JP2011527685A - 環状アルケン誘導体の分解を防止する添加剤 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、その内容が参照によって本明細書に援用される、2008年7月8日付で出願された米国特許仮出願第61/078,984号の優先権を主張する。
本開示は、概して、空気及び/又は熱に対して安定性を示す環状アルケン組成物に関する。さらに詳細には、本開示は、環状アルケン組成物が酸素、熱又はこの二者の組み合わせに暴露される際のポリマー形成を軽減もしくは排除するために1つもしくは複数の酸化防止剤化合物(たとえば、置換フェノール類)で安定化された環状アルケン誘導体、ならびに誘電体膜を形成するためのかかる組成物の使用法に関する。
本開示に適したケイ素含有化合物としては、任意の種類のケイ素含有分子、たとえばシラン、アルキルシラン、アルコキシシラン、アルキルアルコキシシラン、カルボキシシラン、アルキルカルボキシシラン、アルコキシカルボキシシラン、アルキルアルコキシカルボキシシラン、直鎖シロキサン、環状シロキサン、フッ素化シラン、フッ素化アルキルシラン、フッ素化アルコキシシラン、フッ素化アルキルアルコキシシラン、フッ素化カルボキシシラン、フッ素化アルキルカルボキシシラン、フッ素化アルコキシカルボキシシラン、フッ素化アルキルアルコキシカルボキシシラン、フッ素化直鎖シロキサン、フッ素化環状シロキサン、及びこれらの混合物が挙げられる。前述の各種類の例には、限定されるものではないが、下記スキーム1に示すものが含まれる。これらのケイ素含有化合物は、Teffら(米国特許第7,129,311号及び第7,531,590号)により記載されている方法で、この文献に記載されている式(I)、式(II)の化合物又はこれらの混合物を用いて安定化することもできる。
フルオロメチル)トリシロキサン、トリメチルトリシロキサン、ジエチルトリメチルトリシロキサン、トリメチルシクロトリシロキサン、テトラメチルシクロテトラシロキサン、ペンタメチルシクロペンタシロキサン、テトラエチルシクロテトラシロキサン、ペンタエチルシクロペンタシロキサン、ヘキサメチルシクロトリシロキサン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、デカメチルシクロペンタシロキサン、ビニルメチルジエトキシシランビニルメチルジメトキシシラン、トリメチルシリルアセチレン、ジ(トリメチルシリル)アセチレン、ヘキサ(トリフルオロメチル)ジシロキサン、オクタ(トリフルオロメチル)トリシロキサン、トリス(トリフルオロメチル)トリシロキサン、トリス(トリフルオロメチル)シクロトリシロキサン、テトラ(トリフルオロメチル)シクロテトラシロキサン、オクタ(トリフルオロメチル)シクロテトラシロキサン及びこれらの混合物が挙げられる。
膜蒸着の後、初期膜を硬化工程に付すことができる。硬化工程は、たとえば、膜特性、たとえば膜強度、誘電率及び膜の様々な他の特性などを変えるために膜の密度もしくは元素組成を変化させるためにも用いることができる。これらの硬化工程は、ホットプレート、オーブン、赤外線ランプ、又はマイクロ波などの様々な加熱手段のうちの1つによって熱を加えることによる熱処理を含み得る。別法として、硬化は、プラズマ処理、又は膜の化学処理を含み得る。これらの硬化工程は、初期膜における所望の化学変化に応じて、不活性雰囲気(たとえば、希ガス)、還元雰囲気(たとえば、水素もしくは炭化水素)、又は酸化雰囲気(たとえば、酸素、空気、オゾン、亜酸化窒素、二酸化炭素)中で行うことができる。このようなプロセスは、当業者らに周知である。
一連の試験は、安定化及び非安定化NBDE試料が可溶性不揮発性ポリマー残留物を様々なストレス条件下で形成する傾向を比較するために考案された。これらの試験では、試料は、窒素下で類似の条件を用いてNBDEを慎重に蒸留することによって調製した。安定化試料については、NBDEを窒素下で各安定剤上に直接蒸留した。試料を調製した後、コンテス(Kontes)バルブ及びシュレンク(Schlenk)・ライン・アダプタを取り付けた250mLのガラスバルブ試験容器中に移した。この容器は、再密封することができるので試験に理想的であり、シュレンク技術と適合性であり、濡れている部分はガラス又はテフロン(登録商標)のみであった。試料を窒素下で慎重に取り扱って、実験前の偶発的なガスへの暴露を防止した。いくつかの試料は、凍結−吸引−解凍サイクルを3回用いて脱気し、溶解したガスを除去した。いくつかの試料は酸素に暴露し、この場合、酸素の量は、計算した量の空気を用いて慎重に導入した。全ての加熱試料を、恒温油浴中で特定の時間加熱した。各実験が完了した後、揮発性部分(NBDE及び安定剤)を不揮発性部分(ポリマー残留物)から分離する蒸発技術を用いて、不揮発性ポリマー残留物の量を測定した。蒸発技術により、窒素入口及び蒸気出口を備えた容器内の、あらかじめ秤量した試料皿からNBDE及び安定剤を同時に蒸発させた。窒素流及び80℃での加熱は、蒸発プロセスを促進し、試験前後での試料皿の重量の差によって残留物を測定した。残留物の量を、不揮発性部分の質量を試料の総重量と比較した後の100万分の1重量分率(ppm)として報告し、検出限界は約0.5ppmであった。試験後の残留物値が低いほど、安定性が高いことを示す。
この試験は、熱に一定時間暴露された場合にNBDEがどのように機能するかを示すように選択した。すでに記載したように、NBDEは80℃までの高温に数時間又は数日間暴露され得るので、生成物はそのような条件下で熱劣化に対して耐性を示さなければならない。
この試験は、熱及び酸素の両方に、ある時間暴露された場合にNBDEがどのように機能するかを示すために選択された。この試験に使用した酸素濃度は25重量ppmであった。この濃度は、包装中に化学物質が空気に偶発的に暴露された場合に予想されるものと類似しているが、半導体グレードの製品を調製する場合に酸素汚染を回避するために化学製造業者らが通常かける時間の長さを考慮すると、比較的大規模な暴露である。
この試験は、生成物にストレスを加え、様々な安定剤の有効性の選別に役立てるための極端な条件として選択された。生成物にストレスを加え、より有効な安定剤と有効でない安定剤との明らかな差を示す方法として、酸素を150重量ppmで添加した。
この試験は、ある一定時間、さらに高い極度の熱に暴露された場合に生成物がどのように機能するかを示すために選択された。NBDEが120℃の温度に24時間付される見込みはないが、この試験は、このような極端な温度が生成物に悪影響を及ぼすかどうかを証明することができる。それは、120℃で24時間が25℃で2年間と等しい貯蔵寿命の初期指標にもなり得る。
100ppmの4−MCAT又は3−MOCATで安定化させた環状アルケン(NBDE)を、ヘリウム圧を用いてステンレス鋼製容器から化学物質送達ラインを通して加熱された蒸発器に1mL/分の流速で移送する。環状アルケンを80℃に加熱した化学蒸着プロセスライン中に蒸発させ、500mL/分(sccm)のヘリウムを輸送ガスとして用い、システム基底圧を800Pa(6torr)に保持して基体へと輸送する。基体へ輸送する間、環状アルケン蒸気及び輸送ガスをメチルジエトキシシラン(M−DEOS)の流れと、約60重量%のM−DEOS及び40重量%のNBDEの割合で混合する。このガス混合物を250Wのプラズマ出力に暴露する。基体を−15VDCの基体バイアスで150℃まで加熱する。炭素をドープした酸化ケイ素膜を、これらの条件を用いて基体上に蒸着させる。
100ppmの4−MCAT又は3−MOCATで安定化させた環状アルケン(NBDE)を、ヘリウム圧を用いてステンレス鋼製容器から化学物質送達ラインを通して加熱された蒸発器に1mL/分の流速で移送する。環状アルケンを80℃に加熱された化学蒸着プロセスライン中に蒸発させ、500mL/分(sccm)のヘリウムを輸送ガスとして用い、システム基底圧を800Pa(6torr)に保持して、基体へと輸送する。基体へ輸送する間、環状アルケン蒸気及び輸送ガスをTMCTSの流れと、約60%TMCTS及び40%NBDEの割合で混合する。このガス混合物を250Wのプラズマ出力に暴露する。基体を−15VDCの基体バイアスで150℃まで加熱する。炭素をドープした酸化ケイ素膜を、これらの条件を用いて基体上に蒸着させる。
この実施例は、実施例5の方法を用いるが、炭素をドープした酸化ケイ素膜を蒸着後に硬化工程によって処理する。膜を425℃、窒素下で4時間アニールして、膜中に残存する実質的に全てのNBDEポロゲンを除去する。この処理によって、典型的にはより低い誘電率を有する若干薄い膜が得られる。
この実施例は実施例6の方法を用いるが、炭素をドープした酸化ケイ素膜を蒸着後に硬化工程によって処理する。膜を425℃、窒素下で4時間アニールして、NBDE膜中に残留する実質的に全てのポロゲンを除去する。この処理によって、典型的にはより低い誘電率を有する若干薄い膜が得られる。
この実施例は、実施例5の方法を用いるが、環状アルケン(NBDE)を50ppmの4−MCAT及び50ppmの3−MOCATで安定化する。炭素をドープした酸化ケイ素膜を基体上に蒸着させる。
この実施例は、実施例5の方法を用いるが、環状アルケン(NBDE)を50ppmの4−MCAT及び50ppmのBHTで安定化する。炭素をドープした酸化ケイ素膜を基体上に蒸着させる。
この実施例は実施例7の方法を用いるが、環状アルケン(NBDE)を100ppmの3−イソプロピル−1,2−ジヒドロキシベンゼンで安定化する。炭素をドープした酸化ケイ素膜を基体上に蒸着させる。
この実施例は、実施例5の方法を用いるが、環状アルケン(NBDE及びアルファ−テルピネンの75:25(重量比)混合物)を100ppmの3−イソプロピル−1,2−ジヒドロキシベンゼンで安定化する。炭素をドープした酸化ケイ素膜を基体上に蒸着させる。
この実施例は、実施例5の方法を用いるが、環状アルケン(ジシクロペンタジエン:アルファ−テルピネンの25:75(重量比)混合物)を100ppmの3−イソプロピル−1,2−ジヒドロキシベンゼンで安定化する。炭素をドープした酸化ケイ素膜を基体上に蒸着させる。
この実施例は実施例8の方法を用いるが、環状アルケン(NBDE)を200ppmの3−tert−ブチル−4−メチル−1,2−ジヒドロキシベンゼンで安定化する。炭素をドープした酸化ケイ素膜を基体上に蒸着させる。
この実施例は実施例6の方法を用いるが、環状アルケン(NBDE)を50ppmの4−MCATで安定化する。炭素をドープした酸化ケイ素膜を基体上に蒸着させる。
この実施例は実施例7の方法を用いるが、環状アルケン(NBDE)を150ppmの4−MCATで安定化する。炭素をドープした酸化ケイ素膜を基体上に蒸着させる。
この実施例は実施例8の方法を用いるが、環状アルケン(アルファ−テルピネン)を100ppmの4−MCATで安定化する。炭素をドープした酸化ケイ素膜を基体上に蒸着させる。
この実施例は、実施例5の方法を用いるが、環状アルケン(リモネン)を100ppmの4−MCATで安定化する。炭素をドープした酸化ケイ素膜を基体上に蒸着させる。
この実施例は、実施例5の方法を用いるが、環状アルケン(アルファ−ピネン)を200ppmの4−MOCATで安定化する。炭素をドープした酸化ケイ素膜を基体上に蒸着させる。
この実施例は、実施例5の方法を用いるが、環状アルケン(ジシクロペンタジエン)を150ppmの4−MCATで安定化する。炭素をドープした酸化ケイ素膜を基体上に蒸着させる。
この実施例は、実施例5の方法を用いるが、環状アルケン(1,4−ジヒドロ−1,4−メタノナフタレン)を100ppmの3,4−ジメチル−1,2−ジヒドロキシベンゼンで安定化する。炭素をドープした酸化ケイ素膜を基体上に蒸着させる。
この実施例は、実施例5の方法を用いるが、環状アルケン蒸気及び輸送ガスをメチルジエトキシシラン(M−DEOS)の流れ及びテトラメチルジシロキサン(TMDSO)の流れと約40重量%のM−DEOS、20重量%のTMDSO及び40重量%のNBDEの割合で混合する。炭素をドープした酸化ケイ素膜を基体上に蒸着させる。
この実施例は、実施例5の方法を用いるが、環状アルケン蒸気及び輸送ガスをメチルジエトキシシラン(M−DEOS)の流れ及びテトラメチルジシロキサン(TMDSO)の流れと約30重量%のM−DEOS、30重量%のTMDSO及び40重量%のNBDEの割合で混合する。炭素をドープした酸化ケイ素膜を基体上に蒸着させる。
この実施例は、実施例5の方法を用いるが、環状アルケン蒸気及び輸送ガスをトリメチルシラン(TMS)の流れと約60重量%のTMS及び40重量%のNBDEの割合で混合する。炭素をドープした酸化ケイ素膜を基体上に蒸着させる。
この実施例は、実施例5の方法を用いるが、環状アルケン蒸気及び輸送ガスをフルオロトリエトキシシラン(FTES)の流れと約60重量%のFTES及び40重量%のNBDEの割合で混合する。炭素をドープした酸化ケイ素膜を基体上に蒸着させる。
この実施例は、実施例5の方法を用いるが、環状アルケン蒸気及び輸送ガスをアクリルオキシトリメチルシラン(AcroTMS)の流れと約60重量%のAcroTMS及び40重量%のNBDEの割合で混合する。炭素をドープした酸化ケイ素膜を基体上に蒸着させる。
この実施例は、実施例5の方法を用いるが、環状アルケン蒸気及び輸送ガスをアセトキシトリメチルシラン(AceTMS)の流れと約60重量%のAceTMS及び40重量%のNBDEの割合で混合する。炭素をドープした酸化ケイ素膜を基体上に蒸着させる。
プロット1は、50ppmのMHQで安定化させたNBDEの4つの試料の残留物濃度を試料寿命の関数として示す。傾向線を用いて、4つの試料で確認された最高及び最低濃度傾向を強調した。これらの結果に基づくと、経時的な残留物形成はほぼ直線的であった。これらの試料間の残留物形成速度のバラツキは比較的大きく、はっきりとはわからなかったが、包装及びサンプリングによる酸素濃度の小さな差が関与していると考えられた。このデータを使用して、類似した保存条件下で1年にわたって試料において形成される残留物は約70〜約190ppmであると合理的に予想することができる。
プロット2は、100ppmの4−MCATで安定化させたNBDEの4つの試料の残留物濃度を試料寿命の関数として示す。ここでも傾向線を、4つの試料において確認された最高及び最低濃度傾向を強調するために使用した。MHQ安定化生成物を用いた場合に見られるように、経時的な残留物形成はほぼ直線的であった。しかし、類似の条件下での4−MCAT安定化試料における残留物濃度は、少なくとも1桁低かった。この場合、1年後の予想される残留物は約4〜約6ppmまで様々である。全体的な残留物濃度が低かっただけでなく、より緊密に分布しており、したがってより容易に予測可能であった。
MHQ安定化生成物と4−MCAT安定化生成物との長期挙動の大きな差は、プロット3で見られるように、両実験を同じグラフ上にプロットした場合に最も明らかである。このプロットは、同じ期間にわたって形成される残留物濃度の範囲と、全体的な残留物濃度においてとの両方における違いを明確に示す。
水、アルコール、過酸化物、安定剤、安定剤分解生成物、酸化有機不純物及び粒状物質などの不純物を除去するように、シリカゲル又はアルミナ媒体を装填した濾過装置に通すことによって、環状アルケンを精製する。
蒸留塔、凝縮器及び2つの受器を備えた蒸留フラスコ中に環状アルケンを装填する。1つの受器は、前留分、すなわち高揮発性留分用に設定され、もう1つの受器は主留分、すなわち高純度環状アルケンを集めるために設定される。蒸留は、不活性雰囲気下、大気圧で行う。十分な前留分を集めて、高揮発性不純物を除去し、主留分を集めて、所望の純度の高純度環状アルケンを分離し、そして蒸留プロセスを終結させると、低揮発性不純物の容器内残液が残る。
蒸留塔、凝縮器、2つの受器及び真空源を備えた蒸留フラスコ中に環状アルケンを装填する。1つの受器は前留分、すなわち高揮発性留分用に設定され、もう1つの受器は主留分、すなわち高純度環状アルケンを集めるために設定される。蒸留は不活性雰囲気下、大気圧未満で行って、環状アルケンの沸点を低下させて、蒸留ステップ中の熱劣化を軽減もしくは防止する。十分な前留留分を集めて、高揮発性不純物を除去し、主留分を集めて、所望の純度の高純度環状アルケンを分離し、そして蒸留プロセスを停止させると、低揮発性不純物の容器内残液が残る。
加熱ゾーン、凝縮器及び2つの受器を備えた短路蒸留装置中に環状アルケンを装填する。1つの受器は主留分、すなわち高純度環状アルケンを集めるために設定され、もう1つの受器は低揮発性不純物を受けるために設定される。蒸留は不活性雰囲気下、大気圧で行い、低揮発性不純物から高純度環状アルケンを十分に分離できるように調整する。
環状アルケンを、加熱ゾーン、凝縮器及び2つの受器を備えた短路蒸留装置中に装填する。1つの受器は主留分、すなわち高純度環状アルケンを集めるために設定され、1つの受器は低揮発性不純物を受容するために設定される。蒸留は、不活性雰囲気下、大気圧未満で行って、環状アルケンの沸点を低下させて、蒸留ステップ中の熱劣化を軽減もしくは防止する。さらに、低揮発性不純物から高純度環状アルケンが十分に分離されるようにプロセスを調整する。
(一般的安定化手順#1)
有効量の安定剤を蒸留装置の生成物受器中に装填した後、高純度環状アルケンを受器中に蒸留する。次いで蒸留装置を作動させて、高純度環状アルケンを接触させ、安定剤を受器中に集める際に可溶化させる。
有効量の安定剤を、蒸留装置中に凝縮器と生成物受器との間の位置において装填する。次いで蒸留装置を作動させて、高純度環状アルケンを接触させ、凝縮器から受器に移動する際に安定剤を可溶化させる。
蒸留装置をまず作動させて、安定剤を含まない受器中に非安定化高純度環状アルケンを回収する。次いで、高純度環状アルケン中に安定剤を可溶化させるために、有効量の安定剤を受器中に装填する。
一般的精製手順#2を用いることによって環状アルケン(NBDE)を精製し、一般的安定化手順#1を用いることによって100ppmの4−MCATで安定化する。
一般的精製手順#3を用いることによって環状アルケン(NBDE)を精製し、一般的安定化手順#1を用いることによって100ppmの4−MCATで安定化する。
一般的精製手順#4を用いることによって環状アルケン(NBDE)を精製し、一般的安定化手順#1を用いることによって100ppmの4−MCATで安定化する。
一般的精製手順#5を用いることによって環状アルケン(NBDE)を精製し、一般的安定化手順#1を用いることによって100ppmの4−MCATで安定化する。
一般的精製手順#1、続いて一般的精製手順#2を用いることによって環状アルケン(NBDE)を精製し、一般的安定化手順#1を用いることによって100ppmの4−MCATで安定化する。
一般的精製手順#1、続いて一般的精製手順#3を用いることによって環状アルケン(NBDE)を精製し、一般的安定化手順#1を用いることによって100ppmの4−MCATで安定化する。
一般的精製手順#1、続いて一般的精製手順#4を用いることによって環状アルケン(NBDE)を精製し、一般的安定化手順#1を用いることによって100ppmの4−MCATで安定化する。
一般的精製手順#1、続いて一般的精製手順#5を用いることによって環状アルケン(NBDE)を精製し、一般的安定化手順#1を用いることによって100ppmの4−MCATで安定化する。
一般的精製手順#2、続いて一般的精製手順#4を用いることによって環状アルケン(NBDE)を精製し、一般的安定化手順#1を用いることによって100ppmの4−MCATで安定化する。
一般的精製手順#3、続いて一般的精製手順#5を用いることによって環状アルケン(NBDE)を精製し、一般的安定化手順#1を用いることによって100ppmの4−MCATで安定化する。
一般的精製手順#1、続いて一般的精製手順#2、続いて一般的精製手順#4を用いることによって環状アルケン(NBDE)を精製し、一般的安定化手順#1を用いることによって100ppmの4−MCATで安定化する。
一般的精製手順#2を用いることによって環状アルケン(NBDE)を精製し、一般的安定化手順#2を用いることによって100ppmの4−MCATで安定化する。
一般的精製手順#2を用いることによって環状アルケン(NBDE)を精製し、一般的安定化手順#3を用いることによって100ppmの4−MCATで安定化する。
Claims (61)
- (a)1つもしくは複数の置換もしくは非置換環状アルケン、及び
(b)少なくとも1つの式(I)
を含む、組成物。 - R1〜R4のうちの1つがメチル、エチル、メトキシ、又はエトキシである、請求項1記載の組成物。
- 残りのR1〜R4のうちの少なくとも1つがHである、請求項2記載の組成物。
- 残りのR1〜R4の全てがHである、請求項2記載の組成物。
- R1〜R4のうちの1つがメチル又はメトキシである、請求項1記載の組成物。
- 残りのR1〜R4のうちの少なくとも1つがHである、請求項5記載の組成物。
- R2又はR3がメチル又はメトキシである、請求項1記載の組成物。
- 残りのR1〜R4のうちの少なくとも1つがHである、請求項7記載の組成物。
- 前記酸化防止剤組成物が4−メチル−1,2−ジヒドロキシベンゼンを含む、請求項1記載の組成物。
- 前記酸化防止剤組成物が3−メトキシ−1,2−ジヒドロキシベンゼンを含む、請求項1記載の組成物。
- 前記酸化防止剤組成物が約1ppm〜約200ppmの濃度で存在する、請求項1記載の組成物。
- 前記酸化防止剤組成物が約50ppm〜約150ppmの濃度で存在する、請求項11記載の組成物。
- 前記環状アルケンが、一般式CnH2n−2x−yRy(式中、nは4〜18の整数であり、xは整数かつ1≦x≦n/2であり、yは整数かつ0≦y≦2n−2xであり、各Rは独立してC1〜C18直鎖アルキル、C3〜C18分岐アルキル、C2〜C18不飽和アルキル、C3〜C18環状アルキル、C1〜C18直鎖アルコキシ、C3〜C18分岐アルコキシ、C2〜C18不飽和アルコキシ、C3〜C18環状アルコキシ、置換もしくは非置換アリール、又は置換ケイ素含有置換基である)を有する、請求項1記載の組成物。
- 前記環状アルケンが、一般式CnH2n−(2x+2)−yRy(式中、nは5〜18の整数であり、xは整数かつx≦n/2であり、yは整数かつ0≦y≦2n−(2x+2)であり、各Rは独立して、C1〜C18直鎖アルキル、C3〜C18分岐アルキル、C2〜C18不飽和アルキル、C3〜C18環状アルキル、C1〜C18直鎖アルコキシ、C3〜C18分岐アルコキシ、C2〜C18不飽和アルコキシ、C3〜C18環状アルコキシ、置換もしくは非置換アリール、又は置換ケイ素含有置換基である)を有する、請求項1記載の組成物。
- 前記環状アルケンが、一般式CnH2n−(2x+4)−yRy(式中、nは7〜18の整数であり、xは整数かつx≦n/2であり、yは整数かつ0≦y≦2n−(2x+4)であり、各Rは独立して、C1〜C18直鎖アルキル、C3〜C18分岐アルキル、C2〜C18不飽和アルキル、C3〜C18環状アルキル、C1〜C18直鎖アルコキシ、C3〜C18分岐アルコキシ、C2〜C18不飽和アルコキシ、C3〜C18環状アルコキシ、置換もしくは非置換アリール、又は置換ケイ素含有置換基である)を有する、請求項1記載の組成物。
- 前記環状アルケンが、ジペンテン、フェランドレン、ジシクロペンタジエン、アルファ−テルピネン、ガンマ−テルピネン、リモネン、アルファ−ピネン、3−カレン、テルピノレン、ノルボルネン、ノルボルナジエン、5−ビニル−2−ノルボルネン、及び5−エチリデン−2−ノルボルネンからなる群から選択される少なくとも1つの化合物である、請求項1記載の組成物。
- 式(I)の前記化合物が265℃より低い沸点を有する、請求項1記載の組成物。
- 膜蒸着チャンバ中の基体を、少なくとも1つの環状アルケン組成物及び少なくとも1つのケイ素含有化合物で処理して、炭素をドープした酸化ケイ素膜を前記基体上に形成する工程を含む方法であって、
前記環状アルケン組成物が、
(a)1つもしくは複数の置換もしくは非置換環状アルケン、及び
(b)少なくとも1つの式(I)
を含む、方法。 - 前記処理のステップの前に、第1容器中の前記環状アルケン組成物、第2容器中の前記ケイ素含有化合物、前記膜蒸着チャンバを含む膜蒸着手段、前記第1容器及び第2容器を前記膜蒸着手段内の前記膜蒸着チャンバに連結するように構成されたコネクタ、ならびに前記環状アルケン組成物及びケイ素含有化合物を、前記コネクタを通して前記膜蒸着チャンバ中に送るためのキャリアガスの流れを提供する工程をさらに含む、請求項18記載の方法。
- 前記処理のステップの前に、前記環状アルケン組成物及びケイ素含有化合物の蒸気を前記キャリアガスの流れの中に導入する工程をさらに含む、請求項19記載の方法。
- 前記処理のステップの前に、前記環状アルケン組成物及びケイ素含有化合物の蒸気を、前記キャリアガスの流れを介して前記膜蒸着チャンバ中に輸送する工程をさらに含む、請求項20記載の方法。
- R1〜R4のうちの1つが、メチル、エチル、メトキシ、又はエトキシである、請求項18記載の方法。
- 残りのR1〜R4のうち少なくとも1つがHである、請求項22記載の方法。
- 残りのR1〜R4の全てがHである、請求項23記載の方法。
- R1〜R4のうちの1つがメチル又はメトキシである、請求項18記載の方法。
- 残りのR1〜R4のうちの少なくとも1つがHである、請求項25記載の方法。
- R2又はR3がメチル又はメトキシである、請求項18記載の方法。
- 残りのR1〜R4のうちの少なくとも1つがHである、請求項27記載の方法。
- 前記酸化防止剤組成物が4−メチル−1,2−ジヒドロキシベンゼンを含む、請求項18記載の方法。
- 前記酸化防止剤組成物が3−メトキシ−1,2−ジヒドロキシベンゼンを含む、請求項18記載の方法。
- 前記酸化防止剤組成物が約1ppm〜約200ppmの濃度で存在する、請求項18記載の方法。
- 前記酸化防止剤組成物が約50ppm〜約150ppmの濃度で存在する、請求項31記載の方法。
- 前記環状アルケンが一般式CnH2n−2x−yRy(式中、nは4〜18の整数であり、xは整数かつ1≦x≦n/2であり、yは整数かつ0≦y≦2n−2xであり、各Rは独立して、C1〜C18直鎖アルキル、C3〜C18分岐アルキル、C2〜C18不飽和アルキル、C3〜C18環状アルキル、C1〜C18直鎖アルコキシ、C3〜C18分岐アルコキシ、C2〜C18不飽和アルコキシ、C3〜C18環状アルコキシ、置換もしくは非置換アリール、又は置換ケイ素含有置換基である)を有する、請求項18記載の方法。
- 前記環状アルケンが一般式CnH2n−(2x+2)−yRy(式中、nは5〜18の整数であり、xは整数かつx≦n/2であり、yは整数かつ0≦y≦2n−(2x+2)であり、各Rは独立して、C1〜C18直鎖アルキル、C3〜C18分岐アルキル、C2〜C18不飽和アルキル、C3−Ci8環状アルキル、C1〜C18直鎖アルコキシ、C3〜C18分岐アルコキシ、C2〜C18不飽和アルコキシ、C3〜C18環状アルコキシ、置換もしくは非置換アリール、又は置換ケイ素含有置換基である)を有する、請求項18記載の方法。
- 前記環状アルケンが一般式CnH2n−(2x+4)−yRy(式中、nは7〜18の整数であり、xは整数かつx≦n/2であり、yは整数かつ0≦y≦2n−(2x+4)であり、各Rは独立して、C1〜C18直鎖アルキル、C3〜C18分岐アルキル、C2〜C18不飽和アルキル、C3〜C18環状アルキル、C1〜C18直鎖アルコキシ、C3〜C18分岐アルコキシ、C2〜C18不飽和アルコキシ、C3〜C18環状アルコキシ、置換もしくは非置換アリール、又は置換ケイ素含有置換基である)を有する、請求項18記載の方法。
- 前記環状アルケンが、ジペンテン、フェランドレン、ジシクロペンタジエン、アルファ−テルピネン、ガンマ−テルピネン、リモネン、アルファ−ピネン、3−カレン、テルピノレン、ノルボルネン、ノルボルナジエン、5−ビニル−2−ノルボルネン、及び5−エチリデン−2−ノルボルネンからなる群から選択される少なくとも1つの化合物である、請求項18記載の方法。
- 式(I)の前記化合物が265℃より低い沸点を有する、請求項18記載の方法。
- (a)ジペンテン、フェランドレン、ジシクロペンタジエン、アルファ−テルピネン、ガンマ−テルピネン、リモネン、アルファ−ピネン、3−カレン、テルピノレン、ノルボルネン、ノルボルナジエン、5−ビニル−2−ノルボルネン、及び5−エチリデン−2−ノルボルネンからなる群から選択される環状アルケン、及び
(b)4−メチル−1,2−ジヒドロキシベンゼン又は3−メトキシ−1,2−ジヒドロキシベンゼンを含む酸化防止剤組成物
を含む組成物であって、
前記酸化防止剤組成物が約50ppm〜約150ppmの濃度で存在する、組成物。 - 前記酸化防止剤組成物が4−メチル−1,2−ジヒドロキシベンゼンを含む、請求項38記載の組成物。
- 前記酸化防止剤組成物が約100ppmの濃度で存在する、請求項38記載の組成物。
- 膜蒸着チャンバ中の基体を少なくとも1つの環状アルケン組成物及び少なくとも1つのケイ素含有化合物で処理して、炭素をドープした酸化ケイ素膜を前記基体上に形成することを含む方法であって、
前記環状アルケン組成物が、
(a)ジペンテン、フェランドレン、ジシクロペンタジエン、アルファ−テルピネン、ガンマ−テルピネン、リモネン、アルファ−ピネン、3−カレン、テルピノレン、ノルボルネン、ノルボルナジエン、5−ビニル−2−ノルボルネン、及び5−エチリデン−2−ノルボルネンからなる群から選択される環状アルケン、及び
(b)4−メチル−1,2−ジヒドロキシベンゼン又は3−メトキシ−1,2−ジヒドロキシベンゼンを含む酸化防止剤組成物
を含み、
前記酸化防止剤組成物が、約50ppm〜約150ppmの濃度で存在する、方法。 - 環状アルケン組成物を含む密封容器を含む装置であって、前記環状アルケン組成物が
(a)少なくとも1つの置換もしくは非置換環状アルケン、及び
(b)少なくとも1つの酸化防止剤組成物
を含み、
前記環状アルケン組成物が、前記密封容器中において室温で1年間保存された後に、最高で約200ppmの残留物を生成する装置。 - 前記環状アルケン組成物が、前記密封容器中において室温で1年間保存された後に、最高で約100ppmの残留物を生成する、請求項42記載の装置。
- 前記環状アルケン組成物が、前記密封容器中において室温で1年間保存された後に、最高で約10ppmの残留物を生成する、請求項42記載の装置。
- 約0ppm〜約150ppmの酸素及び環状アルケン組成物を含む密封容器を含む装置であって、前記組成物が、
(a)少なくとも1つの置換もしくは非置換環状アルケン、及び
(b)少なくとも1つの酸化防止剤組成物
を含み、
前記環状アルケン組成物が、前記密封容器中において80℃で12時間加熱された後に、最高で約20ppmの残留物を生成する装置。 - 前記密封容器が約150ppmの酸素を含み、前記環状アルケン組成物が、前記密封容器中において80℃で12時間加熱された後に、最高で約20ppmの残留物を生成する、請求項45記載の装置。
- 前記密封容器が約25ppmの酸素を含み、前記環状アルケン組成物が、前記密封容器中において80℃で12時間加熱された後に、最高で約5ppmの残留物を生成する、請求項45記載の装置。
- 前記密封容器が約25ppmの酸素を含み、前記環状アルケン組成物が、前記密封容器中において80℃で12時間加熱された後に、最高で約0.5ppmの残留物を生成する、請求項45記載の装置。
- 前記密封容器が約0ppmの酸素を含み、前記環状アルケン組成物が、前記密封容器中において80℃で12時間加熱された後に、最高で約5ppmの残留物を生成する、請求項45記載の装置。
- 前記密封容器が約0ppmの酸素を含み、前記環状アルケン組成物が、前記密封容器中において80℃で12時間加熱された後に、最高で約0.5ppmの残留物を生成する、請求項45記載の装置。
- 約0ppm〜約150ppmの酸素及び環状アルケン組成物を含む密封容器を含む装置であって、前記組成物が、
(a)少なくとも1つの置換もしくは非置換環状アルケン、及び
(b)少なくとも1つの酸化防止剤組成物
を含み、
前記組成物が、前記密封容器中において120℃で24時間加熱された後に、最高で約200ppmの残留物を生成する、装置。 - 前記密封容器が約0ppmの酸素を含み、前記環状アルケン組成物が、前記密封容器中において120℃で24時間加熱された後に、最高で約200ppmの残留物を生成する、請求項51記載の装置。
- 前記密封容器が約0ppmの酸素を含み、前記環状アルケン組成物が、前記密封容器中において120℃で24時間加熱された後に、最高で約160ppmの残留物を生成する、請求項51記載の装置。
- 環状アルケン組成物を密封容器中で少なくとも6ヶ月間保存する工程、及び
前記環状アルケン組成物を保存した後、前記環状アルケン組成物を少なくとも1つのケイ素含有化合物とともに化学蒸着プロセスにおいて使用して、炭素をドープした酸化ケイ素膜を基体上に形成する工程を含む方法であって、
前記環状アルケン組成物が、
(a)1もしくは複数の置換もしくは非置換環状アルケン、及び
(b)少なくとも1つの式(I)
を含む方法。 - 前記組成物が前記密封容器中で少なくとも9ヶ月間保存される、請求項54記載の方法。
- 前記組成物が前記密封容器中で少なくとも1年間保存される、請求項54記載の方法。
- R1〜R4のうちの少なくとも1つはHでなく、かつ、R1〜R4のうちの1つがt−ブチルである場合、残りのR1〜R4のうちの少なくとも1つはHでない、請求項54記載の方法。
- 環状アルケンを安定化する方法であって、
少なくとも1つの式(I)
- 式(I)の少なくとも1つの化合物を添加する工程が、(a)前記少なくとも1つの式(I)の化合物を、環状アルケンを精製するための蒸留装置中の受器中に添加する工程、及び(b)前記環状アルケンを、前記蒸留装置を通して前記受器中に蒸留する工程を含む、請求項58記載の方法。
- 少なくとも1つの式(I)の化合物を添加する工程が、(a)前記少なくとも1つの式(I)の化合物を、前記環状アルケンを精製するための蒸留装置中、凝縮器と受器との間の位置において添加する工程、及び(b)蒸留された環状アルケンが前記凝縮器を通って前記受器中に入るように、前記蒸留装置を通して環状アルケンを蒸留することにより、前記少なくとも1つの式(I)の化合物を前記蒸留された環状アルケン中に可溶化させる工程を含む、請求項58記載の方法。
- 少なくとも1つの式(I)の化合物を添加する工程が、(a)蒸留装置を通して受器中に前記環状アルケンを蒸留する工程、及び(b)前記少なくとも1つの式(I)の化合物を前記受器中に添加する工程を含む、請求項58記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US7898408P | 2008-07-08 | 2008-07-08 | |
US61/078,984 | 2008-07-08 | ||
PCT/US2009/049765 WO2010005937A1 (en) | 2008-07-08 | 2009-07-07 | Additives to prevent degradation of cyclic alkene derivatives |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011527685A true JP2011527685A (ja) | 2011-11-04 |
JP2011527685A5 JP2011527685A5 (ja) | 2011-12-15 |
JP5792617B2 JP5792617B2 (ja) | 2015-10-14 |
Family
ID=41507397
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011517516A Expired - Fee Related JP5792617B2 (ja) | 2008-07-08 | 2009-07-07 | 環状アルケン誘導体を含む組成物及びそれを使用する方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US7871536B2 (ja) |
EP (1) | EP2318477B1 (ja) |
JP (1) | JP5792617B2 (ja) |
KR (1) | KR101658493B1 (ja) |
CN (1) | CN102089405B (ja) |
TW (1) | TWI471306B (ja) |
WO (1) | WO2010005937A1 (ja) |
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- 2009-07-07 EP EP09795042.2A patent/EP2318477B1/en not_active Not-in-force
- 2009-07-07 TW TW98122892A patent/TWI471306B/zh not_active IP Right Cessation
- 2009-07-07 KR KR1020117000281A patent/KR101658493B1/ko active IP Right Grant
- 2009-07-07 CN CN2009801262507A patent/CN102089405B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2009-07-07 JP JP2011517516A patent/JP5792617B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2009-07-07 US US12/498,726 patent/US7871536B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-07-07 WO PCT/US2009/049765 patent/WO2010005937A1/en active Application Filing
-
2010
- 2010-12-21 US US12/974,090 patent/US7985350B2/en not_active Expired - Fee Related
-
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- 2011-07-11 US US13/179,977 patent/US8252704B2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
WO2010005937A1 (en) | 2010-01-14 |
US20090291210A1 (en) | 2009-11-26 |
EP2318477A1 (en) | 2011-05-11 |
EP2318477A4 (en) | 2016-07-13 |
US20110259242A1 (en) | 2011-10-27 |
CN102089405B (zh) | 2013-10-16 |
TWI471306B (zh) | 2015-02-01 |
JP5792617B2 (ja) | 2015-10-14 |
CN102089405A (zh) | 2011-06-08 |
US20110091651A1 (en) | 2011-04-21 |
US7871536B2 (en) | 2011-01-18 |
US8252704B2 (en) | 2012-08-28 |
US7985350B2 (en) | 2011-07-26 |
KR101658493B1 (ko) | 2016-09-21 |
EP2318477B1 (en) | 2019-06-05 |
TW201008911A (en) | 2010-03-01 |
KR20110031309A (ko) | 2011-03-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20120118 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130326 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130624 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130701 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130724 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140304 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140603 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140610 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140702 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150127 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150521 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150721 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150806 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |