

Abstract

【課題】電極と筐体との間の異常放電が抑えられ、動作の安定性を良好にできるＸ線管を提供する。
【解決手段】Ｘ線管１Ａでは、電子銃３Ａを収容する筐体２が、電子銃３Ａを包囲する内側面４ａと電子線通過孔２０が位置する端面１９ａとを有する導電性の内壁面２ａを有している。そして、電子銃３Ａのカソードユニット３１を覆う集束電極３２の各面のうち、内側面４ａと対向する第１の面３２ａの全体と、第１の面３２ａの下部に連続してカソードユニット３１側に回り込む第２の面３２ｂのうちの絶縁体３３の頂部に面する部分と、端面１９ａと対向する第３の面３２ｃの全体とが、チタン又はモリブデンを含む導電材料によって形成された導電膜３６によって被覆されている。
【選択図】図２

Description

本発明は、電子銃から出射した電子をターゲットに入射させることでターゲットでＸ線を発生させるＸ線管に関する。

従来のＸ線管として、例えば特許文献１に記載の開放型Ｘ線管がある。この従来のＸ線管では、高圧プラグが挿入される高電圧導入碍子の真空側面にガス放出の少ないセラミックを用い、この中にリング電極やピン電極といった各電極を配置している。また、このＸ線管では、高圧プラグが挿入される高電圧導入碍子の内面にグレーズ処理を行っている。これにより、高圧プラグが高電圧導入碍子の内面に擦れても金属粉が発生しにくく、耐電圧不良の発生を防止している。

特開２００２−１１００７５号公報

このようなＸ線管では、意図しない異常放電を抑制して動作を安定させることが重要となっている。特に、ＣＴ撮影などの用途で長時間にわたって一定量のＸ線を発生させる場合には、異常放電によってＸ線管の動作が不安定になることを十分に抑制する必要がある。しかしながら、上述した従来のＸ線管では、電極と筐体との間の異常放電については考慮されておらず、Ｘ線管の動作を安定化させるには一層の工夫が求められる。

本発明は、上記課題の解決のためになされたものであり、電極と筐体との間の異常放電が抑えられ、動作の安定性を良好にできるＸ線管を提供することを目的とする。

上記課題の解決のため、本発明に係るＸ線管は、電子銃から出射した電子線がターゲットに入射することによってＸ線を発生させるＸ線管であって、絶縁部材を介して電子銃を内部に保持すると共に、電子線を通過させる電子線通過孔を有する筐体と、筐体に固定され、電子線通過孔を通過した電子線の入射によってターゲットで発生したＸ線を外部に出射させるＸ線照射窓と備え、筐体は、電子銃を包囲する内側面と電子線通過孔が位置する端面とを有する導電性の内壁面を有し、電子銃は、電子線の放出源となるカソードと、カソードを覆うように設けられ、内側面と対向する第１の面、第１の面に連続してカソード側に回り込む第２の面、及び端面と対向する第３の面を有するカップ状電極とを有し、第１の面と第２の面の少なくとも一部とは、チタン又はモリブデンを含む導電材料によって形成されていることを特徴としている。

このＸ線管では、電子銃を収容する筐体が、電子銃を包囲する内側面と電子線通過孔が位置する端面とを有する導電性の内壁面を有している。そして、電子銃のカソードを覆うカップ状電極の各面のうち、内側面と対向する第１の面と、第１の面に連続してカソード側に回り込む第２の面の少なくとも一部とが、チタン又はモリブデンを含む導電材料によって形成されている。これにより、筐体とカップ状電極との間に異常放電が生じることが抑制され、動作の安定性を良好にできる。

また、第３の面は、チタン又はモリブデンを含む導電材料によって形成されていることが好ましい。この場合、筐体とカップ状電極との間の異常放電をより確実に抑制できる。

また、カップ状電極は、導電性の基部と、基部の表面を覆うように形成された導電材料からなる導電膜とを有していることが好ましい。カップ状電極を基部と導電膜とで別体にすることで、基部の形状の調整による異常放電の抑制と導電膜による異常放電の抑制とを両立させることが可能となる。したがって、筐体とカップ状電極との間の異常放電を更に好適に抑制できる。

また、カップ状電極の全体が、導電材料によって形成されていることが好ましい。この場合、カップ状電極の全体で均一に異常放電の抑制効果が発揮される。

また、導電材料は、窒化チタンであることが好ましい。窒化チタンは十分な硬度を有しているので、仮に異常放電が生じた場合でもカップ状電極の損傷を防止できると共に、基部からの剥離を防止できる。したがって、異常放電の抑制効果が持続的に得られる。

本発明に係るＸ線管によれば、電極と筐体との間の異常放電が抑えられ、動作の安定性を良好にできる。

本発明に係るＸ線管の第１実施形態を示す断面図である。図１における電子銃の周囲の要部拡大図である。第１実施形態の変形例に係る電子銃の周囲の要部拡大図である。放電痕の確認実験に用いた集束電極のサンプルを示す図である。筐体の内壁面と集束電極の表面との間の等電界線を示す図である。本発明に係るＸ線管の第２実施形態を示す断面図である。図５における電子銃の周囲の要部拡大図である。第２実施形態の変形例に係る電子銃の周囲の要部拡大図である。別の変形例に係る電子銃の周囲の要部拡大図である。

以下、図面を参照しながら、本発明に係るＸ線管の好適な実施形態について詳細に説明する。

［第１実施形態］
図１は、本発明に係るＸ線管の第１実施形態を示す断面図である。同図に示すように、Ｘ線管１Ａは、カソードユニット３１やターゲット２４などの消耗品を交換できるように、大気圧となる開放状態と排気による真空状態との選択を可能とした、いわゆる開放型のＸ線管である。

Ｘ線管１Ａは、内部空間が動作時に真空状態になる円筒形状のステンレス製の筐体２を有している。筐体２は、接地電位とされており、内部に電子銃３Ａを収容している固定部４と、固定部４の上側に位置してヘッド部２１が固定される着脱部５とによって構成されている。着脱部５は、ヒンジ部６を介して横倒し可能となっており、固定部４の上端を開放させることができる。このとき、固定部４内の電子銃３Ａに外部からアクセスが可能となり、電子銃３Ａのカソードユニット３１を簡単に交換できる。

また、固定部４には、筐体２の内部空間を高真空状態に維持するための真空ポンプ７が固定されている。この真空ポンプ７を装備することにより、筐体２内を随時大気圧に開放できる。したがって、カソードユニット３１やターゲット２４といった消耗品を任意の時期に交換できるので、Ｘ線管１ＡのＸ線量等を安定に維持できる。

筐体２の下側には、例えばエポキシ樹脂でモールド形成された電源部８が固定されている。電源部８の内部には、高電圧を発生させるトランスで構成された高圧発生部９と、高圧発生部９に電気的に接続された電子放出制御部１０とが封入されている。電子放出制御部１０は、電子銃３Ａによる電子線の放出のタイミングや放出量を制御する部分となっている。

また、電源部８のケース１１には、外部電源を接続するための電源用端子１２が設けられている。電源用端子１２は、配線１３，１４を介して上述した高圧発生部９及び電子放出制御部１０に接続されている。さらに、ケース１１には、後述するコイル部１７，１８への給電制御を行うコイル用端子１５が設けられている。このような電源用端子１２とコイル用端子１５とを用いることで、電子銃３Ａを含むＸ線管１Ａへの適切な給電が実施される。

着脱部５の内部には、電子銃３Ａで発生した電子線を通過させる電子通路１６が設けられている。また、電子通路１６の周囲には、電磁偏向レンズとして機能するコイル部１７，１８が設けられている。コイル部１７，１８の配置中心は、電子通路１６の中心軸に一致している。これらのコイル部１７，１８の協働により、電子通路１６を通過する電子線は、ターゲット２４に向けて集束するようになっている。なお、コイル部は、必ずしも複数設ける必要はなく、単体であってもよい。

また、着脱部５の下部にはディスク板１９が蓋をするように固定されている。このディスク板１９の中心には、電子通路１６の下端に一致する電子線通過孔２０が形成されている。着脱部５が閉鎖されている状態において、固定部４の内側面４ａとディスク板１９の底面１９ａとは、電子銃３Ａを収容する筐体２の内壁面２ａを形成し、全体として円筒状の筐体２の内部空間を形成する。

一方、着脱部５の上部は円錐台に形成され、例えば銅製の多面体ブロックからなるヘッド部２１が取り付けられている。ヘッド部２１の一面には、電子通路１６と所定の角度で交差するように筒状のターゲット支持部２２が着脱自在に挿入されている。また、ヘッド部２１の他面には、例えばベリリウムによって形成された円板状のＸ線照射窓２３が設けられている。

ターゲット支持部２２の先端には、例えばタングステンからなる円板状のターゲット２４が埋設されている。電子通路１６を通過した電子線は、ヘッド部２１内でターゲット２４に入射する。これにより、ターゲット２４からＸ線が発生し、発生したＸ線はＸ線照射窓２３を通って外部に出射する。

続いて、上述した電子銃３Ａの構成について更に詳細に説明する。図２は、電子銃３Ａの周囲の要部拡大図である。

図２に示すように、電子銃３Ａは、電子線の放出源となるフィラメントを収容してなるカソードユニット３１と、カソードユニット３１を覆うように設けられた集束電極３２とを有しており、共にマイナスの高電圧が印加される。電子銃３Ａは、固定部４の下壁部分に立設された円筒状の絶縁体３３の頂部に支持部３４を介して固定されている。絶縁体３３は、筐体２の内部空間において、固定部４の下壁部分に設けられた開口部分から電子線通過孔２０に向かって次第に縮径しながら延びている。絶縁体３３内には配線３５が通されており、この配線３５によって電子銃３Ａと上述した電子放出制御部１０とが接続されている。

集束電極３２は、筐体２の内壁面２ａのうち、電子銃３Ａの側方を囲む内側面４ａと対向する第１の面３２ａと、第１の面３２ａの下部に連続してカソードユニット３１側に回り込む第２の面３２ｂと、第１の面３２ａの上部に連続し、筐体２の内壁面２ａのうち、電子線通過孔２０が位置する端面１９ａ（ディスク板１９の底面１９ａと同一）と対向する第３の面３２ｃとを有している。また、第３の面３２ｃは、電子銃３Ａの電子出射開口３８を囲む擂鉢状のテーパ部分を有している。第１の面３２ａと第３の面３２ｃとは集束電極３２の表面を構成し、第２の面３２ｂは集束電極３２の下部開口側の端面及び裏面を構成している。そして、集束電極３２は、全体として第３の面３２ｃを頂面とするカップ状をなし、カソードユニット３１から絶縁体３３の頂部までを覆っている。

集束電極３２は、例えばステンレス（ＳＵＳ）によって形成された導電性の基部３５と、基部３５の表面を覆うように形成された導電膜３６とによって構成されている。導電膜３６は、第１の面３２ａの全体と、第２の面３２ｂのうち、絶縁体３３の頂部に面する下側部分と、第３の面３２ｃの全体とを覆うように設けられている。

なお、支持部３４と第２の面３２ｂとの間には、集束電極３２を螺合又は嵌合によって支持部３４に着脱可能に固定する固定構造３９が設けられている。この固定構造３９に到達するように導電膜３６を形成すると、集束電極３２の着脱の際に固定構造３９に設けられた導電膜３６が剥離し、筐体２内での異常放電の発生原因となる可能性がある。したがって、第２の面３２ｂにおける導電膜３６は、第１の面３２ａの下部から連続しつつ、固定構造３９に到達しない領域で形成することが好ましい。

導電膜３６は、チタン（Ｔｉ）又はモリブデン（Ｍｏ）を含む導電材料によって形成されている。導電膜３６を形成する導電材料としては、例えばＴｉ、チタンの窒化物や炭化物で導電性を有するもの（ＴｉＮ、ＴｉＡｌＮ、ＴｉＣ、ＴｉＣＮ、ＴｉＡｌＣＮＯ、ＴｉＡｌＳｉＣＮＯ）、Ｍｏやモリブデンの硫化物で導電性を有するもの（ＭｏＳ_２）などが挙げられる。導電材料は、特に基部３５よりも硬度の高いものを選択することが好ましい。例えば基部３５がＳＵＳからなる場合には、導電膜３６を窒化チタン（ＴｉＮ）によって形成することが好ましい。

以上説明したように、このＸ線管１Ａでは、電子銃３Ａを収容する筐体２が、電子銃３Ａを包囲する内側面４ａと電子線通過孔２０が位置する端面１９ａとを有する導電性の内壁面２ａを有している。そして、電子銃３Ａのカソードユニット３１を覆う集束電極３２の各面のうち、内側面４ａと対向する第１の面３２ａの全体と、第１の面３２ａの下部に連続してカソードユニット３１側に回り込む第２の面３２ｂのうち、絶縁体３３の頂部に面する下側部分と、端面１９ａと対向する第３の面３２ｃの全体とが、チタン又はモリブデンを含む導電材料によって形成された導電膜３６によって被覆されている。

この形態では、第１の面３２ａを被覆する導電膜３６により、第１の面３２ａと内側面４ａとの間の異常放電が抑制され、第３の面３２ｃを被覆する導電膜３６により、第３の面３２ｃと端面１９ａとの間の異常放電が抑制される。また、第２の面３２ｂを被覆する導電膜３６により、第２の面３２ｂから絶縁体３３の沿面を伝って筐体２に至る異常放電を適切に回避できる。したがって、筐体２と集束電極３２との間に異常放電が生じることが抑制され、動作の安定性を良好にできる。

また、Ｘ線管１Ａでは、集束電極３２が基部３５と導電膜３６とで別体に形成されている。これにより、基部３５を形成する材料に加工性の良好な導電材料を用いることができると共に、導電膜３６には放電抑制効果を重視した導電材料を用いることができる。したがって、基部３５の形状を異常放電の発生し難い形状に調整することによる異常放電の抑制と、導電膜３６による異常放電の抑制とを両立させることが可能となる。さらに、基部３５の表面の粗さを小さくした上に導電膜３６を形成することで、集束電極３２自体の表面の粗さを小さくすることができるので、一層効果的に異常放電を抑制することができる。

なお、集束電極３２は、必ずしも基部３５と導電膜３６とによって別体にする必要はなく、集束電極３２の全体をチタン又はモリブデンを含む導電材料によって形成してもよい。この場合、集束電極３２の全体で均一に異常放電の抑制効果を発揮させることができる。

また、導電膜３６を形成する導電材料として十分な硬度を有する窒化チタンを用いる場合、仮に筐体２と集束電極３２との間に異常放電が生じた場合でも導電膜３６の損傷や基部３５からの剥離といった不具合を防止できる。したがって、異常放電の抑制効果が持続的に得られる。

導電膜の形成位置については、以下のような変形例を採用することもできる。図３は、第１実施形態の変形例に係る電子銃の周囲の要部拡大図である。同図に示す電子銃３Ｂでは、カソードユニット３１を覆う集束電極３２の各面のうち、内側面４ａと対向する第１の面３２ａの全体と、第１の面３２ａの下部に連続してカソードユニット３１側に回り込む第２の面３２ｂのうちの絶縁体３３の頂部に面する部分とが、チタン又はモリブデンを含む導電材料によって形成された導電膜３７によって被覆されている。

この形態では、第１の面３２ａを被覆する導電膜３７により、第１の面３２ａと内側面４ａとの間の異常放電が抑制される。また、第２の面３２ｂを被覆する導電膜３７により、第２の面３２ｂから絶縁体３３の沿面を伝って筐体２に至る異常放電を適切に回避できる。したがって、筐体２と集束電極３２との間に異常放電が生じることが抑制され、動作の安定性を良好にできる。

変形例に関する知見は、集束電極における放電痕の確認実験により得たものである。この確認実験では、図４に示すように、集束電極のサンプルＳの表面を、頂部中央付近の領域Ａ、領域Ａを囲む領域Ｂ、側面上部の領域Ｃ、側面中央部の領域Ｄ、及び側面下部から裏面側に回りこむ領域Ｅの５つの領域に区分し、それぞれの領域で電子銃を一定時間使用した後の放電痕の数を調べたものである。

電子銃への印加電圧は、２３０ｋＶ、３００ｋＶ、３６０ｋＶの３パターンとした。実施例では、集束電極のサンプルＳの表面をＴｉＮで形成し、比較例では、集束電極のサンプルＳの表面をＳＵＳで形成した。この確認試験の結果、印加電圧が２３０ｋＶの場合、実施例では、領域Ａ〜Ｅの全てで放電痕が０箇所であったのに対し、比較例では、領域Ａで５箇所、領域Ｂで７箇所、領域Ｃで１２箇所、領域Ｄで６箇所、領域Ｅで２５箇所、計５５箇所の放電痕が確認された。

また、印加電圧が３００ｋＶの場合、実施例では、領域Ｃのみで１箇所の放電痕が確認されたのに対し、比較例では、領域Ａで３３箇所、領域Ｂで３９箇所、領域Ｃで４８箇所、領域Ｄで３７箇所、領域Ｅで１３０箇所、計２８７箇所の放電痕が確認された。さらに、印加電圧が３６０ｋＶの場合、実施例では、領域Ｃで５箇所、領域Ｄで２箇所、領域Ｅで４箇所、計１１箇所の放電痕が確認された。これに対し、比較例では、印加電圧が３００ｋＶを超えたあたりで放電が連続的に生じるようになり、３６０ｋＶまで昇圧させることができなかった。以上のことから、集束電極の表面をＴｉＮといった導電材料で形成することが異常放電の抑制に寄与していること、及び集束電極の上面側に比べて側面側で放電が多く発生する傾向にあることが確認できた。

したがって、図３に示した電子銃３Ｂのように、カソードユニット３１を覆う集束電極３２の各面のうち、内側面４ａと対向する第１の面３２ａの全体と、第１の面３２ａの下部に連続してカソードユニット３１側に回り込む第２の面３２ｂのうちの絶縁体３３の頂部に面する部分とを導電膜３７によって被覆することで、筐体２と集束電極３２との間の異常放電を十分に抑制することが可能となる。また、図２に示した電子銃３Ａのように、端面１９ａと対向する第３の面３２ｃの全体を含め、集束電極３２の表面全体と、表面から連続した下端面及び裏面の一部を導電膜３６によって被覆することで、筐体２と集束電極３２との間の異常放電の抑制効果をより確実に高めることができる。

なお、Ｘ線管１Ａにおいては、第１の面３２ａと内側面４ａとの間の距離を第３の面３２ｃと端面１９ａとの間の距離の２倍程度にしておくことが好ましい。図５は、筐体２の内壁面２ａと集束電極３２の表面との間の等電界線を示す図である。同図に示すように、第１の面３２ａと内側面４ａとの間（Ａ方向）には９本程度の等電界線が存在しているのに対し、第３の面３２ｃと端面１９ａとの間（Ｂ方向）には４本程度の電気力線が存在している。

この場合、等電界線が密であるほど電界が強く放電しやすくなるので、等距離であるならば、Ａ方向はＢ方向に比べて放電し易さが２倍程度高いと考えられる。したがって、上述のように、第１の面３２ａと内側面４ａとの間の距離を第３の面３２ｃと端面１９ａとの距離の２倍程度にしておくことで、筐体２と集束電極３２との間の異常放電を一層確実に抑制できる。

［第２実施形態］
続いて、本発明に係るＸ線管の第２実施形態について説明する。図６は、本発明に係るＸ線管の第２実施形態を示す断面図である。

図６に示すように、第２実施形態に係るＸ線管１Ｂは、第１実施形態と同様に開放型のＸ線管であり、真空状態を任意に作り出すことができ、消耗品であるカソードユニット３１やターゲット４０の交換を可能にしている。このＸ線管１Ｂは、動作時に真空状態になる円筒形状のステンレス製の筐体２を有している。

筐体２は、内部に電子銃３Ｃを収容している固定部４と、固定部４の上側に位置してヘッド部２１が固定される着脱部５とによって構成されている。着脱部５は、ヒンジ部６を介して横倒し可能となっており、固定部４の上端を開放させることができる。このとき、固定部４内の電子銃３Ｃに外部からアクセスが可能となり、電子銃３Ｃのカソードユニット３１を簡単に交換できる。

また、固定部４には、筐体２の内部空間を高真空状態に維持するための真空ポンプ７が固定されている。この真空ポンプ７を装備することにより、筐体２内を随時大気圧に開放できる。したがって、カソードユニット３１やターゲット４０といった消耗品を任意の時期に交換できるので、Ｘ線管１ＢのＸ線量等を安定に維持できる。

筐体２の下側には、例えばエポキシ樹脂でモールド形成された電源部８が固定されている。電源部８の内部には、高電圧を発生させるトランスで構成された高圧発生部９と、高圧発生部９に電気的に接続された電子放出制御部１０とが封入されている。電子放出制御部１０は、電子銃３Ｃによる電子線の放出のタイミングや放出量を制御する部分となっている。

また、電源部８のケース１１には、外部電源を接続するための電源用端子１２が設けられている。電源用端子１２は、配線１３，１４を介して上述した高圧発生部９及び電子放出制御部１０に接続されている。さらに、ケース１１には、後述するコイル部１７，１８への給電制御を行うコイル用端子１５が設けられている。このような電源用端子１２とコイル用端子１５とを用いることで、電子銃３Ｃを含むＸ線管１Ｂへの適切な給電が実施される。

着脱部５の内部には、電子銃３Ｃで発生した電子線を通過させる電子通路１６が設けられている。また、電子通路１６の周囲には、電磁偏向レンズとして機能するコイル部１７，１８が設けられている。コイル部１７，１８の配置中心は、電子通路１６の中心軸に一致している。これらのコイル部１７，１８の協働により、電子通路１６を通過する電子線は、ターゲット４０に向けて集束するようになっている。なお、コイル部は、必ずしも複数設ける必要はなく、単体であってもよい。

また、着脱部５の下部にはディスク板１９が蓋をするように固定されている。このディスク板１９の中心には、電子通路１６の下端に一致する電子線通過孔２０が形成されている。着脱部５が閉鎖されている状態において、固定部４の内側面４ａとディスク板１９の底面１９ａとは、電子銃３Ｃを収容する筐体２の内壁面２ａを形成し、全体として円筒状の筐体２の内部空間を形成する。

一方、着脱部５の上部は円錐台に形成されている。この円錐台における電子通路１６の上端側の部分には、Ｘ線出射窓の真空側面に形成され、Ｘ線照射窓と一体になったターゲット４０が装着されている。ターゲット４０は、例えばタングステンによって形成され、着脱自在な回転式のキャップ部４１内にアースさせた状態で収容されている。したがって、キャップ部４１の取り外しによって、消耗品であるターゲット４０の交換も可能となっている。

続いて、上述した電子銃３Ｃの構成について更に詳細に説明する。図７は、電子銃３Ｃの周囲の要部拡大図である。

図７に示すように、電子銃３Ｃは、電子線の放出源となるフィラメントを収容してなるカソードユニット３１と、カソードユニット３１を覆うように設けられた集束電極４２とを有している。電子銃３Ｃは、固定部４の下壁部分に立設された円筒状の絶縁体３３の頂部に固定されている。絶縁体３３は、筐体２の内部空間において、固定部４の下壁部分に設けられた開口部分から電子線通過孔２０に向かって次第に縮径しながら延びている。絶縁体３３内には配線３５が通されており、この配線３５によって電子銃３Ｃと上述した電子放出制御部１０とが接続されている。

集束電極４２は、絶縁体３３の頂部に装着されたグリッドベース４３と、カソードユニット３１の先端側を覆うグリッドキャップ４４と、グリッドベース４３にねじ込むことでグリッドキャップ４４をグリッドベース４３に固定するグリッドリング４５とからなる３つの部材によって構成されている。

集束電極４２は、筐体２の内壁面２ａのうち、電子銃３Ｃの側方を囲む内側面４ａと対向する第１の面４２ａと、第１の面４２ａの下部に連続してカソードユニット３１側に回り込む第２の面４２ｂと、第１の面４２ａの上部に連続し、筐体２の内壁面２ａのうち、電子線通過孔２０が位置する端面１９ａ（ディスク板１９の底面１９ａと同一）と対向する第３の面４２ｃとを有している。また、第３の面４２ｃは、電子銃３Ｃの電子出射開口４８を囲む擂鉢状のテーパ部分を有している。第１の面４２ａと第３の面４２ｃとは集束電極４２の表面を構成し、第２の面４２ｂは集束電極４２の下部開口側の端面及び裏面を構成している。そして、集束電極４２は、全体として第３の面４２ｃを頂面とするカップ状をなし、カソードユニット３１から絶縁体３３の頂部までを覆っている。

導電膜４６は、第１の面４２ａの全体と、第２の面４２ｂのうち絶縁体３３の頂部に面する下側部分と、第３の面４２ｃの全体とを覆うように設けられている。この導電膜４６は、チタン又はモリブデンを含む導電材料によって形成されている。導電膜４６を形成する導電材料としては、例えばＴｉ、チタンの窒化物や炭化物で導電性を有するもの（ＴｉＮ、ＴｉＡｌＮ、ＴｉＣ、ＴｉＣＮ、ＴｉＡｌＣＮＯ、ＴｉＡｌＳｉＣＮＯ）、Ｍｏやモリブデンの硫化物で導電性を有するもの（ＭｏＳ_２）などが挙げられる。

導電材料は、グリッドベース４３、グリッドキャップ４４、及びグリッドリング４５を構成する部材よりも硬度の高いものを選択することが好ましい。例えばグリッドベース４３、グリッドキャップ４４、及びグリッドリング４５がＳＵＳからなる場合には、導電膜４６をＴｉＮによって形成することが好ましい。

このＸ線管１Ｂにおいても、第１実施形態と同様に、第１の面４２ａを被覆する導電膜４６により、第１の面４２ａと内側面４ａとの間の異常放電が抑制され、第３の面４２ｃを被覆する導電膜４６により、第３の面３２ｃと端面１９ａとの間の異常放電が抑制される。また、第２の面４２ｂを被覆する導電膜４６により、第２の面４２ｂから絶縁体３３の沿面を伝って筐体２に至る異常放電を適切に回避できる。したがって、筐体２と集束電極４２との間に異常放電が生じることが抑制され、動作の安定性を良好にできる。

また、Ｘ線管１Ｂでは、グリッドベース４３、グリッドキャップ４４、及びグリッドリング４５とは別体に導電膜４６が形成されている。これにより、グリッドベース４３、グリッドキャップ４４、及びグリッドリング４５を形成する材料に加工性の良好な導電材料を用いることができると共に、導電膜４６に放電抑制効果を重視した導電材料を用いることができる。したがって、グリッドベース４３、グリッドキャップ４４、及びグリッドリング４５の形状を異常放電の発生し難い形状に調整することによる異常放電の抑制と、導電膜３６による異常放電の抑制とを両立させることが可能となる。さらに、グリッドベース４３、グリッドキャップ４４、及びグリッドリング４５の表面の粗さを小さくした上に導電膜４６を形成することで、集束電極４２自体の表面の粗さを小さくすることができるので、一層効果的に異常放電を抑制することができる。

なお、グリッドベース４３、グリッドキャップ４４、及びグリッドリング４５をそれぞれチタン又はモリブデンを含む導電材料によって形成してもよい。この場合、集束電極４２の全体で均一に異常放電の抑制効果を発揮させることができる。

また、導電膜４６を形成する導電材料として十分な硬度を有するＴｉＮを用いる場合、仮に筐体２と集束電極４２との間に異常放電が生じた場合でも導電膜４６の損傷や剥離といった不具合を防止できる。したがって、異常放電の抑制効果が持続的に得られる。

導電膜の形成位置については、第１実施形態の変形例と同様の知見に基づいて、以下のような変形例を採用することもできる。図８は、第１実施形態の変形例に係る電子銃の周囲の要部拡大図である。同図に示す電子銃３Ｄでは、カソードユニット３１を覆う集束電極４２の各面のうち、内側面４ａと対向する第１の面４２ａの全体と、第１の面４２ａの下部に連続してカソードユニット３１側に回り込む第２の面４２ｂのうちの絶縁体３３の頂部に面する部分とが、チタン又はモリブデンを含む導電材料によって形成された導電膜４７によって被覆されている。

より具体的には、導電膜４７は、グリッドリング４５及びグリッドベース４３の露出部分（集束電極４２の表面）と、グリッドベース４３の裏面（集束電極４２の裏面）のうち、絶縁体３３の頂部側面に面する部分と、グリッドキャップ４４の露出部分のうち、グリッドリング４５側の縁部分とにわたって形成されている。

この形態では、第１の面４２ａを被覆する導電膜４７により、第１の面４２ａと内側面４ａとの間の異常放電が抑制される。また、第２の面４２ｂを被覆する導電膜４７により、第２の面４２ｂから絶縁体３３の沿面を伝って筐体２に至る異常放電を適切に回避できる。したがって、筐体２と集束電極４２との間に異常放電が生じることが抑制され、動作の安定性を良好にできる。

なお、第２実施形態においても、筐体２の内壁面２ａと集束電極４２の表面との間の等電界線は第１実施形態と同様である。したがって、Ｘ線管１Ｂにおいても、第１の面４２ａと内側面４ａとの間の距離を第３の面４２ｃと端面１９ａとの距離の２倍程度にしておくことで、筐体２と集束電極４２との間の異常放電を一層確実に抑制できる。

本発明は、上記実施形態に限られるものではない。例えば上記各実施形態はいずれも開放型のＸ線管を例示しているが、本発明は、開放型のＸ線管に限られず、密封型のＸ線管にも適用可能である。また、高圧発生部９を備えず、外部の高圧発生装置からケーブルを介して給電するタイプのＸ線管にも適用可能である。

また、集束電極の形状が上記各実施形態と異なる場合であっても、導電膜の形状を適宜変更することができる。例えば図９に示す電子銃３Ｅでは、筐体２の内側面４ａと対向する第１の面５２ａが上記実施形態に比べて大きく、かつ下端部が内側面４ａに向かって盛り上がった集束電極５２を用いている。この場合であっても、内側面４ａと対向する第１の面５２ａと、第１の面５２ａの下部に連続してカソードユニット５０側に回り込む第２の面５２ｂと、端面１９ａと対向する第３の面５２ｃとをチタン又はモリブデンを含む導電材料によって形成された導電膜５６で被覆することにより、上記実施形態と同様の作用効果が得られる。

１Ａ，１Ｂ…Ｘ線管、２…筐体、２ａ…内壁面、４ａ…内側面、３Ａ〜３Ｅ…電子銃、１９ａ…端面、２０…電子線通過孔、２３…Ｘ線照射窓、２４，４０…ターゲット、３１，５０…カソードユニット、３２ａ，４２ａ，５２ａ…第１の面、３２，４２，５２…集束電極、３２ｂ，４２ｂ，５２ｂ…第２の面、３２ｃ，４２ｃ，５２ｃ…第３の面、３３…絶縁体、３５…基部、３６，３７，４６，４７，５６…導電膜。

Claims

電子銃から出射した電子線がターゲットに入射することによってＸ線を発生させるＸ線管であって、
絶縁部材を介して前記電子銃を内部に保持すると共に、前記電子線を通過させる電子線通過孔を有する筐体と、
前記筐体に固定され、前記電子線通過孔を通過した前記電子線の入射によって前記ターゲットで発生した前記Ｘ線を外部に出射させるＸ線照射窓とを備え、
前記筐体は、前記電子銃を包囲する内側面と前記電子線通過孔が位置する端面とを有する導電性の内壁面を有し、
前記電子銃は、
前記電子線の放出源となるカソードと、
前記カソードを覆うように設けられ、前記内側面と対向する第１の面、前記第１の面に連続して前記カソード側に回り込む第２の面、及び前記端面と対向する第３の面を有するカップ状電極とを有し、
前記第１の面と前記第２の面の少なくとも一部とは、チタン又はモリブデンを含む導電材料によって形成されていることを特徴とするＸ線管。
前記第３の面は、チタン又はモリブデンを含む導電材料によって形成されていることを特徴とする請求項１記載のＸ線管。
前記カップ状電極は、導電性の基部と、前記基部の表面を覆うように形成された前記導電材料からなる導電膜とを有していることを特徴とする請求項１又は２記載のＸ線管。
前記カップ状電極の全体が、前記導電材料によって形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のＸ線管。
前記導電材料は、窒化チタンであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項記載のＸ線管。