JP2012027980A - サスペンション用基板およびサスペンション用基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明によるサスペンション用基板1は、第1絶縁層10と、バネ性材料層11と、第1配線層14と、第1配線層14に対して絶縁された第2配線層15とを備えている。第2配線層15は、実装領域2において第1配線層14と同一平面上に配置された第1導体部分15aと、中間領域4において第1配線層14に第2絶縁層12を介して積層され、第1導体部分15aに接続された第2導体部分15bと、外部接続領域3において第1配線層14と同一平面上に配置され、第2導体部分15bに接続された第3導体部分15cとを有している。第2絶縁層12を貫通し、第2配線層15の第1導体部分15aと第2導体部分15bとを接続する配線用導電接続部20が設けられている。
【選択図】図3
Description
図1乃至図10を用いて、本発明の第1の実施の形態におけるサスペンション用基板およびサスペンション用基板の製造方法について説明する。
次に、図11乃至図16により、本発明の第2の実施の形態におけるサスペンション用基板およびサスペンション用基板の製造方法について説明する。
2 実装領域
3 外部接続領域
4 中間領域
5 ヘッド端子
6 外部接続端子
10 第1絶縁層
10a 開口
11 バネ性材料層
11a 開口
12 第2絶縁層
14 第1配線層
15 第2配線層
15a 第1導体部分
15b 第2導体部分
15c 第3導体部分
16 他の配線層
18 Niめっき層
19 Auめっき層
20 第1配線用導電接続部
20a 第1配線用貫通孔
21 第2配線用導電接続部
21a 第2配線用貫通孔
22 保護層
23 スパッタシード層
25 積層体
26 配線材料層
27 レジスト
30 グランド配線層
31 グランド用導電接続部
32 グランド用貫通孔
32a 第1絶縁層貫通孔
32b グランド配線層貫通孔
32c 第2絶縁層貫通孔
33 露出孔
41 サスペンション
42 ロードビーム
51 ヘッド付サスペンション
52 スライダ
61 ハードディスクドライブ
62 ケース
63 ディスク
64 スピンドルモータ
65 ボイスコイルモータ
66 アーム
71 第1スパッタシード層
72 第2スパッタシード層
73 グランド用導電接続部
74 グランド用貫通孔
75〜77 レジスト
Claims (12)
- スライダを実装する実装領域と、外部接続基板に接続される外部接続領域と、前記実装領域と前記外部接続領域との間に配置された中間領域とを有するサスペンション用基板において、
第1絶縁層と、
前記第1絶縁層の一方の面に設けられ、導電性を有するバネ性材料層と、
前記第1絶縁層の他方の面に設けられた第1配線層と、
前記第1配線層に対して絶縁された第2配線層と、を備え、
前記第2配線層は、前記実装領域において前記第1配線層と同一平面上に配置された第1導体部分と、前記中間領域において前記第1配線層に第2絶縁層を介して積層され、前記第1導体部分に接続された第2導体部分と、前記外部接続領域において前記第1配線層と同一平面上に配置され、前記第2導体部分に接続された第3導体部分とを有し、
前記第2絶縁層を貫通し、前記第2配線層の前記第1導体部分と前記第2導体部分とを接続する配線用導電接続部が設けられていることを特徴とするサスペンション用基板。 - 前記第2絶縁層を貫通し、前記第2配線層の前記第2導体部分と前記第3導体部分とを接続する第2の配線用導電接続部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のサスペンション用基板。
- 前記配線用導電接続部および前記第2の配線用導電接続部は、円筒状または円錐状に形成され、前記第2配線層の前記第2導体部分側の端部における直径が、50〜110μmであることを特徴とする請求項2に記載のサスペンション用基板。
- 前記第1配線層と同一平面上に、グランド配線層が設けられ、
前記第1絶縁層を貫通し、前記グランド配線層と前記バネ性材料層とを接続するグランド用導電接続部が設けられ、
前記第2配線層の前記第1導体部分と前記第2導体部分とを接続する前記配線用導電接続部と前記グランド用導電接続部は、前記サスペンション用基板の長手方向に延びる中心線に対して、対称に配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のサスペンション用基板。 - 前記グランド用導電接続部は、ニッケルめっきまたは銅めっきにより形成されていることを特徴とする請求項4に記載のサスペンション用基板。
- スライダを実装する実装領域と、外部接続基板に接続される外部接続領域と、前記実装領域と前記外部接続領域との間に配置された中間領域とを有するサスペンション用基板の製造方法において、
導電性を有するバネ性材料層に積層された第1絶縁層の前記バネ性材料層とは反対側の面に、第1配線層を形成すると共に、前記実装領域に配置され、前記第1配線層と絶縁される第2配線層の第1導体部分、および、前記外部接続領域に配置され、前記第1配線層と絶縁される前記第2配線層の第3導体部分を形成する工程と、
前記第1配線層に第2絶縁層を積層し、当該第2絶縁層を貫通する配線用貫通孔を形成する工程と、
前記第2絶縁層に形成された配線用貫通孔に、前記第2配線層の前記第1導体部分に接続される配線用導電接続部を形成する工程と、
前記第2絶縁層に積層され、前記第2配線層の前記第1導体部分に前記配線用導電接続部を介して接続されると共に、前記第2配線層の前記第3導体部分に接続される前記第2配線層の第2導体部分を形成する工程と、を備えたことを特徴とするサスペンション用基板の製造方法。 - 前記第2絶縁層に前記配線用貫通孔を形成する際、前記第2絶縁層を貫通する第2の配線用貫通孔が形成され、
前記第2配線層の前記第1導体部分と前記第2導体部分とを接続する前記配線用導電接続部を形成する際、前記第2絶縁層に形成された前記第2の配線用貫通孔に、前記第2配線層の前記第2導体部分と前記第3導体部分とを接続する第2の配線用導電接続部が形成されることを特徴とする請求項7に記載のサスペンション用基板の製造方法。 - 前記配線用導電接続部および前記第2の配線用導電接続部は、円筒状または円錐状に形成され、前記第2配線層の前記第2導体部分側の端部における直径が、50〜110μmであることを特徴とする請求項7に記載のサスペンション用基板の製造方法。
- 前記第1配線層を形成する際、前記第1配線層と同一平面上にグランド配線層が形成され、
前記第1絶縁層に、当該第1絶縁層を貫通するグランド用貫通孔が形成され、
前記グランド用貫通孔に、前記グランド配線層と前記バネ性材料層とを接続するグランド用導電接続部が形成され、
前記第1配線層の前記第1導体部分と前記第2導体部分とを接続する前記配線用導電接続部と前記グランド用導電接続部は、前記サスペンション用基板の長手方向に延びる中心線に対して、対称に配置されることを特徴とする請求項6乃至8のいずれかに記載のサスペンション用基板の製造方法。 - 前記グランド用導電接続部は、ニッケルめっきまたは銅めっきにより形成されることを特徴とする請求項9に記載のサスペンション用基板の製造方法。
- 前記第1絶縁層と、前記第1絶縁層の一方の面に設けられた前記バネ性材料層と、前記第1絶縁層の他方の面に設けられた配線材料層とを有する積層体を準備する工程を更に備え、
前記第1配線層を形成すると共に、前記第2配線層の前記第1導体部分および前記第3導体部分を形成する工程において、前記積層体の前記配線材料層がエッチングされて、前記第1配線層、並びに前記第2配線層の前記第1導体部分および前記第3導体部分が形成されることを特徴とする請求項6乃至10のいずれかに記載のサスペンション用基板の製造方法。 - 前記バネ性材料層を準備する工程と、
前記バネ性材料層の一方の面に前記第1絶縁層を積層する工程と、を更に備え、
前記第1配線層を形成すると共に、前記第2配線層の前記第1導体部分および前記第3導体部分を形成する工程において、前記第1絶縁層に、めっきにより、前記第1配線層、並びに前記第2配線層の前記第1導体部分および前記第3導体部分が形成されることを特徴とする請求項6乃至10のいずれかに記載のサスペンション用基板の製造方法。
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JP2017082339A (ja) * | 2016-12-28 | 2017-05-18 | 大日本印刷株式会社 | ステンレス基板 |
JPWO2016132424A1 (ja) * | 2015-02-16 | 2017-11-24 | 日本メクトロン株式会社 | フレキシブルプリント配線板の製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006244563A (ja) * | 2005-03-01 | 2006-09-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 配線部材およびフレキシャーの製造方法 |
JP2009206281A (ja) * | 2008-02-27 | 2009-09-10 | Nitto Denko Corp | 配線回路基板 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPWO2016132424A1 (ja) * | 2015-02-16 | 2017-11-24 | 日本メクトロン株式会社 | フレキシブルプリント配線板の製造方法 |
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