JP2012012633A - 成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】従来と同様な装置寸法で、低ダメージと高速成膜の両立を可能とするスパッタリング装置を提供する。
【解決手段】ターゲット材料11側が開口で、基板側が閉止面内にスパッタリング粒子を通過させるスリットを有する可動式シールド電極13内にマグネトロンプラズマ20を閉じ込め、可動式シールド電極13とマグネトロン17を同時に走査して、下層膜に対するダメージの少ない成膜を行い、その後、マグネトロン17のみ走査してマグネトロンプラズマによる高速の成膜を行う。これによって、下層膜に対してダメージが少なく、かつ、高速の成膜を行うことが出来る。
【選択図】図5
【解決手段】ターゲット材料11側が開口で、基板側が閉止面内にスパッタリング粒子を通過させるスリットを有する可動式シールド電極13内にマグネトロンプラズマ20を閉じ込め、可動式シールド電極13とマグネトロン17を同時に走査して、下層膜に対するダメージの少ない成膜を行い、その後、マグネトロン17のみ走査してマグネトロンプラズマによる高速の成膜を行う。これによって、下層膜に対してダメージが少なく、かつ、高速の成膜を行うことが出来る。
【選択図】図5
Description
本発明は、スパッタリングを用いた成膜装置に係り、成膜面とくに有機EL等の有機膜へのダメージが少なく、かつ高速成膜が可能なスパッタリング装置に関する。
有機EL素子は表示素子あるいは照明用素子として近年注目されている。有機EL素子のデバイス構造は、代表的には図10に示すように、ガラス等の基板1上に直接、あるいはアクティブマトリクス駆動のためのTFT素子が形成されパシベーションされた基板1上に、下部電極2、正孔注入層3、正孔輸送層4、発光層5、電子輸送層6、電子注入層7、上部電極8を積層したトップカソード型のものである。他に図11に示すように下部電極2、電子注入層7、電子輸送層6、発光層5、正孔輸送層4、正孔注入層3、上部電極8を積層したトップアノード型もある。
また別の分類の方法として光(矢印)を取り出す方向の違いから、図12に示すように下部電極2に透明下部電極2−1、上部電極8にAl等の反射上部電極8−1を用いたボトムエミッション型や、下部電極2にAl等の反射下部電極2−2、上部電極に透明上部電極8−2を用いたトップエミッション型などがある。正孔輸送層4、発光層5、電子輸送層6は有機膜9であり、正孔注入層3、電子注入層7は金属等をドープした有機膜、または無機膜からなる。
図12のボトムエミッション型の場合、有機膜9上の電子注入層7、上部反射電極8−1の成膜には、通常蒸着法が用いられる。具体的には電子注入層7にLiFの蒸着膜、上部電極8−1にAlやAg等の蒸着膜が用いられる例が多い。図13のトップエミッション型の場合は、透明上部電極8−2は通常スパッタリング法で形成されるが、電子注入層7は蒸着法が用いられる。
具体的には電子注入層7は薄く半透明のMg-Ag合金等の蒸着膜、透明上部電極8−2はIZOやITOのスパッタ膜が用いられることが多い。このようにボトムエミッション型、トップエミッション型のいずれも有機膜9上の成膜は蒸着法が採用されている。このように有機膜9上への成膜に蒸着法を採用する理由は、蒸着粒子が中性で且つ低エネルギーの粒子であるので、有機膜9へのダメージが小さいためである。
一方、スパッタリング法は、高エネルギーのイオンや粒子、2次電子線が発生するので、有機膜9上に直接スパッタリング法で成膜を行うと有機膜9にダメージを与え、有機ELの正常な発光が得られなくなってしまう。したがって、スパッタリング法を採用する場合は、蒸着法で形成したMg-Ag等の電子注入層7を緩衝層(バッファ)として用いたり、ダメージを抑制するために特別な工夫が施されたスパッタリング装置を用いなければならない。
有機膜9のダメージを抑制するスパッタリング装置としては種々のものが提案されている。例えば特許文献1では、対向する一対のターゲットおよび磁界発生手段と、ターゲット間の空間と対向する位置に基板を配置する対向ターゲット式スパッタリング装置を用いている。また、特許文献2では、ターゲットと基板の間に接地電位ないし正電位であるグリット電極、またはターゲットより小さな開口を有するアパーチャーを設ける装置が提案されている。これらの手法を用いることにより、スパッタリング法で発生する、高エネルギーのイオンや粒子、2次電子線の影響を無くす、または軽減することが可能である。
しかしながら、これらの方法は通常のスパッタリング法に比べ、成膜速度に劣る課題がある。そのため、特許文献3に記載のように基板を第一と第二のターゲットからなる対向ターゲット式スパッタ部の側方を通過させ、少ないダメージで成膜した後、第3のターゲットからなる平行平板式スパッタ部と正対する位置を通過させ、大きな堆積速度で薄膜を積層することや、特許文献4に記載のように、ターゲットと基板間に移動自在なグリット電極を設け、グリッド電極がターゲットと基板との間にある状態で、一定時間薄膜を形成した後、ターゲットと基板との間にグリッド電極を介在させない状態で、さらに薄膜形成を行うことにより、低ダメージと高速成膜を両立させている。
有機EL表示装置製造時の基板サイズは年々大型化し、スパッタリング装置にも大面積基板へ高速成膜が求められるようになってきている。一方で、設備投資規模の削減のため装置の大型化はできるかぎり抑える必要がある。特許文献3の方法は、大面積基板への高速成膜への対応は可能と考えられるが、2つのスパッタリング方法を併用するため、装置の大型化は避けられない。特許文献4の方法も、グリット電極を出し入れするため、装置の大型化は避けられない。
本発明の目的は、従来と同様な装置寸法で、低ダメージと高速成膜の両立を可能とするスパッタリング装置を提供し、生産性を向上することにある。
本発明は、上記課題を解決するための成膜装置であって、有機EL膜等の上に、最初に可動式シールド電極を用いることによって、有機膜等にダメージを与えない第1のスパッタリングによる成膜を行い、次に可動式シールド電極を用いずに高速成膜が可能な第2のスパッタリングによる成膜を行う。また、別な態様の装置として、1個の装置で2枚の基板にスパッタリングすることが出来る装置において、1個の可動式シールド電極を用いて、上記第1のスパッタリングと第2のスパッタリングを交互に行い、2枚の基板を並行して成膜する。代表的な装置の構成は次のとおりである。
第1の手段は、真空槽内に第1の面にターゲット材料を配置したターゲット電極と第1の面に基板を配置した基板電極を対向配置し、前記ターゲット電極の第2の面に配置されたマグネトロンにより、前記ターゲット材料の一部にマグネトロンプラズマを発生させ、前記マグネトロンを前記ターゲット電極の第2の面で走査することにより、前記ターゲット電極材料をスパッタリングし、前記基板にターゲット材料を成膜する揺動式マグネトロンスパッタ装置において、前記ターゲット材料との間にマグネトロンプラズマを閉じ込めるための可動式シールド電極を配置し、前記可動式シールド電極は前記ターゲット材料側が開口で、前記基板側が閉止面内にマグネトロンプラズマからのスパッタリング粒子を通過させるスリットを有し、前記基板への成膜を、まず前記マグネトロンと前記可動式シールド電極を同期してスパッタリング成膜を行い、続いて、可動式シールド電極はターゲット領域外で待機させ、マグネトロンを走査してスパッタリング成膜を行うことを特徴とする成膜装置である。
第2の手段は、真空槽内に第1の面にターゲト材料を配置した第1および第2のターゲット電極と第1の面に基板を配置した第1と第2の基板電極を対向配置し、前記第1および第2のターゲット電極の第2の面に配置された第1および第2のマグネトロンにより、前記第1および第2のターゲット電極の一部にマグネトロンプラズマを発生させ、前記マグネトロンを前記第1および第2のターゲット電極背面で走査することにより、前記第1および第2のターゲット材料をスパッタリングし、前記第1の基板電極に配置された前記第1の基板に前記第1のターゲット材料を成膜し、前記第2の基板電極に配置された前記第2の基板に前記第2のターゲット材料を成膜する揺動式マグネトロンスパッタ装置において、前記第1または第2のターゲット材料との間にマグネトロンプラズマを閉じ込めるための可動式シールド電極を配置し、前記可動式シールド電極は、前記第1または第2のターゲット材料側が開口で、前記第1または第2の基板側が閉止面内にマグネトロンプラズマからのスパッタリング粒子を通過させるスリットを有し、前記第1のターゲット材料を前記第1のマグネトロンと前記可動式シールド電極を同期して走査し、第1のスパッタリング成膜を行っている際は、前記第2のターゲットを、前記可動式シールド電極を用いずに前記第2のマグネトロンで走査して第2のスパッタリング成膜を行い、続いて前記可動式シールド電極を前記第2のターゲット電極側に移動して、前記第2のターゲット材料を前記第2のマグネトロンと前記可動式シールド電極を同期して走査し、第1のスパッタリング成膜を行っている際は、前記第1のターゲット材料を前記可動式シールド電極を用いずに前記第1のマグネトロンを走査し第2のスパッタリング成膜を行うことを特徴とする成膜装置である。
第1の手段によって、成膜装置を大型化することなく、試料へのダメージ抑制と高速成膜を両立することができるスパッタリング装置を実現することが出来る。第2の手段によって、さらにスループットの高いスパッタリング装置を実現することが出来る。
以下、本発明の実施の形態を実施例に基づいて詳細に説明する。
第1の実施例は1枚のスパッタリングターゲットと可動式シールド電極を有する揺動式マグネトロンスパッタリング装置で、マグネトロンを走査する際の往路はマグネトロンと可動式シールド電極を同期し低ダメージのスパッタリング成膜を行い、復路はマグネトロンと可動式シールド電極を同期せず通常の平行平板式のスパッタリング成膜を行う装置に関するものである。
図1に本発明のスパッタリング装置の基本構成の断面構造を示す。真空槽10の中にはターゲット11とターゲット電極12、可動式シールド電極13、ターゲット11周辺の固定式シールド電極14、試料基板15、基板電極16が配置される。また図示しないが、基板を出し入れするための搬送機構が設けられる。一方、真空槽10の外では、大気側に露出するターゲット電極12の背面上に揺動式マグネトロン17が配置され、ターゲット上に局所的なマグネトロンプラズマ20を生成する。可動式シールド電極13は、ターゲット11面側が全面開放され、基板電極16側に狭いスリットが形成された箱型をしており、マグネトロンプラズマ20を閉じ込める構造となっている。
図2は真空槽10内部のターゲット11面側を見た平面図である。可動式シールド電極13は細いスリットが形成された矩形形状であり、ターゲット11面を端から端まで走査できるようになっている。図3は真空槽10外部の揺動式マグネトロン17側から見た平面図である。揺動式マグネトロン17はS極磁石群18、N極磁石群19を矩形に配置し、揺動方向に沿った磁場を発生する。また揺動(走査)範囲はターゲット11の端から端までであり、上下に揺動することにより、ターゲット全面を均一にスパッタリングすることができ、かつ可動式シールド電極13と同期走査出来るようになっている。
本図面は縦型の真空槽内で縦に設置されたターゲット11と基板電極16を用いる方式を図示しているが、ターゲット11が下にあり、基板電極16が上にあるスパッタアップ方式や、ターゲット11が上にあり、基板電極16が下にあるスパッタダウン方式でも基本的な構成は同じである。
図4は試料基板(図示せず)が真空容器1に搬入された後の第1段階の成膜工程(往路)を示したものである。まず、可動式シールド電極13と揺動式マグネトロン17が連動し、ターゲット11の上端側から成膜を始める。マグネトロン磁場により閉ざされたマグネトロンプラズマ20は、可動式シールド電極13内に閉じ込められ、イオンや2次電子をトラップして、試料基板(図示せず)へのダメージを抑制する。可動式シールド電極13と揺動式マグネトロン17は、ターゲット電極12の表裏に沿って同期して走査され、ターゲット11の下端まで達して、第1段階の成膜を完了する。第1段階の成膜速度は、マグネトロンプラズマ20が可動式シールド電極13に覆われ、細いスリットからのみ成膜されるため遅いが、ここでは10nm程度の膜厚を成膜できればよい。続いて図5に示すように、今度は揺動式マグネトロン17のみを上方向に走査し、可動式シールド電極13は待機させて通常の高成膜速度のスパッタリングを行い、残りの必要膜厚を成膜する(復路)。この2段階成膜を行うことにより、試料へのダメージ抑制と高速成膜を両立することが可能である。また成膜が終わって試料基板(図示せず)を入れ替えする間に、可動式シールド電極13は初期位置に戻ることにより、繰り返し上記の2段階成膜を行うことが可能である。
第2の実施例は、1つの真空槽に2枚のスパッタリングターゲットと1つの可動式シールド電極、2つの揺動式マグネトロンを有する揺動式マグネトロンスパッタリング装置に関するものである。
まず、図6、図7に示すように、第1のターゲット電極21を揺動式マグネトロン17と可動式シールド電極13を同期して走査し低ダメージの第1段階のスパッタリング成膜を行なう。この間、第2のターゲット電極22では1つ前に真空槽10に搬入され、すでに第1段階の成膜が終わっている試料基板(図示せず)に対し、マグネトロン17のみ走査して高成膜速度のスパッタリング成膜を行なう。
続いて第2段階の成膜が終わった試料基板(図示せず)が真空槽10から取り出され、新たな試料基板(図示せず)が搬入される間に、可動式シールド電極13が第2のターゲット電極22側に移動する。なお、真空槽への基板の出し入れは予備槽(搬送槽)を介しておこなわれるので、真空槽の真空は破らずに、スパッタリングをおこなうことが出来る。
そして今度は図8、9に示すように第1のターゲット電極21では揺動式マグネトロン17のみ走査し高成膜速度の第2段階のスパッタリング成膜を行い、第2のターゲット電極22では揺動式マグネトロン17と可動式シールド電極13を同期して走査し低ダメージの成膜を行う。成膜が終了するとまた、試料基板(図示せず)の出し入れおよび可動式シールド電極13が第1のターゲット電極21側に戻り、初期位置に戻る。
このように第1のターゲット電極21および第2のターゲット電極22で交互に低ダメージ、低速度成膜と高速度成膜の2段階成膜を繰り返すことにより、試料へのダメージ抑制と高速成膜を両立するスパッタリング装置を実現できる。
本発明は、有機EL等の有機層上などに低ダメージでかつ高速に成膜することが可能なスパッタリング装置である。
1…基板
2…下部電極
2−1…透明下部電極
2−2…反射下部電極
3…ホール注入層
4…ホール輸送層
5…発光層
6…電子輸送層
7…電子注入層
8…上部電極
8−1…反射上部電極
8−2…透明上部電極
10…真空槽
11…ターゲット
12…ターゲット電極
13…可動式シールド電極
14…固定シールド電極
15…試料基板
16…基板電極
17…揺動式マグネトロン
18…S極磁石群
19…N極磁石群
20…マグネトロンプラズマ
21…第一のターゲット
22…第二のターゲット。
2…下部電極
2−1…透明下部電極
2−2…反射下部電極
3…ホール注入層
4…ホール輸送層
5…発光層
6…電子輸送層
7…電子注入層
8…上部電極
8−1…反射上部電極
8−2…透明上部電極
10…真空槽
11…ターゲット
12…ターゲット電極
13…可動式シールド電極
14…固定シールド電極
15…試料基板
16…基板電極
17…揺動式マグネトロン
18…S極磁石群
19…N極磁石群
20…マグネトロンプラズマ
21…第一のターゲット
22…第二のターゲット。
Claims (3)
- 真空槽内に第1の面にターゲット材料を配置したターゲット電極と第1の面に基板を配置した基板電極を対向配置し、前記ターゲット電極の第2の面に配置されたマグネトロンにより、前記ターゲット材料の一部にマグネトロンプラズマを発生させ、前記マグネトロンを前記ターゲット電極の第2の面で走査することにより、前記ターゲット電極材料をスパッタリングし、前記基板にターゲット材料を成膜する揺動式マグネトロンスパッタ装置において、
前記ターゲット材料との間にマグネトロンプラズマを閉じ込めるための可動式シールド電極を配置し、
前記可動式シールド電極は前記ターゲット材料側が開口で、前記基板側が閉止面内にマグネトロンプラズマからのスパッタリング粒子を通過させるスリットを有し、
前記基板への成膜を、まず前記マグネトロンと前記可動式シールド電極を同期してスパッタリング成膜を行い、続いて、可動式シールド電極はターゲット領域外で待機させ、マグネトロンを走査してスパッタリング成膜を行うことを特徴とする成膜装置。 - 真空槽内に第1の面にターゲト材料を配置した第1および第2のターゲット電極と第1の面に基板を配置した第1と第2の基板電極を対向配置し、前記第1および第2のターゲット電極の第2の面に配置された第1および第2のマグネトロンにより、前記第1および第2のターゲット電極の一部にマグネトロンプラズマを発生させ、前記第1および第2のマグネトロンを前記第1および第2のターゲット電極背面で走査することにより、前記第1および第2のターゲット材料をスパッタリングし、前記第1の基板電極に配置された前記第1の基板に前記第1のターゲット材料を成膜し、前記第2の基板電極に配置された前記第2の基板に前記第2のターゲット材料を成膜する揺動式マグネトロンスパッタ装置において、
前記第1または第2のターゲット材料との間にマグネトロンプラズマを閉じ込めるための可動式シールド電極を配置し、
前記可動式シールド電極は、前記第1または第2のターゲット材料側が開口で、前記第1または第2の基板側が閉止面内にマグネトロンプラズマからのスパッタリング粒子を通過させるスリットを有し、
前記第1のターゲット材料を前記第1のマグネトロンと前記可動式シールド電極を同期して走査し、第1のスパッタリング成膜を行っている際は、前記第2のターゲットを、前記可動式シールド電極を用いずに前記第2のマグネトロンで走査して第2のスパッタリング成膜を行い、
続いて前記可動式シールド電極を前記第2のターゲット電極側に移動して、前記第2のターゲット材料を前記第2のマグネトロンと前記可動式シールド電極を同期して走査し、第1のスパッタリング成膜を行っている際は、前記第1のターゲット材料を前記可動式シールド電極を用いずに前記第1のマグネトロンを走査し第2のスパッタリング成膜を行うことを特徴とする成膜装置。 - 前記第2のスパッタリング成膜は前記第1のスパッタリング成膜よりも高速で成膜すること特徴とする請求項1または2に記載の成膜装置。
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