JP2012002965A - パルス光の伝送方法及びこの伝送方法を用いたレーザ装置 - Google Patents
パルス光の伝送方法及びこの伝送方法を用いたレーザ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012002965A JP2012002965A JP2010136803A JP2010136803A JP2012002965A JP 2012002965 A JP2012002965 A JP 2012002965A JP 2010136803 A JP2010136803 A JP 2010136803A JP 2010136803 A JP2010136803 A JP 2010136803A JP 2012002965 A JP2012002965 A JP 2012002965A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulsed light
- light
- optical fiber
- phase modulation
- pulse
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 89
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 27
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 65
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 41
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 32
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 19
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 16
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 13
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 19
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 2
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000018199 S phase Effects 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N erbium Chemical compound [Er] UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000009022 nonlinear effect Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
【解決手段】レーザ装置1は、第1のパルス光P1を出射する第1レーザ光源11と、第2パルス光P2を出射する第2レーザ光源12と、これらのパルス光P1,P2を伝送して出射する光ファイバ22とを備えて構成される。第2のパルス光P2は、光ファイバ22を伝播する過程で第1のパルス光P1と相互位相変調を生じる光であるとともに、第1のパルス光P1が光ファイバ22を伝播する過程で生じる自己位相変調に基づく位相の変調を、第2のパルス光P2が光ファイバを伝播する過程で生じる相互位相変調に基づく位相変調により補償して、光ファイバ22の出力端22oにおいて第1のパルス光P1の位相が略一定となるように構成される。
【選択図】図1
Description
の関係にある。
2 第2構成形態のレーザ装置
3 第3構成形態のレーザ装置
10 レーザ光源
11 第1レーザ光源
12 第2レーザ光源
20 伝送部
22,22′ 光ファイバ(22o 出力端)
23 分離素子
25 ファイバ光増幅器
30 波長変換部
P1 第1のパルス光(主パルス)
P2 第2のパルス光(副パルス)
Claims (14)
- 第1のパルス光を光ファイバに入射して前記光ファイバにより伝送し、前記光ファイバの出力端から出射させるパルス光の伝送方法であって、
前記第1のパルス光と相互位相変調を生じる第2のパルス光を前記光ファイバに入射して前記第1のパルス光とともに伝送させ、
前記第1のパルス光が前記光ファイバを伝播する過程で生じる自己位相変調に基づく位相変調を、前記第2のパルス光が前記光ファイバを伝播する過程で生じる相互位相変調に基づく位相変調により補償して、
前記光ファイバの前記出力端において前記第1のパルス光の位相が略一定となるようにしたことを特徴とするパルス光の伝送方法。 - 前記第1のパルス光と前記第2のパルス光とは、波長が異なることを特徴とする請求項1に記載のパルス光の伝送方法。
- 前記第1のパルス光と前記第2のパルス光とは、偏光方向が異なることを特徴とする請求項1に記載のパルス光の伝送方法。
- 前記光ファイバは、単一モードファイバであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のパルス光の伝送方法。
- 前記光ファイバは、前記第1のパルス光を増幅するファイバ光増幅器であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のパルス光の伝送方法。
- 第1のパルス光を出射する第1のレーザ光源と、
第2のパルス光を出射する第2のレーザ光源と、
前記第1のレーザ光源から出射された前記第1のパルス光、及び前記第2のレーザ光源から出射された前記第2のパルス光が入射され、前記第1及び第2のパルス光を伝送して出力端から出射する光ファイバとを備え、
前記第2のパルス光は、前記光ファイバを伝播する過程で前記第1のパルス光と相互位相変調を生じる光であるとともに、前記第1のパルス光が前記光ファイバを伝播する過程で生じる自己位相変調に基づく位相変調を、前記第2のパルス光が前記光ファイバを伝播する過程で生じる相互位相変調に基づく位相変調により補償して、前記光ファイバの出力端において前記第1のパルス光の位相が略一定となるように構成されることを特徴とするレーザ装置。 - 前記第1のパルス光と前記第2のパルス光とは、波長が異なることを特徴とする請求項6に記載のレーザ装置。
- 前記第1のパルス光と前記第2のパルス光とは、偏光方向が異なることを特徴とする請求項6に記載のレーザ装置。
- 前記光ファイバの出力端から出射された前記第1のパルス光と前記第2のパルス光とを分離する分離手段を設けたことを特徴とする請求項6〜8のいずれか一項に記載のレーザ装置。
- 前記光ファイバは、単一モードファイバであることを特徴とする請求項6〜9のいずれか一項に記載のレーザ装置。
- 前記光ファイバは、ファイバ光増幅器であることを特徴とする請求項6〜10のいずれか一項に記載のレーザ装置。
- 前記光ファイバから出射された前記第1のパルス光の波長を変換する波長変換部を備えたことを特徴とする請求項6〜11のいずれか一項に記載のレーザ装置。
- 前記第1のパルス光及び前記第2のパルス光は波長が赤外領域の光であり、
前記波長変換部により波長変換された第1のパルス光は波長が紫外領域の光であることを特徴とする請求項12に記載のレーザ装置。 - 前記レーザ装置は、前記第1のパルス光を利用して対象物を加工する光加工装置または前記第1のパルス光を利用して対象物の像を作る観察装置の光源であることを特徴とする請求項6〜13のいずれか一項に記載のレーザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010136803A JP5648969B2 (ja) | 2010-06-16 | 2010-06-16 | パルス光の伝送方法及びこの伝送方法を用いたレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010136803A JP5648969B2 (ja) | 2010-06-16 | 2010-06-16 | パルス光の伝送方法及びこの伝送方法を用いたレーザ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012002965A true JP2012002965A (ja) | 2012-01-05 |
JP5648969B2 JP5648969B2 (ja) | 2015-01-07 |
Family
ID=45535030
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010136803A Active JP5648969B2 (ja) | 2010-06-16 | 2010-06-16 | パルス光の伝送方法及びこの伝送方法を用いたレーザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5648969B2 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014021370A1 (ja) * | 2012-07-31 | 2014-02-06 | 株式会社ニコン | レーザ装置、該レーザ装置を備えた露光装置及び検査装置 |
WO2014141973A1 (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-18 | 株式会社ニコン | パルスレーザ装置 |
JP2014224917A (ja) * | 2013-05-16 | 2014-12-04 | 株式会社ニコン | パルスレーザ装置、露光装置および検査装置 |
WO2015174819A3 (en) * | 2014-05-16 | 2016-01-07 | Mimos Berhad | Method for producing narrow spectral linewidths |
US10559937B2 (en) | 2016-05-26 | 2020-02-11 | Nikon Corporation | Pulsed light generation device, pulsed light generation method, exposure apparatus having pulsed light generation device and inspection apparatus having pulsed light generation device |
CN113451874A (zh) * | 2020-03-27 | 2021-09-28 | 株式会社爱德万测试 | 激光输出装置 |
WO2022107707A1 (ja) * | 2020-11-18 | 2022-05-27 | 株式会社ニコン | 光増幅装置および光増幅方法 |
US11366070B2 (en) | 2016-05-26 | 2022-06-21 | Nikon Corporation | Pulsed light generation device, pulsed light generation method, exposure apparatus having pulsed light generation device and inspection apparatus having pulsed light generation device |
WO2023149164A1 (ja) * | 2022-02-07 | 2023-08-10 | 浜松ホトニクス株式会社 | マルチパルス光源及びマルチパルス光生成方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0387726A (ja) * | 1988-09-20 | 1991-04-12 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光制御型光スイッチ |
JPH0583196A (ja) * | 1991-09-19 | 1993-04-02 | Fujitsu Ltd | 光伝送装置 |
JPH06132895A (ja) * | 1992-10-20 | 1994-05-13 | Hitachi Ltd | 光パワー変化補償回路及び光伝送装置 |
JPH06216850A (ja) * | 1993-01-13 | 1994-08-05 | Oki Electric Ind Co Ltd | 自己ルーチングの方法、その装置及びパケット構造 |
JPH08125605A (ja) * | 1994-10-25 | 1996-05-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光信号送信装置とそれを用いた光通信システム |
JP2002050815A (ja) * | 2000-05-24 | 2002-02-15 | Nikon Corp | 光源装置、露光装置、露光装置の製造方法、及びデバイス製造方法 |
JP2008270399A (ja) * | 2007-04-18 | 2008-11-06 | Toyota Gakuen | 光信号増幅3端子装置 |
WO2009013795A1 (ja) * | 2007-07-20 | 2009-01-29 | Fujitsu Limited | 光伝送装置,波長多重光通信システムおよび光伝送方法 |
-
2010
- 2010-06-16 JP JP2010136803A patent/JP5648969B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0387726A (ja) * | 1988-09-20 | 1991-04-12 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光制御型光スイッチ |
JPH0583196A (ja) * | 1991-09-19 | 1993-04-02 | Fujitsu Ltd | 光伝送装置 |
JPH06132895A (ja) * | 1992-10-20 | 1994-05-13 | Hitachi Ltd | 光パワー変化補償回路及び光伝送装置 |
JPH06216850A (ja) * | 1993-01-13 | 1994-08-05 | Oki Electric Ind Co Ltd | 自己ルーチングの方法、その装置及びパケット構造 |
JPH08125605A (ja) * | 1994-10-25 | 1996-05-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光信号送信装置とそれを用いた光通信システム |
JP2002050815A (ja) * | 2000-05-24 | 2002-02-15 | Nikon Corp | 光源装置、露光装置、露光装置の製造方法、及びデバイス製造方法 |
JP2008270399A (ja) * | 2007-04-18 | 2008-11-06 | Toyota Gakuen | 光信号増幅3端子装置 |
WO2009013795A1 (ja) * | 2007-07-20 | 2009-01-29 | Fujitsu Limited | 光伝送装置,波長多重光通信システムおよび光伝送方法 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014021370A1 (ja) * | 2012-07-31 | 2014-02-06 | 株式会社ニコン | レーザ装置、該レーザ装置を備えた露光装置及び検査装置 |
US9608400B2 (en) | 2012-07-31 | 2017-03-28 | Nikon Corporation | Laser device, and exposure device and inspection device provided with laser device |
WO2014141973A1 (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-18 | 株式会社ニコン | パルスレーザ装置 |
JP2014224917A (ja) * | 2013-05-16 | 2014-12-04 | 株式会社ニコン | パルスレーザ装置、露光装置および検査装置 |
WO2015174819A3 (en) * | 2014-05-16 | 2016-01-07 | Mimos Berhad | Method for producing narrow spectral linewidths |
US11366070B2 (en) | 2016-05-26 | 2022-06-21 | Nikon Corporation | Pulsed light generation device, pulsed light generation method, exposure apparatus having pulsed light generation device and inspection apparatus having pulsed light generation device |
US11303091B2 (en) | 2016-05-26 | 2022-04-12 | Nikon Corporation | Pulsed light generation device, pulsed light generation method, exposure apparatus having pulsed light generation device and inspection apparatus having pulsed light generation device |
US10559937B2 (en) | 2016-05-26 | 2020-02-11 | Nikon Corporation | Pulsed light generation device, pulsed light generation method, exposure apparatus having pulsed light generation device and inspection apparatus having pulsed light generation device |
US11757247B2 (en) | 2016-05-26 | 2023-09-12 | Nikon Corporation | Pulsed light generation device, pulsed light generation method, exposure apparatus having pulsed light generation device and inspection apparatus having pulsed light generation device |
CN113451874A (zh) * | 2020-03-27 | 2021-09-28 | 株式会社爱德万测试 | 激光输出装置 |
CN113451874B (zh) * | 2020-03-27 | 2024-03-26 | 株式会社爱德万测试 | 激光输出装置 |
WO2022107707A1 (ja) * | 2020-11-18 | 2022-05-27 | 株式会社ニコン | 光増幅装置および光増幅方法 |
WO2023149164A1 (ja) * | 2022-02-07 | 2023-08-10 | 浜松ホトニクス株式会社 | マルチパルス光源及びマルチパルス光生成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5648969B2 (ja) | 2015-01-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5648969B2 (ja) | パルス光の伝送方法及びこの伝送方法を用いたレーザ装置 | |
US10074957B2 (en) | Variable repetition rate supercontinuum pulses | |
US9184549B2 (en) | Compact coherent high brightness light source for the mid-IR and far IR | |
US10274809B1 (en) | Multiwavelength laser source | |
JP4820904B2 (ja) | 3次分散チャーピングを用いたスペクトル倍増光媒介型チャープパルス増幅装置 | |
JP5203063B2 (ja) | 多光子励起測定装置 | |
US20140247448A1 (en) | Fiber source of synchronized picosecond pulses for coherent raman microscopy and other applications | |
JP2017513211A (ja) | 顕微鏡に適用される多波長超短パルスの生成及び放出 | |
JP2008262004A (ja) | 広帯域光源装置 | |
US7538935B2 (en) | All-optical, continuously tunable, pulse delay generator using wavelength conversion and dispersion | |
JP2008243953A (ja) | 広帯域光源装置 | |
Wandel et al. | Bandwidth control in 5 μm pulse generation by dual-chirped optical parametric amplification | |
Takayanagi et al. | Generation of high-power femtosecond pulse and octave-spanning ultrabroad supercontinuum using all-fiber system | |
US6775053B2 (en) | High gain preamplifier based on optical parametric amplification | |
WO2020160116A1 (en) | Multi-stage parametric module and picosecond pulsed laser source incorporating the module | |
JP6016124B2 (ja) | パルスレーザ装置、露光装置および検査装置 | |
JP2010139604A (ja) | 電磁波発生・伝送装置 | |
JP2017083508A (ja) | 光源装置、波長変換装置及び情報取得装置 | |
JP2012204372A (ja) | 短パルス光源およびレーザ走査顕微鏡システム | |
JP5363521B2 (ja) | 光子周波数変換装置 | |
Shirazi et al. | Multi-wavelength fiber laser generation by using optical wavelength conversion | |
JP2011069945A (ja) | レーザ光発生方法 | |
WO2023243052A1 (ja) | 光源 | |
JP6789658B2 (ja) | 光源装置及びそれを用いた情報取得装置 | |
JP2009169041A (ja) | スーパーコンティニュアム光源 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130131 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140124 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140320 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141020 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141102 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5648969 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |