JP2012004369A

JP2012004369A - 搬送装置

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Publication number: JP2012004369A
Application number: JP2010138355A
Authority: JP
Inventors: Itsushi Iio; 逸史飯尾
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date: 2010-06-17
Filing date: 2010-06-17
Publication date: 2012-01-05
Anticipated expiration: 2030-06-17
Also published as: JP5562734B2

Abstract

【課題】耐熱性能の向上が図られた搬送装置を提供する。
【解決手段】基板４２を搬送する搬送ローラ１８を真空容器３１内に配置し、搬送ローラ１８と伝熱可能に固定された回転軸１６を真空容器３１内から真空容器３１外へ延在するように配置する。更に、真空容器３１の貫通孔３１ｆに配置された磁気シール２１によって、回転軸１６を回転可能に支持する。そして、回転軸１６内に、容器３１外から容器３１内にかけて軸線方向に延在する冷却用通路１７を形成し、当該通路に冷却媒体を流通させる。
【選択図】図１

Description

本発明は、真空容器内において基板を搬送する搬送装置に関する。

真空雰囲気下で基板を加熱しつつ、基板を搬送する搬送装置が広く使用されている。例えば、特許文献１には、真空容器１台当たり駆動モータを１台設け、真空容器外に設けられた駆動モータからの駆動力を、真空容器内に設けられた分配軸に傘歯車を介して伝達し、さらに、当該分配軸より傘歯車を介して搬送ローラがそれぞれ取り付けられた複数の回転軸へ伝達する、いわゆるチャンバ内分配方式の搬送装置に関する技術が開示されている。

実開平１−１２９２５８号公報

しかしながら、上記特許文献１の搬送装置においては、真空容器内に設けられる構成部品が多く、その構造が複雑である。また、駆動モータから各回転軸へ駆動力を分配する傘歯車が磨耗するという課題がある。

このような課題に対し、図６および図７に示すような、駆動モータ５２から各回転軸５６を介し搬送ローラ５７へ駆動力を分配する機構を真空容器６１の外に設ける搬送装置５１が考えられる。すなわち、搬送装置５１は、図６および図７に示すように、駆動モータ５２、歯付プーリ５３、歯付ベルト５４、磁気シール軸受５５、回転軸５６、搬送ローラ５７、反射板５８、水冷管５９および左右連結軸６０を備えている。

駆動モータ５２は、真空容器６１の外に設けられている。駆動モータ５２は、真空容器１台当たり１台設けられる。歯付プーリ５３は、真空容器６１の外に設けられており、後述する回転軸５６および駆動モータ５２の回転軸５２ａに取り付けられている。歯付ベルト５４は、真空容器６１外に設けられており、互いに隣り合う歯付プーリ５３同士に掛け渡されている。この歯付ベルト５４による連掛け連結によって搬送方向（図７に示すＡ方向）に対して右側に配置された各搬送ローラ５７へ駆動モータ５２からの駆動力を分配している。また、上述した要領で左右連結軸６０に駆動力を伝達し、搬送方向に対して左側に配置された各搬送ローラ５７へ駆動モータ５２からの駆動力を分配している。

磁気シール軸受５５は、真空容器６１を形成する壁６１ａを貫通する貫通孔６１ｂに配置されている。磁気シール軸受５５は、真空容器６１内から真空容器６１外に延びる回転軸５６を回転可能に支持すると共に、貫通孔６１ｂを封止して真空容器６１内の真空状態を維持している。回転軸５６は、真空容器６１の外で駆動モータ５２からの駆動力が供給され、真空容器６１内の各搬送ローラ５７へ駆動力を伝達している。搬送ローラ５７は、基板７２が載置されたトレイ７１を鉛直方向に支持すると共に、回転軸５６より伝達される駆動力によって回転してトレイ７１を搬送する。

反射板５８は、真空容器６１の内壁に固定されている。反射板５８は、回転軸５６および搬送ローラ５７を覆うように配置されており、回転軸５６および搬送ローラ５７を防熱する。水冷管５９は、反射板５８に接触して配置されており、冷却媒体を流通させることにより反射板５８を冷却する。

このような搬送装置５１によれば、駆動モータ５２からの駆動力を各搬送ローラ５７へ分配する駆動力分配部分を真空容器６１外に設けることにより、真空容器６１内の構成を簡素化することができる。また、駆動力分配部分が真空容器６１外に設けられることにより、真空環境下において使用することが難しかった駆動力伝達のためのベルトを傘歯車の代わりに使用することが可能となる。これにより、傘歯車の磨耗といった課題も解消することができる。

しかしながら、真空容器６１内において基板７２を加熱しつつ、基板７２が載置されたトレイ７１を搬送する搬送装置５１では、回転軸５６および搬送ローラ５７を防熱するために、多層の反射板５８と複数の水冷管５９とを配置する必要がある。このため、耐熱性能を向上させて真空容器６１内の構成を更に簡素化することが求められている。

本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、耐熱性能を向上させることが可能な搬送装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明の搬送装置は、真空容器内において加熱される基板を搬送する搬送装置であって、真空容器内に配置され、基板を搬送させる搬送ローラと、搬送ローラと伝熱可能に固定され、真空容器内から真空容器外まで延びる回転軸と、真空容器を形成する壁を貫通する貫通孔に配置されており、回転軸を回転可能に支持すると共に貫通孔を封止する磁気シール軸受と、回転軸内に軸方向に沿って形成され、真空容器外から真空容器内にまで延びている、冷却媒体を流通させるための冷却用通路と、を備えることを特徴としている。

このような搬送装置においては、回転軸内に形成された冷却用通路に冷却媒体を流通させることにより回転軸の熱が冷却媒体に伝わり、回転軸が冷却されるようになる。また、搬送ローラは、回転軸に伝熱可能に固定されているので、搬送ローラの熱が回転軸へ伝わり、回転軸の熱は、軸内を流通する冷却媒体に伝えられる。その結果、搬送ローラおよび回転軸が冷却されることで、耐熱性能の向上を図ることが可能となる。冷却用通路は、例えば、回転軸の内部空間に挿通された冷却媒体供給管と、冷却媒体の外周面と回転軸の内周面との間に形成された隙間とによって構成されている。

また、磁気シール軸受を冷却する冷却機構を更に備えることが好ましい。これにより、高温環境下においても磁気シール軸受に充填されている磁性流体を良好な状態に保つことができるので、良好な回転性能を維持することが可能となる。

また、搬送ローラと回転軸との間に互いに接触して配置されており、搬送ローラと回転軸との間の伝熱を調整する温度調整部材を更に備えることが好ましい。基板が搬送ローラに直接支持されて搬送される場合、当該基板は搬送ローラに接触すると、基板の熱を冷却された搬送ローラに伝えるようになり冷却される。この搬送装置では、温度調整部材によって搬送ローラから回転軸へ伝わる熱量が調整されるので、基板が過度に冷却されることを防止し、基板の適切な加熱温度を維持することができる。

本発明の搬送装置によれば、耐熱性能を向上させることが可能となる。

第１実施形態に係る搬送装置の構成を示す断面図である。図１に示す搬送装置のII−II線に沿った平面断面図である。図１に示す磁気シール軸受近傍の構成を示す断面図である。図１に示すロータリジョイントの構成を示す断面図である。第２実施形態に係る搬送装置に含まれる搬送ローラ近傍を拡大した断面図である。従来技術の課題を解決する搬送装置の構成の一例を示す断面図である。図６の搬送装置のＶII−ＶII線に沿った平面断面図である。

（第１実施形態）
本発明に係る搬送装置の好適な第１実施形態について、図面を参照して説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。図１は、第１実施形態に係る搬送装置の構成を示す断面図である。図２は、図１に示す搬送装置のＩＩ−ＩＩ線に沿った平面断面図である。図３は、図１に示す磁気シール軸受の構成を示す断面図である。図４は、図１に示すロータリジョイントの構成を示す断面図である。

図１及び図２に示す搬送装置１０は、例えば基板を成膜する成膜装置に適用され、真空容器３１内の基板４２を搬送するものである。真空容器３１は箱形を成し、基板４２の搬送経路の入口側に形成された正面壁３１ａ（図２参照）、搬送経路の出口側に形成された背面壁３１ｂ、搬送経路の両側（図示左右方向の両側）に設けられた一対の側壁３１ｃ，３１ｃ、搬送経路の上方に設けられた天板３１ｄ（図１参照）、及び搬送経路の下方に設けられた底板３１ｅを備えている。そして、真空容器３１は、架台３２によって下方から支持されている。

また、正面壁３１ａ及び背面壁３１ｂには、基板４２が通過する開閉ゲート３１ｇ，３１ｇが設けられている（図２参照）。そして、真空容器３１内は、開閉ゲート３１ｇ，３１ｇが閉じられて密封状態とされ、図示しない真空ポンプに減圧されて真空状態となる。また、互いに対向する側壁３１ｃには、後述する磁気シール軸受けユニット２１を挿通させるための貫通孔３１が設けられている。

また、真空容器３１の内部には、基板４２を加熱するための加熱ヒータ６が設けられ、加熱ヒータ６は、基板４２の搬送経路を挟んで上下方向の両側に配置されている。基板４２を載置するトレイ４１には、基板４２の下面を露出させる開口部４１ａが形成されている。なお、加熱ヒータ６は、基板４２が次の工程である成膜工程に適した温度（例えば、５５０℃）になるように制御されることが好ましい。このとき、真空容器３１内の温度は、５５０℃〜６００℃に達している。

また、真空容器３１の内部には、図１に示すように、加熱ヒータ６による熱を反射する反射板３３が設けられている（なお、図２では、反射板３３の図示を省略している）。反射板３３は、真空容器３１の内壁（例えば、側壁３１ｃ、天板３１ｄ）を覆うように形成され、当該内壁にボルト等により固定されている。さらに、反射板３３は、後述する搬送ローラ１８および回転軸１６を覆うように形成され、搬送ローラ１８の周面と対面する位置については、トレイ４１と接する側の搬送ローラ１８の周面を露出させるため、反射板３３が配置されて状態となる。反射板３３は、例えばステンレス鋼により形成され、本実施形態では、二重に配置されている。また、反射板３３は、その他の部位を覆うように形成されていてもよく、例えば、正面壁３１ａ、背面壁３１ｂ、底板３１ｅを覆うように、形成されていてもよい。

また、真空容器３１の内部には、図１に示すように、冷却水を流通させる冷却水管３４が設けられている。冷却水管３４は、反射板３３に接触して配置され、反射板３３と伝熱可能な構成とされている。反射板３３の熱は、冷却水管３４内を流通する冷却水に伝達され、反射板３３が冷却される。冷却水管３４は、反射板３３の真空容器３１における内側の面に固定され、例えば、冷却水管３４は、搬送ローラ１８と側壁３１ｃとの間に設置された反射板３３上に配置されている。

搬送装置１０は、駆動源である駆動モータ１２と、搬送方向の両側で搬送方向Ａに沿って配置された複数の搬送駆動機構２０と、及び駆動モータ１２で発生した駆動力を複数の搬送駆動機構２０に伝達する動力伝達機構１１とを備えている。

駆動モータ１２は、電力の供給を受けて回転トルクを発生させるものであり、搬送装置１０では、例えば１つの真空容器３１に対して、１台の駆動モータ１２が設けられている。駆動モータ１２は、真空容器３１外に配置され、例えば、一方（例えば図示右側）の側壁３１ｃの外側に配置されている。また、駆動モータ１２の出力軸１２ａには、複数（例えば２つ）の歯付プーリ１３が固着されている。

動力伝達機構１１は、真空容器３１外で、駆動モータ１２からの駆動力を伝達するものであり、真空容器３１の両側に配置された複数の巻き掛け伝動機構、及び、真空容器３１を挟んで駆動モータ１２と反対側に配置された一連の巻き掛け伝動機構に駆動力を伝達する左右連結軸１５を有する。動力伝達機構１１は、複数の巻き掛け伝動機構として、歯付プーリ１３、及び歯付ベルト１４を備えている。歯付プーリ１３は、駆動モータ１２の出力軸１２ａ、左右連結軸１５の両端部、搬送駆動機構２０の回転軸１５に設けられている。歯付ベルト１４は、搬送方向Ａに隣接する歯付プーリ１３掛け渡され、原動車として機能する歯付プーリ１３の駆動力を、従動車として機能する歯付プーリ１３に伝達し、複数の搬送駆動機構２０に駆動力を分配する。

搬送駆動機構２０は、上記の歯付プーリ１３が固着された回転軸１６、回転軸１６と共に回転してトレイ４１を搬送する搬送ローラ１８、回転軸１６を回転自在に支持する磁気シール軸受けユニット２１、および、軸線方向において軸受けユニット２１の外側に配置されたロータリジョイント３５を備えている。

回転軸１６は、例えばステンレス製であり、真空容器３１内から真空容器３１外まで延びている。なお、真空容器３１の内部側を回転軸１６の先端側とし、真空容器３１の外部側を回転軸１６の後端側として説明する。

また、回転軸１６には、軸線方向に延びる内部空間１７が形成され、その内部空間１７には、冷却水を流通させるための冷却水供給管４５が挿通されている。すなわち、回転軸１６は、軸線方向に延在する冷却水供給管４５を備えた二重管構造を成している。なお、冷却水に代えて、その他の冷却媒体を流通させてもよい。

回転軸１６は、磁気シール軸受ユニット２１に支持される回転軸本体１６Ａと、回転軸本体１６Ａの後端側に連結されたロータ１６Ｂを備えている。回転軸本体１６Ａは、真空容器３１内から真空容器３１外へ延在し、回転軸本体１６Ａの後端部は、磁気シール軸受けユニット２１よりも外方へ配置されている。この磁気シール軸受けユニット２１よりも外方（真空容器３１と反対側）に配置された回転軸本体１６Ａの後端部には、上記の歯付プーリ１３が嵌められている。回転軸本体１６Ａの外周面及び歯付プーリ１３の中央開口部の内周面には、キー溝が形成されキー１３ｋが装着されている。そして、キー１３ｋによって、従動車となる歯付プーリ１３の駆動力が回転軸１６に伝達され、回転軸１６が回転する。また、キー１３ｋによって、回転軸１６の駆動力が原動車となる歯付プーリ１３に伝達される。

また、回転軸本体１６Ａの後端部は開口され、軸線方向に連続する内部空間１７が、回転軸１６Ａの先端部近傍まで形成されている。また、ロータ１６Ｂは、円筒状を成しその両端部が開口されている。そして、回転軸本体１６Ａ及びロータ１６Ｂは、連続する内部空間１７を形成する。回転軸１６の内部空間１７の内径は、挿入される冷却水供給管１６の外径よりも大きくされている。

冷却水供給管４５は、上述の通り、回転軸１６の内部空間１７内に挿通されて、回転軸１６内に冷却水を供給する通路を形成するものである。冷却水供給管４５は、回転軸１６と同軸に配置され、後述するロータリジョイント３５により後端部が固定されて回転不可とされている。また、冷却水供給管４５の外周面と回転軸１６の内周面との間に形成された隙間１７ａは、冷却水の排水経路として利用される。すなわち、冷却水供給管４５によって後端側から先端側へ供給された冷却水は、冷却水供給管４５の外側を通り、回転軸１６の先端側から後端側へ流れることとなる。

搬送ローラ１８は、例えばステンレス製であり、回転軸１６の先端部に取り付けられている。搬送ローラ１８の中央には、回転軸１６を挿通させる開口が形成され、搬送ローラ１８は、回転軸１６の先端部に嵌められている。図３に示すように、回転軸１６の外周面及び搬送ローラ１８の内周面には、キー溝が形成されキー１８ｋが装着されている。そして、搬送ローラ１８は、ボルトを用いて回転軸１６に固定されている。搬送ローラ１８は、キー１８ｋを介して回転軸１６のトルクが伝達され回転軸１６と共に回転する。また、搬送ローラ１８の開口部の周面と、回転軸１６の先端部の周面とは、金属同士が直接接触して固定されているため、搬送ローラ１８の熱が回転軸１６に好適に伝熱される。なお、搬送ローラ１８と回転軸１６とは、直接接触していない構成でもよい。例えば、他の部材を介して、搬送ローラ１８が回転軸１６に取り付けられて、伝熱可能とされていてもよい。

図３に示す磁気シール軸受けユニット２１は、回転軸１６を支持する一対の軸受け２４，２４、一対の軸受け２４，２４間に配置された磁気シール２３、およびこれらの軸受け２４，２４、磁気シール２３を収容するハウジング２２を備えている。

ハウジング２２は円筒状を成し、非磁性体材料によって形成されている。ハウジング２２の外周面には、磁気シール軸受けユニット２１を真空容器３１に固定するためのフランジ２２ａが設けられている。そして、磁気シール軸受けユニット２１は、真空容器３１の側壁３１ｃの貫通孔３１ｆに嵌められ、貫通孔３１ｆの内周面と、ハウジング２２の外周面とが当接している。また、フランジ２２ａのシール面には、円環状の溝が形成されＯリング２７が装着されている。フランジ２２ａは、ボルト等を用いて側壁３１ｃに固定され、側壁３１ｃの外面と、フランジ２２ａのシール面とが当接し、Ｏリング２７によって、側壁３１ｃの外面とフランジ２２ａのシール面との間の隙間が封止されている。

磁気シール２３は、磁性流体を用いた軸封装置であり、回転軸１６の周面と対面して配置された永久磁石２５、回転軸１６の軸線方向において、永久磁石２５の両側に配置された一対のポールピース２６Ａ，２６Ｂを備えている。

永久磁石２５は円環状に形成されて回転軸１６を挿通させ、軸線方向の両側からポールピース２６Ａ，２６Ｂに挟まれて保持されている。ポールピース２６Ａ，２６Ｂは円環状に形成されて回転軸１６を挿通させ、永久磁石２５から発生した磁場による磁力線回路が形成される部材である。また、ポールピース２６Ａ，２６Ｂは、外周面にＯリング２８，２８が各々装着されてハウジング２２内に嵌められている。ハウジング２２の内周面と、ポールピース２６Ａ，２６Ｂとが当接し、Ｏリング２８，２８によって、ハウジング２２の内周面とポールピース２６Ａ，２６Ｂの外周面との間の隙間が封止されている。

また、回転軸１６の外周面において、ポールピース２６Ａ，２６Ｂの内周面と対面する部分には、磁性流体を保持する隙間を形成する複数のステージ１６ｆが設けられている。ステージ１６ｆは、周方向において全周にわたり形成されている。回転軸１６の外周面には、軸線方向に隣接する複数の溝部が周方向に形成され、この溝部間に形成された張出部がステージ１６ｆとなる。そして、磁気シール２３では、永久磁石２５によって、ポールピース２６Ａ、回転軸１６、ポールピース２６Ｂへと流れる磁力線回路が形成され、この磁力線回路による磁気的吸引力によって、ポールピース２６Ａ，２６Ｂとステージ１６ｆとの間の隙間に磁性流体が保持される。すなわち、磁性流体によって、ポールピース２６Ａ，２６Ｂの内周面と回転軸１６の外周面との間の隙間が封止されている。

また、駆動機構２０は、磁気シール軸受けユニット２１を冷却する冷却機構を備えている。ハウジング２２には、内部に冷却媒体（冷却水）を導入するための貫通孔２２ｂが設けられ、この貫通孔２２ｂを通り冷却媒体が供給され、磁気シール２３が冷却される。貫通孔２２ｂは永久磁石２５近傍に形成され、供給された冷却媒体によって永久磁石２５が冷却される。

ロータリジョイント３５は、回転軸１６の後端側を回転自在に支持すると共に、回転軸１６内に挿通された冷却水供給管４５を支持するものである。ロータリジョイント３５は、円筒形状を有するケーシング３６を備え、ケーシング３６内には、回転軸１６を回転可能に支持する軸受３８、及び回転軸１６を付勢するスプリング３９が収容されている。

ケーシング３６は、略円筒状を成し、銅合金等により形成され、ケーシング３６の内部空間の一部は、冷却媒体を流通させるための流路として利用される。軸受３８は、ケーシング３６の内周面に固定され、回転軸１６のロータ１６Ｂを回転可能に支持している。スプリング３９は、回転軸１６の軸線方向に配置され、回転軸１６を付勢する。

また、ケーシング３６の後端部（真空容器３１とは反対側）には、軸線方向の後方に張り出す円筒状のボス３６ａが設けられている。ボス３６ａは、冷却媒体の流路を形成すると共に、冷却水供給管４５の後端部を支持する。ボス３６ａの先端部の内周面には、ねじ部が形成され、冷却水供給管４５の後端側がねじ込みにより接合されている。そして、ボス３６ａの後端側には、冷却水を供給するための配管４６が接合され、配管４６、ボス３６ａ及び冷却水供給管４５は、互いに連通し、冷却水を供給する冷却用通路を形成する。

また、スプリング３９は、回転軸１６の後端面とボス３６ａの先端面との間で、回転軸１６の軸線方向に配置されている。スプリング３９を収容するケーシング３６の内部空間は、回転軸１６の内周面と冷却水供給管４５の外周面との間に形成された隙間１７ａに連通し、冷却水を排水する流路３７ａを形成する。また、ケーシング３６の周面には、冷却水を排水する流路に連通する開口部３７ｂが形成され、この開口部３７ｂには冷却水を排出するための配管４７が接合されている。そして、回転軸１６内の隙間１７ａ、ケーシング３６の流路３７ａ、及び配管４７は、互いに連通し、冷却水を排水する通路を形成する。

次に、上述したような構成の搬送装置１０の動作について説明する。まず、搬送ローラ１８は、トレイ４１上に載置した基板４２を図２に示す搬送方向Ａに向かって搬送させる。加熱ヒータ６は、搬送中のトレイ４１上に載置された基板４２を加熱する。具体的には、加熱ヒータ６は、基板４２が成膜に適した温度となるように制御される。真空容器３１内の温度は、加熱ヒータ６による加熱によって５５０℃〜６００℃に達する。そして、基板４２を載置するトレイ４１も加熱され、トレイ４１の熱がこのトレイ４１と接触する搬送ローラ１８に伝えられる。

トレイ４１の搬送中、回転軸１６内には冷却媒体が供給されている。冷却媒体は、冷却水供給管４５内を後端側から先端側へ流れる。冷却媒体は、回転軸１６の先端部（搬送ローラ１８の取付部）近傍で、冷却水供給管４５の先端から流出する。冷却水供給管４５から流出した冷却媒体は、冷却水供給管４５の外周面と回転軸１６の内周面との間に形成された隙間１７ａを通り、回転軸１６内を先端側から後端側へ流れる。これにより、回転軸１６の熱は冷却媒体に伝達され、回転軸１６が冷却される。なお、冷却媒体の流通は、基本的に途切れることなく連続的に行われている。

また、本実施形態の搬送装置１０では、磁気シール軸受けユニット２１に、冷却媒体が供給されている。冷却媒体は、ハウジング２２の貫通孔２２ｂを通り内部に導入され、磁気シール２３を冷却する。この結果、磁気シール軸受１５に充填されている磁性流体を良好な状態に保つことができ、良好な回転性能を維持することが可能となる。

また、本実施形態の搬送装置１０では、冷却水管３４に冷却媒体が供給され、反射板３３が冷却されている。反射板３３の熱は冷却媒体に伝えられ、真空容器３３外へ排出される。そして、反射板３３は、真空容器３１の壁体、搬送ロータ１８、及び回転軸１６を覆うように配置されているため、これらの部材への伝熱が緩和される。

以上に説明した第１実施形態の搬送装置１０では、回転軸１６内に形成された冷却用通路２１に冷却媒体を流通させることにより、回転軸１６の熱が冷却媒体に伝わり、回転軸１６自体が冷却される。また、搬送ローラ１８は、回転軸１６に伝熱可能に固定されているので、搬送ローラ１８の熱が冷却された回転軸１６に伝わり、搬送ローラ１８も冷却される。これらにより、耐熱性能の向上が図られている。そして、回転軸１６内に冷却用通路１７ａを備えない搬送装置と比べて、冷却性能が向上されているため、例えば、回転軸１６および搬送ローラ１８を覆う反射板２５の枚数を減らしたり、反射板３３を冷却する冷却水管３４の数を減らしたりすることが可能となり、真空容器３１内を簡素化することが可能となる。

また、第１実施形態の搬送装置１０では、駆動モータ１２からの駆動力を各搬送ローラ１８へ分配する駆動力分配部分を真空容器３１の外に設けることにより、真空容器３１内の構成を簡素化している。また、駆動力分配部分が真空容器３１の外に設けられることにより、真空環境下において使用することが困難であったベルトを傘歯車の代わりに使用することができ、傘歯車の磨耗といった課題も解消することができる。

（第２実施形態）
次に、本発明に係る搬送装置の第２実施形態について、図５を用いて説明する。図５は、第２実施形態に係る搬送装置に含まれる搬送ローラ１８近傍を拡大した断面図である。なお、第２実施形態の搬送装置が上述の搬送装置と異なる点は、図５に示すように、搬送ローラ１８と回転軸１６との間に互いに接触して配置され、搬送ローラ１８と回転軸１６との間の伝熱を調整する温度調整部材１９を備えている点である。ここでは、上記実施形態に記載の搬送装置１０と同一又は同等の構成についてはその説明は省略し、上記第１実施形態の搬送装置１０と異なる構成について説明する。

温度調整部材１９は、例えば、エンジニアリングプラスチックスやステンレスにより形成された筒状の部材である。温度調整部材１９の外周面１９ａは、搬送ローラ１８の内周面１８ａと直接接触している。温度調整部材１９の内周面１９ｂは、回転軸１６における取付部１６ｂの外周面１６ｅと直接接触している。

温度調整部材１９の内周面１９ｂには、凹凸部１９ｃが形成されている。このため、内周面１９ｂに凹凸部１９ｃが形成されていない場合と比べて、温度調整部材１９の内周面１９ｂと回転軸１６における取付部１６ｂの外周面１６ｅとが互いに接触する面積が小さくなる。これにより、搬送ローラ１８から温度調整部材１９を介して回転軸１６へ伝わる熱量を調整することができる。第２実施形態では、搬送ローラ１８から回転軸１６へ伝わる熱量を低減させることによって、搬送ローラ１８が過度に冷却されることを防止し、基板４２の適切な加熱温度を維持することができる。第２実施形態に係る搬送装置は、トレイを使用せずに基板４２を搬送ローラ１８で直接支持して搬送するトレイレス搬送等において特に有効である。

以上、本発明を第１実施形態および第２実施形態に基づいて詳細に説明した。しかし、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。

上記実施形態では、真空容器３１内に加熱ヒータ６が配置され、基板４２が加熱されながら搬送される例を挙げて説明したがこれに限定されるものではない。例えば、上流工程において加熱された基板４２を搬送する搬送装置に適用することも可能である。

また、上記実施形態では、基板４２がトレイ４１に載置されて搬送される例を挙げて説明したがこれに限定されるものではない。例えば、基板４２は、搬送ローラ１８に直接載置されて搬送する方法であっても良い。

また、上記第２実施形態の温度調整部材１９は、回転軸１６に対して着脱自在に取り付けられてもよい。これにより、搬送ローラ１８から温度調整部材１９を介して冷却された回転軸１６へ伝わる熱量を柔軟に調整することが可能となる。この結果、基板４２の種類や搬送方法に応じて、基板を適切な温度に制御することができる。

また、上記第２実施形態の温度調整部材１９は、内周面１９ｂに半円形状の凹凸部１９ｃが形成されている例を挙げて説明したがこれに限定されるものではなく、例えば、矩形の凹凸部１９ｃであってもよい。また、温度調整部材１９の内周面１９ｂには、溝が形成されていてもよい。

６…加熱ヒータ、１０…搬送装置、１１…動力伝達機構、１２…駆動モータ、１２ａ…出力軸、１３Ａ〜１３Ｇ…歯付プーリ、１４Ａ〜１４Ｆ…歯付ベルト、１５…左右連結軸、１６…回転軸、１６Ａ…回転軸本体、１６Ｂ…ロータ、１６ｆ…ステージ、１７…回転軸の内部空間、１７ａ…排水経路（冷却用通路）、１８…搬送ローラ、１９…温度調整部材、１９ｂ…内周面、１９ｃ…凹凸部、２０…搬送駆動機構、２１…磁気シール軸受けユニット、２２…ハウジング、２２ａ…フランジ、２２ｂ…貫通孔（冷却機構）、２３…磁気シール、２４…軸受け、２５…永久磁石、２６Ａ，２６Ｂ…ポールピース、２７，２８…Ｏリング、３１…真空容器、３１ａ…正面壁、３１ｂ…背面壁、３１ｃ…側壁、３１ｄ…天板、３１ｅ…底板、３１ｆ…貫通孔、３１ｇ…開閉ゲート、３２…架台、３３…反射板、３４…冷却水管、３５…ロータリジョイント、３６…ケーシング、３６ａ…ボス、３７ａ…排水流路、３７ｂ…開口部、３８…軸受、３９…スプリング、４１…トレイ、４２…基板、４５…冷却水供給管、４６，４７…配管。

Claims

真空容器内において加熱された基板を搬送する搬送装置であって、
前記真空容器内に配置され、前記基板を搬送させる搬送ローラと、
前記搬送ローラと伝熱可能に固定され、前記真空容器内から前記真空容器外まで延びる回転軸と、
前記真空容器を形成する壁を貫通する貫通孔に配置されており、前記回転軸を回転可能に支持すると共に前記貫通孔を封止する磁気シール軸受と、
前記回転軸内に軸方向に沿って形成され、前記真空容器外から前記真空容器内にまで延びている、冷却媒体を流通させるための冷却用通路と、
を備えることを特徴とする搬送装置。
前記磁気シール軸受を冷却する冷却機構を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
前記搬送ローラと前記回転軸との間に互いに接触して配置されており、前記搬送ローラと前記回転軸との間の伝熱を調整する温度調整部材を更に備えることを特徴とする請求項１または２に記載の搬送装置。