JP2012027116A - 基板ワーク加工処理製造における基板優先搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】枚葉状ワークの加工処理製造工程ラインにおける枚葉状ワーク搬送システムにおいて、所定の基板の搬送加工処理製造中に、その基板と同種の他の基板、又はそれ以外の特定の種類の他の基板の加工処理製造を同一製造条件又は異なる製造条件にて試験的（臨時的）に行うために、その試験的に製造する基板を、前記所定の基板に対して優先的に加工処理製造工程ラインに自動的に搬送できるようにして、基板ワークを用いた製品の本稼動製造、試作品製造、新製品製造における製造効率を向上させる。
【解決手段】基板データテーブルに基づいて、投入するワークＷが通常搬送と優先搬送のいずれかであるかを判定し、各装置に配置したバッファＢｆを用いて通常搬送のワークＷを一時的に退避させ、優先搬送のフラグの付与されたワークＷを優先搬送して投入及び回収して処理加工する。
【選択図】図１

Description

本発明は、カラーフィルタ用ガラス基板やリードフレーム用金属基板等の基板ワークの加工処理製造工程ラインにおける基板搬送システムにおいて、所定の基板の搬送加工処理製造中に、その基板ワークと同種の他の基板、又はそれ以外の特定の種類の他の基板の加工処理製造を同一製造条件又は異なる製造条件にて試験的（臨時的）に行うために、その試験的に製造する基板を、前記所定の基板に対して優先的に加工処理製造工程ラインに搬送するための基板ワーク加工処理製造における基板優先搬送システムに関する。

基板ワークの加工処理製造工程ライン、例えばカラーフィルタ（以下ＣＦと云う）の製造工程ラインとして、特許文献１に開示する製造ラインシステムがあり、このような基板ワークの加工処理製造工程ラインにおいては、ある特定された基板ワーク（ＣＦ用基板）を、その加工処理製造工程ライン内に急遽、搬送したい場合がある。

このような事例としては、例えば、これから投入する基板ワーク（指定された基板、特定された基板）を用いて加工処理製造される製品の規格条件を確認する場合、あるいは、急遽、加工処理製造ライン内の諸設備のメンテナンス（あるいはパラメータ）調整を行って、その調整による製品への影響や結果を確認したい場合、あるいは、急遽、特定の基板を用いて新しい製品又は試作品を作り、出荷する必要がある場合等がある。これらは、製品をより早く生産するために一般的な製造工程においても、常に必要な局面が存在する作業である。

因みに、ＣＦ製造工場では、前の生産品種と異なる生産品種のＣＦの量産を開始する前に、加工処理製造工程ライン内の基板プロセス装置（加工処理製造装置）にて設定されたパラメータで、所定の基板を用いて製品の加工処理製造を行い、得られた製品を検査機（規格検査機、品質検査機）に投入して、その製品が規格条件を満たしているかを検査し、その検査結果が、規格条件を満たしている場合に、量産を開始する方式が一般的である。したがって量産開始前に、どけだけ規格条件の確認を迅速に行ったかが、より多くの生産量を確保できるかのキーポイントとなる。

また、量産中においても、規格ＮＧが発生した場合は、規格条件を満たすようにプロセス装置のパラメータを変更したり、急遽、メンテナンス調整を行ったりする場合がある。その場合は、再度規格条件の確認を行い、確認後、量産を開始するが、これも同様な事といえる。

この規格条件の確認は、４，５枚程度の少数枚の基板を工程内に投入し、プロセス装置にて、規格条件確認用の基板を生産し、検査機にて検査し、確認を行う。規格条件の確認で、規格を満たした場合には、その品種の量産を開始する。

通常、規格条件確認用の基板は、数枚しか投入しないため、装置の稼動ロスを避ける意味でも、できるだけ早く確認を行うことが必要になる。

一般的なＣＦ製造工程の構成は、図１０に示すようなものであり、ストッカＳと呼ばれる基板集積装置に格納された基板ワークＷを工程内に投入するための搬送装置と、プロセス装置と、検査装置にて構成されていて、プロセス装置にて規格条件確認用の基板を生産
後、規格条件を検査装置にて確認するまで、かなりの時間が掛かる場合もある。

このような規格条件の確認は、加工処理製造工程ラインによる基板製品の量産を一時止めることになるため、なるべく早く確認を行って、量産を開始（再開）したいものであるが、急ぎ確認を行いたい場合であっても、従来の搬送装置では、所定の基板を用いて量産中に、確認のために試験的に投入された他の基板が搬送される場合は、所定の基板の搬送と同様の速度で搬送されて移動しているため、他の基板を、所定の基板に優先して速く搬送移動させたり、検査装置に投入順番を飛び越して投入することを、自動的に実施することはできないため、手動（人手）に頼らざるを得なかった。

また、同じ加工処理製造工程ラインを用いて、急ぎ試作品や新製品を生産しなければならない場合でも、その製造工程ラインに他の基板が流れて（搬送されて）いる場合には、試作品や新製品製造用の基板を優先して早く流すことができず、また検査機に投入することもできない。

一般的にＣＦ製造工程は、幾つかの工程に区分されており、基板ワークＷを用いたＣＦ製造工程は、例えば図１１に示すようないくつかの工程（受入工程、フォトリソ工程、ＩＴＯ工程、ＡＳＶ工程、最終検査工程、出荷工程）からなり、それらの工程を通過してＣＦ（カラーフィルタ）が製造される。それぞれの工程間には、複数の基板が纏めてカセット等に格納されているストッカＳ（図１０参照）と呼ばれる場所があり、このストッカを介して工程間を移動するが、工程間を跨いだ基板ワークＷの搬送や、特定工程への優先投入等は自動で行うことができず、手動操作による作業が必要になり、工程間を跨いだ基板ワークＷの搬送や特定工程への基板ワークＷの優先投入等を自動で行うことができない事情による基板ワークを用いた製品の本稼動製造、試作品製造、新製品製造における製造効率の低下が問題であった。

また例えば、ＣＦ製造工程における品種変更時の製品の規格設定における規格条件の確認や、メンテナンス後の再閉時に、急ぎ生産を行う必要のある試作品や製品が発生した場合には、製造対象となる基板ワークＷを優先的に工程内に投入搬送移動させたり、検査機投入を行うことにより、規格条件の確認後の早期量産の再開や、生産品の得意先への早期出荷が可能となる。

しかし、従来は、優先的な搬送や検査機への投入はほとんど行われておらず、それを行う場合も人手を介して行っている。また一部ロボット（以下Ｒt と称す）は、基板ワークを一時的に退避させる目的の退避領域を持つバッファ（Ｂf と称す）に１乃至複数の基板ワークＷを保持した場合、その複数の基板ワークＷ（基板ワーク群）について、先入れ先出し（ＦＩＦＯ）又は後入れ先出し（ＬＩＦＯ）と称される動作を行い、一定の順序でのみ動作を行う方式があるが、Ｂf に保持した複数の基板ワークの中から途中の基板ワークＷを優先して自動的に排出することはできなかった。

またＢf を使って検査機に投入する場合も同様であり、ＦＩＦＯ動作を行い、検査機へ基板ワークＷの投入を行っており、検査機へ投入する予約の基板ワークＷが何枚（何個）かあり、検査機に既に基板ワークＷがある場合に、ロボットＲt は、Ｂf 内に基板ワークを退避させる。検査機内に基板ワークが無くなった時点で検査機に投入する基板ワークは、最も早くＢf に退避させた基板ワークに限定されるものである。工程間を搬送移動する際も、優先的に工程内に投入したい場合は人手で操作を行う必要があり、このような人手での操作は、マンパワーのロスや工程間での搬送の遅れや操作ミスなど人的ミスが発生し易い状態となる。

特開２００４−５４０１４号公報

本発明は、上記の問題を解決することを課題とするものであり、カラーフィルタ用ガラス基板やリードフレーム用金属基板等の基板ワークの加工処理製造工程ラインにおける基板搬送システムにおいて、所定の基板の搬送加工処理製造中に、その基板と同種の他の基板、又はそれ以外の特定の種類の他の基板の加工処理製造を同一製造条件又は異なる製造条件にて試験的（臨時的）に行うために、その試験的に製造する基板を、前記所定の基板に対して優先的に加工処理製造工程ラインに自動的に搬送できるようにして、基板ワークを用いた製品の本稼動製造、試作品製造、新製品製造における製造効率を向上させることを目的とするものである。

本発明の請求項１に係る発明は、データベース２と全工程管理システム３と搬送管理システム４からなる上位システム１と、全工程管理システム３により管理制御される各工程管理システム３−１、３−２、３−３、・・・３−ｎと、各工程管理システム３−１、３−２、３−３、・・・３−ｎにより管理制御される各工程５−１、５−２、５−３、・・・５−ｎに備える基板ワークの投入ローダＬd 及び回収アンローダＵL 及び基板ワーク処理加工用の各装置と、搬送管理システム４により管理制御され各工程５−１、５−２、５−３、・・・５−ｎ間を移動して、該各工程に基板ワークＷを収納するカセットＣs を搬送供給するストッカＳとを備え、前記上位システム１に格納されたカセットデータテーブル（表１）と基板データテーブル（表２）とに基づいて動作する前記工程管理システムにより、ストッカＳに搭載するカセットＣs を各工程のローダＬd 及びアンローダＵL 位置に搬送移動させ、該カセットＣs 内の基板ワークＷを前記各装置に投入して処理加工した後、該カセットＣs 内に基板ワークＷを回収することを特徴とする基板処理加工装置であって、前記基板データテーブル（表２）に基づいて、投入する基板ワークＷが通常搬送と優先搬送のいずれかであるかを判定し、前記各装置に配置したバッファＢｆを用いて通常搬送の基板ワークを一時的に退避させ、優先搬送のフラグの付与された基板ワークＷを優先搬送して投入及び回収して処理加工することを特徴とする基板ワーク加工処理製造における基板優先搬送システムである。

本発明の基板優先搬送システムによれば、カラーフィルタ用ガラス基板やリードフレーム用金属基板等の枚葉状のワークの加工処理製造工程ラインにおける基板搬送システムにおいて、所定の基板の搬送加工処理製造中に、その基板と同種の他の基板、又はそれ以外の特定の種類の他の基板の加工処理製造を同一製造条件又は異なる製造条件にて試験的（臨時的）に行うために、その試験的に製造する基板に優先搬送のフラグを付与し、その基板を、優先搬送のフラグが付与されていない基板に対して優先的に、各装置内に搬送投入し、加工処理製造工程ラインに自動的に優先的に搬送でき、基板ワークを用いた製品の本稼動製造、試作品製造、新製品製造における製造効率を向上させることができる。

本発明システムの動作システムブロック図。 本発明システムにおける各工程のうちの１つの工程に配置された各装置の平面図。 本発明システムにおける各工程及び各工程間を移動するストッカを説明する模式図。 本発明システムにおける全工程管理システムと搬送管理システムと各工程管理システムとの間の交信状況の一例を説明するシステムブロック図。 本発明システムにおける工程管理システムにより管理制御される工程内の各装置（Ａ、Ｂ）の受け取り受渡し状況の一例を説明するシステムブロック図。 本発明システムにおける上位システムに格納される工程管理システムにより管理制御される工程内の各装置から送信されるデータのエリアの一例を説明する説明図。 本発明システムにおける工程管理システムにより管理制御される工程内の各装置（例えばロボット）による基板ワーク優先搬送の制御を説明するシステムフローチャート図。 本発明システムにおける工程管理システムにより管理制御される工程内の各装置による優先搬送フラグを付与された基板ワークのカセット優先回収を説明するシステムフローチャート図。 本発明システムにおける全工程管理システム及び各工程管理システムにより管理制御される各工程間のカセット優先搬送の制御を説明するフローチャート図。 一般的な１つの工程内の各処理加工装置の一例を説明する平面図。 一般的な基板ワークの処理加工を説明する工程図。

本発明の基板ワーク加工処理製造における基板優先搬送システムをその実施の形態に基づいて以下に詳細に説明する。

図１は、本発明の基板優先搬送システムを動作させるに必要な工程管理システムの全体構成を説明するシステムブロック図であり、本発明における各工程（５−１、５−２、５−３、・・・５−ｎ）内には、それぞれの工程内にて搬送される各々基板ワークＷに関する基板データ（基板固有の基板識別データ、及び基板の工程処理加工データ）を管理するための各工程管理システム（３−１、３−２、３−３、・・・３−ｋ、・・・３−ｎ）が存在し、この各工程の工程管理システムと、工程（５−１、５−２、５−３、・・・５−ｋ、・・・５−ｎ）内にある基板ワークＷを加工処理するための各装置（図１には図示せず）とは、互いに通信を行い、工程管理に必要な基板ワークの基板識別データなど情報の報告や取得を行う。

各工程管理システム（３−１、３−２、３−３、・・・３−ｋ、・・・３−ｎ）に必要な、基板ワークＷ（Ｗ1 〜Ｗk 〜Ｗn ）に関する基板識別データＷＩＤ（Ｗ1 ＩＤ〜Ｗk ＩＤ〜Ｗn ＩＤ）、基板ワークＷ（Ｗ1 〜Ｗk 〜Ｗn ）を収納するカセットＣs （Ｃs1〜Ｃsk〜Ｃsn）に関するカセット識別データ（Ｃs1ＩＤ〜ＣskＩＤ〜ＣsnＩＤ）、及び各工程（５−１、・・・５−ｎ）に関する工程識別データなどの情報である基板データｄは、各工程を統括する最上位システム１に報告される。この最上位システム１はデータベース２（ＤＢ）、全工程管理システム３、基板搬送管理システム４などにて構成され、各工程の工程管理システム（３−１、３−２、３−３、・・・３−ｋ、・・・３−ｎ）からの情報は、データベース２にて管理される。なお、ここでｋは、１＜ｋ＜ｎの自然数。

最上位システム１にあるデータベース２は、各工程を管理する各工程管理システム（３−１、・・・３−ｎ）、及びその上位にある全工程管理システム３から基板ワークＷに関
する基板データとして、各基板ワークの基板識別データ、１乃至複数の基板ワークを収納したカセットＣs のカセット識別データを取得し、ストッカーを含めて工程（５−１、・・・５−ｎ）内にある各基板ワークＷの現在の工程位置や在籍位置（何れの工程に存在しているか、何れのストッカーの何れのカセットＣs に格納されているかなど）を情報データテーブルとして管理している。

全工程管理システム３は、データベース２の情報を取得し、この情報を基にして、各工程（５−１、・・・５−ｎ）内へ、基板ワークＷを投入するためのストッカーに格納されている１乃至複数のカセットＣs （複数枚の基板ワークＷを収納したケース）の搬送のための指示信号を搬送管理システム４に送信する。

また、全工程管理システム３は各工程（５−１、・・・５−ｎ）における基板ワークＷに対する処理加工工程フロー順に従って、次の工程へのカセットＣs の投入指示を行う。また、当該カセットＣs 内の基板ワークＷに関する基板データ（各基板ワーク固有の基板識別データ、カセット固有のカセット識別データ）を管理し、基板ワークＷ又は／及びその基板ワークＷを収納するカセットＣs の優先搬送の指示や、所定の工程内への優先投入の指示、あるいは基板ワークＷの優先搬送フラグの付与なども行う。

搬送管理システム４は、カセット搬送指示信号に基づき、カセット搬送手段を動作させて、ストッカーにあるカセットＣs を工程内に搬送する。なお、これらの全工程管理システム３、搬送管理システム４のシステム間は、ＥｔｈｅｒＮｅｔ（登録商標）、ＣＣＬｉｎｋ、光ケーブル等にて相互に通信可能になっている。

また搬送管理システム４は、各工程（５−１、・・・５−ｎ）に装備するストッカーに格納（集積）されているカセットＣs の管理を行うと共に、全工程管理システム３からの指示を受けて、各工程管理システム（３−１、・・・３−ｎ）を介して各工程（５−１、・・・５−ｎ）間のカセットＣs の移動の指示を行う。

例えば、図１において、受入工程５−１では、受入工程管理システム３−１による管理の基で、基板ワークＷ（例えばＣＦ用ガラス基板）を生産工程に投入し、フォトリソ工程５−２では、フォトリソ工程管理システム３−２による管理の基で、ブラックマトリクス（ＢＭ）、ＲＧＢ着色層、フォトスペーサ（ＰＳ）層）などを形成し、ＩＴＯ工程５−３では、ＩＴＯ工程管理システムによる管理の基で、透明電極膜や透明導電パターンを形成する。

各工程管理システム（３−１、・・・３−ｎ）は、各工程（５−１、・・・５−ｎ）に設けられ、工程内の処理加工装置と相互に通信を行うことにより、基板ワークＷに関する基板識別データなど基板データを管理している。

上記のような対象工程は、基板ワークＷを搬送するためのコンベアなどの搬送装置やプロセス処理機、検査機と呼ばれる装置が含まれている１つ（１種類）の工程、あるいは２つ以上（多種類）の多工程からなる。

＜各工程の構成について＞
対象工程の各工程は、その工程内における処理加工の種類や内容に応じて各工程内の装置の数などに違いはあるものの、例えば、図２に示すような工程構成となっていて、各工程内の各装置は、互いにＥｔｈｅｒＮｅｔ（登録商標）、ＣＣＬｉｎｋ、光ケーブル等で通信可能になっている。

本発明システムにおける図２に示す工程内には、その工程内の各処理加工装置間にて基
板ワークＷを１枚（１個）毎搬送移動させる装置として、少なくとも、第１コンベアＣ1 乃至第ｎコンベアＣn と、第１ロボットＲt1〜第ｎロボットＲtnとを備え、それらコンベアとロボットには、基板ワークＷを、当該コンベアやロボットから一時的に退避させるための退避領域としてバッファ装置Ｂf を備えている。また第１検査機Ｔ1 〜Ｔn にもバッファ装置Ｂf を備えている。

図２に示すように、各工程（５−１、・・・５−ｎ）間には、基板ワークＷを収納する各々カセットＣs を集積格納して搭載し、その各々カセットＣs を各工程（５−１、・・・５−ｎ）の間を搬送移動可能なストッカＳを備えている。そして各工程（５−１、・・・５−ｎ）には、基板ワークＷを搬送しながら処理加工するための搬送手段や処理加工手段など各装置を備えている。

例えば、各工程内に備える装置は、前記ストッカＳに搭載する所定のカセットＣs から１枚ずつ基板ワークＷを取り出すローダＬd 、第１コンベアＣ1 、第１ロボットＲt1、第１検査機Ｔ1 、第１プロセス処理機Ｐ1 、第２コンベアＣ2 、第２プロセス処理機Ｐ2 、第３コンベアＣ3 、第２検査機Ｔ2 、第２ロボットＲt2、第３プロセス処理機Ｐ3 、第３ロボットＲt3、ストッカＳに格納されている前記カセットＣs 内に１枚ずつ基板ワークＷを収納するアンローダＵL から構成されている。

そして、図２に示すように、本発明システムにおいては、工程内の各装置のうち第１コンベアＣ1 〜第３コンベアＣ3 、第１ロボットＢt1〜第３ロボットＢt3には、バッファ装置Ｂf を備えている。

なお、前記各工程のローダＬd 及びアンローダＵL の位置には、前記各々カセットＣs に付与されているカセット識別ＩＤを検出して信号として読み取る光学式などのカセット識別ＩＤ読取センサーが設置されて、各カセットＣs を信号として識別できるようになっている。また各工程の前記各々装置（又は一部の装置）には、装置内を搬送移動する各基板ワークＷに付与されている基板ワーク識別ＩＤを検出して読み取る識別ＩＤ読取センサーが設置されていて、各カセットＣs を信号として識別できるようになっている。

各々コンベアやロボットに備えるそれぞれ前記バッファ装置Ｂf は、移載手段と退避領域とから構成され、移載手段は、当該コンベアやロボットに搭載されている一時的に退避すべき通常搬送の基板ワークＷを退避領域に移載した後、優先搬送のフラグが付与されている基板ワークＷを、当該コンベアやロボットにて優先して搬送する。優先搬送後は、退避領域に移載されて一時的に退避している通常搬送の基板ワークＷを、前記移載手段にて当該コンベアやロボットに復帰させて、優先搬送された基板ワークＷの後方にて、通常搬送を行い、基板ワークＷの処理加工を実施する。

＜工程間の基板ワークの搬送移動について＞
図２に示す工程間の基板ワークＷの搬送移動を、図３に基づいて下記に説明すれば、各工程間を搬送される基板ワークＷは、その所定枚数がカセットＣs 内に収納され、カセットＣs は、ストッカＳと称される基板集積装置に格納されていて、基板ワークＷはカセットＣs 内から１枚（１個）ずつ各工程（５−１、５−２、５−３、・・・５−ｎ）内にローダＬd から投入され、各装置間を搬送移動して処理加工された後、アンローダＵL にて１枚（１個）ずつ回収される。

基板ワークＷを収納する各々カセットＣs は数十段の多段の構成となっていて、基板ワークＷをカセットＣs 内に収納して、各カセット毎にストッカからコンベアにより大量に各工程に搬送することができ、各カセットＣs はストッカＳ内を矢印方向に順次、図１に示す工程（５−１、・・・５−ｎ）間を移動して、カセットＣs に纏められて収納されている各基板ワークＷを、各々工程のローダーＬd にて各工程内に投入される。

ストッカＳに格納されたカセットＣs 内に収納されている基板ワークＷは、図１に示すストッカＳのカセットＣs 内から各工程（５−１、・・・５−ｎ）のローダーＬd1より工程内に１枚ずつ投入され、その工程内の各装置（第１コンベアＣ1 、第１ロボットＲt1、第１検査機Ｔ1 、第１プロセス処理機Ｐ1 、第２コンベアＣ2 、第２プロセス処理機Ｐ2 、第３コンベアＣ3 、第２検査機Ｔ2 、第２ロボットＲt2、第３プロセス処理機Ｐ3 、第３ロボットＲt3）を通過して処理されて、アンローダＵR によりカセットＣs 内に収納されて回収される。この動作を繰り返し、順次、その基板ワークＷは次の各工程に投入されて、基板ワークを用いた製品（例えば、ＣＦ基板）が作製される。

図３に示すように、ローディングする基板ワークＷの収納されているカセットＣs は、ストッカＳに搭載するカセットＣs を、例えば直線的（若しくは曲線状）に矢印方向に移動させるコンベアにより、各工程（５−１、・・・５−ｎ）を移動させて、各カセットＣs に収納されている基板ワークＷを、当該工程のローダＬd にて各工程内に搬送する。

＜各基板ワークＷに付与される基板データについて＞
次に、工程内に投入して処理加工される各基板ワークＷに付与される基板データについて以下に説明すれば、各カセットＣs には、カセット固有のカセット識別データＣs ＩＤ（カセット識別マーク、カセットＩＤマークなど）が付与されていて、また、カセットＣs 内に収納されている基板ワークＷにも１枚毎に基板ワークＷ固有の基板識別データＷＩＤが付与され、処理加工されるべき前記基板ワークＷの投入及びその基板ワークＷが収納されているカセットＣs を搬送すべき工程（５−１〜５−ｋ〜５−ｎ）の工程識別情報ＰＩＤ（工程識別ＩＤ、単に工程ＩＤ、Ｐ1 ＩＤ、Ｐ2 ＩＤ、Ｐ3 ＩＤ、・・・ＰK ＩＤ 、・・・Ｐn ＩＤ）が付与されており、全工程管理システム３は、カセット識別情報Ｃs ＩＤ、基板ワークＷの基板識別情報ＷＩＤ、工程識別情報ＰＩＤを管理する。また、搬送管理システム４はカセットＣs 固有のカセット識別データＣs ＩＤ及び基板ワークＷ固有の基板識別データＷＩＤを管理する。また、搬送管理システム４はストッカＳ内にある１乃至複数のカセットＣs の移動を行う。

本発明における基板ワークＷの基板データは、基板ワークＷを管理する上で必要なデータであり、基板ワークＷ毎に固有のデータとしてユニークに割り振られ、付与されている番号や記号などの基板識別データや、その基板ワークＷを収納しているカセットＣs のカセット識別データや、その各々基板ワークＷが各工程内を搬送される上で必要となる工程位置や在籍位置などの情報で構成される。この基板データの中には、優先的に搬送（優先搬送）を「する／しない」の判定のためのデータが含まれている。以下、この判定データをフラグと称する。

上記基板データには、データ型、サイズが設定されており、一般的に、このようなデータは２進数の「０，１」で表され、搬送優先のデータは、「する＝１」を「フラグの付与された」、「しない＝０」を「フラグの付与されていない」と表現する。

＜カセットＣs 内に収納されている基板ワークＷの工程内への投入について＞
次に所定の基板ワークＷが収納されている所定のカセットＣs を、ストッカＳにより各工程（第１工程５−１、・・・第ｎ工程５−ｎ）に搬送して、そのカセットＣs 内に収納されている基板ワークＷを、所定の工程に投入する場合について、表１のカセットデータテーブルを参照して説明する。なお、各工程に投入する基板ワークＷは、最初の１枚目の基板ワークＷ1 から最終のｎ番目の基板ワークＷn までとし、その全ての基板ワークＷ（Ｗ1 〜Ｗn ）を、１乃至複数台のカセットＣs （第１カセットＣs1〜第ｍカセットＣsm）内に収納するものとする。

表１のカセットデータテーブルにおいて、テーブルＮｏ．１はカセットＩＤであり、複数の各々カセットＣs （第１カセットＣs1〜第ｋカセットＣsk〜第ｎカセットＣsn）を識別して特定し検索するためのカセットＩＤ（カセット識別データＣs ＩＤ、第１カセットＣs1ＩＤ〜第ｋカセットＣskＩＤ〜第ｎカセットＣsnＩＤ）であり、テーブルＮｏ．２は工程ＩＤであり、Ｎｏ．１にて特定されたカセットＣs （例えばカセットＣsk）内に収納されている１乃至複数枚の全ての基板ワークＷ（Ｗ1 、Ｗ2 、Ｗ3 、・・・Ｗn のうちのＷk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x ）が、最後に投入された工程を表示する工程ＩＤ（工程識別データＰＩＤ、第１工程Ｐ1 ＩＤ〜第ｋ工程Ｐk ＩＤ〜第ｎ工程Ｐn ＩＤのうちの第ｋ工程Ｐk ＩＤ）である。

全工程管理システム３は、データベース２内にあるカセットデータテーブル（表１）を読み取り確認して、このカセットデータテーブル内のテーブルＮｏ．１にあるカセットＩＤ（例えば基板ワークＷk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x が収納されているカセットＩＤ＝Ｃsk）を読み取り、ストッカＳ上にあるカセットＣs （Ｃsk）を判別特定する。

さらに、全工程管理システム３は、カセットデータテーブル（表１）のＮｏ．２にある工程ＩＤ（例えばＰk ＩＤ）を読み取り、特定された前記カセットＣs （Ｃsk）内に収納されている基板ワークＷ（Ｗk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x ）が最後に投入された工程の工程ＩＤ（Ｐk ＩＤ）を読み取り確認し、特定された前記最後に投入された工程を示す工程ＩＤ（第ｋ工程Ｐk ＩＤ）と、データベースＤＢ２に記憶設定されている工程順データメモリに基づいて、次に投入されるべき工程の工程ＩＤ（第ｋ＋１工程Ｐk+1 ＩＤ）を特定する。

このようにして全工程管理システム３は 、表１に示すカセットデータテーブルに基づて、基板ワークＷ（前記カセットＣs （Ｃsk）内に収納されている基板ワークＷ（Ｗk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x ）が次に投入されるべき工程を特定した後は、搬送管理システム４に対して、特定された前記カセットＣs （Ｃsk）のカセット識別データＣs ＩＤ（ＣskＩＤ）と、特定された次に投入すべき前記工程の工程ＩＤ（Ｐk+1 ＩＤ）を送信し、工程ＩＤ（Ｐk+1 ＩＤ）に該当する次に投入すべき工程に、当該カセットＣs （Ｃsk）を搬送するための搬送指示を発信する。

カセットＣs （Ｃsk）の搬送指示を受信した搬送管理システム４は、図１、図２、図３に示すストッカＳを動作させて、ストッカＳ上に格納されている特定されたカセット識別データＣs ＩＤの前記カセットＣs を、特定された工程ＩＤ（Ｐk ＩＤ）の前記工程（当該工程のローダＬd 前）に搬送して、該カセットＣs 内の基板ワークＷを順次、その工程内に投入し、図２に示すように、ローダＬd から、１枚ずつ基板ワークＷを工程内に投入し、例えば第１コンベアＣ1 、第１ロボットＲt1、第１検査機Ｔ1 、第１プロセス処理機Ｐ1 、第２コンベアＣ2 、第２プロセス処理機Ｐ2 、第３コンベアＣ3 、第２検査機Ｔ2 、第２ロボットＲt2、第３プロセス処理機Ｐ3 、第３ロボットＲt3などを搬送移動させて、基板ワークＷを処理加工し、工程内を搬送中に、前記ストッカＳの動作により、ローダＬd 前からアンローダＵL 前に移動した前記カセットＣs （Ｃsk）内に、アンローダＵL により１枚ずつ基板ワークＷを収納する。

このようにして前記カセットＣs （Ｃsk）内に収納されている基板ワークＷ（Ｗk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x ）が、第１工程５−１、・・・第ｎ工程５−ｎのうちいずれかの前記工程ＩＤ（第ｋ＋１工程Ｐk+1 ＩＤ）の工程内における処理加工を終了した時点で、搬送管理システム４は、全工程管理システム３に対して、処理加工の終了した前記カ
セットＣs （第ｋカセットＣsk）のカセットＩＤ（第ｋカセットＣskＩＤ）と、工程ＩＤ（第ｋ＋１工程Ｐk+1 ＩＤ）とを送信報告する。

全工程管理システム３は、工程ＩＤ（第ｋ＋１工程Ｐk+1 ＩＤ）の工程内において処理加工の終了した前記カセットＣs （第ｋカセットＣsk）のカセットＩＤ（第ｋカセットＣskＩＤ）と工程ＩＤ（第ｋ工程Ｐk ＩＤ）を、データベースＤＢ２に、表１のようなカセットデータテーブル様式に基づいて新規なカセットデータテーブルとして記憶格納する。または、カセットデータテーブル（表１）のＮｏ．２にある工程ＩＤを、前記カセットＣs （第ｋカセットＣsk）内に収納されている基板ワークＷ（Ｗk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x ）が最後に投入された工程の工程ＩＤ（Ｐk+1 ＩＤ）に書き換えて、カセットデータテーブル（表１参照）として記憶格納する。

また、カセットデータテーブル（表１）のＮｏ．２の項目にある工程ＩＤ（例えばＰk ＩＤ）を、前記カセットＣs （Ｃsk）内に収納されている基板ワークＷ（Ｗk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x ）が最後に投入された工程の工程ＩＤ（Ｐk+1 ＩＤ）に書き換え、新規のカセットデータテーブルとして、データベースＤＢ２に記憶格納する。

＜所定の工程への所定の基板ワークＷの優先搬送とその処理加工について＞
次に、本発明における所定の基板ワークＷの優先搬送と優先処理加工について、以下に詳細に説明する。

急遽、既存製品や新製品または試作品（サンプル品）等を生産し、出荷する必要がある場合は、通常生産品に対して優先して、それらの生産を行う必要があるが、そのような場合に、全工程管理システムは、基板ワークＷを全工程間及びその各工程内に搬送して生産を継続している通常生産品とは別の優先して生産すべき優先生産品（既存製品や新製品または試作品等）用の対象材料である基板ワークＷ（例えば少数枚又は多数枚の基板ワークＷk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x ）に対して、データベースＤＢ２内に記憶格納されている表２に示す基板データテーブルの基板データを、所定の工程内に優先搬送して投入生産するための優先搬送フラグが付与される情報に変更したり書き換えたりする。

表２の基板データテーブルにおいて、テーブルＮｏ．１は、複数（枚葉枚）の各々基板ワークＷに付与した基板番号であり、各々基板ワークＷを識別して検索し、特定するための基板ＩＤであり、投入される各々基板ワークＷのうち所定の基板ワークＷに対して、優先搬送を指示する場合には、その基板ワークＷの基板ワークＩＤに優先搬送のフラグＦが付与されるものである。

基板データテーブルのＮｏ．２は工程ＩＤであり、Ｎｏ．１の基板ＩＤにて特定された基板ワークＷ（Ｗ1 、Ｗ2 、Ｗ3 、・・・Ｗn のうちのＷk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x ）が、最後に投入された工程を表示する工程ＩＤ（工程識別データＰＩＤ、第１工程Ｐ1 ＩＤ〜第ｋ工程Ｐk ＩＤ〜第ｎ工程Ｐn ＩＤのうちの第ｋ工程Ｐk ＩＤ）を示すものである。

全工程管理システム３の指示により、各工程５−１、５−２、５−３、・・・５−ｋ、・・・５−ｎ）の工程管理システム（３−１、３−２、３−３、・・・３−ｋ、・・・３−ｎ）、例えば工程５−ｋの工程管理システム３−ｋは、データベース２内にある基板データテーブル（表２）を読み取り確認して、この基板データテーブル内のテーブルＮｏ．１にあるそれぞれ基板ＩＤ（例えば基板ワークＷk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x のそれぞれ基板ＩＤ）と優先搬送のフラグＦとを読み取り、それらの基板ワークＷが、各工程
のうち、いずれの工程にあるのか、その工程にあるストッカＳ上に格納されたカセットＣs （Ｃsk）内の基板ワークＷを含めて、基板データテーブル（表２）のＮｏ．２にある工程ＩＤに基づいて判別特定する。

すなわち、工程管理システム３−ｋは、基板データテーブル（表２）のＮｏ．２にある基板ワークＷ（例えば基板ワークＷk ）にリンクされている工程ＩＤ（例えばＰk ＩＤ）を読み取り、特定された前記基板ワークＷが、最後に投入された工程の工程ＩＤ（Ｐk ＩＤ）を読み取り確認し、特定された前記最後に投入された工程を示す工程ＩＤ（第ｋ工程Ｐk ＩＤ）と、データベースＤＢ２に記憶設定されている工程順データメモリに基づいて、次にその基板ワークＷが投入されるべき工程の工程ＩＤ（第ｋ＋１工程Ｐk+1 ＩＤ）を特定する。

また、工程管理システム３−ｋは、基板データテーブル（表２）のＮｏ．３にある基板ワークＷ（例えば基板ワークＷk ）にリンクされているカセットＩＤ（例えばカセットＣsk）と、Ｎｏ．４にある基板ワークＷ（例えば基板ワークＷk ）の格納されているカセットＣs （例えばカセットＣsk）の段数（カセットＣs の番地）、Ｎｏ．５にある基板データ（各工程内を流動する上で必要となるデータ）などを読み取る。

このようにして工程管理システム３−ｋは、表２に示す基板データテーブルに基づて、カセットＣs （Ｃsk）内に収納されている基板ワークＷ（Ｗk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x ）が次に投入されるべき工程と、その基板ワークＷが優先搬送のフラグＦの付与された基板ワークであるか否かを特定した後は、搬送管理システム４に対して、特定された前記カセットＣs （Ｃsk）のカセット識別データＣs ＩＤ（ＣskＩＤ）と、特定された次に投入すべき前記工程の工程ＩＤ（Ｐk+1 ＩＤ）を送信し、工程ＩＤ（Ｐk+1 ＩＤ）に該当する次に投入すべき工程に、当該カセットＣs （Ｃsk）を通常搬送（又はバッファＢｆにて退避領域に通常搬送の基板ワークを一時的に退避させて優先搬送）するための搬送指示を発信する。

カセットＣs （Ｃsk）の搬送指示を受信した搬送管理システム４は、図１、図２、図３に示すストッカＳを動作させて、ストッカＳ上に格納されている特定されたカセット識別データＣs ＩＤの前記カセットＣs を、特定された工程ＩＤ（Ｐk ＩＤ）の前記工程（当該工程のローダＬd 前）に通常搬送（又はバッファＢｆを用いた優先搬送）して、該カセットＣs 内の基板ワークＷを順次、その工程内に投入し、図２に示すように、ローダＬd から、１枚ずつ基板ワークＷを工程内に投入し、例えば第１コンベアＣ1 、第１ロボットＲt1、第１検査機Ｔ1 、第１プロセス処理機Ｐ1 、第２コンベアＣ2 、第２プロセス処理機Ｐ2 、第３コンベアＣ3 、第２検査機Ｔ2 、第２ロボットＲt2、第３プロセス処理機Ｐ3 、第３ロボットＲt3などを搬送移動させて、基板ワークＷを処理加工し、工程内を搬送中に、前記ストッカＳの動作により、ローダＬd 前からアンローダＵL 前に移動した前記カセットＣs （Ｃsk）内に、アンローダＵL により１枚ずつ基板ワークＷを通常収納（又は優先収納）する。

このようにして前記カセットＣs （Ｃsk）内に収納されている基板ワークＷ（Ｗk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x ）が、第１工程５−１、・・・第ｎ工程５−ｎのうちいずれかの前記工程ＩＤ（第ｋ＋１工程Ｐk+1 ＩＤ）の工程内における処理加工を終了した時点で、搬送管理システム４は、全工程管理システム３に対して、処理加工の終了した前記カセットＣs （第ｋカセットＣsk）のカセットＩＤ（第ｋカセットＣskＩＤ）と、工程ＩＤ（第ｋ＋１工程Ｐk+1 ＩＤ）とを送信報告する。

全工程管理システム３は、工程ＩＤ（第ｋ＋１工程Ｐk+1 ＩＤ）の工程内において処理加工の終了した前記カセットＣs （第ｋカセットＣsk）のカセットＩＤ（第ｋカセットＣ
skＩＤ）と工程ＩＤ（第ｋ工程Ｐk ＩＤ）を、データベースＤＢ２に、表１のようなカセットデータテーブル様式に基づいて新規データに書き換えられたカセットデータテーブルとして記憶格納する。または、カセットデータテーブル（表１）のＮｏ．２にある工程ＩＤを、前記カセットＣs （第ｋカセットＣsk）内に収納されている基板ワークＷ（Ｗk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x ）が最後に投入された工程の工程ＩＤ（Ｐk+1 ＩＤ）に書き換えて、カセットデータテーブル（表１参照）として記憶格納する。

また、カセットデータテーブル（表１）のＮｏ．２の項目にある工程ＩＤ（例えばＰk ＩＤ）を、前記カセットＣs （Ｃsk）内に収納されている基板ワークＷ（Ｗk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x ）が最後に投入された工程の工程ＩＤ（Ｐk+1 ＩＤ）に書き換え、新規のカセットデータテーブルとして、データベースＤＢ２に記憶格納する。

＜優先搬送フラグの付与について＞
優先搬送のフラグの付与は、例えば下記の場合に行われる。
１．全工程管理システム３により、工程内への基板ワークＷ（例えば所定のカセットＣs 内の基板ワークＷ1 、又は所定のカセットＣs 内の所定の基板ワークＷk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x ）の搬送投入時に付与が指示された場合。
２．工程管理システム３−１〜３−ｎにより、工程内にある基板ワークＷ（例えば所定の基板ワークＷk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x ）の基板データを変更した場合。
３．工程内の装置により、基板ワークＷ（例えば所定の基板ワークＷk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x ）の基板データを変更した場合。

まず全工程管理システム３により、工程内への基板ワークＷ（例えば基板ワークＷ1 、又は基板ワークＷk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x のいずれかの基板ワーク）の搬送投入時に、優先搬送フラグの付与が指示された場合について以下に説明する。

所定の基板ワークＷが、優先生産の対象となる基板ワークＷである場合は、全工程管理システム３により、その所定の基板ワークＷに対応するデータベースＤＢ２内の基板データテーブル（表２）の基板データに優先搬送のフラグが付与された状態に変更される。

そして、その基板ワークＷが、その工程内に投入されると、基板データテーブル（表２）の変更された前記基板データが、データベースＤＢ２から、その工程内を管理する工程管理システム（例えば３−Ｋ）に送信されて渡され、その所定の基板ワークＷには、優先搬送のフラグが付与された状態となる。

次に工程管理システム３−１〜３−ｎにより、工程内にある基板ワークＷ（例えば所定の基板ワークＷk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x のいずれかの基板ワーク）の基板データを変更する場合について以下に説明する。

各工程管理システム３−１〜３−ｎは、その各工程内の装置（搬送手段、処理加工手段あるいは出荷手段など）と通信することが可能になっていて、各工程内の所定の装置が、この工程管理システム３−１〜３−ｎから工程内にある基板ワークＷ（例えば所定の基板ワークＷk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x のいずれかの基板ワーク）に関する基板データ変更の通信を報告として受信すると、その装置が管理しているその基板ワークＷに関する基板データを、変更報告された基板データに変更する。

またこの変更された当該基板ワークＷの基板データに優先搬送のフラグが付与されている報告がある場合は、その基板ワークＷの基板データ、及び基板データテーブル（表２）の基板データは、優先搬送のフラグが付与された状態となり、この基板ワークＷは、優先搬送のフラグが付与された状態となる。

次に工程内の装置により、基板ワークＷ（例えば所定の基板ワークＷk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x のいずれかの基板ワーク）の基板データを変更する場合について説明する。

基板ワークＷに関する上記基板データは各工程内に配置された各装置も管理しており、この装置にて基板データを変更することも可能になっている。基板ワークＷに関する変更された前記基板データに、優先搬送のフラグが付与されている情報がある場合は、前記基板ワークＷの基板データ、及び基板データテーブル（表２）の基板データは、優先搬送のフラグが付与された状態となり、この基板ワークＷは、優先搬送フラグが付与された状態となる。

＜工程内への基板ワーク投入時（受入工程）における基板データの管理について＞
工程内への基板ワーク投入時（受入工程）における基板データの管理について、図４に示すブロック図に基づいて以下に説明する。

図４に示すように、全工程管理システム３は、搬送管理システム４に対して、工程に投入するカセットＣs のカセットＩＤと投入先の工程の工程ＩＤとを指示信号（Ｉ）を発信し、搬送管理システム４は、そのカセットＩＤのカセットＣs をストッカＳにて工程ＩＤの工程に搬送すると、全工程管理システム３に対して、そのカセットＩＤを報告する信号（ＩＩ）を発信する。

全工程管理システム３は、投入先の工程（工程ＩＤ）の工程管理システムに対して、前記カセットＩＤのカセットＣs のカセットデータテーブル（表１）内の情報（ＩＩＩ）を発信報告する。

投入先の工程（工程ＩＤ）の工程管理システムは、カセットデータテーブル（表１）内の情報（ＩＩＩ）を受信取得すると、その取得したカセットＩＤのカセットＣs 内の基板ワークＷの基板ＩＤの信号（ＩＶ）を、全工程管理システム３に発信報告する。

全工程管理システム３は、受信した基板ワークＷの基板ＩＤに基づいて、基板データテーブル（表２）内の基板データ（Ｖ）を、前記工程ＩＤの工程管理システムに発信報告して、当該工程管理システムは、報告を受けたその基板ワークＷの基板ＩＤと基板データ情報に基づいて、その基板ＩＤの基板ワークＷに関する工程内での基板データテーブル（表２）の管理を行う。

＜優先搬送フラグ情報（基板データ及び基板データテーブル（表２））の管理＞
優先搬送のフラグの情報（優先搬送指示情報）は各基板ワークＷ（又は基板ワークＷを収納した各カセットＣs ）毎の基板データ内にて管理される。カセット内の基板ワークＷの基板データは、最上位システム１のデータベース２内の基板データテーブル（表２）により管理される。

＜基板ワークの工程内投入時の優先搬送のフラグ情報（基板データ）の受渡し＞
図４に示すように、全工程管理システム３より投入する基板ワークＷの収納されているカセットＣs のカセットＩＤと工程ＩＤが、搬送管理システム４に対して指示されると、搬送管理システム４は、各工程（５−１〜５−ｎ）のローダＬd （及びアンローダＵL ）の間を移動するストッカＳに対して、前記カセットＩＤに該当するカセットＣs を、前記工程ＩＤに該当する工程に配置したローダＬd に向けて搬送するように通信して指示を出す。

搬送管理システム４からの指示により、ストッカＳにて工程ＩＤに該当する工程にカセットＩＤに該当するカセットＣs が搬送されると、そのカセットＣs 内の各段（仕切棚）から、基板ワークＷ（例えば所定の基板ワークＷk 、Ｗk+1 、Ｗk+2 、・・・Ｗk+x ）が１枚ずつ順次、その工程ＩＤに該当する工程内に投入されて、その工程内の各装置を搬送されて処理加工される。

この工程ＩＤに該当する工程内に投入搬送されたカセットＣs のカセットＩＤ及びその工程ＩＤは、搬送管理システム４から全工程管理システム３に報告され、最上位システム１内の全工程管理システム３は、前記カセットＩＤを基に、ＤＢ内のカセットデータテーブル（表１）の情報を該当する工程の工程管理システム（３−１〜３−ｎのいずれかの該当する工程管理システム）に報告する。

カセットＩＤに該当するカセットＣs から、それに収納されている基板ワークＷが順次工程ＩＤに該当する工程内に投入されると、その工程ＩＤに該当する工程管理システム（３−１〜３−ｎのいずれかの該当する工程管理システム）は、その投入された各基板ワークＷの基板ワーク識別ＩＤを最上位システム１（データベースＤＢ２、全工程管理システム３、搬送管理システム４）に通信報告する。

報告を受信した最上位システム１内の全工程管理システム３は、データベースＤＢ２内の基板データテーブル（表２）から、投入された各基板ワークＷの基板ワーク識別ＩＤを基に、投入された各基板ワークＷの基板ワーク識別ＩＤを、その基板ワーク識別ＩＤを送信報告した前記工程管理システム（３−１〜３−ｎのいずれかの該当する工程管理システム）に通信報告する。

これにより、工程ＩＤに該当する工程内への優先搬送のフラグ情報（基板データ）が、その工程内で管理される。その工程内の基板データの管理は、その工程の工程管理システムによって行われる。

＜工程内より基板回収時の優先搬送のフラグ情報（基板データ）の受渡し＞
カセットＩＤに該当するカセットＣs に収納されている基板ワークＷが、工程ＩＤに該当する工程内の処理加工を終え、当該カセットＣs （空の状態、若しくは一部の基板ワークＷが収納されている状態）が、ストッカＳの動作にてローダＬd からアンローターＵL に移動を終了したタイミングにて、処理加工を終了した基板ワークＷが、当該カセットＣs に回収されると、その工程ＩＤに該当する工程管理システムは、その工程に該当する工程ＩＤとカセットＩＤと、基板ワークＷの基板ワーク識別ＩＤと、優先搬送フラグの含まれる基板データ、カセットの回収段数を、最上位システム１（データベースＤＢ２、全工程管理システム３、搬送管理システム４）に通信報告する。

最上位システム１が、その通信報告を受信すると、全工程管理システム３は、その報告データに基づいて、基板データテーブル（表２）の情報と、カセットデータテーブル（表１）の情報とを更新して、データベースＤＢ２に記憶格納する。

図５（ａ）、（ｂ）は各工程管理システムによるその工程内の基板ワークＷの動き（搬送移動）の追跡（トレース）について説明するブロック図であり、図５（ａ）に示すように、ある所定工程内の装置ＡからＢに実物の基板ワークＷが搬送移動する際に、併せて（同時に）基板ワークＷの基板データも装置ＡからＢに受け渡し、その工程内を管理する工程管理システムは、上位システム１に報告する。

図５（ｂ）に示すように、前記工程内にて装置Ａから実物の基板ワークＷを受け取った前記装置Ｂは、実物の基板ワークＷを受け取る際に、基板ワークＷの基板データも受け取
り、その工程内を管理する前記工程管理システムは、上位システム１に報告する。

＜工程内の優先搬送のフラグ情報（基板データ、表２）の管理について＞
各工程（５−１〜５−ｎ）の工程内には、その工程内の基板ワークＷを管理する目的のために工程管理システム（３−１〜３−ｎ）が存在する。

各工程内の各基板ワークＷは、その実物の各基板ワークＷと、その工程の工程管理システムに、その各基板ワークＷ（例えば単一枚、単一個）毎に紐付きの（リンクした）基板データ（基板識別情報など）を保持しており、各工程の工程管理システムは、その基板データを管理することにより、工程内の実物の基板ワークＷの数量（例えば枚数、個数）と、その実物の各基板ワークＷの位置情報（工程内のいずれの処理加工装置、搬送手段に各基板ワークＷが存在しているか）を把握することができるようになっている。

前述の工程内の優先搬送フラグ情報（基板データ）の管理として、各工程内の各装置が実物の各基板ワークＷの処理加工のために、各装置から装置へと各基板ワークＷを受け取り又は受け渡す際に、受け取り受け渡した当該各基板ワークＷの基板データ（表２）の受け取り受渡しも同時に行われるようになっている。また、それによる基板データ（表２）の書き換えも同時に行われるようになっている。この各基板ワークＷの基板データ（表２）の授受及び書き換えは、当該工程内の装置間の通信にて行われ、その基板データ（表２）情報は、当該工程の工程管理システム（３−１乃至３−ｎのいずれか）、全工程管理システム３にも通信報告される。

前記各基板ワークＷの授受の際に、当該工程（５−１乃至５−ｎのいずれか）の工程管理システム（３−１乃至３−ｎ）に授受に関わる前記基板データ（表２）情報を報告することにより、報告を受信した工程管理システムは、その工程内の実物の基板ワークＷの動きを追跡（トレース）することが可能となっている。

図６は、搬送移動した基板ワークＷの基板データの報告方法を説明するブロック図であり、上位システム１と各工程（５−１乃至５−ｎ）の工程管理システム（３−１乃至３−ｎ）と各工程内の各装置とは、光ケーブル等で互いに通信可能な状態に構成されて、共有のリンクエリアを保持している。

図６に示すように、所定工程（５−１乃至５−ｎ）内の装置Ａと、その工程を担当する工程管理システムとが、全工程管理システム３（上位システム１）を介して、授受に関わる基板データ（表２）の情報（ＡＡＡＡ）を、また、その工程内の装置Ｂと、その工程を担当する工程管理システムとが、全工程管理システム３（上位システム１）を介して、授受に関わる前記基板データ（表２）の情報（ＢＢＢＢ）を、また、その工程内の装置Ｃとその工程を担当する工程管理システムとが、全工程管理システム３（上位システム１）を介して、授受に関わる前記基板データ（表２）の情報（ＣＣＣＣ）を、データベースＤＢ２（上位システム１）のデータを格納するリンクエリアに書き込み、格納することにより最上位システム１に対する報告を完了し、その工程管理システム（３−１乃至３−ｎ）は前記基板データ（表２）を確定されたデータとして取得するものである。

＜工程内の優先搬送機能＞
本発明における工程内の基板ワークの優先搬送機能については、工程内の単一の各基板ワークＷ（枚葉単一枚単位、単一個単位）毎に紐付けされている基板データ内の優先搬送のデータを管理することにより、各基板ワークＷ毎に、優先搬送のフラグを管理することができるようになっていて、この優先搬送のフラグ情報に基づいて、その優先搬送の対象となる基板ワークＷと、非対象となる基板ワークＷの判別を行う。また、工程内の各基板搬送装置は、優先搬送のフラグの付与された基板ワーク・付与されていない基板ワークが
混在している場合は、フラグの付与された基板の搬送を優先して行うものである。

工程内のロボットＲt1〜Ｒtnは、先入れ先出しＦＩＦＯ動作、後入れ先出しＬＩＦＯ動作などの一定の順序でのみ動作を行う仕様となっているが、所定の基板ワークＷの基板データ（基板データテーブル表２）に優先搬送フラグが付与されている場合には、優先搬送フラグが付与されている当該基板ワークＷ（１乃至複数）に先行してコンベアＣ、ロボットＢt にて搬送される他の基板ワークＷを、その基板ワークＷの搬送を中断して、そのコンベアＣ、ロボットＢt に配置されている基板ワークＷの退避領域であるバッファＢf （退避領域）に順に一時的に退避させ、後続の優先搬送フラグの付与されている基板ワークＷを、コンベアＣ、ロボットＢt にて優先的に搬送移動させて、処理加工装置Ｐ1 乃至Ｐn 、検査機Ｔ1 乃至Ｔn に投入する。

工程内の検査機Ｔ1 乃至Ｔn などに基板ワークＷが存在する場合に、基板ワークＷが存在する当該Ｔ1 乃至Ｔn のバッファＢf に、その基板ワークＷを一時的に退避させ、検査機に基板ワークＷが無くなった後、他の基板ワークより優先して優先搬送フラグの付与されている基板ワークＷを、その検査機に投入して検査する。

特に優先搬送のフラグの付いている基板ワークＷが複数存在する場合は、優先搬送のフラグが付いている複数の基板ワークＷについて、その先入れ先出しＦＩＦＯ動作を行うものである。

基板ワークＷが、工程（５−１乃至５−ｎ）内の各装置間を移動する際に、工程内の装置によっては、その装置（基板受渡側）より工程内の搬送下流側への基板ワークＷの排出先（受渡先）として、当該装置の次の装置への受渡し排出、あるいは次の装置をパスしてその次の装置、あるいはそれより下流側の所定装置への受渡し排出、あるいは当該装置より下流側の全ての装置をパスして回収排出など幾つかの排出先がある場合がある。

排出先が２つ以上ある装置から、所定の基板ワークＷを回収（払い出し）する要求が、工程管理システムにあった場合には、受取側の下流装置は、優先搬送のフラグの有無を確認し、これから受け取ろうとしている基板ワークＷが優先搬送のフラグが付与されている所定の基板ワークである場合には、工程内の当該装置より下流側（受取側）のコンベアＣを含めて各装置は、その基板ワークＷを優先してアンローダＵL まで搬送移動させてカセットＣs 内に回収する。

また工程内のコンベア装置Ｃには、スルーピンナップ構造と呼ばれる装置があり、これは先行するコンベア装置Ｃ上の基板ワークＷを該コンベア装置Ｃから持ち上げて、後続の基板ワークＷが、先行する基板ワークＷを追い抜くようにした構造のものであり、後続の基板ワークＷに優先搬送のフラグが付与されている場合には、先行する基板ワークＷをスルーピンナップにて持ち上げて、後続の基板ワークＷを優先して搬送するようにしてもよい。

以下に、ストッカＳ上に予め格納されている所定のカセットＣs を、供給すべき所定の工程のローダＬd 位置に供給整合させて、基板ワークをその工程内に投入する方法について説明する。

まず、全工程管理システム３の指示により、データベースＤＢ２に格納されたカセットデータテーブル（表１）に基づいて、各工程管理システム（３−１、３−２、３−３、・・・３−ｎ）に、ストッカＳ（図１、図２、図３参照）の動作を指示する。

次に各工程管理システム（３−１、３−２、３−３、・・・３−ｎ）のうち、そのカセ
ットデータテーブル（表１）のカセットＩＤが紐付けされている工程管理システム（例えば３−１）は、ストッカＳに予め格納（搭載）されている前記カセットＩＤ表示のカセットＣs を、その工程（例えば受入工程（５−１））にあるローダＬd の位置に供給整合させて、そのカセットＣs 内の各基板ワークをローダＬd により順にその工程内に投入するものである。

以下に、各基板ワークの工程内における優先搬送機能について、図７に示すシステムフローチャート図に基づいて以下に説明する。

＜ｓｔｅｐ１＞
工程５−ｋを管理する工程管理システム（３−ｋ）は、データベースＤＢ２に格納されている各基板ワークＷに紐付けされている基板データテーブル（表２）に基づいて、その工程５−ｋ内に投入されるカセットＣs 内の基板ワークＷが、優先搬送のフラグが付与された基板ワークであるか否かを全工程管理システム３を介して確認する。

そして工程管理システム（３−ｋ）は、カセットＣs 内の基板ワークＷが優先搬送フラグが付与された基板ワークであることを確認（ｙｅｓ）すると、ｓｔｅｐ２ａに進み、基板ワークＷが優先搬送フラグが付与された基板ワークでないことを確認（ｎｏ）すると、ｓｔｅｐ２ｂに進む。

＜ｓｔｅｐ２ａ＞
工程管理システム（３−ｋ）は、データベースＤＢ２に格納されている各基板ワークＷに紐付けされている基板データテーブル（表２）に基づいて、カセットＣs 内の優先搬送フラグが付与された基板ワークＷの投入先（排出先、その工程内の装置）に、先行する基板ワークＷが存在するか否かを確認する。

そして工程管理システム（３−ｋ）は、優先搬送フラグが付与された前記基板ワークＷの投入先に先行する基板ワークが存在（ｙｅｓ）する場合は、ｓｔｅｐ３ａに進み、優先搬送フラグが付与された前記基板ワークＷの投入先に先行する基板ワークが無い（ｎｏ）する場合は、ｓｔｅｐ３ｂに進む。

＜ｓｔｅｐ２ｂ＞
工程管理システム（３−ｋ）は、優先搬送フラグが付与されていない基板ワークＷを確認すると、その基板ワークＷを、その基板ワークＷにて紐付けされたカセットデータテーブル（表１）、基板データテーブル（表２）に基づいて、ＦＩＦＯ動作などの一定の順序にて搬送を行い、その基板ワークＷを、工程５−ｋ内の各装置に搬送して、処理加工を行った後、アンローダＵL にてカセットＣs 内に回収して収納する。その動作状況は、その工程管理システム（３−ｋ）に通信されて報告され記録される。

＜ｓｔｅｐ３ａ＞
優先搬送フラグが付与された前記基板ワークＷの投入先（排出先、その工程内の装置）に存在している先行する基板ワークを、その投入先のバッファＢｆ（退避領域）に一時的に格納待機する。

＜ｓｔｅｐ３ｂ＞
優先搬送フラグが付与された前記基板ワークＷを、投入先（排出先、その工程内の装置）に搬送し、投入して、その工程５−ｋ内の各装置に搬送して処理加工を行った後、アンローダＵL にてカセットＣs 内に回収して収納する。その動作状況は、その工程管理システム（３−ｋ）に通信されて報告され記録される。

以下に、優先搬送フラグが付与された基板ワークＷの優先搬送後におけるカセット内への優先回収機能について、図８に示すシステムフローチャート図に基づいて以下に説明する。

＜ｓｔｅｐ１＞
工程５−ｋを管理する工程管理システム（３−ｋ）は、データベースＤＢ２に格納されている各基板ワークＷに紐付けされている基板データテーブル（表２）に基づいて、その工程５−ｋ内に投入されたカセットＣs 内の基板ワークＷに、優先搬送のフラグが付与された基板ワークが存在するか否かを全工程管理システム３を介して確認する。

そしてその工程（５−ｋ）の工程管理システム（３−ｋ）は、その工程（５−ｋ）に投入されたカセットＣs 内の基板ワークＷが優先搬送フラグが付与された基板ワークであることを確認し、優先搬送フラグが付与された基板ワークＷがその工程（５−ｋ）内に存在することを確認（ｙｅｓ）すると、ｓｔｅｐ２ａに進む。一方、搬送優先フラグが付与された基板ワークＷがその工程（５−ｋ）内に存在しないことを確認（ｙｅｓ）し、搬送優先フラグが付与された基板ワークＷがその工程（５−ｋ）内に存在しないことを確認（ｎｏ）すると、ｓｔｅｐ２ｂに進む。

＜ｓｔｅｐ２ａ＞
工程管理システム（３−ｋ）は、その工程（５−ｋ）内にある優先搬送フラグが付与された基板ワークＷは、その工程（５−ｋ）のアンローダＵL の位置にあるカセットＣs の中のみに存在するか否かを確認する。

工程管理システム（３−ｋ）は、その工程（５−ｋ）内にある優先搬送フラグが付与された基板ワークＷが、その工程（５−ｋ）のアンローダＵL の位置にあるカセットＣs の中のみに存在することを確認（ｙｅｓ）すると、ｓｔｅｐ３ａに進む。一方、その工程（５−ｋ）内にある搬送優先フラグが付与された基板ワークＷが、その工程（５−ｋ）のアンローダＵL の位置にあるカセットＣs の中のみには存在しないことを確認（ｎｏ）するとｓｔｅｐ３ｂに進む。

＜ｓｔｅｐ２ｂ＞
ｓｔｅｐ１にて、優先搬送フラグが付与された基板ワークＷが、その工程（５−ｋ）内に存在しないことを確認（ｎｏ）すると、基板ワークＷは、その工程（５−ｋ）内にて処理加工された後、その基板ワークＷを、その工程（５−ｋ）のアンローダＵL の位置にあるカセットＣs 内に回収して収納する。その動作状況は、その工程管理システム（３−ｋ）に通信されて報告され記録される。

＜ｓｔｅｐ３ａ＞
ｓｔｅｐ２ａにて、工程管理システム（３−ｋ）は、その工程（５−ｋ）内にある優先搬送フラグが付与された基板ワークＷが、その工程（５−ｋ）のアンローダＵL の位置にあるカセットＣs の中のみに存在することを確認（ｙｅｓ）して、そのアンローダＵL に対して、そのカセットＣs の排出（次工程への優先搬送）を指示する。

＜ｓｔｅｐ３ｂ＞
ｓｔｅｐ２ａにて、工程管理システム（３−ｋ）は、その工程（５−ｋ）内にある優先搬送フラグが付与された基板ワークＷが、その工程（５−ｋ）のアンローダＵL の位置にあるカセットＣs の中のみには存在しないことを確認（ｎｏ）して、そのアンローダＵL より前の装置上にある基板ワークＷが優先搬送のフラグが付与された基板ワークであるか否かを確認する。

そして工程管理システム（３−ｋ）は、その工程（５−ｋ）のアンローダＵL より前の装置上にある基板ワークＷが、優先搬送のフラグが付与された基板ワークであることを確認すると、ｓｔｅｐ４ａに進み、優先搬送のフラグが付与された基板ワークでないことを確認すると、ｓｔｅｐ４ｂに進む。

＜ｓｔｅｐ４ａ＞
工程管理システム（３−ｋ）は、その工程（５−ｋ）のアンローダＵL より前の装置上にある優先搬送のフラグが付与された基板ワークＷを、その工程（５−ｋ）のアンローダＵL の位置にあるカセットＣs 内に回収し、収納する。その動作状況は、その工程管理システム（３−ｋ）に通信されて報告され記録される。

＜ｓｔｅｐ４ｂ＞
工程管理システム（３−ｋ）は、その工程（５−ｋ）のアンローダＵL より前の装置上にある優先搬送のフラグが付与されていない基板ワークＷを、その工程（５−ｋ）のアンローダＵL の位置にあるカセットＣs 内に回収し、収納する。その動作状況は、その工程管理システム（３−ｋ）に通信されて報告され記録される。

以下に優先搬送フラグが付与された基板ワークＷを収納したカセットＣs の工程間の搬送機能制御について図９に示すシステムフローチャート図に基づいて以下に説明する。

＜ｓｔｅｐ１＞
工程（５−ｋ）の工程管理システム（３−ｋ）は、その工程（５−ｋ）のローダＬ又はアンローダＵL の位置にあるストッカＳ上に格納されている、投入する基板ワークＷの収納されているカセットＣs 内に、優先搬送のフラグの付与された基板ワークＷがあるか否かを確認する。

そして工程管理システム（３−ｋ）は、データベースＤＢ２に格納されている各基板ワークＷに紐付けされている基板データテーブル（表２）に基づいて、工程（５−ｋ）のローダＬd 又はアンローダＵL の位置にあるストッカＳ上に格納されているカセットＣs 内に、優先搬送のフラグの付与された基板ワークＷがあることを確認（ｙｅｓ）すると、ｓｔｅｐ２ａに進む。一方、工程（５−ｋ）のローダＬd 又はアンローダＵL の位置にあるストッカＳ上に格納されているカセットＣs 内に、優先搬送のフラグの付与された基板ワークＷがないことを確認（ｎｏ）すると、ｓｔｅｐ２ｂに進む。

＜ｓｔｅｐ２ａ＞
工程（５−ｋ）の工程管理システム（３−ｋ）は、その工程（５−ｋ）のローダＬd 又はアンローダＵL の位置にあるストッカＳ上に格納されているカセットＣs 内に、優先搬送のフラグの付与された投入する基板ワークＷがあることをｓｔｅｐ１にて確認（ｙｅｓ）して、その工程（５−ｋ）のローダＬd 又はアンローダＵL の位置にあるストッカＳ上に、既に先行するカセットＣs が存在しているか否かを確認する。

そして、工程管理システム（３−ｋ）は、その工程（５−ｋ）のローダＬd の位置に、既に先行するカセットＣs があることを確認（ｙｅｓ）すると、ｓｔｅｐ３ａに進み、一方、その工程（５−ｋ）のローダＬd の位置に、先行するカセットＣs がないことを確認（ｎｏ）すると、ｓｔｅｐ３ｂに進む。

＜ｓｔｅｐ２ｂ＞
一方、工程（５−ｋ）のローダＬd 又はアンローダＵL の位置にあるストッカＳ上に格納されているカセットＣs 内に、優先搬送のフラグの付与された基板ワークＷがないことを確認（ｎｏ）して、該ストッカＳ上に、通常搬送（非優先搬送）の基板ワークＷを収納
したカセットＣs を搬送し、データベースＤＢ２にある基板データテーブル（表２）に基づいて、そのカセットＣs から、その基板ワークＷを装置に投入する。

＜ｓｔｅｐ３ａ＞
工程管理システム（３−ｋ）は、その工程（５−ｋ）のストッカＳ上に、先行するカセットＣs があることを確認（ｙｅｓ）して、そのストッカＳに先行するカセットＣs を一時的に格納して待機させる。

＜ｓｔｅｐ３ｂ＞
工程管理システム（３−ｋ）は、その工程（５−ｋ）のストッカＳ上に、先行するカセットＣs がないことを確認（ｎｏ）して、そのストッカＳ上に、前記優先搬送のフラグの付与された基板ワークＷを収納したカセットＣs を搬送し、データベースＤＢ２にある基板データテーブル（表２）に基づいて、そのカセットＣs から優先搬送のフラグの付与された基板ワークＷを装置に投入する。

１…最上位システム
２…データテーブル
３…全工程管理システム
３−１〜３−ｎ…各工程管理システム
４…搬送管理システム
５−１〜５−ｎ…工程
Ｓ…ストッカ
Ｌd …ローダ
ＵL …アンローダ
Ｂｆ…バッファ

Claims (1)

1. データベース２と全工程管理システム３と搬送管理システム４からなる上位システム１と、全工程管理システム３により管理制御される各工程管理システム３−１、３−２、３−３、・・・３−ｎと、各工程管理システム３−１、３−２、３−３、・・・３−ｎにより管理制御される各工程５−１、５−２、５−３、・・・５−ｎに備える基板ワークの投入ローダＬd 及び回収アンローダＵL 及び基板ワーク処理加工用の各装置と、搬送管理システム４により管理制御され各工程５−１、５−２、５−３、・・・５−ｎ間を移動して、該各工程に基板ワークＷを収納するカセットＣs を搬送供給するストッカＳとを備え、前記上位システム１に格納されたカセットデータテーブル（表１）と基板データテーブル（表２）とに基づいて動作する前記工程管理システムにより、ストッカＳに搭載するカセットＣs を各工程のローダＬd 及びアンローダＵL 位置に搬送移動させ、該カセットＣs 内の基板ワークＷを前記各装置に投入して処理加工した後、該カセットＣs 内に基板ワークＷを回収することを特徴とする基板処理加工装置であって、前記基板データテーブル（表２）に基づいて、投入する基板ワークＷが通常搬送と優先搬送のいずれかであるかを判定し、前記各装置に配置したバッファＢｆを用いて通常搬送の基板ワークを一時的に退避させ、優先搬送のフラグの付与された基板ワークＷを優先搬送して投入及び回収して処理加工することを特徴とする基板ワーク加工処理製造における基板優先搬送システム。

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