JP2011521235A - 急な勾配を有するウェハにおける形状および厚さ変動の測定 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
Claims (25)
- ウェハのような平行な表面を有する対象物における形状および厚さ変動を得るための方法であって、
2個の干渉計を有する不等パス干渉計アセンブリの起動工程であって、前記不等パス干渉計アセンブリは、
第1の方向に第1の長さL1を有する第1のレファレンス平面と、
前記第1の方向に第2の長さL2を有する第2のレファレンス平面と、
前記第1のレファレンス平面と前記第2のレファレンス平面との間の隔たりにより区画されるキャビティD1と、
前記第1のレファレンス平面と前記第2のレファレンス平面との間の外側環状領域において光路を開放したまま、前記キャビティ内に対象物を支えるウェハホルダと、
局所関心領域の測定を可能にするために、対象物が前記キャビティ内で傾斜できるように前記ウェハホルダに接続された少なくとも1個のウェハホルダモータと、を備える不等パス干渉計アセンブリの起動工程と、
前記不等パス干渉計アセンブリに対する調節可能なコヒーレント光源を受信する工程と、
前記調節可能な光源からの光の波長の変化により得られる周知の位相シフトに応じて多重光インタフェログラムを記録する工程と、
多重位相マップを生成するために、前記各インタフェログラムの位相を抽出する工程と、
対応するインタフェログラムから各マップを決定する工程と、
各マップから、急な勾配を有する局所関心領域を決定する工程と、
急な勾配の関心領域の測定を可能にするために前記ウェハホルダを傾斜させる工程と、
急な勾配領域を含む対象物の全表面に及ぶ測定を行う工程と、
を有する方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記各インタフェログラムの位相を抽出する工程が、同時期に行われる方法。 - 請求項1に記載の方法において、
急な勾配領域を含む対象物の全表面に及ぶ測定を行う工程は、
前記ウェハホルダが少なくとも1個のウェハホルダモータにより傾斜された後に、前記不等パス干渉計アセンブリに対する調節可能なコヒーレント光源を受信する工程と、
前記調節可能な光源からの光の波長の変化により得られる周知の位相シフトに応じて多重光インタフェログラムを記録する工程と、
多重位相マップを生成するために、前記各インタフェログラムの位相を抽出する工程と、
対応するインタフェログラムから各マップを決定する工程と、
を有する方法。 - 請求項1に記載の方法において、
更に、前記キャビティの中に対象物を受け取る工程を有する方法。 - 請求項4に記載の方法において、
前記キャビティ内に対象物を支えるウェハホルダは、第1のレファレンス表面から第1の所定距離で、かつ、第2のレファレンス表面から異なる第2の所定距離の位置に設置された対象物を備える方法。 - 請求項4に記載の方法において、更に、
前記対象物が前記ウェハホルダにより傾斜された後に、前記第1のレファレンス表面および前記第1の対象物表面により形成されたインタフェログラムの前記位相を分析することによって、急な勾配の局所領域における前記対象物の第1の表面高さを決定する工程を有する方法。 - 請求項4に記載の方法において、更に、
前記対象物が前記ウェハホルダにより傾斜された後に、前記第2のレファレンス表面および前記第2の対象物表面により形成されたインタフェログラムの前記位相を分析することによって、急な勾配の局所領域における前記対象物の第2の表面高さを決定する工程を有する方法。 - 請求項4に記載の方法において、更に、
前記対象物が前記ウェハホルダにより傾斜された後に、前記第1のレファレンス表面および前記第2のレファレンス表面により形成されたインタフェログラムの前記位相を分析し、
前記対象物が前記ウェハホルダにより傾斜された後に、前記第1のレファレンス表面および前記第1の対象物表面により形成されたインタフェログラムの前記位相と、前記対象物が前記ウェハホルダにより傾斜された後に、前記第2のレファレンス表面および前記第2の対象物表面により形成されたインタフェログラムの前記位相と、の合計を減算することによって、急な勾配の局所領域における前記対象物の厚さ変動を決定する工程を有する方法。 - 請求項4に記載の方法において、更に、
前記対象物表面全体に及ぶマップを生成するために、複数個の部分対象物表面におけるマップを結合する工程を有する方法。 - 請求項4に記載の方法において、
急な勾配領域が、カメラにおける画素幅の2倍で割った前記システムに使用される波長よりも大きい勾配を有する領域により決定される方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記各インタフェログラムの位相を抽出する工程が、コンピュータにより行われる方法。 - 請求項1に記載の方法において、
前記多重光インタフェログラムを記録する工程が、CCDカメラにより行われる方法。 - 不等パス干渉計システムであって、
第1の方向に第1の長さL1を有する第1のレファレンス平面と、
前記第1の方向に第2の長さL2を有する第2のレファレンス平面と、
前記第1のレファレンス平面と前記第2のレファレンス平面との間の隔たりにより区画されるキャビティD1と、
前記第1のレファレンス平面と前記第2のレファレンス平面との間の外側環状領域において光路を開放したまま、前記キャビティ内に対象物を支えるウェハホルダと、
局所関心領域の測定を可能にするために、対象物が前記キャビティ内で傾斜できるように前記ウェハホルダに接続された少なくとも1個のウェハホルダモータと、を備える不等パス干渉計アセンブリと、
平行化された放射線ビームを前記干渉計アセンブリに向ける放射線標的アセンブリと、
前記干渉計アセンブリから受信した放射線を集める放射線収集アセンブリと、
前記平行化された放射線ビームの波長を変化させ、
複数個の表面により形成されるインタフェログラムを記録し、
多重位相マップを生成するために前記各インタフェログラムの位相を抽出し、
対応するインタフェログラムからの各マップを決定し、
各マップから、急な勾配を有する局所関心領域を決定し、
急な勾配の関心領域の測定を可能にするために前記ウェハホルダを傾斜させ、
急な勾配領域を含む対象物の全表面に及ぶ測定を行う論理回路を備えるコントローラと、
を備える不等パス干渉計システム。 - 請求項13に記載のシステムにおいて、
前記各インタフェログラムの位相を抽出する工程が、同時期に行われるシステム。 - 請求項13に記載のシステムにおいて、
急な勾配領域を含む対象物の全表面に及ぶ測定を行う論理回路が、
前記ウェハホルダが少なくとも1個のウェハホルダモータにより傾斜された後に、前記不等パス干渉計アセンブリに対する調節可能なコヒーレント光源を受信し、
前記調節可能な光源からの光の波長の変化により得られる周知の位相シフトに応じて多重光インタフェログラムを記録し、
多重位相マップを生成するために、前記各インタフェログラムの位相を抽出し、
対応するインタフェログラムから各マップを決定する、システム。 - 請求項13に記載のシステムにおいて、更に、
前記干渉計アセンブリにおいて、前記キャビティ内に設置された対象物を備えるシステム。 - 請求項16に記載のシステムにおいて、
前記対象物が前記ウェハホルダにより傾斜された後に、前記第1のレファレンス表面および前記第1の対象物表面により形成されたインタフェログラムの前記位相を分析することによって、急な勾配の局所領域における前記対象物の第1の表面高さが決定されるシステム。 - 請求項16に記載のシステムにおいて、
前記対象物が前記ウェハホルダにより傾斜された後に、前記第2のレファレンス表面および前記第2の対象物表面により形成されたインタフェログラムの前記位相を分析することによって、急な勾配の局所領域における前記対象物の第2の表面高さが決定されるシステム。 - 請求項16に記載のシステムにおいて、
前記対象物が前記ウェハホルダにより傾斜された後に、前記第1のレファレンス表面および前記第2のレファレンス表面により形成されたインタフェログラムの前記位相を分析し、
前記対象物が前記ウェハホルダにより傾斜された後の前記第1のレファレンス表面および前記第1の対象物表面により形成されたインタフェログラムの前記位相と、前記対象物が前記ウェハホルダにより傾斜された後の前記第2のレファレンス表面および前記第2の対象物表面により形成されたインタフェログラムの前記位相と、の合計を減算することによって、急な勾配の局所領域における前記対象物の厚さ変動が決定されるシステム。 - 請求項16に記載のシステムにおいて、更に、
前記対象物表面全体に及ぶマップを生成するために、複数個の部分対象物表面におけるマップの結合を備えるシステム。 - 請求項13に記載のシステムにおいて、
前記放射線標的アセンブリが調節可能なレーザを備えるシステム。 - 請求項16に記載のシステムにおいて、
前記キャビティ内に対象物を支えるウェハホルダは、第1のレファレンス表面から第1の所定距離で、かつ、第2のレファレンス表面から異なる第2の所定距離の位置に設置された対象物を備えるシステム。 - 請求項13に記載のシステムにおいて、
前記不等パス干渉計がフィゾ干渉計であるシステム。 - 請求項13に記載のシステムにおいて、
前記不等パス干渉計がトワイマン・グリーン干渉計であるシステム。 - 請求項16に記載のシステムにおいて、
急な勾配領域が、カメラにおける画素幅の2倍で割った前記システムに使用される波長よりも大きい勾配を有する領域により定義されるシステム。
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