JP2011522498A - 高い集積度を有する高バルク音響共振器タイプの共振器 - Google Patents
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Abstract
Description
−前記共振器の前記一次の周波数温度係数CTF1は、前記第1の厚みを前記第2の厚みで割った比Reが5%未満であるときに、前記圧電変換器単体の共振の基本波又は奇数次高調波に対応しないHBARタイプの共振器モードの場合の前記一次の周波数温度係数CTFB1に概ね等しいことと、
−前記共振器の前記一次の周波数温度係数CTF1の値は、前記第1の厚みを前記第2の厚みで割った比Reが5%未満であるときに、前記圧電変換器単体の共振の基本波又は奇数次高調波に対応しないHBARタイプの共振器モードのために付加的な補正項によって補正された前記一次の周波数温度係数CTFB1に等しく、前記補正項はα.nで表され、nは前記共振器の前記共振モードの高調波次数を指示する自然数であり、αは前記厚みの比Reに依存する係数であり、Reの関数としてその絶対値が減少することと、
−前記圧電変換器の前記第1の材料は、窒化アンモニウム(AlN)、酸化亜鉛(ZnO)、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、ニオブ酸カリウムから構成された材料群に含まれることと、
−前記圧電変換器の前記第1の材料は、好ましくはニオブ酸リチウム(LiNbO3)及びタンタル酸リチウム(LiTaO3)から構成された材料群に含まれることと、
−前記音響基板の前記第2の材料は、石英、ニオブ酸カリウム、オルトリン酸ガリウム(GaPO4)、四ホウ酸リチウム(LiB4O7)、ランガサイト(La3Ga5SiO14)、ランガテイト、ランガサイトから構成された材料群に含まれることと、
−前記音響基板(10)の前記第2の材料は石英であることと、
−前記対向電極は熱圧縮性金属であることと、
−前記対向電極は、金、又は銅、又はインジウムから形成されることと、
−前記共振器の幾何学的寸法は、50MHz〜20GHzの周波数範囲に含まれる周波数帯の共振周波数に合わせられることと、
−前記音響基板の前記第2の材料は石英であり、前記音響基板の前記第2の切断角θ2は−32度に等しく、前記偏波方向PB1は、−32度に等しいθ2の値の場合に前記石英の前記低速剪断モードに対応することと、
−前記圧電変換器の前記第1の材料はニオブ酸カリウムであり、前記係数αは、前記厚みの比が5%、2%、1%、0.5%に等しい場合にそれぞれ、−3.10-7、−1,5.10-7、−3,75.10-8、−1,875.10-8であることと
のうちの1つまたはいくつかの特徴を含む。
−厚みe1を有するアルミニウムから形成された上側電極4と、
−第1の厚みt1を有する単結晶形の第1の材料、ここではニオブ酸リチウム(LiNbO3)から構成された圧電変換器6と、
−厚みe2を有する金から形成された埋込対向電極8と、
−第2の厚みt2を有する単結晶形の第2の材料、ここでは石英から構成された音響基板10と
を含む一連の層から成る堆積体を備えている。
Tinvは、逆転温度を表し、
Trefは、基準温度を表し、ここで図10によれば+50℃に等しく、
CTF1は、共振器の一次の周波数温度係数を表し、
CTF2は、HBARタイプの共振器の二次の周波数温度係数を表す。
Claims (15)
- 所定の動作周波数において動作するための高バルク音響共振器タイプの共振器であって、
第1の材料から成る第1の厚みを有する層によって形成された圧電変換器(6)であって、前記第1の材料単体内の剪断波の電気音響的結合が5%よりも大きくなるように、0に等しいIEEE Std−174(1949年版)標準規格の用語(YXw)/φによって定義される角度φに沿って向けられ、IEEE Std−176(1949年版)標準規格の用語(YX1)/θによって定義される第1の切断角θ1に沿って切断され、前記第1の切断角θ1の関数としての周波数温度係数CTFAを有する圧電変換器と、
第2の材料から成る第2の厚みを有する第2の層によって形成された音響基板(10)であって、少なくとも5.1012に等しい動作周波数音響品質係数積を有し、0に等しいIEEE Std−176(1949年版)標準規格の用語(YXw)/φによって定義される角度φに沿って向けられ、IEEE Std−176(1949年版)標準規格の用語(YX1)/θによって定義される第2の切断角θ2に沿って切断され、第1の剪断振動モードに対応する少なくとも1つの偏波方向PB1を有し、前記少なくとも1つの剪断モードに対応すると共に前記第2の切断角θ2に依存する一次の周波数温度係数CTFB1を有する音響基板と、
前記圧電変換器(6)の第1の面及び前記音響基板(10)の1つの面に接着する金属層によって形成された対向電極(8)と、
前記圧電変換器(6)の前記第1の面及び前記音響基板(10)から離れる方に面する、前記圧電変換器(6)の第2の面上に配置された電極(4)と
を備え、
前記圧電変換器(6)の前記剪断モードの偏波方向PAと、前記第2の切断角θ2に対応する前記音響基板(10)の前記少なくとも1つの剪断モードの前記偏波方向PB1とが整列するように、前記圧電変換器(6)及び前記音響基板(10)が相対的に配列されることと、
前記音響基板(10)の前記第2の切断角θ2は、前記対応する一次の周波数温度係数CTFB1が20ppm.K-1未満の絶対値を有する極値であり、かつ、θ2の値を中心にしたCTFB1の変動が、2ppm.K-1/度未満の絶対値を有するわずかな変動であるような角度であることと
を特徴とする高バルク音響共振器タイプの共振器。 - 前記共振器の前記一次の周波数温度係数CTF1は、前記第1の厚みを前記第2の厚みで割った比Reが5%未満であるときに、前記圧電変換器単体の共振の基本波又は奇数次高調波に対応しないHBARタイプの共振器モードの場合の前記一次の周波数温度係数CTFB1に概ね等しいことを特徴とする、請求項1に記載の高バルク音響共振器タイプの共振器。
- 前記共振器の前記一次の周波数温度係数CTF1の値は、前記第1の厚みを前記第2の厚みで割った比Reが5%未満であるときに、前記圧電変換器単体の共振の基本波又は奇数次高調波に対応しないHBARタイプの共振器モードのために付加的な補正項によって補正された前記一次の周波数温度係数CTFB1に等しく、前記補正項はα.nで表され、nは前記共振器の前記共振モードの高調波次数を指示する自然数であり、αは前記厚みの比Reに依存する係数であり、Reの関数としてその絶対値が減少することを特徴とする、請求項1又は2に記載の高バルク音響共振器タイプの共振器。
- 前記圧電変換器の前記第1の材料は、窒化アンモニウム(AlN)、酸化亜鉛(ZnO)、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、ニオブ酸カリウムから構成された材料群に含まれることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の高バルク音響共振器タイプの共振器。
- 前記圧電変換器の前記第1の材料は、好ましくはニオブ酸リチウム(LiNbO3)及びタンタル酸リチウム(LiTaO3)から構成された材料群に含まれることを特徴とする、請求項4に記載の高バルク音響共振器タイプの共振器。
- 前記音響基板の前記第2の材料は、石英、ニオブ酸カリウム、オルトリン酸ガリウム(GaPO4)、四ホウ酸リチウム(LiB4O7)、ランガサイト(La3Ga5SiO14)、ランガテイト、ランガサイトから構成された材料群に含まれることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の高バルク音響共振器タイプの共振器。
- 前記音響基板(10)の前記第2の材料は石英であることを特徴とする、請求項6に記載の高バルク音響共振器タイプの共振器。
- 前記対向電極は熱圧縮性金属であることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の高バルク音響共振器タイプの共振器。
- 前記対向電極は、金、又は銅、又はインジウムから形成される、請求項1〜8のいずれか一項に記載の高バルク音響共振器タイプの共振器。
- 前記共振器の幾何学的寸法は、50MHz〜20GHzの周波数範囲に含まれる周波数帯の共振周波数に合わせられることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一項に記載の高バルク音響共振器タイプの共振器。
- 前記音響基板の前記第2の材料は石英であり、
前記音響基板(10)の前記第2の切断角θ2は−32度に等しく、
前記偏波方向PB1は、−32度に等しいθ2の値の場合に前記石英の前記低速剪断モードに対応することを特徴とする、請求項1〜10のいずれか一項に記載の高バルク音響共振器タイプの共振器。 - 前記圧電変換器の前記第1の材料はニオブ酸カリウムであり、
前記係数αは、前記厚みの比が5%、2%、1%、0.5%に等しい場合にそれぞれ、−3.10-7、−1,5.10-7、−3,75.10-8、−1,875.10-8であることを特徴とする、請求項3または11に記載の高バルク音響共振器タイプの共振器。 - 高バルク音響共振器タイプの共振器を製造する方法であって、
第1の材料から成る第1の厚みの層から構成された圧電変換器(6)を準備するステップ(102)であって、前記第1の材料単体内の剪断波の電気音響的結合が5%よりも大きくなるように、0に等しいIEEE Std−176(1949年版)標準規格の用語(YXw)/φによって定義される角度φに沿って向けられ、IEEE Std−176(1949年版)標準規格の用語(YX1)/θによって定義される第1の切断角θ1に沿って切断され、前記圧電変換器(6)は、前記第1の切断角θ1の関数としての周波数温度係数CTFAを有するステップと、
第2の材料から成る第2の厚みを有する第1の層によって形成された音響基板を準備するステップ(104)であって、少なくとも5.1012に等しい動作周波数音響品質係数積を有し、0に等しいIEEE Std−176(1949年版)標準規格の用語(YXw)/φによって定義される角度φに沿って向けられ、IEEE Std−176(1949年版)標準規格の用語(YX1)/θによって定義される第2の切断角θ2に沿って切断され、第1の剪断振動モードに対応する偏波方向PB1を有し、前記音響基板(10)は、前記少なくとも1つの剪断モードに対応すると共に前記第2の切断角θ2に依存する一次の周波数温度係数CTFB1を有するステップと、
熱圧縮性金属を用いて、前記音響基板(10)の1つの面及び前記圧電変換器(6)の第1の面を金属化するステップ(106)と、
前記圧電変換器(6)及び前記音響基板(10)を組み立てるステップ(108)と、
圧縮(110)によって、前記金属化するステップ(106)において金属化された前記音響基板(10)及び前記圧電変換器(6)のそれぞれの面を接着するステップと、
前記圧電変換器(6)の第2の面上において電極(4)を金属化するステップ(114)と
を含み、
前記組み立てるステップ(108)中に、前記圧電変換器(6)の前記剪断モードの偏波方向PA及び前記第2の切断角θ2に対応する前記音響基板(10)の前記少なくとも1つの剪断モードの前記偏波方向PB1が整列するように、前記圧電変換器(6)が前記音響基板(10)に対して配置されることと、
前記準備するステップ(104)において、前記音響基板(10)を準備するために、前記対応する一次の周波数温度係数CTFB1が20ppm.K-1未満の絶対値を有する極値であり、かつθ2の値からのCTFB1の変動が2ppm.K-1/度未満の絶対値を有するわずかな変動であるように、前記音響基板(10)の前記第2の切断角θ2が選択されることと
を特徴とする方法。 - 請求項1〜12のいずれか一項に記載の高バルク音響共振器タイプの共振器を備えるホモダイン発振器。
- 請求項1〜12のいずれか一項に記載の高バルク音響共振器タイプの共振器に基づくセルを備える高除去フィルター。
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