JP2012002792A - Transparent film inspection device and defect detection method - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a defect inspection device capable of inspecting a defect caused in a fast-moving transparent film in real time with a high detection ratio, and a defect inspection method for the transparent film using the device.SOLUTION: In a device for inspecting a defect in a transparent film in a darkroom, light emitted from a parallel light source installed below the transparent film hits the transparent film vertically through a grid-like chart unit, and abnormal refraction at a defective place appearing in a captured image is detected. A noise caused at the time of capture is removed by an image processing unit to prevent the defective part and a noise part from being recognized falsely. And a correction by lens distortion improves processing efficiency by limiting a scanned image, and achieves real-time processing.

Description

本発明は高速で走行する透明フィルムの欠陥検査装置及び、欠陥検査方法に関し、特に透明フィルムにおける欠陥を検査するための装置及び該装置を用いて透明フィルムにおける欠陥を検査する方法に関する。  The present invention relates to a defect inspection apparatus and a defect inspection method for a transparent film traveling at a high speed, and more particularly to an apparatus for inspecting a defect in a transparent film and a method for inspecting a defect in a transparent film using the apparatus.

図１は、透光性物品の表面形態における欠陥を検出する従来の欠陥検査方法を示す説明図である。  FIG. 1 is an explanatory view showing a conventional defect inspection method for detecting a defect in a surface form of a translucent article.

図示のように、該欠陥検査方法では、照明のある環境下に、透光性物品における欠陥を検査するための装置において、前記透光性物品を置くべき箇所の後方に、標準画像のついている標準画像ユニットが設置されており、それにより、前記透光性物品を通してみた画像の前記標準画像との差異から、該透光性物品に欠陥がある箇所を探し出すことができることを特徴とする。  As shown in the figure, in the defect inspection method, in a device for inspecting a defect in a light transmissive article in an environment with illumination, a standard image is attached behind the place where the light transmissive article is to be placed. A standard image unit is installed, whereby a portion having a defect in the translucent article can be found from the difference between the image viewed through the translucent article and the standard image.

特開２００９−１３９３６５号公報JP 2009-139365 A

しかしながら、従来の設定環境下では、静止画において欠陥検出はできても、高速で走行する被写体に対しては、カメラ側のシャッタースピードや分解能、レンズによる歪みによっては十分な成果が得られない。また、照明も適切な位置から照射しなければ、撮影時にノイズが入ってしまい、本来検出すべき欠陥と撮影環境で取り込まれるノイズとの区別がつかない。精度に関しても設定環境によって変化するため欠陥部分の詳細な大きさは不明瞭である。  However, under the conventional setting environment, even if a defect can be detected in a still image, sufficient results cannot be obtained for a subject traveling at high speed depending on the shutter speed and resolution on the camera side and distortion caused by the lens. Further, if the illumination is not irradiated from an appropriate position, noise is introduced at the time of photographing, and it is impossible to distinguish between a defect that should be detected originally and noise that is captured in the photographing environment. Since the accuracy also changes depending on the setting environment, the detailed size of the defective portion is unclear.

上記問題点を解決する為に、本発明は表面形態における欠陥の検出率がより高い透明フィルムの欠陥検査装置及び該装置を用いる透明フィルムの欠陥検査方法を提供しようとすることを目的とする。  In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a defect inspection apparatus for a transparent film having a higher defect detection rate in a surface form and a defect inspection method for a transparent film using the apparatus.

本発明は、また、高速で走行する透明フィルムの表面形態の欠陥を検査できる透明フィルムの欠陥検査装置及び該装置を用いる透明フィルムの欠陥検査方法を提供しようとすることをもう一つの目的とする。  Another object of the present invention is to provide a transparent film defect inspection apparatus capable of inspecting defects in the surface form of a transparent film running at high speed, and a transparent film defect inspection method using the apparatus. .

上記目的を達成する為、本発明は、平行光源及び、格子状チャートユニット、画像処理ユニットを用いる。平行光源から照射された光が格子状チャートユニットを介し、透明フィルム表面を通過してエリアセンサカメラに入射する。透明フィルムを置く箇所の上方に、該透明フィルムを通して格子状チャートユニットから前記格子状チャートユニットの映像を撮って映像信号を発信するエリアセンサカメラとレンズが設置され、また、前記エリアセンサカメラと連接し、前記映像信号を受信して前記格子状チャートの映像を画像処理できる画像処理ユニットが更に設置されており、それにより、前記透明フィルムに欠陥がある箇所を探し出すことができることを特徴とする透明フィルムの欠陥検査装置を提供する。  In order to achieve the above object, the present invention uses a parallel light source, a lattice chart unit, and an image processing unit. The light emitted from the parallel light source passes through the transparent film surface through the lattice chart unit and enters the area sensor camera. An area sensor camera and a lens that take an image of the grid chart unit from the grid chart unit through the transparent film and transmit a video signal are installed above the place where the transparent film is placed, and are connected to the area sensor camera. And an image processing unit that can receive the video signal and process the video of the grid chart is further installed, whereby a portion having a defect in the transparent film can be found. A film defect inspection apparatus is provided.

前記格子状チャートユニットには、均等に交差された格子図がついており、画像を構成する線の幅は０．２４ｍｍであり、そして各線と隣の線の間に０．７６ｍｍの距離をあけていることを特徴とする。  The grid chart unit has a grid diagram that is evenly crossed, the width of the lines constituting the image is 0.24 mm, and a distance of 0.76 mm is provided between each line and the adjacent line. It is characterized by being.

前記エリアセンサカメラは、高速で走行する被写体をブレなく撮影することができるシャッタースピード及び、垂直周波数を有し、フォーカシング機能と画像をキャプチャーする機能を有していることを特徴とする。  The area sensor camera has a shutter speed and a vertical frequency that can shoot a subject traveling at high speed without blur, and has a focusing function and a function of capturing an image.

前記レンズは、撮影時の歪みが±０．０６％で、上記カメラに合うマウントを特徴とする。歪みが余りにも大きいと、入力画像処理部での補正処理に時間がかかるため、リアルタイム処理が困難となる。  The lens has a mount that fits the camera and has a distortion of ± 0.06% during shooting. If the distortion is too large, correction processing in the input image processing unit takes time, and real-time processing becomes difficult.

前記平行光源は、前記格子状チャートユニット及び、透明フィルムに対して平行に光を照射することを特徴とする。  The parallel light source irradiates light parallel to the lattice chart unit and the transparent film.

画像処理ユニットは、エリアセンサカメラでキャプチャーした画像に対して、ノイズ除去処理を行い、欠陥とノイズを区別することを特徴とする。  The image processing unit performs noise removal processing on an image captured by an area sensor camera, and distinguishes between defects and noise.

前記平行光源及び、格子状チャートユニットを通してみた透明フィルムの欠陥箇所が、通過光線にもたらす異常屈折を利用して欠陥を検出することを特徴とする。  The defect location of the transparent film seen through the parallel light source and the lattice chart unit detects the defect using anomalous refraction caused to the passing light.

本発明は、透明フィルムにおける欠陥箇所の通過光線にもたらす異常屈折を平行光源と画像処理ユニットにより精度よく検出することが可能であるため、格子状チャートユニットのキャプチャー画像における欠陥箇所に、明らかな歪みを与えて欠陥の探し出しを容易にさせ、従来よりも高い検出率を有する欠陥検査装置及び該装置を用いる欠陥検査方法を提供することができる。  Since the present invention can accurately detect the extraordinary refraction caused by the light beam passing through the defective portion in the transparent film by the parallel light source and the image processing unit, the distortion portion in the captured image of the lattice chart unit can be clearly Therefore, it is possible to provide a defect inspection apparatus having a higher detection rate than the conventional one and a defect inspection method using the apparatus.

また、本発明は、光の反射ではなく、通過光線の異常屈折により検査を行うので、透明フィルムの表面形態だけでなく、表面形態を含む組織中の如何なる箇所にある欠陥をも検査することができる。  In addition, since the present invention inspects not by light reflection but by extraordinary refraction of passing light, it can inspect not only the surface form of the transparent film but also a defect at any location in the tissue including the surface form. it can.

透光性物品の表面形態における欠陥を検出する従来の欠陥検査方法を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the conventional defect inspection method which detects the defect in the surface form of a translucent article. 本発明の欠陥検査装置の構成を示す正面図である。It is a front view which shows the structure of the defect inspection apparatus of this invention. 本発明の格子状チャートユニットの標準画像の一例。An example of the standard image of the lattice chart unit of the present invention. 本発明の格子状チャート格子画像と従来の格子状チャートユニットの画像である。It is the lattice chart lattice image of this invention, and the image of the conventional lattice chart unit. 透明フィルムに発生する欠陥箇所の様子を示す略示断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the mode of the defect location which generate | occur | produces in a transparent film. 欠陥箇所に対応する部位の映像が光の屈折率の差により歪む様子を例示する説明図である。It is explanatory drawing which illustrates a mode that the image | video of the site | part corresponding to a defect location is distorted by the difference in the refractive index of light.

以下本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれらの実施形態に限定されることは無く、本発明の趣旨の範囲内で修正、変更することができる。  Embodiments of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these embodiments and can be modified and changed within the scope of the present invention.

図２は本発明の欠陥検査装置の構成を示す正面図である。本発明の欠陥検査装置２８は、暗室環境下で平行光源２４及び格子状チャートユニット２３を用いて使用し、該透明フィルム２２の真下に該透明フィルム２２の走行方向と平行となるように格子状チャートユニット２３を設置し、該透明フィルム２３に垂直に光が照射するように平行光源２４を格子状チャートユニット２３の真下に配置する。尚、格子状チャートユニット２３は該透明フィルム２２と２５ｍｍの距離に保つように配置する。エリアセンサカメラ２５は５００万画素、垂直周波数が１６Ｈｚ、シャッタースピード４０００分の１秒のＣＣＤカメラ、レンズ２６は撮影時の歪みが０．０３％で、５００万画素用のＣマウントレンズを用いる。また、格子状チャートユニット２３とエリアセンサカメラ２５の距離が２８７ｍｍとなるように該透明フィルム２２の真上にエリアセンサカメラを設置する。該エリアセンサカメラと連接していて、該エリアセンサカメラ２５から前記映像信号を受信して前記格子状チャートユニット２３の映像を画像処理することができる画像処理ユニット２７を有している。  FIG. 2 is a front view showing the configuration of the defect inspection apparatus of the present invention. The defect inspection apparatus 28 of the present invention is used in a dark room environment by using a parallel light source 24 and a lattice chart unit 23, and is in a lattice shape so as to be parallel to the traveling direction of the transparent film 22 immediately below the transparent film 22. A chart unit 23 is installed, and a parallel light source 24 is arranged directly below the lattice chart unit 23 so that light is irradiated perpendicularly to the transparent film 23. The lattice chart unit 23 is arranged so as to be kept at a distance of 25 mm from the transparent film 22. The area sensor camera 25 is a CCD camera with 5 million pixels, a vertical frequency of 16 Hz, and a shutter speed of 1 / 4000th of a second, and the lens 26 uses a C-mount lens for 5 million pixels with 0.03% distortion at the time of shooting. Further, the area sensor camera is installed directly above the transparent film 22 so that the distance between the lattice chart unit 23 and the area sensor camera 25 is 287 mm. It has an image processing unit 27 connected to the area sensor camera and capable of receiving the video signal from the area sensor camera 25 and processing the video of the grid chart unit 23.

次に、以下の条件で実施した本発明の実施例を説明する。  Next, examples of the present invention implemented under the following conditions will be described.

共押出法によって成形された多層チューブフィルムを検査対象透明フィルムとし、該透明フィルム表面に発現した微細欠陥を、本発明のフィルム欠陥検査装置を用いて検査する。
透明フィルムの走行速度を分速５０ｍとし、傷の大きさは、０．０５〜０．７０ｍｍ２までの有色異物及び擦り傷、ピンホールの透明傷を欠陥検査対象とする。実施したシステム構成を図２に示す。The multilayer tube film formed by the co-extrusion method is used as a transparent film to be inspected, and fine defects developed on the surface of the transparent film are inspected using the film defect inspection apparatus of the present invention.
The running speed of the transparent film is set to 50 m / min, and the size of the scratches is 0.05 to 0.70 mm 2 for colored foreign objects, scratches and pinhole transparent scratches. The implemented system configuration is shown in FIG.

上記条件により走行する透明フィルムをエリアセンサカメラで撮影し、画像処理ユニットでノイズ除去及び画像補正し、欠陥検出を行う。  A transparent film traveling under the above conditions is photographed by an area sensor camera, and noise removal and image correction are performed by an image processing unit to detect defects.

まず、欠陥がある透明フィルムに対して、真下から平行光源の光を照射する。透明フィルム真上に設置されているエリアセンサカメラの照度は２０００ＬＵＸであった。格子状チャートユニットは、線の太さが０．２４ｍｍのものを使用し、エリアセンサカメラで透明フィルムを撮影した。入力画像の上下左右にレンズによる歪みが発生するため、画像処理ユニットにより画像補正を行った。また、撮影時に入力画像に発生するノイズを画像処理ユニットの平滑化画像処理によりノイズ除去処理を行った。  First, the light of a parallel light source is irradiated from below directly on a defective transparent film. The illuminance of the area sensor camera installed just above the transparent film was 2000 LUX. A grid-like chart unit having a line thickness of 0.24 mm was used, and a transparent film was photographed with an area sensor camera. Since distortion caused by the lens occurs in the top, bottom, left and right of the input image, image correction was performed by the image processing unit. Further, noise removal processing was performed on the noise generated in the input image during shooting by the smoothed image processing of the image processing unit.

上記条件により走行する透明フィルムをエリアセンサカメラで撮影し、画像処理ユニットでノイズ除去及び画像補正し、欠陥検出を行う。  A transparent film traveling under the above conditions is photographed by an area sensor camera, and noise removal and image correction are performed by an image processing unit to detect defects.

まず、欠陥がある透明フィルムに対して、真下から平行光源の光を照射する。透明フィルム真上に設置されているエリアセンサカメラの照度は２０００ＬＵＸであった。格子状チャートユニットは、線の太さが０．２６ｍｍのものを使用し、エリアセンサカメラで透明フィルムを撮影した。入力画像の上下左右にレンズによる歪みが発生するため、画像処理ユニットにより画像補正を行った。また、撮影時に入力画像に発生するノイズを画像処理ユニットの平滑化画像処理によりノイズ除去処理を行った。  First, the light of a parallel light source is irradiated from below directly on a defective transparent film. The illuminance of the area sensor camera installed just above the transparent film was 2000 LUX. A grid-like chart unit having a line thickness of 0.26 mm was used, and a transparent film was photographed with an area sensor camera. Since distortion caused by the lens occurs in the top, bottom, left and right of the input image, image correction was performed by the image processing unit. Further, noise removal processing was performed on the noise generated in the input image during shooting by the smoothed image processing of the image processing unit.

上記条件により走行する透明フィルムをエリアセンサカメラで撮影し、画像処理ユニットでノイズ除去及び画像補正し、欠陥検出を行う。  A transparent film traveling under the above conditions is photographed by an area sensor camera, and noise removal and image correction are performed by an image processing unit to detect defects.

まず、欠陥がある透明フィルムに対して、真下から平行光源の光を照射する。透明フィルム真上に設置されているエリアセンサカメラの照度は２０００ＬＵＸであった。格子状チャートユニットは、線の太さが０．２８ｍｍのものを使用し、エリアセンサカメラで透明フィルムを撮影した。入力画像の上下左右にレンズによる歪みが発生するため、画像処理ユニットにより画像補正を行った。また、撮影時に入力画像に発生するノイズを画像処理ユニットの平滑化画像処理によりノイズ除去処理を行った。  First, the light of a parallel light source is irradiated from below directly on a defective transparent film. The illuminance of the area sensor camera installed just above the transparent film was 2000 LUX. A grid-like chart unit having a line thickness of 0.28 mm was used, and a transparent film was photographed with an area sensor camera. Since distortion caused by the lens occurs in the top, bottom, left and right of the input image, image correction was performed by the image processing unit. Further, noise removal processing was performed on the noise generated in the input image during shooting by the smoothed image processing of the image processing unit.

上記条件により走行する透明フィルムをエリアセンサカメラで撮影し、画像処理ユニットでノイズ除去及び画像補正し、欠陥検出を行う。  A transparent film traveling under the above conditions is photographed by an area sensor camera, and noise removal and image correction are performed by an image processing unit to detect defects.

まず、欠陥がある透明フィルムに対して、真下から平行光源の光を照射する。透明フィルム真上に設置されているエリアセンサカメラの照度は２０００ＬＵＸであった。格子状チャートユニットは、線の太さが０．３０ｍｍのものを使用し、エリアセンサカメラで透明フィルムを撮影した。入力画像の上下左右にレンズによる歪みが発生するため、画像処理ユニットにより画像補正を行った。また、撮影時に入力画像に発生するノイズを画像処理ユニットの平滑化画像処理によりノイズ除去処理を行った。  First, the light of a parallel light source is irradiated from below directly on a defective transparent film. The illuminance of the area sensor camera installed just above the transparent film was 2000 LUX. A grid-like chart unit having a line thickness of 0.30 mm was used, and a transparent film was photographed with an area sensor camera. Since distortion caused by the lens occurs in the top, bottom, left and right of the input image, image correction was performed by the image processing unit. Further, noise removal processing was performed on the noise generated in the input image during shooting by the smoothed image processing of the image processing unit.

上記実施例から、格子状チャートユニットの線の太さとカメラ及びレンズの焦点距離や分解能により、検出精度が定まるため、最良の組合せを構成するのが好ましい。上記実施例では、走行速度分速５０ｍ、格子状チャートユニットの線の太さを０．２６〜０．３０ｍｍで設定し検証した。また、透明フィルムの走行速度はカメラのシャッタースピードと光源の光度により精度が変化するため、走行速度に合ったシャッタースピード及び光度で構成することが好ましい。  Since the detection accuracy is determined by the line thickness of the grid chart unit and the focal length and resolution of the camera and lens from the above embodiment, it is preferable to configure the best combination. In the above-described embodiment, the travel speed was set to 50 m / min and the line thickness of the grid chart unit was set to 0.26 to 0.30 mm for verification. Moreover, since the accuracy of the traveling speed of the transparent film varies depending on the shutter speed of the camera and the luminous intensity of the light source, it is preferable to configure the transparent film with a shutter speed and a luminous intensity that match the traveling speed.

上記処理により、入力画像の欠陥箇所が、格子の湾曲により検出できるため、精度よく欠陥検出が可能であった。  By the above process, the defect portion of the input image can be detected by the curvature of the lattice, so that the defect can be detected with high accuracy.

上記のように、本発明の欠陥検査装置や欠陥検査方法は、欠陥箇所に発生する光の異常屈折を利用するので、透明フィルムの表明形態だけでなく、表面下における欠陥及び箇所を容易に探し出すことができるので、従来の装置及び方法より検出率が高い上、産業上の利用性も遥かに広い。  As described above, since the defect inspection apparatus and the defect inspection method of the present invention use anomalous refraction of light generated at a defect location, not only the manifestation form of the transparent film but also the defects and locations below the surface can be easily found. Therefore, the detection rate is higher than that of the conventional apparatus and method, and the industrial applicability is much wider.

１１ モニター
１２ イメージキャプチャー手段
１３ キャプチャーユニット
１４ レンズユニット
１５ 離型紙
１６ 透光性物品
１７ 保護膜
１８ 標準画像ユニット
１９ 欠陥検査装置
２１ 暗室ボックス
２２ 透明フィルム
２３ 格子状チャートユニット
２４ 平行光源
２５ エリアセンサカメラ
２６ レンズ
２７ 画像処理ユニット
２８ 欠陥検査装置
５１ 画像キャプチャー前の格子の交差部
５２ 画像キャプチャー後の格子の交差正常図
５３ 画像キャプチャー後の格子の交差異常図
６１ 欠陥部分DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Monitor 12 Image capture means 13 Capture unit 14 Lens unit 15 Release paper 16 Translucent article 17 Protective film 18 Standard image unit 19 Defect inspection apparatus 21 Dark room box 22 Transparent film 23 Lattice chart unit 24 Parallel light source 25 Area sensor camera 26 Lens 27 Image processing unit 28 Defect inspection apparatus 51 Crossing portion 52 of lattice before image capture Normal crossing view of lattice after image capture 53 Crossing abnormality diagram of lattice after image capture 61 Defective part

Claims (7)

暗室環境下における透明フィルムの欠陥検査装置において、前記透明フィルムを撮影しその画像データから前記透明フィルムの欠陥を検出する欠陥検査装置であって、前記透明フィルムが配置される配置面を有するステージと、透明な素材に描かれた格子の格子状チャートユニットが配置される配置面を有するステージと、前記透明フィルムを配置する配置面と垂直方向に光が照射するように設置された平行光源を含む照明部と、前記透明フィルムを通して前記格子状チャートユニットを撮影し画像データを出力するカメラを有する撮影部と、前記透明フィルムを通して見た画像の前記格子状チャートとの差異から、該透明フィルムに欠陥の有無を判断する画像処理部を有する欠陥検査装置。  In a defect inspection apparatus for a transparent film in a dark room environment, a defect inspection apparatus for photographing the transparent film and detecting a defect of the transparent film from image data thereof, the stage having an arrangement surface on which the transparent film is disposed; A stage having an arrangement surface on which a lattice chart unit of a lattice drawn on a transparent material is arranged, and a parallel light source installed so that light is irradiated in a direction perpendicular to the arrangement surface on which the transparent film is arranged Due to the difference between the illumination unit, the imaging unit having a camera that images the grid chart unit through the transparent film and outputs image data, and the grid chart of the image viewed through the transparent film, the transparent film is defective. A defect inspection apparatus having an image processing unit for determining presence or absence. 前記格子状チャートユニットには、均等に交差された格子図を有し、格子図を構成する線の太さは０．２４〜０．３０ｍｍであり、隣接する線と線の距離は０．７６〜１．００ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載の透明フィルムの欠陥検査装置。  The lattice chart unit has a lattice diagram that is evenly crossed, the thickness of the lines constituting the lattice diagram is 0.24 to 0.30 mm, and the distance between adjacent lines is 0.76. The transparent film defect inspection apparatus according to claim 1, wherein the defect inspection apparatus has a thickness of ˜1.00 mm. 前記画像処理ユニットは、入力された画像に対し、欠陥部分とノイズ部分を誤認識しないようにノイズ除去処理を行い、レンズによる歪みを補正するために、入力画像範囲を制限し転送処理することを特徴とする請求項１から請求項２に記載の透明フィルムの欠陥検査装置。  The image processing unit performs noise removal processing on the input image so as not to misrecognize a defective portion and a noise portion, and restricts the input image range and performs transfer processing in order to correct distortion caused by the lens. The transparent film defect inspection apparatus according to claim 1, wherein the defect inspection apparatus is a transparent film defect inspection apparatus. 前記エリアセンサカメラは、高速で走行する被写体をブレなく撮影することができるシャッタースピード及び、垂直周波数を有し、フォーカシング機能と画像をキャプチャーする機能を有していることを特徴とする請求項１から請求項３に記載の透明フィルムの欠陥検査装置。  2. The area sensor camera according to claim 1, wherein the area sensor camera has a shutter speed and a vertical frequency capable of photographing a subject traveling at a high speed without blur, and has a focusing function and a function of capturing an image. The defect inspection apparatus of the transparent film of Claim 3. 前記レンズは、撮影時の歪みが±０．０６％以内のもので、前記エリアセンサカメラに合うマウントであることを特徴とする請求項１から請求項４に記載の透明フィルムの欠陥検査装置。  5. The transparent film defect inspection apparatus according to claim 1, wherein the lens has a distortion within ± 0.06% during photographing and is a mount that fits the area sensor camera. 前記平行光源は、前記格子状チャートユニット及び、透明フィルムに対して平行に光を照射することを特徴とする請求項１から請求項５に記載の透明フィルムの欠陥検査装置。  6. The transparent film defect inspection apparatus according to claim 1, wherein the parallel light source irradiates light in parallel to the lattice chart unit and the transparent film. 前記平行光源及び、格子状チャートユニットを通してみた透明フィルムの欠陥箇所が、通過光線にもたらす異常屈折を利用して欠陥を検出することを特徴とする請求項１から請求項６に記載の透明フィルムの欠陥検査装置。  The transparent film according to any one of claims 1 to 6, wherein a defect portion of the transparent film viewed through the parallel light source and the lattice chart unit detects defects using anomalous refraction caused to a passing light beam. Defect inspection equipment.
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140088789A (en) * 2013-01-03 2014-07-11 동우 화인켐 주식회사 Inspection device for optical film
KR101873278B1 (en) * 2016-11-17 2018-08-02 김원효 Apparatus for inspecting upper shoe and the method thereof
WO2018148371A1 (en) * 2017-02-08 2018-08-16 Cryovac, Inc. Processes and systems for in-line inspection of functional film layer containing detectable component
DE102018125027A1 (en) 2017-10-20 2019-04-25 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha TEST APPARATUS, TEST UNIT AND FAULT CONFIRMATION METHOD FOR TEST APPARATUS
CN109975324A (en) * 2019-05-05 2019-07-05 苏州天准科技股份有限公司 A kind of Structured Illumination flaw detection method based on square wave configuration
CN110462388A (en) * 2017-02-09 2019-11-15 P&S技术有限公司 Suction pipe check device
CN111108367A (en) * 2017-09-25 2020-05-05 东友精细化工有限公司 Inspection apparatus for transmission optical system and film defect inspection method using the same
CN111307802A (en) * 2018-12-11 2020-06-19 柯尼卡美能达株式会社 Decorated printing inspection device, system, method and recording medium
KR20200086165A (en) * 2019-01-08 2020-07-16 임로빈 LCD display lighting device for inspecting transparent product and apparatus with the same
CN111929317A (en) * 2020-07-08 2020-11-13 昆山之奇美材料科技有限公司 Polarizing film defect detection system and method
US11628610B2 (en) 2017-02-08 2023-04-18 Cryovac, Llc Process for in-line inspection of functional film layer containing detectable component

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140088789A (en) * 2013-01-03 2014-07-11 동우 화인켐 주식회사 Inspection device for optical film
KR101873278B1 (en) * 2016-11-17 2018-08-02 김원효 Apparatus for inspecting upper shoe and the method thereof
US11628610B2 (en) 2017-02-08 2023-04-18 Cryovac, Llc Process for in-line inspection of functional film layer containing detectable component
WO2018148371A1 (en) * 2017-02-08 2018-08-16 Cryovac, Inc. Processes and systems for in-line inspection of functional film layer containing detectable component
CN110352124A (en) * 2017-02-08 2019-10-18 克里奥瓦克公司 Method and system for on-line inspection of functional thin film layers containing detectable components
EP3995284A3 (en) * 2017-02-08 2022-07-13 Cryovac, LLC Processes and systems for in-line inspection of functional film layer containing detectable component
RU2742755C1 (en) * 2017-02-08 2021-02-10 Криовак, Ллк Methods and systems for operating control of the functional film layer containing detectable component
CN110462388A (en) * 2017-02-09 2019-11-15 P&S技术有限公司 Suction pipe check device
JP2020535397A (en) * 2017-09-25 2020-12-03 東友ファインケム株式会社Ｄｏｎｇｗｏｏ Ｆｉｎｅ−Ｃｈｅｍ Ｃｏ．， Ｌｔｄ． Transmission optical system inspection device and film defect inspection method using it
CN111108367A (en) * 2017-09-25 2020-05-05 东友精细化工有限公司 Inspection apparatus for transmission optical system and film defect inspection method using the same
DE102018125027B4 (en) 2017-10-20 2022-08-25 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Test fixture, test facility and failure confirmation method for test fixture
DE102018125027A1 (en) 2017-10-20 2019-04-25 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha TEST APPARATUS, TEST UNIT AND FAULT CONFIRMATION METHOD FOR TEST APPARATUS
US10481103B2 (en) 2017-10-20 2019-11-19 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Inspection device, inspection facility and inspection device failure confirmation method
CN111307802A (en) * 2018-12-11 2020-06-19 柯尼卡美能达株式会社 Decorated printing inspection device, system, method and recording medium
KR102168001B1 (en) * 2019-01-08 2020-10-20 임로빈 LCD display lighting device for inspecting transparent product and apparatus with the same
KR20200086165A (en) * 2019-01-08 2020-07-16 임로빈 LCD display lighting device for inspecting transparent product and apparatus with the same
CN109975324A (en) * 2019-05-05 2019-07-05 苏州天准科技股份有限公司 A kind of Structured Illumination flaw detection method based on square wave configuration
CN111929317A (en) * 2020-07-08 2020-11-13 昆山之奇美材料科技有限公司 Polarizing film defect detection system and method

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